JP2008088000A - 原料供給装置及び原料供給方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単結晶引き上げ装置に設けられ、多結晶原料を供給する原料供給装置1であって、多結晶原料を保持する略円筒状の原料供給管3と、ホッパー本体の下端開口部3aを開閉する円錐状の底蓋5と、底蓋5を吊り下げるシャフト7とを備える。底蓋5は、多結晶原料粉の落下を防止する落下防止手段(例えば、溝51)を有する。
【選択図】図1
Description
前記底蓋を吊り下げる支持部材と、を備え、前記底蓋の装着により閉じられた前記下方開口端を有する前記原料供給管内に保持される原料は、前記底蓋の装脱により開かれた前記下方開口端から放出され、前記底蓋は円錐面近傍に原料粉の落下防止手段を備えることを特徴とする原料供給装置を提供できる。
径がDの球:Deqと、Lmax(直径)は同じであるので、F=Lmax/Deq=1。
一辺がDの立方体:Lmaxは対角線長さで、F=√3/(6/π)1/3=1.396。
一辺がDで2Dの高さの正四角柱:Lmaxは対角線長さで、F=√6/(12/π)1/3=1.57。
高さが径Dの2倍の円柱:Lmaxは上下底を結ぶ斜線長さで、F=√5/31/3=1.55。
高さが径Dと同じ円錐:Lmaxは円錐面に沿う長さで、F=√5/41/3=1.41。
厚みDで幅が4Dで長さが8Dの平板:Lmaxは対角線長さで、F=9/(192/π)1/3=2.28。
図1は、実施形態1の原料供給装置1の一例を示した断面図である。図1に示すように、本実施形態1の原料供給装置1は、原料(例えば、多結晶シリコン)を保持する略円筒状の原料供給管(ホッパー本体)3と、円錐状の形状で、多結晶原料粉の落下を防止する落下防止手段を有し、原料供給管3の下端開口部を開閉する底蓋5と、底蓋5を吊り下げるシャフト7とを少なくとも備える。
図4(a)及び(b)は、原料粉の落下防止手段として凸形状をした部材を設けた底蓋5のそれぞれの例を断面図において示す。これらの底蓋5は、それぞれ同じ原料供給装置1に適用することができる。図1及び2、更に、図3(a)から(c)とは異なり、リング53を円錐面5Qに配置することにより、原料粉の落下防止手段が構成されている。リング53を円錐面5Q上に配置することにより、凸形状部材若しくは張出部分を設けることができる。また、同時にリング53は、断面が円形若しくは楕円形をしているため、円錐面の上に凹形状を有する部分53aを備えることができる。このような凹形状部分は、上述の溝51、52と同様、多結晶シリコン原料粉をトラップ(又は収納)し、落下を防止することができる。
3 原料供給管(ホッパー本体)
5 底蓋
7 シャフト
10 単結晶引き上げ装置
12 チャンバ
14 サブチャンバ
16 シード軸
20 石英坩堝
22 黒鉛坩堝
24 ヒータ
26 断熱材
28 回転軸
40 ゲート
46 ランプ材
48 原料融液
51、52 溝
53 リング
66 天板
70 ストッパー
Claims (7)
- 単結晶育成用原料を供給する原料供給装置であって、
前記原料を保持する略円筒状の原料供給管と、
前記原料供給管の下方開口端に脱着可能に備えられる円錐状の底蓋と、
前記底蓋を吊り下げる支持部材と、を備え、
前記底蓋の装着により閉じられた前記下方開口端を有する前記原料供給管内に保持される原料は、前記底蓋の装脱により開かれた前記下方開口端から放出され、
前記底蓋は円錐面近傍に原料粉の落下防止手段を備えることを特徴とする原料供給装置。 - 前記原料粉の落下防止手段は、前記円錐面近傍に凹形状を有することを特徴とする請求項1記載の原料供給装置。
- 前記原料粉の落下防止手段は、前記円錐面近傍に凸形状を有することを特徴とする請求項1又は2記載の原料供給装置。
- 前記原料粉の落下防止手段は、前記円錐面近傍に、連続的若しくは断続的な形状を有することを特徴とする請求項1から3いずれか記載の原料供給装置。
- 前記原料粉の落下防止手段は、前記円錐面近傍に張出形状を有することを特徴とする請求項1から4いずれか記載の原料供給装置。
- 前記原料粉の落下防止手段は、前記円錐面近傍にリングを配置してなるものであることを特徴とする請求項1から5いずれか記載の原料供給装置。
- 単結晶育成用原料を保持する略円筒状の原料供給管と、
前記原料供給管の下方開口端に脱着可能に備えられる円錐状の底蓋であって、その円錐面近傍に原料粉の落下防止手段を有する底蓋と、
前記底蓋を吊り下げる支持部材と、を備える原料供給装置を用いて原料を供給する原料供給方法であって、
塊状の前記原料を前記底蓋が装着された前記原料供給管内に充填する工程と、
前記原料供給管内に充填された前記原料を備える原料供給装置を単結晶育成装置内に、前記支持部材で支持することにより吊り下げ、保持する工程と、
前記底蓋を装脱して前記充填された原料を放出する工程と、を含むことを特徴とする原料供給方法。
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