JP6270958B1 - 有機電子デバイスの検査装置及び有機電子デバイスの検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】正確な検査が実施可能であり、且つ検査時における有機電子デバイスへの損傷を防止可能な有機電子デバイスの検査装置及び有機電子デバイスの検査方法を提供する。【解決手段】一実施形態に係る検査装置は、有機電子デバイス１０の第１及び第２電極部１２，１３にロール表面２１Ａ，２１Ｂが接するように配置されており、第１及び第２電極部に通電する第１及び第２通電ロール２０Ａ，２０Ｂと、第１及び第２通電ロールにより通電された有機電子デバイスの電気特性検査用のデータ取得部４０と、を備え、第１通電ロールのロール表面において、第１電極部との前記接触領域であって周方向に連続して延びている前記接触領域内の電位が同じであり、第２通電ロールのロール表面において、第２電極部との接触領域であって周方向に連続して延びている接触領域内の電位が同じである。【選択図】図３

Description

本発明は、有機電子デバイスの検査装置及び有機電子デバイスの検査方法に関する。

有機機能層を有し、有機機能層に第１電極部及び第２電極部により電力を供給することで有機機能層が所定の機能を発現する有機電子デバイスが知られている。このような有機電子デバイスを製造する過程では、有機電子デバイスの電気特性が検査される。例えば、特許文献１には、第１電極部用及び第２電極部用のピンプローブがロール表面に形成された通電ロールを用いた検査装置及び検査方法が開示されている。

国際公開第２０１２／１７２９３８号

特許文献１に記載の技術では、通電ロールに有機電子デバイスを巻きかけて有機電子デバイスを湾曲させるとともに、押さえロールで有機電子デバイスを通電ロールに押し当てることで、ピンプローブを第１電極部及び第２電極部に接触させている。

しかしながら、特許文献１に記載の技術では、ピンプローブを用いており、且つ、ピンプローブを有機電子デバイスに押し当てることから、検査において、有機電子デバイスに穴があくなどの損傷が生じるおそれがある。

したがって本発明の目的は、正確な検査が実施可能であり、且つ検査時における有機電子デバイスへの損傷を防止可能な有機電子デバイスの検査装置及び有機電子デバイスの検査方法を提供することを目的とする。

本発明の一側面に係る有機電子デバイスの検査装置は、第１電極部及び第２電極部を有する有機電子デバイスを連続して搬送しながら上記有機電子デバイスの電気特性検査を行うための検査装置であり、上記有機電子デバイスの上記第１電極部にロール表面が接するように配置されており、上記第１電極部に通電する第１通電ロールと、上記有機電子デバイスの上記第２電極部にロール表面が接するように配置されており、上記第２電極部に通電する第２通電ロールと、上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールにより上記第１電極部及び上記第２電極部を介して通電された上記有機電子デバイスの検査用データを取得するデータ取得部と、を備え、上記第１通電ロールのロール表面において、上記第１電極部との接触領域であって周方向に連続して延びている上記接触領域内の電位が同じであり、上記第２通電ロールのロール表面において、上記第２電極部との接触領域であって周方向に連続して延びている上記接触領域内の電位が同じである。

上記検査装置では、第１通電ロールのロール表面のうち、上記第１電極部の接触領域は、その接触領域内で電位が同じである同電位領域であり、第２通電ロールのロール表面のうち、上記第２電極部の接触領域は、その接触領域内で電位が同じ同電位領域である。したがって、第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面が有機電子デバイスの第１電極部及び第２電極部に接することで、有機電子デバイスに通電できる。検査装置は、データ取得部を有していることから、通電された有機ＥＬデバイスの電気特性検査用のデータを取得できる。そのため、データ取得部で取得したデータに基づいて、有機電子デバイスの電気特性検査を正確に実施可能である。第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面のうち、上記接触領域が同電位領域であることから、第１通電ロール及び第２通電ロールによって有機電子デバイスに通電する際の有機電子デバイスの損傷を防止できる。また、上記検査装置は、第１電極部及び第２電極部を有する有機電子デバイスを連続して搬送しながら上記有機電子デバイスの電気特性検査を行うことができるため、生産性を維持しながら電気特性検査を実施することができる。

上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールに電力を供給する電力供給部を更に備え、上記電力供給部は、上記第１通電ロールの第１回転軸及び上記第２通電ロールの第２回転軸に電気的に接続されており、上記第１回転軸及び上記第２回転軸を介して上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールに電力を供給してもよい。

この場合、上記電力供給部は、上記第１回転軸及び上記第２回転軸に接するブラシ、ベアリング又はスリッピングリングを介して、上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールに電力を供給してもよい。これにより、第１通電ロール及び第２通電ロールを回転しながら第１通電ロール及び第２通電ロールに電力を供給可能である。

上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールの組が、上記有機電子デバイスの搬送方向に沿って複数配置されており、上記電力供給部は、複数の上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールの組のそれぞれへの通電を、上記有機電子デバイスの搬送速度に同期してオン／オフするためのスイッチ部を有してもよい。

この構成では、上記有機電子デバイスを搬送しながら、第１通電ロール及び上記第２通電ロールの各組によって、有機電子デバイスに通電可能である。スイッチ部で、複数の上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールの組のそれぞれへの通電を、上記有機電子デバイスの搬送に同期させてオン／オフすることで、有機電子デバイスに所定の電力を供給できる。

上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールの組は、上記有機電子デバイスを水平に支持可能に配置されていてもよい。これにより、有機電子デバイスを水平搬送可能であり、有機電子デバイスの水平面に対して電気特性検査を実施することができる。そのため、有機電子デバイスが湾曲することにより生じる検査結果のバラつきが生じにくいため、正確な検査結果を得ることができる。

上記データ取得部は、上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールにより通電されている上記有機電子デバイスに追随して、上記有機電子デバイスの搬送方向に移動させるための可動部を有してもよい。これにより、有機電子デバイスに通電している間、確実にデータ取得部でデータを取得できる。

