JP2008085038A - 発光素子駆動方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】発光素子の駆動方法において、点灯直後から安定した出力を得る。
【解決手段】発光素子の光量が一定となるように駆動電流を段階的に立ち上げる。
【選択図】図7
【解決手段】発光素子の光量が一定となるように駆動電流を段階的に立ち上げる。
【選択図】図7
Description
本発明は、発光素子の駆動方法および装置に関するものである。
従来から、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)等の空間光変調素子(SLM)を利用し、画像データ(画像情報)に応じて変調された光ビームで画像露光を行う露光装置が種々提案されている。
例えば、DMDは、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーが、シリコン等の半導体基板上に2次元状に配列されたミラーデバイスであり、このDMDを用いた露光装置では、レーザ光を照射する光源、光源から照射されたレーザ光をコリメートするレンズ系、レンズ系の略焦点位置に配置されたDMD、DMDで反射されたレーザ光を走査面上に結像するレンズ系、を備えた露光ヘッド(スキャナ)により、画像データ等に応じて生成した制御信号によりDMDのマイクロミラーの各々をオンオフ制御してレーザ光を変調し、変調されたレーザ光で、ステージ上にセットされ走査方向に沿って移動される感光材料に対し画像露光を行っている。
そして、上記のような露光装置においては、光源として半導体レーザが用いられる。
ここで、通常、半導体レーザから安定した出力を得るための方法として、APC制御が用いられるが、同一パッケージ内に光検出器をもたない場合がある。このような場合、半導体レーザの外部に光検出器を設けてAPC制御をする方法が一般的である(たとえば、特許文献1参照)。
しかしながら、上記のような露光装置においては、複数の半導体レーザからの出力を合波してマルチレーザとしているため、各半導体レーザに対して1つの受光素子を搭載すると製造コストが高額となるため、これを搭載せず、駆動電流を一定とするACC制御にて駆動する方法が用いられる。
一方、半導体レーザをACC制御で駆動した場合、一般的な特性として、低温時には高出力、高温時には低出力となる。そのため、半導体レーザの点灯直後には、図8に示すように比較的高い出力となり、温度上昇にともない出力が低下し、熱平衡状態において出力が安定化する。つまり、光量が安定した状態で露光しようとすると、半導体レーザが熱平衡状態に達するまでの時間を待つ必要がある。
特開2003−251855号公報
しかしながら、露光毎にこのような待ち時間を確保することはシステムの生産性低下につながり現実的には不可能である。
また、消灯時に半導体レーザの発振閾値以下の電流(バイアス電流)を流しておくことにより、点灯直後の急激な温度変化を緩和し、熱平衡状態に達するまでの時間を短縮して安定した出力を得る方法も一般的に用いられている。
しかしながら、上記のように消灯時にバイアス電流は流しておくと半導体レーザの寿命が短くなり、このような制御は半導体レーザのランニングコストアップの観点から望ましくない。
本発明は、上記事情に鑑み、上記のような待ち時間を確保することなく、また、バイアス電流を流すことなく、点灯直後から安定した出力を得ることができる発光素子の駆動方法および装置を提供することを目的とする。
本発明の発光素子駆動方法は、駆動電流を流すことによって発光する発光素子の駆動方法において、発光素子の光量が一定となるように駆動電流を段階的に立ち上げることを特徴とする。
また、上記本発明の発光素子駆動方法においては、発光素子から発せられた光を検出し、その検出された光の光量が所定の範囲外となった際、駆動電流の段階的な立ち上げを更新するようにすることができる。
本発明の発光素子駆動装置は、駆動電流を流すことによって発光する発光素子と、発光素子の光量が一定となるように駆動電流を段階的に立ち上げて発光素子に流す電流制御部とを備えたことを特徴とする。
また、本発明の発光素子駆動装置においては、発光素子から発せられた光を検出する光検出部を有するものとし、電流制御部を、光検出部により検出された光の光量が所定の範囲外となった際、駆動電流の段階的な立ち上げを更新するものとすることができる。
本発明の発光素子駆動方法によれば、駆動電流を流すことによって発光する発光素子の駆動方法において、発光素子の光量が一定となるように駆動電流を段階的に立ち上げるようにしたので、点灯直後から安定した出力を得ることができる。
また、上記本発明の発光素子駆動方法において、発光素子から発せられた光を検出し、その検出された光の光量が所定の範囲外となった際、駆動電流の段階的な立ち上げを更新するようにした場合には、発光素子の経時劣化状態に関わらず点灯直後から安定した出力を得ることができる。
以下、図面を参照して本発明の発光素子駆動方法および装置の一実施形態を用いた露光装置について説明する。
まず、露光装置の外観及び構成について説明する。図1は、露光装置10の概略外観図である。露光装置10は、シート状の感光材料12を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ14を備えている。4本の脚部16に支持された厚い板状の設置台18の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた2本のガイド20が設置されている。ステージ14は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド20によって往復移動可能に支持されている。更に露光装置10は、ステージ14をガイド20に沿って駆動するステージ駆動装置(不図示)を備えている。
