JP2008083668A - フォトレジスト下層膜材料、フォトレジスト下層膜基板及びパターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
リソグラフィーで用いられるフォトレジスト下層膜材料であって、少なくとも下記一般式(1)で示されるアルコキシシランの縮合物と、下記一般式(2)で示される繰り返し単位を有する高分子化合物とを添加してなるフォトレジスト下層膜材料。
請求項2:
一般式(2)で示される珪素含有の繰り返し単位が、下記一般式(3)の(b−1)〜(b−3)から選ばれる請求項1記載のフォトレジスト下層膜材料。
請求項3:
高分子化合物が、一般式(2)で示される珪素含有の繰り返し単位に加えて、ヒドロキシ基、カルボキシル基、エポキシ基、オキセタン基から選ばれる架橋性基を有する繰り返し単位を含むことを特徴とする請求項1又は2記載のフォトレジスト下層膜材料。
請求項4:
一般式(1)で示されるアルコキシシランに加えて光吸収基を有するアルコキシシランを共縮合した重合体を含むものであることを特徴とする請求項1,2又は3記載のフォトレジスト下層膜材料。
請求項5:
前記光吸収基が、芳香族系の基又はSi−Si結合を有する基であることを特徴とする請求項4記載のフォトレジスト下層膜材料。
請求項6:
更に、有機溶剤及び/又は酸発生剤を含有するものであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のフォトレジスト下層膜材料。
請求項7:
更に、架橋剤を含有するものであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載のフォトレジスト下層膜材料。
請求項8:
基板上に請求項1乃至7のいずれか1項に記載のフォトレジスト下層膜材料を塗布し、ベークすることによって、一般式(1)で示されるアルコキシシランの縮合物が下層側に、一般式(2)で示される繰り返し単位を有する高分子化合物が表面側に配向した層が形成されてなることを特徴とするフォトレジスト下層膜基板。
請求項9:
リソグラフィーにより基板にパターンを形成する方法であって、基板上に請求項1乃至7のいずれか1項に記載のフォトレジスト下層膜材料を塗布し、ベークしてフォトレジスト下層膜を形成し、該フォトレジスト下層膜上にフォトレジスト膜材料を塗布し、プリベークしてフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜のパターン回路領域を露光した後、現像液で現像してフォトレジスト膜にレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成されたフォトレジスト膜をマスクにしてフォトレジスト下層膜及び基板をエッチングして基板にパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。
請求項10:
リソグラフィーにより基板にパターンを形成する方法であって、基板上に請求項1乃至7のいずれか1項に記載のフォトレジスト下層膜材料を塗布し、ベークしてフォトレジスト下層膜を形成し、該フォトレジスト下層膜上にフォトレジスト膜材料を塗布し、プリベークしてフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜のパターン回路領域を露光した後、現像液で現像してフォトレジスト膜にレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成されたフォトレジスト膜をマスクにしてフォトレジスト下層膜をエッチングし、更にパターンが形成されたフォトレジスト下層膜をマスクにして基板をエッチングして基板にパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。
請求項11:
リソグラフィーにより基板にパターンを形成する方法であって、基板上に有機膜を形成し、該有機膜の上に請求項1乃至7のいずれか1項に記載のフォトレジスト下層膜材料を塗布し、ベークしてフォトレジスト下層膜を形成し、該フォトレジスト下層膜上にフォトレジスト膜材料を塗布し、プリベークしてフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜のパターン回路領域を露光した後、現像液で現像してフォトレジスト膜にレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成されたフォトレジスト膜をマスクにしてフォトレジスト下層膜をエッチングし、パターンが形成されたフォトレジスト下層膜をマスクにして有機膜をエッチングし、更に基板をエッチングして基板にパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。