上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールの少なくとも一方は、上記有機電子デバイスの搬送方向に直交する方向に可動する可動機構を有してもよい。これにより、大きさの異なる有機電子デバイスを一つの検査装置で検査可能である。

上記第１通電ロールと対向配置されており、上記第１通電ロールとともに、上記有機電子デバイスを押さえるための第１対向ロールと、上記第２通電ロールと対向配置されており、上記第２通電ロールとともに、上記有機電子デバイスを押さえるための第２対向ロールと、を備えてもよい。

この場合、第１対向ロール及び第２対向ロールと、対応する第１通電ロール及び第２通電ロールとで、有機電子デバイスを押さえることが可能である。そのため、第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面と、第１電極部及び第２電極部とが密着しやすく、第１通電ロールと第２通電ロールを介して有機電子デバイスに安定して通電可能であり、電気特性検査を正確に実施することができる。

上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールの組が、上記有機電子デバイスの搬送方向に直交する方向に複数並列に配置されていてもよい。これにより、並列に配置された第１通電ロール及び第２通電ロールの組ごとに有機電子デバイスの検査を実施できる。

本発明の他の側面に係る有機電子デバイスの検査方法は、第１電極部及び第２電極部を有する有機電子デバイスを連続して搬送しながら上記有機電子デバイスの電気特性検査を行う検査方法であり、搬送されている上記有機電子デバイスの上記第１電極部及び上記第２電極部のそれぞれに第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面を接触させて上記有機電子デバイスに第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面を介して通電し、上記有機電子デバイスの電気特性を検査する工程を有し、上記第１通電ロールのロール表面において、上記第１電極部との接触領域であって周方向に連続して延びている上記接触領域内の電位が同じであり、上記第２通電ロールのロール表面において、上記第２電極部との接触領域であって周方向に連続して延びている上記接触領域内の電位が同じである。

上記検査方法では、第１通電ロールのロール表面のうち、上記第１電極部の接触領域は、その接触領域内で電位が同じである同電位領域であり、第２通電ロールのロール表面のうち、上記第２電極部の接触領域は、その接触領域内で電位が同じ同電位領域である。したがって、第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面が有機電子デバイスの第１電極部及び第２電極部に接することで、有機電子デバイスに通電し、電気特性検査を正確に実施できる。第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面のうち、上記接触領域が同電位領域であることから、第１通電ロール及び第２通電ロールによって有機電子デバイスに通電する際の有機電子デバイスの損傷を防止できる。また、上記検査方法は、第１電極部及び第２電極部を有する有機電子デバイスを連続して搬送しながら上記有機電子デバイスの電気特性検査を行うことができるため、生産性を維持しながら電気特性検査を実施することができる。

本発明は、第１電極部及び第２電極部を有する有機電子デバイスを連続して搬送しながら上記有機電子デバイスの電気特性検査を行うための検査装置であり、上記有機電子デバイスの上記第１電極部及び上記第２電極部に通電する通電ロールと、上記通電ロールにより上記第１電極部及び上記第２電極部を介して通電された上記有機電子デバイスの検査用のデータを取得するデータ取得部と、を備え、上記通電ロールのロール表面は、上記第１電極部との第１接触領域と上記第２電極部との第２接触領域とを有し、上記第１接触領域は、上記通電ロールのロール表面において周方向に連続して延びており、上記第１接触領域内における電位が同じであり、上記第２接触領域は、上記通電ロールのロール表面において周方向に連続して延びており、上記第２接触領域内における電位が同じである、有機電子デバイスの検査装置にも係る。

上記検査装置では、通電ロールのロール表面は、上記第１電極部との第１接触領域と上記第２電極部との第２接触領域とを有する。第１接触領域は、周方向に連続して延びており第１接触領域内の電位が同じである同電位領域であり、第２接触領域は、周方向に連続して延びており第２接触領域内の電位が同じである同電位領域である。そのため、通電ロールの第１接触領域及び第２接触領域をそれぞれ有機電子デバイスの第１電極部及び第２電極部に接することで、有機電子デバイスに通電できる。検査装置は、データ取得部を有していることから、通電された有機電子デバイスの電気特性検査用のデータを取得できる。そのため、データ取得部で取得したデータに基づいて、有機電子デバイスの電気特性検査を実施可能である。ロール表面のうち、上記第１接触領域及び第２接触領域がそれぞれ同電位領域であることから、通電ロールによって有機電子デバイスに通電する際の有機電子デバイスの損傷を防止できる。また、上記検査装置は、第１電極部及び第２電極部を有する有機電子デバイスを連続して搬送しながら上記有機電子デバイスの電気特性検査を行うことができるため、生産性を維持しながら電気特性検査を実施することができる。

本発明によれば、正確な検査が実施可能であり、且つ検査時における有機電子デバイスへの損傷を防止可能な有機電子デバイスの検査装置及び有機電子デバイスの検査方法を提供できる。

図１は、有機電子デバイスの一例である有機ＥＬデバイスを含む検査対象物の模式図である。 図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。 図３は、有機ＥＬデバイス（有機電子デバイス）の検査装置の概念図である。 図４は、第１通電ロール及び第２通電ロールの組を複数備える検査装置を説明するための図面である。 図５は、有機ＥＬデバイスの検査装置の具体的構成の一例を示す模式図である。 図６は、図５における白抜き矢印方向から見た場合の検査装置の模式図である。 図７は、図５に示したＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面構成の模式図である。 図８は、有機電子デバイスの検査装置の変形例を説明するための模式図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。同一の要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。

本実施形態では、図１に模式的に示したように、複数の有機エレクトロルミネッセンスデバイス（有機ＥＬデバイス）１０が一体的に連結されてなる検査対象物１を、その長手方向に搬送しながら、検査対象物１に含まれる各有機ＥＬデバイス（有機電子デバイス）１０の電気特性を検査する形態を説明する。有機ＥＬデバイス１０の電気特性検査とは、有機ＥＬデバイス１０に通電して行う検査である。本実施形態では、通電されることによって生じる有機ＥＬデバイス１０の発光状態に基づいた検査（点灯検査）について主に説明する。

