JP2008078407A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5024518B2 (ja) * 2006-09-21 2012-09-12 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに画像記録装置
JP2013161800A (ja) * 2012-02-01 2013-08-19 Seiko Epson Corp 圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置
CN112768599B (zh) * 2019-11-04 2025-07-15 科际精密股份有限公司 致动器
JP7516854B2 (ja) 2020-05-20 2024-07-17 セイコーエプソン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
JP7567325B2 (ja) 2020-09-29 2024-10-16 セイコーエプソン株式会社 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置
JP7533078B2 (ja) 2020-09-29 2024-08-14 セイコーエプソン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、アクチュエーター
JP7626975B2 (ja) 2021-03-30 2025-02-05 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
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JP2022175224A (ja) 2021-05-13 2022-11-25 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置および圧電デバイスの製造方法
JP7639541B2 (ja) 2021-05-13 2025-03-05 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置および圧電デバイスの製造方法
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Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3890634B2 (ja) * 1995-09-19 2007-03-07 セイコーエプソン株式会社 圧電体薄膜素子及びインクジェット式記録ヘッド
JP3481511B2 (ja) * 1999-07-08 2003-12-22 日本碍子株式会社 電極構造物
JP2005249645A (ja) * 2004-03-05 2005-09-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサおよびその製造方法
JP5251031B2 (ja) * 2006-09-08 2013-07-31 セイコーエプソン株式会社 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、センサー
JP4501917B2 (ja) * 2006-09-21 2010-07-14 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド
JP5024518B2 (ja) * 2006-09-21 2012-09-12 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに画像記録装置

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