そして、設置台18の中央部には、ステージ14の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート22が設置されている。コの字状のゲート22の端部の各々は、設置台18の両側面に固定されている。ゲート22を挟んで一方側にはスキャナ24が設置され、他方側には感光材料12の先端及び後端を検知する複数のセンサ26が設置されている。スキャナ24及びセンサ26はゲート22に各々固定され、ステージ14の移動経路の上方に設置されている。尚、スキャナ24及びセンサ26はコントローラ(不図示)に電気的に接続されており、コントローラによって動作制御がなされる。
ステージ14にはスキャナ24による露光開始の際にスキャナ24から感光材料12の露光面に照射されるレーザ光の光量を検出するための露光面計測センサ28が設置されている。露光面計測センサ28は、ステージ14における感光材料12の設置面の露光開始側の端部にステージ移動方向に直交する方向に延設されている。
図2はスキャナ24の概略外観図である。図2に示すように、スキャナ24は、例えば2行5列の略マトリクス状に配列された10個の露光ヘッド30を備えている。各露光ヘッド30は、デジタル・マイクロミラー・デバイス(以下、「DMD」と表記する。)の画素列方向が走査方向と所定の設定傾斜角度をなすように、スキャナ24に取り付けられている。従って、各露光ヘッド30による露光エリア32は走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。また、ステージ14の移動に伴って感光材料12には露光ヘッド30による帯状の露光済み領域34が形成される。
図3は、露光ヘッド30の内部構成を詳しく示した図である。ファイバアレイ光源38から出射したレーザ光L1はレンズ系40と、ミラー42と、TIRプリズム70と、DMD36と、結像光学系50と、プリズムペア72とを介して感光材料12に照射される。
図4は、ファイバアレイ光源38の構成を説明するための図である。ファイバアレイ光源38は、複数のLDモジュール60を備え、各LDモジュール60には第1マルチモード光ファイバ62の一端が結合されている。第1マルチモード光ファイバ62の他端には、第1マルチモード光ファイバ62よりクラッド径の小さい第2マルチモード光ファイバ64の一端が結合されている。複数の第2マルチモード光ファイバ64は束ねられ、ファイバアレイ光源38のレーザ出射部66を形成している。
図5は、LDモジュール60の構成を説明するための図である。LDモジュール60は、ヒートブロック80上に配設された発光素子であるレーザダイオードLD1〜LD10(以下、包括的に「LD」と表記する。)と、各LDに対応して配設されたコリメータレンズCOと、集光レンズ90と、第1マルチモード光ファイバ62と、を備えて構成されている。各LDを出射した発光光はコリメータレンズCOを透過して集光レンズ90によって集光される。集光された光は、第1マルチモード光ファイバ62によって合波される。合波された光は第1マルチモード光ファイバ62に結合された第2マルチモード光ファイバ64の他端から出射され、第2マルチモード光ファイバ64が束ねられて更に合波される。
尚、コリメータレンズCOを10個備えることとしたが、これらのレンズが一体化されているコリメータレンズアレイを用いてもよい。また、LDは、チップ状の横マルチモード又はシングルモードのGaN系半導体レーザ発光素子であって、発振波長が全て共通(例えば、405[nm])であり、最大出射出力も全て共通(例えば、マルチモードレーザでは100[mW]、シングルモードレーザでは30[mW])である。尚、LDとして、350[nm]〜450[nm]の波長範囲であれば、上記405[nm]以外の発振波長のLDを用いてもよい。
図3に戻り、レンズ系40は、ファイバアレイ光源38から出射したレーザ光(合波光)L1を集光する集光レンズ44と、集光レンズ44によって集光されたレーザ光L4の光路に挿入された光学フィルタF及びロッドインテグレータ46と、ロッドインテグレータ46の前方、即ちミラー42側に配置された結像レンズ48とを備えて構成されている。光学フィルタFは、レーザ光L4の一部を反射させると共に、残りのレーザ光L3を透過させる。光学フィルタFは、レーザ光L4の光量を著しく減衰しない程度の反射率を持つ。例えば、反射率RF=0.5%程度が望ましい。
光学フィルタFによって反射されたレーザ光L2の光路上には、レーザ光L2の光量を検出するための光電センサSが配設されている。光電センサSはレーザ光L2の光量を検出し、検出された光量(以下「検出光量」と表記する。)を後述する電流制御部へ出力する。
ロッドインテグレータ46は、レーザ光L3を平行光に近づけ、更にビーム断面内の強度を均一化させて出射する。
レンズ系40から出射したレーザ光は、ミラー42によって反射され、TIR(全反射)プリズム70を介してDMD36に照射される。DMD36は、画素を構成する多数のマイクロミラーが格子状に配列されてなるミラーデバイスである。DMD36は、図示していないコントローラに電気的に接続され、コントローラから出力される制御信号に従ってマイクロミラーの反射面の角度が制御される。コントローラから出力される制御信号は画像データに基づいて生成されており、マイクロミラーの反射面の角度が変化することによって画像データに基づいたレーザ光が反射され、結像光学系50に入射される。
結像光学系50は、レンズ52及び54を含む第1結像光学系と、レンズ57及び58を含む第2結像光学系と、これらの結像光学系の間に挿入されたマイクロレンズアレイ55と、アパーチャアレイ59とを備えて構成されている。更に、第2結像光学系と感光材料12との間にプリズムペア72が設置されている。プリズムペア72は、互いに接している面を面方向にずらして光軸上のガラスの厚みを変化させることで光路長を変化させるものである。これにより、感光材料12上における像のピント調節を行うことができる。