検査対象物１は、長尺の基板１１を有し、基板１１の長手方向に設定された複数のデバイス形成領域２のそれぞれに陽極１２、引出電極１３、有機機能層１４及び陰極１５が設けられて構成されている。

検査対象物１から各デバイス形成領域２を分割することで、複数の有機ＥＬデバイス１０が得られる。換言すれば、検査対象物１は、長尺の基板１１を用いて有機ＥＬデバイス１０を製造する方法において、有機ＥＬデバイス１０を切り出す工程の前段階の中間生産物であり得る。検査対象物１は、例えば、ロールツーロール方式で作製され得る。

通常、有機ＥＬデバイス１０では、少なくとも有機機能層１４が封止部材１６で封止されている。よって、本実施形態では、図１に示したように、検査対象物１が封止部材１６を有する形態について説明する。

図１のＩＩ―ＩＩ線の断面図である図２を用いて、有機ＥＬデバイス１０について説明する。有機ＥＬデバイス１０は、基板１１と、基板１１上に設けられた陽極１２、引出電極１３、有機機能層１４及び陰極１５を有する。本実施形態で説明する有機ＥＬデバイス１０は、基板１１側（陽極１２側）から光を出射するデバイスである。

［基板］
基板１１は、有機ＥＬデバイス１０を製造する工程において化学的に変化しないものが好適に用いられる。基板１１は、有機ＥＬデバイス１０から出力される光に対して透光性を有する。有機ＥＬデバイス１０から出力される光は、可視光（波長４００ｎｍ〜８００ｎｍの光）を含んでもよい。基板１１としては、例えばガラス板、高分子フィルム（例えばプラスチックフィルム）などが挙げられる。基板１１は、可撓性基板であることが好ましい。基板１１の厚さは、例えば３０μｍ以上７００μｍ以下である。

［陽極］
陽極１２は、基板１１上、且つ基板１１の長手方向に延びる基板縁部１１ａ近傍に設けられている。陽極１２には、有機ＥＬデバイス１０で出力する光に対して透過性を示す電極が用いられる。透光性を示す電極としては、電気伝導度の高い金属酸化物、金属硫化物及び金属などの薄膜を用いることができ、光透過率の高いものが好適に用いられる。具体的には酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、金、白金、銀、及び銅などから成る薄膜が用いられ、これらの中でもＩＴＯ、ＩＺＯ、又は酸化スズから成る薄膜が好適に用いられる。陽極１２として、ポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体などの有機の透明導電膜を用いてもよい。陽極１２は、導電体（例えば金属）を有するネットワーク構造を有してもよい。

陽極１２の厚さは、光の透過性、電気抵抗などを考慮して、適宜選択することができ、例えば１０ｎｍ〜１０μｍであり、好ましくは２０ｎｍ〜１μｍであり、さらに好ましくは５０ｎｍ〜５００ｎｍである。

陽極１２は、真空成膜法、イオンプレーティング法、メッキ法などにより形成され得る。塗布法としては、インクジェット印刷法、スリットコート法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイヤーバーコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法及びノズルプリント法等が挙げられる。これらの中でもインクジェット印刷法が好ましい。

陽極１２の一部は、封止部材１６の外側に露出している。陽極１２において、封止部材１６から露出している部分は、外部接続領域として機能する。

［引出電極］
引出電極１３は、基板１１上、且つ基板１１の長手方向に延びており基板縁部１１ａと反対側の基板縁部１１ｂ近傍に、陽極１２に対し離間して設けられている。引出電極１３の材料、厚さ等は、陽極１２と同様である。引出電極１３は陰極１５に接続されており、引出電極１３は、第１電極部である陽極１２に対して、陰極１５とともに第２電極部を構成する。引出電極１３の一部は、封止部材１６の外側に露出しており、引出電極１３において、封止部材１６から露出している部分は、外部接続領域として機能する。

［有機機能層］
有機機能層１４は、陰極１５と陽極１２の間に設けられており、陽極１２及び陰極１５に印加された電力（例えば電圧）に応じて、電荷の移動及び電荷の再結合などの有機ＥＬデバイス１０の発光に寄与する有機ＥＬ機能部である。

有機機能層１４は、例えば陽極１２のうち外部接続領域側（基板縁部１１ａ側）以外の部分を覆うように、陽極１２上に設けられてもよい。この場合、有機機能層１４の一部は、基板１１の表面上にも設けられる。

有機機能層１４は発光層を含む。発光層は、光（可視光を含む）を発する機能を有する機能層である。通常、主として蛍光及びりん光の少なくとも一方を発光する有機物、又はこの有機物とこれを補助するドーパントとから構成される。ドーパントは、例えば発光効率の向上や、発光波長を変化させるために加えられる。上記有機物は、低分子化合物でも高分子化合物でもよい。発光層の材料には、有機ＥＬデバイス１０の分野における公知の発光材料が用いられる。発光層は、例えば、塗布法により形成され得る。塗布法の例は、陽極１２で説明した塗布法の例と同様である。

有機機能層１４は、必要に応じて所定の機能層をさらに有する多層構造を有してもよい。例えば陽極１２と発光層の間に、正孔注入層、正孔輸送層などが設けられてもよいし、発光層と陰極１５との間に電子輸送層、電子注入層などが設けられてもよい。

有機機能層１４の厚さは、その層構造に依存するが、例えば１ｎｍ〜５μｍであり、好ましくは１０ｎｍ〜１μｍであり、さらに好ましくは３０ｎｍ〜５００ｎｍである。

［陰極］
陰極１５は、有機機能層１４上に、陽極１２と短絡しないように設けられている。陰極１５は、引出電極１３に接続されている。陰極１５の一部は、基板１１の表面上に設けられてもよい。陰極１５の厚さは、用いる材料によって最適値が異なり、電気伝導度、耐久性を考慮して設定される。陰極１５の厚さは、通常、１０ｎｍ〜１０μｍであり、好ましくは２０ｎｍ〜１μｍであり、さらに好ましくは５０ｎｍ〜５００ｎｍである。

