JP2008076259A - 電気機械変換器 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来の電気機械変換器は、可動部周囲のリング部からカバー部材を接着するための接着部材が進入し、可動部の動作不良やカバー部材の気密不良などを引き起こしていた。
【解決手段】可動部にX方向とY方向とを定義したとき、その可動部を覆うカバー部材のX方向の幅は、枠部のY方向の幅よりも狭くする。そしてこのカバー部材は、Y方向の枠部との間に第1の接着剤を介して接続しており、カバー部材のX方向側端面と枠部の上面または側端面とは、第2の接着剤を介して接続している。このように、カバー部材と枠部との接着部材を2箇所に分けてそれぞれ適する部分に分けることによって、可動部への接着部材の進入を防止する。
【選択図】図1
【解決手段】可動部にX方向とY方向とを定義したとき、その可動部を覆うカバー部材のX方向の幅は、枠部のY方向の幅よりも狭くする。そしてこのカバー部材は、Y方向の枠部との間に第1の接着剤を介して接続しており、カバー部材のX方向側端面と枠部の上面または側端面とは、第2の接着剤を介して接続している。このように、カバー部材と枠部との接着部材を2箇所に分けてそれぞれ適する部分に分けることによって、可動部への接着部材の進入を防止する。
【選択図】図1
Description
本発明は、被測定体に加わる二次元または三次元方向の加速度や傾斜角を検出し、これを電気的信号に変換する電気機械変換器に関し、特に携帯型電子機器などに搭載が可能な小型の電気機械変換器に関する。
電子機器やロボットなどの技術革新に伴って、二次元または三次元方向の加速度を検出する電気機械変換器に対する需要が高まっている。従来は、一次元方向ごとの加速度を検出する電気機械変換器を複数用いていたが、昨今の技術革新に伴って、三次元方向の加速度成分を1つの電気機械変換器によって検出する構成が提案されている。
近年は、小型電子機器または携帯型電子機器へ電気機械変換器を搭載する場合が多く、このため、特にその形状を小型化した電気機械変換器が多く提供されており、そのための技術も多くの提案を見るものである(例えば、特許文献1参照。)。
近年は、小型電子機器または携帯型電子機器へ電気機械変換器を搭載する場合が多く、このため、特にその形状を小型化した電気機械変換器が多く提供されており、そのための技術も多くの提案を見るものである(例えば、特許文献1参照。)。
特許文献1に示した従来技術の構成と機能について図面を用いて説明する。図3は特許文献1に示した従来技術を説明しやすいようにその趣旨を逸脱しない範囲で書き直した平面図である。
図3において、101は枠部、102は開口部、103は錘部、104は梁部、105はリング部、106は蓋部、107はパッド電極、108は配線部、109は外部端子、110は電気機械変換器である。
図3において、101は枠部、102は開口部、103は錘部、104は梁部、105はリング部、106は蓋部、107はパッド電極、108は配線部、109は外部端子、110は電気機械変換器である。
電気機械変換器110は、枠部101,開口部102,錘部103を有し、錘部103は、肉薄で可撓性の梁部104を介して開口部102中に懸架されている。梁部104は、錘部103が加速度などを受けると変形するので図示しないピエゾ抵抗などを梁部104上に設ければ、加速度などの物理量を電気量に変換して検出することができる。
枠部101,開口部102,錘部103,梁部104によって構成される可動部の外周にリング部105を設けて、その上部に蓋部106を固着している。つまり、可動部の上部を蓋部106で覆っている。
パッド電極107と配線部108と外部端子109とは、梁部104に設けるピエゾ抵抗などと外部回路を接続するために設けている。
このように構成することで、可動部を気密封止するとともに外部回路との接続が容易な電気機械変換器110を得ることができる。
パッド電極107と配線部108と外部端子109とは、梁部104に設けるピエゾ抵抗などと外部回路を接続するために設けている。