R2は水素原子、メチル基、−CH2C(=O)−O−R3、又は―CH2−O−R4である。R3は水素原子、又は炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、R4は水素原子、炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、又は炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアシル基であり、R5は炭素数3〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキレン基であり、R6は少なくとも1個以上の珪素原子を有する有機基である。Xは−O−、−C(=O)−O−、又は−C(=O)−NR−である。Rは水素原子、又は炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基である。
その後、触媒の中和反応を行い、有機溶媒層を分別し脱水する。水分の残存は、残存したシラノールの縮合反応を進行させるため、十分に行う必要がある。硫酸マグネシウム等の塩やモレキュラーシーブによる吸着法や、溶媒を除去しながらの共沸脱水法が好ましく挙げられる。
i.下記一般式(P1a−1)、(P1a−2)、(P1a−3)又は(P1b)のオニウム塩、
ii.下記一般式(P2)のジアゾメタン誘導体、
iii.下記一般式(P3)のグリオキシム誘導体、
iv.下記一般式(P4)のビススルホン誘導体、
v.下記一般式(P5)のN−ヒドロキシイミド化合物のスルホン酸エステル、
vi.β−ケトスルホン酸誘導体、
vii.ジスルホン誘導体、
viii.ニトロベンジルスルホネート誘導体、
ix.スルホン酸エステル誘導体
等が挙げられる。
オニウム塩としては、例えばトリフルオロメタンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、ノナフルオロブタンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、ノナフルオロブタンスルホン酸トリエチルアンモニウム、ノナフルオロブタンスルホン酸ピリジニウム、カンファースルホン酸トリエチルアンモニウム、カンファースルホン酸ピリジニウム、ノナフルオロブタンスルホン酸テトラn−ブチルアンモニウム、ノナフルオロブタンスルホン酸テトラフェニルアンモニウム、p−トルエンスルホン酸テトラメチルアンモニウム、トリフルオロメタンスルホン酸ジフェニルヨードニウム、トリフルオロメタンスルホン酸(p−tert−ブトキシフェニル)フェニルヨードニウム、p−トルエンスルホン酸ジフェニルヨードニウム、p−トルエンスルホン酸(p−tert−ブトキシフェニル)フェニルヨードニウム、トリフルオロメタンスルホン酸トリフェニルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸(p−tert−ブトキシフェニル)ジフェニルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸ビス(p−tert−ブトキシフェニル)フェニルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸トリス(p−tert−ブトキシフェニル)スルホニウム、p−トルエンスルホン酸トリフェニルスルホニウム、p−トルエンスルホン酸(p−tert−ブトキシフェニル)ジフェニルスルホニウム、p−トルエンスルホン酸ビス(p−tert−ブトキシフェニル)フェニルスルホニウム、p−トルエンスルホン酸トリス(p−tert−ブトキシフェニル)スルホニウム、ノナフルオロブタンスルホン酸トリフェニルスルホニウム、ブタンスルホン酸トリフェニルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸トリメチルスルホニウム、p−トルエンスルホン酸トリメチルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸シクロヘキシルメチル(2−オキソシクロヘキシル)スルホニウム、p−トルエンスルホン酸シクロヘキシルメチル(2−オキソシクロヘキシル)スルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸ジメチルフェニルスルホニウム、p−トルエンスルホン酸ジメチルフェニルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸ジシクロヘキシルフェニルスルホニウム、p−トルエンスルホン酸ジシクロヘキシルフェニルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸トリナフチルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸(2−ノルボニル)メチル(2−オキソシクロヘキシル)スルホニウム、エチレンビス[メチル(2−オキソシクロペンチル)スルホニウムトリフルオロメタンスルホナート]、1,2’−ナフチルカルボニルメチルテトラヒドロチオフェニウムトリフレート、トリエチルアンモニウムノナフレート、トリブチルアンモニウムノナフレート、テトラエチルアンモニウムノナフレート、テトラブチルアンモニウムノナフレート、トリエチルアンモニウムビス(トリフルオロメチルスルホニル)イミド、トリエチルアンモニウムトリス(パーフルオロエチルスルホニル)メチド等のオニウム塩を挙げることができる。
(1)基板上にフォトレジスト下層膜材料を塗布し、ベークしてフォトレジスト下層膜を形成し、該フォトレジスト下層膜上にフォトレジスト膜材料を塗布し、プリベークしてフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜のパターン回路領域を露光した後、現像液で現像してフォトレジスト膜にレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成されたフォトレジスト膜をマスクにしてフォトレジスト下層膜及び基板をエッチングして基板にパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。
(2)基板上にフォトレジスト下層膜材料を塗布し、ベークしてフォトレジスト下層膜を形成し、該フォトレジスト下層膜上にフォトレジスト膜材料を塗布し、プリベークしてフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜のパターン回路領域を露光した後、現像液で現像してフォトレジスト膜にレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成されたフォトレジスト膜をマスクにしてフォトレジスト下層膜をエッチングし、更にパターンが形成されたフォトレジスト下層膜をマスクにして基板をエッチングして基板にパターンを形成する方法。
(3)基板上に有機膜を形成し、該有機膜の上にフォトレジスト下層膜材料を塗布し、ベークしてフォトレジスト下層膜を形成し、該フォトレジスト下層膜上にフォトレジスト膜材料を塗布し、プリベークしてフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜のパターン回路領域を露光した後、現像液で現像してフォトレジスト膜にレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成されたフォトレジスト膜をマスクにしてフォトレジスト下層膜をエッチングし、パターンが形成されたフォトレジスト下層膜をマスクにして有機膜をエッチングし、更に基板をエッチングして基板にパターンを形成する方法
が挙げられる。
基板22上に有機膜23をスピンコート法等で形成する。この有機膜23は、基板22をエッチングするときのマスクとして作用するので、エッチング耐性が高いことが望ましく、上層の珪素含有フォトレジスト下層膜20とミキシングしないことが求められるので、スピンコート等で塗布した後に熱あるいは酸によって架橋することが望ましい。また、CVDによって形成されるアモルファスカーボン膜を下層膜として適用することもできる。この有機膜23の上に本発明のフォトレジスト下層膜材料から形成するフォトレジスト下層膜20、フォトレジスト膜21を前記方法と同様の方法で作製する。その後、パターン回路領域の露光、現像液での現像によってレジストパターンを得る(図2(a))。
また、有機膜としては、クレゾールノボラック、ナフトールノボラック、クレゾールジシクロペンタジエンノボラック、ナフトールジシクロペンタジエンノボラック、フルオレンビスフェノールノボラック、アモルファスカーボン、ポリヒドロキシスチレン、インデン樹脂、アセナフチレン樹脂、ノルトリシクレン樹脂、(メタ)アクリレート樹脂、ポリイミド、ポリスルフォン等、及びこれらの共重合樹脂やポリマーブレンドが挙げられる。
メタノール60g、イオン交換水200g、メタンスルホン酸1gを1000mlガラスフラスコに仕込み、テトラエトキシシラン83.2g及びフェニルトリメトキシシラン19.8gの混合物を室温で加えた。そのまま、8時間室温で加水分解縮合させた後、メタノール及び副生エタノールを減圧で留去した。そこに、メチルイソブチルケトン800ml及びプロピレングリコールモノプロピルエーテル300mlを加え、水層を分液した。残った有機層をイオン交換水100mlで洗浄し分液した。これを3回繰り返して加水分解縮合に使用した触媒を完全に除去した。残った有機層にプロピレングリコールモノプロピルエーテルを200ml加えて、減圧で濃縮して珪素含有ポリマーのプロピレングリコールモノプロピルエーテル300g(ポリマー濃度18.9%、SOG−1)を得た。このもののポリスチレン換算分子量を測定したところMw=2,000であり、C13−NMRによって共重合比(モル比、以下同様)を下記の通りに求めた。