有機機能層１４が有する発光層からの光を陰極１５で反射させて陽極１２側に届けるために、陰極１５の材料は、発光層からの光に対して反射率の高い材料が好ましい。陰極１５の材料としては、例えばアルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属及び周期表の第１３族金属等が挙げられる。陰極１５として、導電性金属酸化物及び導電性有機物等からなる透明導電性電極を用いてもよい。

［封止部材］
封止部材１６は、少なくとも有機機能層１４を封止するための部材である。封止部材１６は、陰極１５上に設けられている。本実施形態において、封止部材１６は、有機機能層１４及び陰極１５を覆うように設けられており、陽極１２の一部及び引出電極１３の一部が、封止部材１６から露出するように設けられている。封止部材１６は、封止基材１７と、粘接着層１８とを有する。

封止基材１７は、有機ＥＬデバイス１０において基板１１と反対側に位置する。封止基材１７は、金属箔、透明なプラスチックフィルムの表面若しくは裏面又はその両面にバリア機能層を形成したバリアフィルム、或いはフレキシブル性を有する薄膜ガラス、プラスチックフィルム上にバリア性を有する金属を積層させたフィルム等からなり、ガスバリア機能、特に水分バリア機能を有する。金属箔としては、バリア性の観点から、銅箔、アルミニウム箔、又はステンレス箔が好ましい。金属箔の厚さとしては、ピンホール抑制の観点から厚い程好ましいが、フレキシブル性の観点も考慮すると１５μｍ〜５０μｍが好ましい。

粘接着層１８は、封止基材１７における基板１１側の表面に設けられており、陽極１２、有機機能層１４及び陰極１５が形成された基板１１に、封止基材１７を接着させるとともに、水分バリアのために用いられる。粘接着層１８は、陽極１２、有機機能層１４及び陰極１５からなる積層構造を埋設可能な厚さを有していればよい。

検査対象物１において、各デバイス形成領域２に形成された有機ＥＬデバイス１０の構成は同じである。よって、複数の有機ＥＬデバイス１０が有する陽極１２は、基板１１の長手方向に沿って一列に配列されている。同様に、複数の有機ＥＬデバイス１０が有する引出電極１３は、基板１１の長手方向に沿って一列に配列されている。

次に、図１に示した有機ＥＬデバイス１０を含む検査対象物１を連続的に搬送しながら有機ＥＬデバイス１０の電気的特性を検査するための検査装置３及び検査方法について説明する。

図３は、有機ＥＬデバイス（有機電子デバイス）の検査装置の概念図である。図３を利用して検査装置の概略について説明する。図３では、説明のために、有機ＥＬデバイス１０の断面構造を示している。図面の見やすさの観点から、構成要素のサイズなどを強調して図示しており実際の寸法とは必ずしも一致していない。

検査装置３は、第１通電ロール２０Ａと、第２通電ロール２０Ｂと、データ取得部４０とを備えている。図３では、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂに電力を供給するための電力供給装置（電力供給部）３０と、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂを駆動するための駆動装置５０とを模式的に図示している。

第１通電ロール２０Ａは、検査対象物１が有する有機ＥＬデバイス１０の第１電極部である陽極１２に通電するための回転ロールである。第１通電ロール２０Ａは、ロール表面２１Ａが陽極１２の表面１２ａに接するように配置されている。ロール表面２１Ａは、滑らかな曲面、換言すれば、凹凸が実質的にないように構成されている。陽極１２の表面１２ａは、陽極１２のうち封止部材１６から露出している領域（外部接続領域）の表面である。

第１通電ロール２０Ａは、導電性を有する。換言すれば、第１通電ロール２０Ａは、導電性材料、例えば、真鍮、青銅、白銅、ベリリウム銅、ステンレス、アルミニウム等から構成され得る。第１通電ロール２０Ａは、さらに導電性を高めるため、例えば、金メッキ、銀メッキ、錫メッキ、ニッケルメッキ等で表面処理されていてもよい。このような構成を有する第１通電ロール２０Ａのロール表面２１Ａの電位は、ロール表面２１Ａ内において同じである。ロール表面２１Ａは、回転しながら陽極１２の表面１２ａに接するため、ロール表面２１Ａは、周方向に連続して延びており表面１２ａと接触する接触領域を有する。したがって、ロール表面２１Ａにおける上記接触領域は、その接触領域内で電位が同じである同電位領域である。

第１通電ロール２０Ａの回転軸（第１回転軸）ＲＳ１Ａは、駆動装置５０により回転駆動される。図３では、模式的に示しているが、後述するように、駆動装置５０の駆動力は、歯車機構を含む駆動機構によって回転軸ＲＳ１Ａに伝達され、回転軸ＲＳ１Ａが回転駆動され得る。回転軸ＲＳ１Ａも導電性を有する。換言すれば、回転軸ＲＳ１Ａは、導電性材料、例えば真鍮、青銅、白銅、ベリリウム銅、ステンレス、アルミニウム等から構成され得る。回転軸ＲＳ１Ａは、さらに導電性を高めるため、例えば、金メッキ、銀メッキ、錫メッキ、ニッケルメッキ等で表面処理されていてもよい。

第２通電ロール２０Ｂは、第１通電ロール２０Ａと対を為しており有機ＥＬデバイス１０の陰極１５に通電するための回転ロールである。第２通電ロール２０Ｂは、ロール表面２１Ｂが、陰極１５とともに第２電極部を構成する引出電極１３の表面１３ａに接するように配置されている。引出電極１３の表面１３ａは、引出電極１３のうち封止部材１６から露出している領域（外部接続領域）の表面である。

したがって、第２通電ロール２０Ｂは、第１通電ロール２０Ａに対して有機ＥＬデバイス１０の搬送方向に直交する方向において、離間して配置されている。通常、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの間隔は、ロール表面２１Ａ及びロール表面２１Ｂが陽極１２及び引出電極１３のうち封止部材１６から露出している領域の表面１２ａ，１３ａに接し、且つ第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂが封止部材１６上に位置しないように設定されている。