このように構成することで、可動部を気密封止するとともに外部回路との接続が容易な電気機械変換器110を得ることができる。
特許文献1に示した従来技術は、可動する部分を有する素子でありながら、小型で平面実装が可能な構造を提供するものである。しかし、特許文献1に示した従来技術は、その構造に問題があることがわかった。
すなわち、電気機械変換器110の構造においては、リング部105の幅を細く形成する必要があるため、リング部105上に蓋部106を接着部材で固着する際に、その接着部材が可動部内部に進入して、錘部103や梁部104の動き阻害したり、リング部105近傍のパッド電極107に付着して電気接続不良が発生して、製造歩留まりを低下させるという問題である。
すなわち、電気機械変換器110の構造においては、リング部105の幅を細く形成する必要があるため、リング部105上に蓋部106を接着部材で固着する際に、その接着部材が可動部内部に進入して、錘部103や梁部104の動き阻害したり、リング部105近傍のパッド電極107に付着して電気接続不良が発生して、製造歩留まりを低下させるという問題である。
また、特許文献1に示した従来技術は、リング部105が細く、蓋部106との接合強度が不足するため、電気機械変換器110をマザーボード(基板)にリフローハンダ付けする際に、可動部内部の気体が膨張して蓋部106とリング部105との気密封止を破壊してしまい、電気機械変換機の実装信頼性を低下させてしまうという問題もある。
したがって、特許文献1に示した従来技術は、実際にその技術を使用すると、リング部105の形状により、可動部の動作不良や蓋部106との気密不良などを引き起こしてしまうため、実用的な技術ではないのであった。
そこで本発明の目的は、上記の課題を解決して製造歩留まりが良く、実装信頼性の高い電気機械変換器を提供することである。
上記課題を解決するために、本発明の電気機械変換器は、下記記載の構成を採用するものである。
枠部と、錘部と、枠部と錘部との間を接続する梁部と、を有する可動部と、可動部の上面を覆い平面的に重なるカバー部材とを有する電気機械変換器であって、
カバー部材と可動部とが平面的に重なる部分に仮想平面を想定し、仮想平面の略中心を点Pとし、点Pを通る一方向をX方向、X方向と直交する方向をY方向とするとき、
カバー部材のX方向の幅は、枠部のY方向の幅よりも狭く、
カバー部材は、枠部との間に第1の接着剤を介して接続しており、
カバー部材のX方向側端面と枠部の上面または側端面とは、第2の接着剤を介して接続しており、
第1の接着剤は、点Pを挟んでY方向に対向するように設け、第2の接着剤は、点Pを挟んでX方向に対向するように設けることを特徴とする。
カバー部材と可動部とが平面的に重なる部分に仮想平面を想定し、仮想平面の略中心を点Pとし、点Pを通る一方向をX方向、X方向と直交する方向をY方向とするとき、
カバー部材のX方向の幅は、枠部のY方向の幅よりも狭く、
カバー部材は、枠部との間に第1の接着剤を介して接続しており、
カバー部材のX方向側端面と枠部の上面または側端面とは、第2の接着剤を介して接続しており、
第1の接着剤は、点Pを挟んでY方向に対向するように設け、第2の接着剤は、点Pを挟んでX方向に対向するように設けることを特徴とする。
可動部の一部に電気素子を設け、
枠部には、電気素子と外部とを接続するための電極を設け、
電極は、第2の接着剤で覆うことを特徴とする。
枠部には、電気素子と外部とを接続するための電極を設け、
電極は、第2の接着剤で覆うことを特徴とする。
本発明の電気機械変換器は、枠部,錘部,梁部を有する可動部とこれを覆うカバー部材とが平面的に重なる部分に仮想平面を想定し、この仮想平面にX方向とY方向とを定義したとき、カバー部材のX方向の幅は、枠部のY方向の幅よりも狭くする。そしてこのカバー部材は、Y方向の枠部との間に第1の接着剤を介して接続しており、カバー部材のX方向側端面と枠部の上面または側端面とは、第2の接着剤を介して接続している。
このように、カバー部材と枠部との接着部材を2箇所に分けてそれぞれ適する部分に分けることによって、可動部に接着部材が侵入することがなく、製造歩留まりが良く信頼性の高い電気機械変換器を提供することができる。