共重合比 (a−1):(a−2)=0.8:0.2
メタノール60g、イオン交換水200g、メタンスルホン酸1gを1000mlガラスフラスコに仕込み、テトラエトキシシラン72.8g、及びトリス(トリメチルシリル)シリルエチルトリメトキシシラン59.4gの混合物を室温で加えた。そのまま、8時間室温で加水分解縮合させた後、メタノール及び副生エタノールを減圧で留去した。そこに、メチルイソブチルケトン800ml及びプロピレングリコールモノプロピルエーテル300mlを加え、水層を分液した。残った有機層をイオン交換水100mlで洗浄し分液した。これを3回繰り返して加水分解縮合に使用した触媒を完全に除去した。残った有機層にプロピレングリコールモノプロピルエーテルを200ml加えて、減圧で濃縮して珪素含有ポリマーのプロピレングリコールモノプロピルエーテル300g(ポリマー濃度20.9%、SOG−2)を得た。このもののポリスチレン換算分子量を測定したところMw=2,200であり、C13−NMRによって共重合比を下記の通りに求めた。
共重合比 (a−1):(a−2)=0.7:0.3
メタノール60g、イオン交換水200g、メタンスルホン酸1gを1000mlガラスフラスコに仕込み、テトラエトキシシラン62.4g、フェニルトリメトキシシラン9.9g、メチルトリメトキシシラン20.4gの混合物を室温で加えた。そのまま、8時間室温で加水分解縮合させた後、メタノール及び副生エタノールを減圧で留去した。そこに、メチルイソブチルケトン800ml及びプロピレングリコールモノプロピルエーテル300mlを加え、水層を分液した。残った有機層をイオン交換水100mlで洗浄し分液した。これを3回繰り返して加水分解縮合に使用した触媒を完全に除去した。残った有機層にプロピレングリコールモノプロピルエーテルを200ml加えて、減圧で濃縮して珪素含有ポリマーのプロピレングリコールモノプロピルエーテル300g(ポリマー濃度19.3%、SOG−3)を得た。このもののポリスチレン換算分子量を測定したところMw=2,100であり、C13−NMRによって共重合比を下記の通りに求めた。
共重合比 (a−1):(a−2):(a−4)=0.6:0.1:0.3
テトラヒドロフラン200g、純水100gにテトラエトキシシラン72.9g、フェニルトリメトキシシラン9.9g、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン24.6gとフェニルトリメトキシシラン19.8gを溶解させ液温を35℃にし、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドを1.7g添加し、その後60℃に昇温し、シラノールの縮合反応を行った。
前記反応液にジエチルエーテル200gを加え水層を分別し、有機液層1%の酢酸とを超純水で2回洗浄、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)を200g加え、液温を60℃に加熱しながらの減圧下にTHF、ジエチルエーテル水を除去し、珪素含有ポリマーのPGMEA溶液300g(ポリマー濃度19.3%、SOG−4)を得た。
共重合比 (a−1):(a−2):(a−3)=0.7:0.1:0.2
200mLのフラスコ中でメタクリル酸7.8gとメタクリル酸 3−(3,5,7,9,11,13,15−ヘプタイソブチルペンタシクロ[9.5.1.13,9.15,15.17,13]オクタシロキサン−1−イル)プロピル9.4gをTHF100mlに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開始剤AIBNを1.2g仕込んだ後、60℃まで昇温して24時間重合反応を行った。
このようにして得られた白色重合体(メタクリル酸とメタクリル酸 3−(3,5,7,9,11,13,15−ヘプタイソブチルペンタシクロ[9.5.1.13,9.15,15.17,13]オクタシロキサン−1−イル)プロピルとの重合体)は、光散乱法により重量平均分子量が9,100/molであり、GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.98の重合体であることが確認できた。更に、1HNMRを測定することにより、ポリマー中にほぼ0.9:0.1の割合(モル比、以下同様)で含まれていることが確認できた(ポリマー1)。