第２通電ロール２０Ｂは、導電性を有する。換言すれば、第２通電ロール２０Ｂは、導電性材料、例えば、真鍮、青銅、白銅、ベリリウム銅、ステンレス、アルミニウム等から構成され得る。第２通電ロール２０Ｂは、さらに導電性を高めるため、例えば、金メッキ、銀メッキ、錫メッキ、ニッケルメッキ等で表面処理されていてもよい。このような構成を有する第２通電ロール２０Ｂのロール表面２１Ｂの電位は、ロール表面２１Ｂ内において同じである。ロール表面２１Ｂは、回転しながら引出電極１３の表面１３ａに接するため、ロール表面２１Ｂは、周方向に連続して延びており表面１３ａと接触する接触領域を有する。したがって、ロール表面２１Ｂにおける上記接触領域は、その接続領域内で電位が同じである同電位領域である。

第２通電ロール２０Ｂの回転軸（第２回転軸）ＲＳ１Ｂは、駆動装置５０により回転駆動される。図３では、模式的に示しているが、第１通電ロール２０Ａの場合と同様に、駆動装置５０の駆動力は、歯車機構を含む駆動機構によって回転軸ＲＳ１Ｂに伝達され、回転軸ＲＳ１Ｂが回転駆動され得る。回転軸ＲＳ１Ｂも導電性を有する。換言すれば、回転軸ＲＳ１Ｂは、導電性材料、例えば真鍮、青銅、白銅、ベリリウム銅、ステンレス、アルミニウム等から構成され得る。回転軸ＲＳ１Ｂは、さらに導電性を高めるため、例えば、金メッキ、銀メッキ、錫メッキ、ニッケルメッキ等で表面処理されていてもよい。

第１通電ロール２０Ａの回転軸ＲＳ１Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの回転軸ＲＳ１Ｂのそれぞれには、導電性を有するベアリング２３Ａ及びベアリング２３Ｂが取り付けられている。ベアリング２３Ａ，２３Ｂと回転軸ＲＳ１Ａ，ＲＳ１Ｂとの間の抵抗を低減するために、ベアリング２３Ａ，２３Ｂには、オイルが塗られていることが好ましい。

ベアリング２３Ａは、電力供給装置３０に電気的に接続されており、陽極１２に印加する正電圧が供給される。前述したように、第１通電ロール２０Ａ及び回転軸ＲＳ１Ａも導電性を有するため、ベアリング２３Ａに正電圧が供給されることで、同電位領域であるロール表面２１Ａを介して陽極１２に正電圧を印加可能である。

同様に、ベアリング２３Ｂは、電力供給装置３０に電気的に接続されており、引出電極１３に印加する負電圧が供給される。第２通電ロール２０Ｂ及び回転軸ＲＳ１Ｂも導電性を有するため、ベアリング２３Ｂに負電圧が供給されることで、同電位領域であるロール表面２１Ｂを介して引出電極１３に負電圧を印加可能である。引出電極１３は、陰極１５に接続されているので、引出電極１３に負電圧が印加されることで、陰極１５に負電圧が印加される。

このように、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂにより、陽極１２及び陰極１５を介して有機ＥＬデバイス１０に通電すると、有機ＥＬデバイス１０が発光する。

データ取得部４０は 基板１１の裏面側（陽極１２に接する面の反対側）に設けられており、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂにより陽極１２及び陰極１５を介して通電されて発光した有機ＥＬデバイス１０からの光を受ける。これにより、電気特性検査のためのデータ（検査用データ）が取得される。そのため、データ取得部４０は、例えば光検出器を有し得る。光検出器としては、例えばＣＣＤカメラといったイメージセンサ、ラインセンサなどが挙げられる。このように有機ＥＬデバイス１０からの発光をデータ取得部４０が受けることで取得した画像データ（検査用データ）に基づいて、例えば有機ＥＬデバイス１０の発光ムラ検査、輝度検査、ダークスポット検査（シュリンクの状態も含む）等の電気特性検査が実施され得る。

図３に示した１つの第１通電ロール２０Ａ及び１つの第２通電ロール２０Ｂの組み合わせを、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組とした場合、検査装置３は、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組が有機ＥＬデバイス１０の搬送方向に複数配置されているものでもよい。この形態について図４を利用して説明する。図４に示した形態では、検査装置３は、制御装置７０を有する。

図４は、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組が、有機ＥＬデバイス１０の搬送方向に複数配置されている場合の検査装置３における電気的構成に着目した検査装置３の概念図である。図４では、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂを円板状のブロックで模式的に示しており、複数の第１通電ロール２０Ａ（又は第２通電ロール２０Ｂ）の配列方向は、有機ＥＬデバイス１０（検査対象物１）の搬送方向に対応する。前述したように、電力供給装置３０と第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂとの電気的接続は、ベアリング２３Ａ，２３Ｂを介して行われているが、図４では、ベアリング２３Ａ，２３Ｂの図示を省略している。

検査装置３が、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組を複数有する形態では、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂは、有機ＥＬデバイス１０を水平搬送するように配置され得る。複数の第１通電ロール２０Ａ及び複数の第２通電ロール２０Ｂは、駆動装置５０により同期して回転するように構成されている。これは前述したように、駆動装置５０からの駆動力を、複数の第１通電ロール２０Ａ及び複数の第２通電ロール２０Ｂそれぞれの回転軸ＲＳ１Ａ及び回転軸ＲＳ１Ｂに歯車機構を含む駆動機構で同じように伝達することで実現され得る。

同期して回転する複数の第１通電ロール２０Ａ及び複数の第２通電ロール２０Ｂは、有機ＥＬデバイス１０の陽極１２の表面１２ａ及び引出電極１３の表面１３ａに接するように配置されている。そのため、複数の第１通電ロール２０Ａ及び複数の第２通電ロール２０Ｂは、有機ＥＬデバイス１０及びそれを含む検査対象物１の搬送機構として機能する。