このように、カバー部材と枠部との接着部材を2箇所に分けてそれぞれ適する部分に分けることによって、可動部に接着部材が侵入することがなく、製造歩留まりが良く信頼性の高い電気機械変換器を提供することができる。
以下図面を参照しながら本発明の最適な実施の形態における電気機械変換器について詳細に説明する。
[構造の説明:図1,図2]
図1は、本発明の電気機械変換機の構造を説明するために模式的に示す図であって、図1(a)は平面図、図1(b)は切断線A−A’による断面図である。また、図2は枠部とカバー部材との固着を説明するため部分拡大図である。
図において、1は枠部、2は開口部、3は錘部、4は梁部、5は接合部、6は第1の接
着剤、7は第2の接着剤、8はカバー部材、9はパッド電極、10は接続ワイヤー、11は基板、12は基板電極、13はスルーホール、14は外部端子、15は封止体、20は電気機械変換器である。
図1は、本発明の電気機械変換機の構造を説明するために模式的に示す図であって、図1(a)は平面図、図1(b)は切断線A−A’による断面図である。また、図2は枠部とカバー部材との固着を説明するため部分拡大図である。
図において、1は枠部、2は開口部、3は錘部、4は梁部、5は接合部、6は第1の接
着剤、7は第2の接着剤、8はカバー部材、9はパッド電極、10は接続ワイヤー、11は基板、12は基板電極、13はスルーホール、14は外部端子、15は封止体、20は電気機械変換器である。
本発明の電気機械変換器20は、枠部1,開口部2,錘部3を有し、錘部3は、肉薄で可撓性の梁部4を介して開口部2のほぼ中央に懸架されている。この枠部1,開口部2,錘部3,梁部4を可動部という。
梁部4は、錘部3が加速度などの物理量を受けると変形するので図示しない電気素子(例えば、ピエゾ抵抗)などを梁部104上に設ければ、加速度などの物理量を電気量に変換して検出することができる。
梁部4は、錘部3が加速度などの物理量を受けると変形するので図示しない電気素子(例えば、ピエゾ抵抗)などを梁部104上に設ければ、加速度などの物理量を電気量に変換して検出することができる。
さらに、可動部の外周に接合部5を設け、その上にカバー部材8を固着している。カバー部材8は、いわゆる蓋部である。
図1(b)に示すように、接合部5には適当な厚みを持たせており、カバー部材8を接合部5の上部に固着しても可動部とカバー部材8とが干渉しないようにしている。
図1(b)に示すように、接合部5には適当な厚みを持たせており、カバー部材8を接合部5の上部に固着しても可動部とカバー部材8とが干渉しないようにしている。
次に、接合部5,カバー部材8の形状を説明する。
カバー部材8と可動部とが平面的に重なる部分に仮想平面を想定し、この仮想平面の略中心を点Pとし、さらに、この点Pを通る一方向をX方向、このX方向と直交する方向をY方向とする。図1(a)では、点Pは「+」マークで示しており、図面の上下方向をY方向、このY方向と直交する方向をX方向と定義する。
カバー部材8と可動部とが平面的に重なる部分に仮想平面を想定し、この仮想平面の略中心を点Pとし、さらに、この点Pを通る一方向をX方向、このX方向と直交する方向をY方向とする。図1(a)では、点Pは「+」マークで示しており、図面の上下方向をY方向、このY方向と直交する方向をX方向と定義する。
電気機械変換器20は、カバー部材8のX方向の幅がY方向の幅よりも狭く設けている。同様に、接合部5も可動部を囲むとともにそのX方向の幅がY方向の幅よりも狭く設けている。
接合部5は、Y方向に幅広部5aとX方向に幅狭部5bとを有している。幅広部5aは第1の接着剤6が乗る部分であり、カバー部材8と固着する部分であるから、広い面積が必要である。この面積は、電気機械変換器20の大きさに合わせて自由に変更できる。幅狭部5bは、この部分でカバー部材8と固着するものではないため、その幅は細くてもかまわない。
図1(a),図1(b)に示すように、本発明の電気機械変換器20は、可動部を挟んでY方向に離間した接合部5の幅広部5aにおいて、カバー部材8と接合部5とを第1の接着剤6を介して固着している。第1の接着剤6は、点Pを挟んでY方向に対向するように設けている。図1(a)では、図面上下に幅広部5aがあり、それぞれに第1の接着剤6を設けている。
