JP2008085245A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. ベースプレートと、ベースプレートの表面を被覆する可撓性を有する電極層と、該電極層を電源側に電気的に接続する給電部とを備えた静電チャックにおいて、
   前記給電部が、前記電極層の側縁から、該電極層の電極に接続する配線が形成されて延出する接続片と、
   前記ベースプレートの側面に折り返された前記接続片を、前記配線と電気的に接続して前記ベースプレートに固定する、前記電源側との接続に用いられる導電部品とを備えていることを特徴とする静電チャック。
2. 前記電極層は、ベースプレートの表面に被着されるクッション層と、該クッション層の外面を被覆する電極フィルム層と、該電極フィルム層の外面を被覆する誘電体層とからなり、
   前記接続片が、前記電極フィルム層と誘電体層の側縁から延出して形成されていることを特徴とする請求項１記載の静電チャック。
3. 前記接続片は、前記導電部品と前記配線とが接続される部位において、前記電極フィルム層を被覆する誘電体層が除去され、前記配線が露出して設けられていることを特徴とする請求項２記載の静電チャック。
4. 前記導電部品は、前記ベースプレートに設けられた該ベースプレートの背面で開口する装着穴内に装着され、
   前記接続片は前記装着孔に連通して前記ベースプレートの側面に開口する接続穴に挿入され、前記装着穴内で前記導電部品に前記配線が電気的に接続されて取り付けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の静電チャック。
5. 前記ベースプレートは導電材からなり、
   前記導電部品は、前記装着穴内に装着された絶縁体により前記ベースプレートに電気的に絶縁して装着されていることを特徴とする請求項４記載の静電チャック。
6. 前記接続穴は、該接続穴に前記接続片が挿入された状態で、接着剤により封止されていることを特徴とする請求項４または５記載の静電チャック。
7. 前記接続片は、ベースプレートの側面からベースプレートの背面上に折り返され、ベースプレートの背面に固定された導電部品により、ベースプレートの背面との間で挟圧され、該導電部品と前記配線が電気的に接続されて支持されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項記載の静電チャック。
8. 前記導電部品は、前記ベースプレートの背面に固定して取り付けられたコネクタとして設けられていることを特徴とする請求項７記載の静電チャック。