JP2008071989A - 太陽電池電極用検査装置及び太陽電池電極の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】太陽電池に形成されたフィンガー電極3を検査する太陽電池電極用検査装置において、少なくとも、フィンガー電極3に電流供給端子4を介して電流を供給するための電流電源と、フィンガー電極3の所望区間内における電位差を電圧測定端子5を介して測定するための電圧測定器を有し、電圧測定端子5は、所望区間内の電位差を測定する位置に配置され、電流供給端子4は、電圧測定端子5を挟む位置に配置されるものであり、電流値と電位差からフィンガー電極3の所望区間内における抵抗値を求めるための抵抗計算器と、求められた抵抗値からフィンガー電極3の導通を判定するための判定装置とを具備するものであることを特徴とする太陽電池電極用検査装置。
【選択図】図4
Description
前記フィンガー電極に電流供給端子を介して電流を供給するための電流電源と、
前記フィンガー電極の所望区間内における電位差を電圧測定端子を介して測定するための電圧測定器を有し、
前記電圧測定端子は、前記フィンガー電極の所望区間内の電位差を測定する位置に配置され、前記電流供給端子は、前記電圧測定端子を挟む位置に配置されるものであり、
前記電流値と前記電位差から前記フィンガー電極の所望区間内における抵抗値を求めるための抵抗計算器と、
該抵抗計算器で求められた前記抵抗値から前記フィンガー電極の導通を判定するための判定装置とを具備するものであることを特徴とする太陽電池電極用検査装置を提供する(請求項1)。
前記フィンガー電極の検査したい所望区間の両端に電圧測定端子を配置し、
前記フィンガー電極の検査したい所望区間の外側に電流供給端子を配置し、
該電流供給端子を介して電流電源から前記フィンガー電極に電流を供給し、
前記フィンガー電極の所望区間内における電位差を前記電圧測定端子を介して電圧測定器で測定し、
前記電流電源により供給した電流値と、前記電圧測定器で測定された前記電位差により、前記フィンガー電極の所望区間内における抵抗値を抵抗計算器により求め、
該抵抗計算器で求めた前記抵抗値から前記フィンガー電極の導通の良否を判定装置により判定し、前記太陽電池に形成された前記フィンガー電極の導通を検査することを特徴とする太陽電池電極の検査方法を提供する(請求項6)。
まず、電流電源によって、フィンガー電極3の検査したい所望区間に電流供給端子4から定電流を供給する。その所望区間は、通常、印刷領域全体の導通を判定するために、基板1の対辺にある電極の両端間とすることが望ましい。しかし、特に注目した区間について導通検査を行う場合は、その区間の両端間に定電流を供給する。該供給する電流は、特に定電流でなくても良く、直流でも交流でも構わない。その電流値は、0.1mAから1Aが望ましい。
前述のように、早期に印刷の不良を発見するためには、二層目印刷直後に検査を行うことが望ましい。しかし、電極印刷直後では印刷された導電性ペーストが乾燥していないため、測定端子の接触によって電極の破壊が生じる上に、印刷部以外の面に導電性ペーストが付着してしまう。そこで、その対策が必要である。
(実施例1)
<太陽電池電極の作製>
3族元素のガリウムを不純物元素とするp型単結晶太陽電池用シリコンウエーハ(100mm角、面方位{100}、基板厚250μm、抵抗率1.0Ωcm)を、水酸化カリウム水溶液によりエッチングしてダメージ層を取り除く。
さらにIPAを混入した水酸化カリウム水溶液により、反射防止構造であるテクスチャ構造を形成する。
引き続き、受光面側にPOCl3液体ソースを利用した熱拡散によって5族元素のリンを不純物としたn領域を受光面に作製する。また、この工程は塗布拡散、もしくはイオン注入法によって行うこともできる。
ここで、太陽光反射防止と表面保護をかねて、プラズマCVD法によって膜厚70nmの窒化膜を受光面上に形成する。この窒化膜の成膜には、PVD法を用いても問題ない。
さらに、受光面に対し、銀粉末を含む導電性ペーストをフィンガー電極とバスバー電極の形状に印刷し、乾燥する。
ここで、本発明による検査装置の評価のために、通常の二層電極構造の太陽電池と、意図的に二層目を断線させた二層電極構造の太陽電池とを作製する。
意図的に二層目のみを断線させるために、一枚の太陽電池内に形成されるフィンガー電極の総数50本の内、5本分の二層目印刷用の版開口部をテープで塞ぎ、二層目印刷を行った。
次に、基板を750℃で3分間焼成する。
そして、ソーラシミュレータ(光強度:1kW/m2、スペクトル:AM1.5グローバル)を用いて、作製した太陽電池の出力特性を測定した。得られた出力特性を、次の表1に示す。
そして、本発明による検査装置によってフィンガー電極の抵抗値を測定した。
測定では、図1に示すように端子を接続した。すなわち、電流供給端子をフィンガー電極の両端の全てに接続するとともに、電位差測定端子もフィンガー電極の両端の全て(ただし、電流供給端子の内側)に接続させた。供給電流は、交流で10mAとした。その測定結果も、表1に示す。
実施例1の結果から、今回の実験に用いた形式の太陽電池における検査の閾値を78mΩとし、その妥当性を確認するために、意図的にフィンガー電極を断線させるようなことはせずに太陽電池を、再度100枚作製した。そして、それらの太陽電池を、実施例1と同様の方法で測定し、その後、変換効率を調べた。その測定結果を表2に示す。
このことから、本発明による検査装置は、太陽電池製造工程における電極検査装置としての役割を十分に果たすことができることがわかる。特に、二層構造のフィンガー電極の検査装置に適している。
実施例2と同じ太陽電池を画像処理による検査装置を用いて検査した。ここでの検査基準(閾値)は、フィンガー電極の断線箇所が1箇所以上で不良とした。検査の結果、試料100枚とも良品と判定された。