さらに、可動部を挟んでX方向に離間したカバー部材8の側端面と枠部1の上面は、カバー部材8と接合部5とを第2の接着剤7で覆うように固着している。図1(b)では、図面左右に枠部1があり、それぞれに第2の接着剤7を設けている。
図2は、枠部1の上部のカバー部材8との接合部分を拡大した図である。第2の接着剤7は、図2に示すように、枠部1の上面のみならず側端面も覆うようにしている。
図2は、枠部1の上部のカバー部材8との接合部分を拡大した図である。第2の接着剤7は、図2に示すように、枠部1の上面のみならず側端面も覆うようにしている。
さらに、本発明の電気機械変換器20は、基板11に枠部1を固着しており、カバー部材8と枠部1との固着と相まって、可動部周囲の気密封止が可能となっている。
梁部4に設けるピエゾ抵抗などと外部回路とを接続するためのパッド電極9と接続ワイヤー10と基板電極12とを有しており、基板1裏面には外部端子14を設け、この外部端子14と基板電極12とはスルーホール13を介して電気的に接続している。
このような構成によって、前述の可動構造体を気密封止するとともに外部回路との接続が容易な電気機械変換器20を得ることができる。
このような構成によって、前述の可動構造体を気密封止するとともに外部回路との接続が容易な電気機械変換器20を得ることができる。
さらに、図1(b)に示すように、パッド電極9,接続ワイヤー10,基板電極12を絶縁保護するために、基板11上面に封止体15を設けている。この封止体15は、特に限定しないが、例えば、知られているモールド樹脂を用いることができる。
本発明の電気機械変換器20は、カバー部材8と接合部5とは、可動部を挟んでY方向に離間した幅広部5aにて第1の接着剤6を用いて固着している。そして、可動部を挟んでX方向に離間したカバー部材8の側端面と枠部1の上面または側端面とを第2の接着剤7で覆うように固着している。
本発明の電気機械変換器20は、第1の接着剤6と第2の接着剤7とに接着手段を分けている。幅広部5aを用いた第1の接着剤6による固着がカバー部材8と枠部1とを強固に固定し、第2の接着剤7による固着がカバー部材8と枠部1との固着をより強固にする。第2の接着剤7は、カバー部材8の側端面と枠部1の上面または側端面とを覆うために、パッド電極9の保護を兼ねるとともに、この部分の気密封止をより強くする。
本発明の電気機械変換器20は、第1の接着剤6と第2の接着剤7とに接着手段を分けている。幅広部5aを用いた第1の接着剤6による固着がカバー部材8と枠部1とを強固に固定し、第2の接着剤7による固着がカバー部材8と枠部1との固着をより強固にする。第2の接着剤7は、カバー部材8の側端面と枠部1の上面または側端面とを覆うために、パッド電極9の保護を兼ねるとともに、この部分の気密封止をより強くする。
したがって、本発明の電気機械変換器20は、可動部にカバー部材8を接着してもその中に接着剤が進入せず、錘部3や梁部4などの可動を阻害することがなく、本発明の電気機械変換器20をマザーボードなどにリフローハンダ付けする際にも、気密封止構造が破壊されないのである。
[製造方法の説明]
次に、本発明の電気機械変換器20の製造方法の一例を説明する。
電気機械変換器20の材料は特に限定するものではないが、以下、シリコン単結晶基板を加工して電気機械変換器20を形成する例を用いて説明する。
次に、本発明の電気機械変換器20の製造方法の一例を説明する。
電気機械変換器20の材料は特に限定するものではないが、以下、シリコン単結晶基板を加工して電気機械変換器20を形成する例を用いて説明する。
可動部を構成する枠部1,開口部2,錘部3,梁部4は、シリコン単結晶基板において、知られている半導体製造技術により所定の形状に形成することができる。例えば、シリコン単結晶基板の所定の領域に対シリコン単結晶用のエッチングマスクを用いて選択的にエッチングを行い、可動部を所定の形状で形成する。
エッチングは、異方性ドライエッチング(Reactive Ion Etching:RIE)や当方性ウェットエッチングなどの加工技術を用いて行うことができる。