200mLのフラスコ中でメタクリル酸4.4gとメタクリル酸2,3−エポキシプロピル5.7gとメタクリル酸 3−(3,5,7,9,11,13,15−ヘプタイソブチルペンタシクロ[9.5.1.13,9.15,15.17,13]オクタシロキサン−1−イル)プロピル9.4gをTHF100mlに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開始剤AIBNを1.2g仕込んだ後、60℃まで昇温して24時間重合反応を行った。
このようにして得られた白色重合体(メタクリル酸とメタクリル酸2,3−エポキシプロピルとメタクリル酸 3−(3,5,7,9,11,13,15−ヘプタイソブチルペンタシクロ[9.5.1.13,9.15,15.17,13]オクタシロキサン−1−イル)プロピルとの重合体は、光散乱法により重量平均分子量が8,600/molであり、GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.77の重合体であることが確認できた。更に、1HNMRを測定することにより、ポリマー中にほぼ0.5:0.4:0.1の割合で含まれていることが確認できた(ポリマー2)。
200mLのフラスコ中でメタクリル酸3.5gとメタクリル酸2,3−エポキシプロピル5.7gと下記に示すSiモノマー1の8.2gをTHF100mlに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開始剤AIBNを1.2gを仕込んだ後、60℃まで昇温して24時間重合反応を行った。
このようにして得られた白色重合体(メタクリル酸とメタクリル酸2,3−エポキシプロピルとSiモノマー1との重合体)は、光散乱法により重量平均分子量が8,500/molであり、GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.82の重合体であることが確認できた。更に、1HNMRを測定することにより、ポリマー中にほぼ0.4:0.4:0.2の割合で含まれていることが確認できた(ポリマー3)。
200mLのフラスコ中でメタクリル酸3.5gとメタクリル酸2,3−エポキシプロピル5.7gとメタクリル酸 3−[トリス(トリメチルシロキシ)シリル]プロピル8.4gをTHF100mlに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開始剤AIBNを1.2g仕込んだ後、60℃まで昇温して24時間重合反応を行った。
このようにして得られた白色重合体(メタクリル酸とメタクリル酸2,3−エポキシプロピルとメタクリル酸 3−[トリス(トリメチルシロキシ)シリル]プロピルとの重合体)は、光散乱法により重量平均分子量が8,100/molであり、GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.68の重合体であることが確認できた。更に、1HNMRを測定することにより、ポリマー中にほぼ0.4:0.4:0.2の割合で含まれていることが確認できた(ポリマー4)。
200mLのフラスコ中でメタクリル酸3.5gとメタクリル酸2,3−エポキシプロピル5.7gとメタクリル酸3−トリス(トリメチルシリル)シリルプロピル7.5gをTHF100mlに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開始剤AIBNを1.2g仕込んだ後、60℃まで昇温して24時間重合反応を行った。
このようにして得られた白色重合体(メタクリル酸とメタクリル酸2,3−エポキシプロピルとメタクリル酸3−トリス(トリメチルシリル)シリルプロピルとの重合体)は、光散乱法により重量平均分子量が7,100/molであり、GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.65の重合体であることが確認できた。更に、1HNMRを測定することにより、ポリマー中にほぼ0.4:0.4:0.2の割合で含まれていることが確認できた(ポリマー5)。
200mLのフラスコ中でメタクリル酸6.1gとメタクリル酸γブチロラクトン3.4gとメタクリル酸 3−(3,5,7,9,11,13,15−ヘプタイソブチルペンタシクロ[9.5.1.13,9.15,15.17,13]オクタシロキサン−1−イル)プロピル9.4gをTHF100mlに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開始剤AIBNを1.2g仕込んだ後、60℃まで昇温して24時間重合反応を行った。
