JP2008078042A - イオン源電極及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱膨張係数の小さい耐熱材料からなる平板1と冷却孔となる冷却溝2を設けた溝付き平板3とを接合した構造のイオン源電極において、平板1と溝付き平板3との接合面及び溝付き平板の溝2内部にこれらの平板と反応性の良い耐食性に優れた金属からなるバリヤ9,10を形成し、これら平板及び溝付き平板の接合面をバリヤ9,10を介して接合して一体化したものである。
【選択図】 図1
Description
Claims (5)
- 熱膨張係数の小さい耐熱材料からなる平板と冷却孔となる冷却溝を設けた溝付き平板とを接合した構造のイオン源電極において、
前記平板と前記溝付き平板との接合面及び溝付き平板の溝内部にこれらの平板と反応性の良い耐食性に優れた金属からなるバリヤを形成し、これら平板及び溝付き平板の接合面を前記バリヤを介して接合して一体化したことを特徴とするイオン源電極。 - 請求項1記載のイオン源電極において、
前記平板及び溝付き平板は、モリブデンまたはタンタルのいずれかを主成分とする材料で構成され、
前記平板及び溝付き平板の接合面及び溝内部に形成した金属からなるバリヤは、金ろうあるいはニッケルろう、またはチタン入り銀ろうなど、ろう材を主成分として形成されることを特徴とするイオン源電極。 - 冷却孔を有するイオン源電極において、
熱膨張係数が小さく、かつ耐熱性に優れた金属と耐食性に優れた金属とを2層に組合せた2枚のクラッド材を用いて、平板と前記耐熱性に優れた金属部に冷却溝を設けた溝付き平板とを構成し、これら平板及び溝付き平板を接合して一体化したことを特徴とするイオン源電極。 - モリブデンに代表される熱膨張係数の小さい材料からなる平板及び溝付きの平板を接合する前に、平板及び溝付きの平板の接合面並びに溝付きの平板の溝内面に耐食性の高い金属によりバリヤを施し、その後平板及び溝付き平板を接合して一体化することを特徴とするイオン源電極の製造方法。
- 熱膨張係数の小さい金属と純水に対して耐食性の高い金属とを真空中で圧延したクラッド材からなる2枚の平板を用い、その一方の平板に耐食性に優れた金属の厚み以下の溝加工を施して溝付き平板とし、これら平板及び溝付き平板を真空炉中または雰囲気ガス中で接合して一体化することを特徴とするイオン電極の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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JP2008078042A true JP2008078042A (ja) | 2008-04-03 |
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JP2006257748A Expired - Fee Related JP5019200B2 (ja) | 2006-09-22 | 2006-09-22 | イオン源電極 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP5019200B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009119273A1 (ja) | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 旭硝子株式会社 | 導電体およびその製造方法 |
JP2011076937A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Toshiba Corp | イオン源用電極 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03129638A (ja) * | 1989-10-16 | 1991-06-03 | Toshiba Corp | イオン加速電極板の製造方法 |
JPH0529093A (ja) * | 1991-07-25 | 1993-02-05 | Toshiba Corp | イオン加速電極板およびその製造方法 |
JPH0586453A (ja) * | 1991-01-09 | 1993-04-06 | Nkk Corp | 高い密着強度を有する溶射皮膜が被覆された物品およびその製造方法 |
JPH05220584A (ja) * | 1992-02-15 | 1993-08-31 | Daido Steel Co Ltd | 金属部材の接合方法およびその接合用部材 |
JPH05226527A (ja) * | 1992-02-14 | 1993-09-03 | Toshiba Corp | ヒートシンクおよびそれを用いた半導体モジュール |
JP2000074576A (ja) * | 1998-08-28 | 2000-03-14 | Aisin Seiki Co Ltd | 熱交換器 |
JP2000294123A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Toshiba Corp | イオン源電極板の製造方法 |
JP2001281398A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Toshiba Corp | イオン源電極 |
JP2004017480A (ja) * | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Toyo Kohan Co Ltd | メタル接合体およびメタル接合体を用いた部品 |
-
2006
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03129638A (ja) * | 1989-10-16 | 1991-06-03 | Toshiba Corp | イオン加速電極板の製造方法 |
JPH0586453A (ja) * | 1991-01-09 | 1993-04-06 | Nkk Corp | 高い密着強度を有する溶射皮膜が被覆された物品およびその製造方法 |
JPH0529093A (ja) * | 1991-07-25 | 1993-02-05 | Toshiba Corp | イオン加速電極板およびその製造方法 |
JPH05226527A (ja) * | 1992-02-14 | 1993-09-03 | Toshiba Corp | ヒートシンクおよびそれを用いた半導体モジュール |
JPH05220584A (ja) * | 1992-02-15 | 1993-08-31 | Daido Steel Co Ltd | 金属部材の接合方法およびその接合用部材 |
JP2000074576A (ja) * | 1998-08-28 | 2000-03-14 | Aisin Seiki Co Ltd | 熱交換器 |
JP2000294123A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Toshiba Corp | イオン源電極板の製造方法 |
JP2001281398A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Toshiba Corp | イオン源電極 |
JP2004017480A (ja) * | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Toyo Kohan Co Ltd | メタル接合体およびメタル接合体を用いた部品 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009119273A1 (ja) | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 旭硝子株式会社 | 導電体およびその製造方法 |
JP2011076937A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Toshiba Corp | イオン源用電極 |
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Publication number | Publication date |
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