次に、発光素子駆動装置300における発光素子駆動方法について説明する。図6は、発光素子駆動装置300の電気的な構成を示すブロック図である。発光素子駆動装置300は、電流制御部100、LDと、光電センサSとを備えて構成されている。
電流制御部100には、図7に実線で示すような電流値と時間との関係が予め設定されている。図7に示すIsは、LDが安定状態のときにおける電流値である。また、図7の破線は実線で示す電流を流したときのLDの出力を示している。そして、電流制御部100は、まず、LDの点灯時はIsよりも低い電流I0で点灯し、その後、時間とともに段階的にIsまで駆動電流を立ち上げていく。具体的には、まず、電流I0で点灯し、このときのLDの光量が所定値以下なったとき電流値をI1に増加し、そして、その後、再びLDの光量が所定値以下となったとき電流値をI2に増加し、その後、同様にして段階的にIsまで立ち上げていく。図7に示す電流値I0〜I6および時刻t0〜t6は予めパラメータとして設定されるが、LDの光量が所定の範囲外になったときに、上記と同様にして更新される。LDの光量が所定の範囲外になったかどうかは、光電センサSの出力を利用するようにしてもよいし、露光面計測センサ28の出力を利用するようにしてもよい。
上記パラメータは各LD毎に別々に設定するようにしてもよいし、全てのLDに同じパラメータを与えるようにしてもよい。
10 露光装置
30 露光ヘッド
44 集光レンズ
F 光学フィルタ
46 ロッドインテグレータ
48 結像レンズ
42 ミラー
36 DMD
300 発光素子駆動装置
38 ファイバアレイ光源
S 光電センサ
60 LDモジュール
LD レーザダイオード
62 第1マルチモード光ファイバ
64 第2マルチモード光ファイバ
30 露光ヘッド
44 集光レンズ
F 光学フィルタ
46 ロッドインテグレータ
48 結像レンズ
42 ミラー
36 DMD
300 発光素子駆動装置
38 ファイバアレイ光源
S 光電センサ
60 LDモジュール
LD レーザダイオード
62 第1マルチモード光ファイバ
64 第2マルチモード光ファイバ
Claims (4)
- 駆動電流を流すことによって発光する発光素子の駆動方法において、
前記発光素子の光量が一定となるように前記駆動電流を段階的に立ち上げることを特徴とする発光素子駆動方法。 - 前記発光素子から発せられた光を検出し、
該検出された光の光量が所定の範囲外となった際、前記駆動電流の段階的な立ち上げを更新することを特徴とする請求項1記載の発光素子駆動方法。 - 駆動電流を流すことによって発光する発光素子と、
該発光素子の光量が一定となるように前記駆動電流を段階的に立ち上げて前記発光素子に流す電流制御部とを備えたことを特徴とする発光素子駆動装置。 - 前記発光素子から発せられた光を検出する光検出部を有し、
前記電流制御部が、該光検出部により検出された光の光量が所定の範囲外となった際、前記駆動電流の段階的な立ち上げを更新するものであることを特徴とする請求項3記載の発光素子駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006262445A JP2008085038A (ja) | 2006-09-27 | 2006-09-27 | 発光素子駆動方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006262445A JP2008085038A (ja) | 2006-09-27 | 2006-09-27 | 発光素子駆動方法および装置 |
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JP2008085038A true JP2008085038A (ja) | 2008-04-10 |
Family
ID=39355587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006262445A Withdrawn JP2008085038A (ja) | 2006-09-27 | 2006-09-27 | 発光素子駆動方法および装置 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008250037A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Mitsubishi Electric Corp | 画像表示装置および表示制御装置 |
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JP2013156444A (ja) * | 2012-01-30 | 2013-08-15 | Casio Comput Co Ltd | 投影装置、投影方法及びプログラム |
JP2017175030A (ja) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | 古河電気工業株式会社 | 光源制御方法および光源制御装置 |
-
2006
- 2006-09-27 JP JP2006262445A patent/JP2008085038A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
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A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20091201 |