4…電流供給端子、 5…電圧測定端子、 6…バネ、
7…電流先端部品、 8…スポンジ、 9…膜状導電体、
10…ベルトコンベア、 11…太陽電池電極用検査装置、
12…電圧先端部品。
Claims (10)
- 太陽電池に形成されたフィンガー電極を検査する太陽電池電極用検査装置において、少なくとも、
前記フィンガー電極に電流供給端子を介して電流を供給するための電流電源と、
前記フィンガー電極の所望区間内における電位差を電圧測定端子を介して測定するための電圧測定器を有し、
前記電圧測定端子は、前記フィンガー電極の所望区間内の電位差を測定する位置に配置され、前記電流供給端子は、前記電圧測定端子を挟む位置に配置されるものであり、
前記電流値と前記電位差から前記フィンガー電極の所望区間内における抵抗値を求めるための抵抗計算器と、
該抵抗計算器で求められた前記抵抗値から前記フィンガー電極の導通を判定するための判定装置とを具備するものであることを特徴とする太陽電池電極用検査装置。 - 前記電圧測定端子は、前記太陽電池面内に3個以上配置され、前記フィンガー電極内の電流経路に対して直列、又は並列となる複数の所望区間の電位差を同時に測定できるものであることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池電極用検査装置。
- 前記電流供給端子は、複数の前記フィンガー電極に接触させるための電流先端部品を具備するものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の太陽電池電極用検査装置。
- 前記電圧測定端子は、複数の前記フィンガー電極に接触させるための電圧先端部品を具備するものであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の太陽電池電極用検査装置。
- 前記電流先端部品及び/又は前記電圧先端部品の形状が、回転できる車輪形状、又はベルト式ローラ形状であるものであることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の太陽電池電極用検査装置。
- 太陽電池に形成されたフィンガー電極を検査する検査方法において、
前記フィンガー電極の検査したい所望区間の両端に電圧測定端子を配置し、
前記フィンガー電極の検査したい所望区間の外側に電流供給端子を配置し、
該電流供給端子を介して電流電源から前記フィンガー電極に電流を供給し、
前記フィンガー電極の所望区間内における電位差を前記電圧測定端子を介して電圧測定器で測定し、
前記電流電源により供給した電流値と、前記電圧測定器で測定された前記電位差により、前記フィンガー電極の所望区間内における抵抗値を抵抗計算器により求め、
該抵抗計算器で求めた前記抵抗値から前記フィンガー電極の導通の良否を判定装置により判定し、前記太陽電池に形成された前記フィンガー電極の導通を検査することを特徴とする太陽電池電極の検査方法。 - 前記フィンガー電極の検査したい所望区間の両端に電圧測定端子を配置する際、該電圧測定端子を前記太陽電池面内に3個以上配置し、前記フィンガー電極内の電流経路に対して直列、又は並列となる複数の所望区間の電位差を同時に測定することを特徴とする請求項6に記載の太陽電池電極の検査方法。
- 前記フィンガー電極の検査したい所望区間の外側に電流供給端子を配置する際、該電流供給端子の具備する電流先端部品を複数の前記フィンガー電極に接触させることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載の太陽電池電極の検査方法。
- 前記フィンガー電極の検査したい所望区間の両端に電圧測定端子を配置する際、該電圧測定端子の具備する電圧先端部品を複数の前記フィンガー電極に接触させることを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載の太陽電池電極の検査方法。
- 回転できる車輪形状、又はベルト式ローラ形状の前記電流先端部品及び/又は前記電圧先端部品を複数の前記フィンガー電極に接触させることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の太陽電池電極の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006250375A JP4781948B2 (ja) | 2006-09-15 | 2006-09-15 | 太陽電池電極用検査装置及び太陽電池電極の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006250375A JP4781948B2 (ja) | 2006-09-15 | 2006-09-15 | 太陽電池電極用検査装置及び太陽電池電極の検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008071989A true JP2008071989A (ja) | 2008-03-27 |
JP4781948B2 JP4781948B2 (ja) | 2011-09-28 |
Family
ID=39293314
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006250375A Active JP4781948B2 (ja) | 2006-09-15 | 2006-09-15 | 太陽電池電極用検査装置及び太陽電池電極の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4781948B2 (ja) |
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