図４に示した形態では、電力供給装置３０は、電源部３１と、スイッチ部３２とを有する。

電源部３１は、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂに供給する電力の供給源である。電源部３１は、電気特性検査のために、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂに供給する電圧及び電流の計測機能を有してもよい。このような計測機能付きの電源部３１の例は、ソースメジャーユニット（ＳＭＵ）である。

電源部３１の正極端子は、スイッチ部３２を介して第１通電ロール２０Ａに電気的に接続されており、電源部３１の負極端子は、第２通電ロール２０Ｂに電気的に接続されている。第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂに供給する電圧及び電流の計測機能を有する場合、電源部３１は、電源部３１での計測結果を制御装置７０に入力する。

スイッチ部３２は、複数の第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組のそれぞれへの通電を、有機ＥＬデバイス１０の搬送に同期してオン／オフするための回路であり、複数のスイッチ３３を有する。スイッチ部３２は、例えばリレーボードとして実現され得る。

図４に示した形態では、一例として、隣接する２つの第１通電ロール２０Ａに対して一つのスイッチ３３が設けられている。スイッチ３３の一端は、電源部３１の正極端子に接続され、スイッチ３３の他端は、対応する２つの第１通電ロール２０Ａに電気的に接続されている。スイッチ３３は、制御装置７０からの制御信号に応じてオン／オフ制御される。

制御装置７０は、例えばＣＰＵを備えたコンピュータであり得る。制御装置７０は、駆動装置５０に電気的に接続され、駆動装置５０による第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの回転速度などを制御する。

制御装置７０は、電力供給装置３０に電気的に接続され、電源部３１から第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂに供給する電力の大きさを制御する。制御装置７０は、電源部３１から有機ＥＬデバイス１０への通電時における電圧及び電流の計測結果の入力があれば、それを解析する機能を有してもよい。この場合、電源部３１及び制御装置７０はデータ取得部としても機能する。

制御装置７０は、スイッチ部３２における各スイッチ３３のオン／オフ制御を行う。具体的には、搬送されている有機ＥＬデバイス１０に第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂを介して所定の電力が供給されるように、各スイッチ３３のオン／オフを、有機ＥＬデバイス１０の搬送に同期してリレー制御する。

制御装置７０は、データ取得部４０と電気的に接続されており、データ取得部４０で取得したデータを解析する機能を有してもよい。例えば、発光ムラ検査において発光画像におけるムラを強調する画像処理を施したり、欠陥検査において欠陥を検出する機能を有してもよい。

有機ＥＬデバイス１０の搬送方向に、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組を複数有する検査装置３の形態では、データ取得部４０は、通電されている有機ＥＬデバイス１０の搬送に追随して移動可能に構成され得る。この場合、データ取得部４０の位置制御は、制御装置７０によって実施され得る。このように、データ取得部４０が、通電されている有機ＥＬデバイス１０の搬送に追随して移動することで、通電されている有機ＥＬデバイス１０から検査に必要なデータを確実に取得できる。

図３及び図４に例示した検査装置３は、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの間隔を調整する可動機構を備えてもよい。これにより、例えば、大きさの異なる有機ＥＬデバイス１０を一つの検査装置３で検査可能である。

図５〜図７を主に参照して、検査装置３の具体的な構成の一例について詳述する。図５〜図７を利用して説明する検査装置３の形態は、図４を利用して説明したように、有機ＥＬデバイス１０の搬送方向に、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組を複数有する形態である。以下では、断らない限り、データ取得部４０は、有機ＥＬデバイス１０の搬送方向に移動可能である。更に、断らない限り、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの間隔が調整可能に検査装置３は構成されている。

第１通電ロール２０Ａ、第２通電ロール２０Ｂ、電力供給装置３０、データ取得部４０など、図３及び図４を利用して説明した要素には同じ符号を付し、重複する説明は適宜省略する。

図５は、有機ＥＬデバイス（有機電子デバイス）の検査装置の一例の構成を説明するための模式図である。図６は、図５において、白抜き矢印の方向からみた場合の図面であり、図７は、図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面構成の模式図である。

図５〜図７に示したように、検査装置３は、複数の第１通電ロール２０Ａと、複数の第２通電ロール２０Ｂと、データ取得部４０と、駆動装置５０とを有する。図５〜図７では、図示を省略しているが、検査装置３は、図３及び図４に示したように、電力供給装置（電力供給部）３０と、制御装置７０とを有する。検査装置３は、複数の第１対向ロール６０Ａと、複数の第２対向ロール６０Ｂとを有してもよい。断らない限り、複数の第１対向ロール６０Ａと、複数の第２対向ロール６０Ｂとを有する形態を説明する。更に、図３及び図４を利用して説明した内容と重複する説明は適宜省略する又は簡略化して説明する。

まず、図５〜図７に示した検査装置３において、主に検査対象物１より下側に位置している構成について説明する。

図５〜図７に示した検査装置３において、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組は、検査対象物１の搬送方向に対して離間して配置されている。隣接する第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組の間隔は、検査対象物１が有する複数の有機ＥＬデバイス１０が搬送される際に、各有機ＥＬデバイス１０が有する陽極１２及び引出電極１３が接する第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組の数が同じである間隔である。これにより、一つの有機ＥＬデバイス１０に対して、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組を介して同じ電力を供給可能である。

第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの構成（形状、大きさ、材料など）は同じであり、複数の第１通電ロール２０Ａ及び複数の第２通電ロール２０Ｂは、それらの回転軸（第１回転軸）ＲＳ１Ａ及び回転軸（第２回転軸）ＲＳ１Ｂの軸線が同じ平面内（水平面内）に実質的に位置するように、配置されている。この構成では、検査対象物１が検査装置３で搬送される際、検査対象物１は、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂによって、水平搬送される。

第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの回転軸ＲＳ１Ａ，ＲＳ１Ｂのそれぞれは、図６及び図７に示したように、支持ボックス２２Ａ，２２Ｂの側壁に設けられた導電性を有するベアリング２３Ａ，２３Ｂに回転可能に支持されている。図６及び図７では、説明のために支持ボックス２２Ａ，２２Ｂの断面構成を図示している。