このようにして得られた白色重合体(メタクリル酸とメタクリル酸γブチロラクトンとメタクリル酸 3−(3,5,7,9,11,13,15−ヘプタイソブチルペンタシクロ[9.5.1.13,9.15,15.17,13]オクタシロキサン−1−イル)プロピルとの重合体)は、光散乱法により重量平均分子量が8,200/molであり、GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.77の重合体であることが確認できた。更に、1HNMRを測定することにより、ポリマー中にほぼ0.7:0.2:0.1の割合で含まれていることが確認できた(ポリマー6)。
200mLのフラスコ中でメタクリル酸6.1gと4−ヒドロキシスチレン2.4gとメタクリル酸 3−(3,5,7,9,11,13,15−ヘプタイソブチルペンタシクロ[9.5.1.13,9.15,15.17,13]オクタシロキサン−1−イル)プロピル9.4gをTHF100mlに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開始剤AIBNを1.2gを仕込んだ後、60℃まで昇温して24時間重合反応を行った。
このようにして得られた白色重合体(メタクリル酸と4−ヒドロキシスチレンとメタクリル酸 3−(3,5,7,9,11,13,15−ヘプタイソブチルペンタシクロ[9.5.1.13,9.15,15.17,13]オクタシロキサン−1−イル)プロピルとの重合体は、光散乱法により重量平均分子量が9,500/molであり、GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.77の重合体であることが確認できた。更に、1HNMRを測定することにより、ポリマー中にほぼ0.7:0.2:0.1の割合で含まれていることが確認できた(ポリマー7)。
200mLのフラスコ中でアクリル酸αヒドロキシメチル9.2gとメタクリル酸 3−(3,5,7,9,11,13,15−ヘプタイソブチルペンタシクロ[9.5.1.13,9.15,15.17,13]オクタシロキサン−1−イル)プロピル9.4gをTHF100mlに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開始剤AIBNを1.2g仕込んだ後、60℃まで昇温して24時間重合反応を行った。
このようにして得られた白色重合体(アクリル酸αヒドロキシメチルとメタクリル酸 3−(3,5,7,9,11,13,15−ヘプタイソブチルペンタシクロ[9.5.1.13,9.15,15.17,13]オクタシロキサン−1−イル)プロピルとの重合体)は、光散乱法により重量平均分子量が8,500/molであり、GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.77の重合体であることが確認できた。更に、1HNMRを測定することにより、ポリマー中にほぼ0.9:0.1の割合で含まれていることが確認できた(ポリマー8)。
200mLのフラスコ中でメタクリル酸3.5gとメタクリル酸2,3−エポキシプロピル5.7gとメタクリル酸3−トリス(トリメチルシリル)シリルエチル7.0gをTHF100mlに溶解させ、十分に系中の酸素を除去した後、開始剤AIBNを1.2g仕込んだ後、60℃まで昇温して24時間重合反応を行った。
このようにして得られた白色重合体(メタクリル酸とメタクリル酸2,3−エポキシプロピルとメタクリル酸3−トリス(トリメチルシリル)シリルエチルとの重合体)は、光散乱法により重量平均分子量が7,600/molであり、GPC溶出曲線より分散度(=Mw/Mn)が1.68の重合体であることが確認できた。更に、1HNMRを測定することにより、ポリマー中にほぼ0.4:0.4:0.2の割合で含まれていることが確認できた(ポリマー9)。
次に、上記合成例で得たSOG−1〜SOG−4、ポリマー1〜9を用い、表1に示す組成でフォトレジスト下層膜を作製した。
比較例としては、表2に示す組成でフォトレジスト下層膜を作製した。
なお、SOG−1〜SOG−4の添加量は、溶媒を除く固形分に換算した値を用いた。
フォトレジスト下層膜材料をSi基板上にスピンコートし、100℃で60秒、次いで250℃で60秒間ベークし、厚さ40nmのフォトレジスト下層膜を作製した。
J.A.ウーラム社の入射角度可変の分光エリプソメーター(VASE)で波長193nmにおけるUDL−1〜17、SOG1、比較例UDL−1〜12の屈折率(n,k)を求め、その結果を表1,2に示した。
表3に示す組成でFC−430(住友スリーエム社製)0.1質量%を含む有機溶剤中に溶解させ、0.1μmのフッ素樹脂製のフィルターで濾過することによって有機下層膜溶液を調製した。
フォトレジスト膜材料のベース樹脂としてラジカル重合によって得られた下記重合体を準備した。
チャンバー圧力 60.0Pa
RFパワー 600W
Arガス流量 40ml/min