エッチングは、異方性ドライエッチング(Reactive Ion Etching:RIE)や当方性ウェットエッチングなどの加工技術を用いて行うことができる。
梁部4に形成する物理変化量を電気信号に変換するためのピエゾ抵抗などの変換素子の形成は、同じく知られている半導体製造技術により所定位置に選択的に形成することができる。例えば、シリコン単結晶基板の梁部4を形成する領域にフォトレジストなどのマスクを用いて選択的に不純物をイオン注入し、ピエゾ抵抗を所定の形状で形成する。所定の形状とは、短冊状の形状であっても、折り曲げられた形状でもよい。その形状は、ピエゾ抵抗の抵抗値などから自由に選択することができる。
さらに同様に、知られている半導体製造技術を用いて、このピエゾ抵抗と外部回路とを接続するための配線およびパッド電極9も形成する。
次に、接合部5の形成について説明する。接合部5は既に説明したようにY方向に幅広い部分である幅広部5aを有している。この幅広部5aを含み可動部を囲むようにパターン形成する。
このパターン形成では、特に限定しないが、金,スズ,ニッケル,ハンダなどの金属メッキによる金属パターンやスクリーン印刷による樹脂パターンなどの形成手段を用いることができる。
このパターン形成では、特に限定しないが、金,スズ,ニッケル,ハンダなどの金属メッキによる金属パターンやスクリーン印刷による樹脂パターンなどの形成手段を用いることができる。
なお、もちろん可動部の形成は、この接合部5の形成の後に行ってもかまわない。大切なことは、接合部5は可動部を取り囲むように形成し、Y方向に点Pを挟み対向するように幅広部5aを設けることである。
次に、カバー部材8の固着工程を説明する。この工程は、Y方向に離間した2箇所の幅広部5aに第1の接着剤6を供給してカバー部材8を固着する工程である。
カバー部材8の材料としては、特に限定しないが、シリコン単結晶片,水晶片,ガラス片,セラミック片などを用いることができる。第1の接着剤6の材料としては、エポキシ,シリコン,ウレタンなどの樹脂組成物接着剤を用いることができる。
カバー部材8の材料としては、特に限定しないが、シリコン単結晶片,水晶片,ガラス片,セラミック片などを用いることができる。第1の接着剤6の材料としては、エポキシ,シリコン,ウレタンなどの樹脂組成物接着剤を用いることができる。
この工程では、幅広部5aの広い接着面積を確保できるので、可動部内に第1の接着剤6を進入させることなく強固にカバー部材8を固着することができる。なお、当然この工程では、X方向に可動部を挟んで離間している幅の細い幅狭部5bには第1の接着剤6を供給しない。
次に、枠部1と基板11とを固着する接着工程を説明する。基板11には前もって基板電極12,スルーホール13,外部端子14を形成しておく。
枠部1と基板11とを固着する接着剤としては、エポキシ,シリコン,ウレタンなどの樹脂組成物接着剤を用いることができる。
また、もちろん、1枚の基板11に電気機械変換器20を多数個取るために、その分の基板電極12,スルーホール13,外部端子14を設けておき、後の工程でそれらを同時に処理してもよい。
枠部1と基板11とを固着する接着剤としては、エポキシ,シリコン,ウレタンなどの樹脂組成物接着剤を用いることができる。
また、もちろん、1枚の基板11に電気機械変換器20を多数個取るために、その分の基板電極12,スルーホール13,外部端子14を設けておき、後の工程でそれらを同時に処理してもよい。
次に、パッド電極9と基板電極12とを電気的に接続するためのワイヤーボンド工程を説明する。パッド電極9と基板電極12との間を接続ワイヤー10を介して電気的に接続する。この接続は、知られているワイヤーボンディング技術を用いることができる。この接続ワイヤー10の材料として、金やアルミなどを用いることができる。
次に、第2の接着剤7を用いて可動部を気密封止する工程を説明する。可動部を挟んでX方向に離間したカバー部材8の側端面と枠部1の上面または側端面とを覆うように第2の接着剤7を供給して固着する。カバー部材8と接合部5との接着をより強固にするとともに、可動部を気密封止する。また、第2の接着剤7は、パッド電極9も覆うことで保護を行う。
