JP2008085562A - 弾性波フィルタおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】同一基板上に複数の帯域に対応した複数の帯域通過フィルタが形成されたSMR型弾性波フィルタにおいて、音響多層膜の形成をマスクなし、あるいは最少枚数で形成し、かつ、帯域ごとに厚さの異なる圧電薄膜を一括形成する。例えば、音響多層膜(低音響インピーダンス層13、高音響インピーダンス層14)を基板11上の棚田状深溝12内にマスクレス手法で形成した後、圧電薄膜16をc軸配向させて成長させてからCMP等の手法により研磨して厚さを帯域ごとに調整して、同一チップ内に複数の帯域用のSMR型弾性波フィルタを形成する。
【選択図】図1
Description
本発明の実施の形態1を、図1を用いて説明する。図1は、本実施の形態のSMR型弾性波フィルタの製造方法および構造を示す断面図である。
本発明の実施の形態2を、図2を用いて説明する。図2は、本実施の形態のSMR型弾性波フィルタの製造方法および構造を示す断面図である。
11…基板、12…深溝、13…低音響インピーダンス層、14…高音響インピーダンス層、15…裏面電極、16…圧電薄膜、17…表面電極、
21…基板、22…種電極、23…圧電薄膜、24…低音響インピーダンス膜、25…表面電極、26…裏面電極、27…高音響インピーダンス膜。
Claims (9)
- 同一基板上に複数の帯域に対応した複数の帯域通過フィルタが形成された弾性波フィルタであって、
同一基板上に形成された、深さの異なる複数の溝と、
前記溝のそれぞれに形成された、帯域ごとに厚さの異なる音響多層膜と、
前記音響多層膜のそれぞれの上面に形成された第1の電極と、
前記第1の電極のそれぞれの上面に形成された圧電薄膜と、
前記圧電薄膜のそれぞれの上面に形成された第2の電極と、
を有することを特徴とする弾性波フィルタ。 - 同一基板上に複数の帯域に対応した複数の帯域通過フィルタを形成する弾性波フィルタの製造方法であって、
同一基板上に深さの異なる複数の溝を形成する工程と、
前記溝のそれぞれに帯域ごとに厚さの異なる音響多層膜を形成する工程と、
前記音響多層膜のそれぞれの上面に第1の電極を形成する工程と、
前記第1の電極のそれぞれの上面に圧電薄膜を形成する工程と、
前記圧電薄膜のそれぞれの上面に第2の電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする弾性波フィルタの製造方法。 - 請求項2記載の弾性波フィルタの製造方法において、
前記圧電薄膜の上面と前記基板の裏面との間の距離は等しく、前記圧電薄膜の裏面と前記基板の裏面との間の距離は帯域ごとに異なることを特徴とする弾性波フィルタの製造方法。 - 請求項2記載の弾性波フィルタの製造方法において、
前記音響多層膜はインクジェットにより形成することを特徴とする弾性波フィルタの製造方法。 - 請求項2記載の弾性波フィルタの製造方法において、
前記圧電薄膜は前記溝内から厚さ方向にc軸成長させ、上面側から所定の膜厚に研磨した後に、前記第2の電極を形成することを特徴とする弾性波フィルタの製造方法。 - 同一基板上に複数の帯域に対応した複数の帯域通過フィルタが形成された弾性波フィルタであって、
同一基板上の面方向にc軸配向、厚さ方向にa軸配向させて形成され、帯域に対応した異なる厚さを持つ複数の圧電薄膜構造体と、
前記圧電薄膜構造体のそれぞれを面方向に挟むように形成された第1および第2の電極と、
を有することを特徴とする弾性波フィルタ。 - 請求項6記載の弾性波フィルタにおいて、
前記第1および第2の電極の少なくとも一方に形成された、帯域ごとに異なる厚さを持つ音響多層膜をさらに有することを特徴とする弾性波フィルタ。 - 同一基板上に複数の帯域に対応した複数の帯域通過フィルタを形成する弾性波フィルタの製造方法であって、
同一基板上の面方向にc軸配向、厚さ方向にa軸配向させて、帯域に対応した異なる厚さを持つ複数の圧電薄膜構造体を形成する工程と、
前記圧電薄膜構造体のそれぞれを面方向に挟むように第1および第2の電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする弾性波フィルタの製造方法。 - 請求項8記載の弾性波フィルタの製造方法において、
前記第1および第2の電極の少なくとも一方に、使用帯域ごとに異なる厚さを持つ音響多層膜を形成する工程をさらに有することを特徴とする弾性波フィルタの製造方法。
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