支持ボックス２２Ａ，２２Ｂは、検査対象物１の搬送方向に延在している支持板２４Ａ，２４Ｂ上に、配線ボックス２５Ａ，２５Ｂを介して固定されている。よって、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂは、支持板２４Ａ，２４Ｂに間接的に支持されている。

支持板２４Ａ，２４Ｂのそれぞれは台部２６Ａ，２６Ｂに固定されている。台部２６Ａ，２６Ｂは回転軸ＲＳ１Ａ，ＲＳ１Ｂの軸線方向に延びるレールＲ１に取り付けられており、レールＲ１に沿って移動可能に構成されている。したがって、支持板２４Ａ，２４Ｂに支持されている第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂは独立してレールＲ１の延在方向に移動可能である。その結果、回転軸ＲＳ１Ａ，ＲＳ１Ｂの軸線方向の間隔が調整され得る。すなわち、レールＲ１及び台部２６Ａ，２６Ｂは、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂを独立して可動するための可動機構を構成している。

配線ボックス２５Ａ，２５Ｂは、配線を通すためのボックスであり、配線ボックス２５Ａ，２５Ｂ内には、ベアリング２３Ａ，２３Ｂと電力供給装置３０（図３及び図４参照）とを電気的に接続する配線ラインが通されている。図５〜図７では、配線ラインの図示は省略している。配線関係は、図４で説明したとおりである。

検査装置３では、駆動装置５０によって、複数の第１通電ロール２０Ａ及び複数の第２通電ロール２０Ｂが同期して回転するように構成されている。第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂを同期して回転させるための駆動機構の一例について、図６及び図７を参照して説明する。

駆動装置５０は回転軸ＲＳ２を有し、例えばモータによって回転軸ＲＳ２を回転させる。回転軸ＲＳ２は、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの回転軸ＲＳ１Ａ，ＲＳ１Ｂと平行に配置されている。

回転軸ＲＳ２には、歯車Ｇ１が取り付けられており、歯車Ｇ１は、回転軸ＲＳ２に平行に配置された回転軸ＲＳ３に取り付けられた歯車Ｇ２に噛合されている。この歯車Ｇ１及び歯車Ｇ２で構成される歯車機構により、回転軸ＲＳ２の回転が回転軸ＲＳ３に伝達される。

回転軸ＲＳ３は、支持板２４Ａ及び支持板２４Ｂそれぞれの端部近傍に取り付けられた軸支持体２７Ａ，２７Ｂに通されている。軸支持体２７Ａ，２７Ｂは、支持板２４Ａ，２４Ｂに対して回転可能に取り付けられている。軸支持体２７Ａ，２７Ｂは、回転軸ＲＳ３との結合状態が調整可能に構成されている。例えば、軸支持体２７Ａ，２７Ｂはねじを締めることで回転軸ＲＳ３と軸支持体２７Ａ，２７Ｂが結合される一方、ねじを緩めることで、軸支持体２７Ａ，２７Ｂが回転軸ＲＳ２から分離される（換言すれば、軸支持体２７Ａ，２７Ｂは回転軸ＲＳ３に対して非結合状態になる）。

軸支持体２７Ａ，２７Ｂが回転軸ＲＳ３に結合された状態では、軸支持体２７Ａ，２７Ｂは回転軸ＲＳ３の回転に応じて回転する。軸支持体２７Ａ，２７Ｂが回転軸ＲＳ３に非結合の状態では、軸支持体２７Ａ，２７Ｂは回転軸ＲＳ３の回転に応じて回転しないとともに、軸支持体２７Ａ，２７Ｂが取り付けられた支持板２４Ａ，２４Ｂは、回転軸ＲＳ２の軸線方向に移動可能である。したがって、軸支持体２７Ａ，２７Ｂも第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂを可動するための可動機構の一部であり得る。

軸支持体２７Ａ，２７Ｂの端部（一対の支持板２４Ａ，２４Ｂの内側の端部）には歯車Ｇ３Ａ，Ｇ３Ｂが取り付けられている。歯車Ｇ３Ａ，Ｇ３Ｂのそれぞれは、回転軸ＲＳ３と直交する方向（検査対象物１の搬送方向）に延びる回転軸ＲＳ４Ａ，ＲＳ４Ｂに取り付けられた歯車Ｇ４Ａ，Ｇ４Ｂと噛合している。これにより、回転軸ＲＳ３の回転に応じて軸支持体２７Ａ，２７Ｂが回転すると、その回転力が回転軸ＲＳ４Ａ，ＲＳ４Ｂに伝達される。

図７に示したように、回転軸ＲＳ４Ａ，ＲＳ４Ｂの延在方向において、各第１通電ロール２０Ａ及び各第２通電ロール２０Ｂが配置されている箇所には、歯車Ｇ５Ａ，Ｇ５Ｂが回転軸ＲＳ４Ａ，ＲＳ４Ｂに取り付けられている。歯車Ｇ５Ａ，Ｇ５Ｂは、各第１通電ロール２０Ａ及び各第２通電ロール２０Ｂの回転軸ＲＳ１Ａ，ＲＳ１Ｂに取り付けられた歯車Ｇ６Ａ，Ｇ６Ｂと噛合している。

よって、複数の第１通電ロール２０Ａ及び複数の第２通電ロール２０Ｂは、歯車Ｇ５Ａと歯車Ｇ６Ａとからなる歯車機構及び歯車Ｇ５Ｂと歯車Ｇ６Ｂとからなる歯車機構を介して回転軸ＲＳ４Ａ，ＲＳ４Ｂの回転に同期して回転する。すなわち、複数の第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂは、駆動装置５０の回転軸ＲＳ２の回転に同期して、回転する。

このように第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂが回転することにより、検査対象物１が搬送される。したがって、複数の第１通電ロール２０Ａ及び複数の第２通電ロール２０Ｂは、検査対象物１の搬送機構でもある。