第2の接着剤7の材料としては、エポキシ,シリコン,ウレタンなどの樹脂組成物接着剤を用いることができる。
第2の接着剤7の材料としては、エポキシ,シリコン,ウレタンなどの樹脂組成物接着剤を用いることができる。
カバー部材8と接合部5とは、既に第1の接着剤6で固着されているから、カバー部材8の側端面から第2の接着剤7が可動部に進入する隙間はない。
また、カバー部材8の側端面近傍の枠部1上にパッド電極9が設けられているが、既に接続ワイヤー10によって基板電極12と電気的接続が完了しているため、第2の接着剤7を多量に供給してパッド電極9を覆っても接続不良は発生しない。
この工程において第2の接着剤7が硬化することで可動部周囲の気密封止が完成する。
また、カバー部材8の側端面近傍の枠部1上にパッド電極9が設けられているが、既に接続ワイヤー10によって基板電極12と電気的接続が完了しているため、第2の接着剤7を多量に供給してパッド電極9を覆っても接続不良は発生しない。
この工程において第2の接着剤7が硬化することで可動部周囲の気密封止が完成する。
次に基板1上に封止体15を形成する封止工程を説明する。封止体15を形成する工程としては、知られているトランスファーモールド技術やポッティングモールド技術が知られている。また、前述のように1枚の基板11に電気機械変換器20を多数個取るために、その分の基板電極12,スルーホール13,外部端子14を設けた場合は、多数個取りが可能な基板11全体を被服するように封止体15を形成して、その後にダイシングなどの分離加工技術を用いて電気機械変換器20を単個化することができる。
以上の説明で明らかなように、本発明の電気機械変換器は、カバー部材と枠部との接着部材を2箇所に分けてそれぞれ適する部分に分けることによって、可動部への接着部材の進入がなく、製造歩留まりが低下することがない。これにより、信頼性の高い電気機械変換器を提供することができる。
本発明の電気機械変換器は、製造歩留まりがよく信頼性の高い。このため、小型電子機器または携帯型電子機器用の電気機械変換器として好適である。
1 枠部
2 開口部
3 錘部
4 梁部
5 接合部
5a 幅広部
5b 幅狭部
6 第1の接着剤
7 第2の接着剤
8 カバー部材
9 パッド電極
10 接続ワイヤー
11 基板
12 基板電極
13 スルーホール
14 外部端子
15 封止体
2 開口部
3 錘部
4 梁部
5 接合部
5a 幅広部
5b 幅狭部
6 第1の接着剤
7 第2の接着剤
8 カバー部材
9 パッド電極
10 接続ワイヤー
11 基板
12 基板電極
13 スルーホール
14 外部端子
15 封止体
Claims (2)
- 枠部と、錘部と、該枠部と該錘部との間を接続する梁部と、を有する可動部と、前記可動部の上面を覆い平面的に重なるカバー部材とを有する電気機械変換器であって、
前記カバー部材と前記可動部とが平面的に重なる部分に仮想平面を想定し、該仮想平面の略中心を点Pとし、該点Pを通る一方向をX方向、該X方向と直交する方向をY方向とするとき、
前記カバー部材の前記X方向の幅は、前記枠部の前記Y方向の幅よりも狭く、
前記カバー部材は、前記枠部との間に第1の接着剤を介して接続しており、
前記カバー部材の前記X方向側端面と前記枠部の上面または側端面とは、第2の接着剤を介して接続しており、
前記第1の接着剤は、前記点Pを挟んで前記Y方向に対向するように設け、前記第2の接着剤は、前記点Pを挟んで前記X方向に対向するように設けることを特徴とする電気機械変換器。 - 前記可動部の一部に電気素子を設け、
前記枠部には、前記電気素子と外部とを接続するための電極を設け、
前記電極は、前記第2の接着剤で覆うことを特徴とする請求項1に記載の電気機械変換器。
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2006
- 2006-09-22 JP JP2006256570A patent/JP2008076259A/ja active Pending
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