O2ガス流量 60ml/min
ギャップ 9mm
時間 20sec
結果は表6に示す通りである。
21 フォトレジスト膜
22 基板
22a 被加工層
22b 下地層
23 有機膜
Claims (11)
- リソグラフィーで用いられるフォトレジスト下層膜材料であって、少なくとも下記一般式(1)で示されるアルコキシシランの縮合物と、下記一般式(2)で示される繰り返し単位を有する高分子化合物とを添加してなるフォトレジスト下層膜材料。
- 一般式(2)で示される珪素含有の繰り返し単位が、下記一般式(3)の(b−1)〜(b−3)から選ばれる請求項1記載のフォトレジスト下層膜材料。
- 高分子化合物が、一般式(2)で示される珪素含有の繰り返し単位に加えて、ヒドロキシ基、カルボキシル基、エポキシ基、オキセタン基から選ばれる架橋性基を有する繰り返し単位を含むことを特徴とする請求項1又は2記載のフォトレジスト下層膜材料。
- 一般式(1)で示されるアルコキシシランに加えて光吸収基を有するアルコキシシランを共縮合した重合体を含むものであることを特徴とする請求項1,2又は3記載のフォトレジスト下層膜材料。
- 前記光吸収基が、芳香族系の基又はSi−Si結合を有する基であることを特徴とする請求項4記載のフォトレジスト下層膜材料。
- 更に、有機溶剤及び/又は酸発生剤を含有するものであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のフォトレジスト下層膜材料。
- 更に、架橋剤を含有するものであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載のフォトレジスト下層膜材料。
- 基板上に請求項1乃至7のいずれか1項に記載のフォトレジスト下層膜材料を塗布し、ベークすることによって、一般式(1)で示されるアルコキシシランの縮合物が下層側に、一般式(2)で示される繰り返し単位を有する高分子化合物が表面側に配向した層が形成されてなることを特徴とするフォトレジスト下層膜基板。
- リソグラフィーにより基板にパターンを形成する方法であって、基板上に請求項1乃至7のいずれか1項に記載のフォトレジスト下層膜材料を塗布し、ベークしてフォトレジスト下層膜を形成し、該フォトレジスト下層膜上にフォトレジスト膜材料を塗布し、プリベークしてフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜のパターン回路領域を露光した後、現像液で現像してフォトレジスト膜にレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成されたフォトレジスト膜をマスクにしてフォトレジスト下層膜及び基板をエッチングして基板にパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。
- リソグラフィーにより基板にパターンを形成する方法であって、基板上に請求項1乃至7のいずれか1項に記載のフォトレジスト下層膜材料を塗布し、ベークしてフォトレジスト下層膜を形成し、該フォトレジスト下層膜上にフォトレジスト膜材料を塗布し、プリベークしてフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜のパターン回路領域を露光した後、現像液で現像してフォトレジスト膜にレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成されたフォトレジスト膜をマスクにしてフォトレジスト下層膜をエッチングし、更にパターンが形成されたフォトレジスト下層膜をマスクにして基板をエッチングして基板にパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。
- リソグラフィーにより基板にパターンを形成する方法であって、基板上に有機膜を形成し、該有機膜の上に請求項1乃至7のいずれか1項に記載のフォトレジスト下層膜材料を塗布し、ベークしてフォトレジスト下層膜を形成し、該フォトレジスト下層膜上にフォトレジスト膜材料を塗布し、プリベークしてフォトレジスト膜を形成し、該フォトレジスト膜のパターン回路領域を露光した後、現像液で現像してフォトレジスト膜にレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成されたフォトレジスト膜をマスクにしてフォトレジスト下層膜をエッチングし、パターンが形成されたフォトレジスト下層膜をマスクにして有機膜をエッチングし、更に基板をエッチングして基板にパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。
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