データ取得部４０は、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂによって通電された有機ＥＬデバイス１０の発光を検出する光検出器４１を有する。光検出器４１の例は、前述したように、ＣＣＤカメラといったイメージセンサ（エリアセンサ）、ラインセンサなどである。

図５〜図７に示したように、データ取得部４０は、可動装置（可動部）４２を介して、検査対象物１の搬送方向に延在するレールＲ２に取り付けられている。可動装置４２は、制御装置７０（図４参照）に電気的に接続されており、制御装置７０からの指示に応じて、レールＲ２上を移動する装置である。

次に、図５〜図７に示した検査装置３において、検査対象物１より上側に主に位置している構成について説明する。検査装置３において、検査対象物１より上側には、図５及び図７に示したように、複数の第１対向ロール６０Ａ及び複数の第２対向ロール６０Ｂが配置されている。

複数の第１対向ロール６０Ａの数は、複数の第１通電ロール２０Ａの数と同じであり、第１対向ロール６０Ａは、対応する第１通電ロール２０Ａに対して対向配置されている。同様に、複数の第２対向ロール６０Ｂの数は、複数の第２通電ロール２０Ｂの数と同じであり、第２対向ロール６０Ｂは、対応する第２通電ロール２０Ｂに対して対向配置されている。第１対向ロール６０Ａ及び第２対向ロール６０Ｂは、基板１１の厚さ方向において、対応する第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂと、検査対象物１を挟むように対向配置されている。

複数の第１対向ロール６０Ａ及び複数の第２対向ロール６０Ｂの回転軸ＲＳ５Ａ，ＲＳ５Ｂはそれぞれ、検査対象物１の延在方向に延びる支持板６１Ａ，６１Ｂに回転可能に取り付けられている。

図５及び図６に示したように、支持板６１Ａ，６１Ｂの一端には、駆動ロール（ドライブプーリー）６２Ａ，６２Ｂの回転軸ＲＳ６が、支持板６１Ａ，６１Ｂに取り付けられた軸支持体６３Ａ，６３Ｂに通されている。軸支持体６３Ａ，６３Ｂは、支持板６１Ａ，６１Ｂに回転可能に取り付けられている。図５及び図７に示したように、支持板６１Ａ，６１Ｂの他端には、テールロール（テールプーリー）６４Ａ，６４Ｂの回転軸ＲＳ７が支持板６１Ａ，６１Ｂに対して回転可能に取り付けられた軸支持体６５Ａ，６５Ｂに通されている。

軸支持体６３Ａ，６３Ｂ及び軸支持体６５Ａ，６５Ｂは、軸支持体２７Ａ，２７Ｂの場合と同様に、回転軸ＲＳ６，ＲＳ７との結合状態が調整可能に構成されている。すなわち、軸支持体６３Ａ，６３Ｂ及び軸支持体６５Ａ，６５Ｂが対応する回転軸ＲＳ６，ＲＳ７と結合された状態と、回転軸ＲＳ６，ＲＳ７に対して非結合状態（分離状態）とが切り替えられる。

軸支持体６３Ａ，６３Ｂ及び軸支持体６５Ａ，６５Ｂが対応する回転軸ＲＳ６，ＲＳ７と結合された状態の場合、回転軸ＲＳ６，ＲＳ７の回転に伴い、軸支持体６３Ａ，６３Ｂ及び軸支持体６５Ａ，６５Ｂが回転する。軸支持体６３Ａ，６３Ｂ及び軸支持体６５Ａ，６５Ｂが対応する回転軸ＲＳ６，ＲＳ７から分離された状態の場合、軸支持体６３Ａ，６３Ｂが取り付けられた支持板６１Ａ，６１Ｂを、回転軸ＲＳ６，ＲＳ７の軸線方向に移動できる。したがって、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの間隔を調整する場合には、支持板２４Ａ，２４Ｂの移動に合わせて、支持板６１Ａ，６１Ｂも移動させることが可能である。

駆動ロール６２Ａ、第１対向ロール６０Ａ及びテールロール６４Ａと、駆動ロール６２Ｂ、第２対向ロール６０Ｂ及びテールロール６４Ｂとにはそれぞれ無端環状のベルトＢが巻かけられている。ベルトＢが、駆動ロール６２Ａ，６２Ｂの回転に伴って回転することで、第１対向ロール６０Ａ及び第２対向ロール６０Ｂも回転する。よって、複数の第１対向ロール６０Ａ及び複数の第２対向ロール６０Ｂは同期して回転する。

第１対向ロール６０Ａ及び第２対向ロール６０Ｂは、ベルトＢを介して、対応する第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂと一緒に検査対象物１を挟み込むように、対応する第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂとの間に隙間を空けて配置されている。

図６に示したように、駆動ロール６２Ａ，６２Ｂの回転軸ＲＳ６には、歯車Ｇ７が取り付けられている。歯車Ｇ７は、駆動装置５０から延びた回転軸ＲＳ２の歯車Ｇ１に噛合している。これにより、駆動装置５０の回転軸ＲＳ２の回転に伴って駆動ロール６２Ａ，６２Ｂが回転する。そのため、第１対向ロール６０Ａ及び第２対向ロール６０Ｂは、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの回転に同期して回転する。

制御装置７０は、図４に示したように、電力供給装置３０、データ取得部４０及び駆動装置５０と電気的に接続されている。制御装置７０による、電力供給装置３０、データ取得部４０及び駆動装置５０の制御は、図４を利用して説明した場合と同様であるため、説明を省略する。

なお、データ取得部４０が可動装置４２を有する形態では、制御装置７０は、データ取得部４０が、検査対象としての有機ＥＬデバイス１０が発した光を取得可能ように、その有機ＥＬデバイス１０の搬送状態に応じて可動装置４２を制御する。例えば、電力を供給している有機ＥＬデバイス１０の移動に応じて、可動装置４２を移動させる。

次に、図５〜図７に示した検査装置３を用いた有機ＥＬデバイス１０の検査方法について説明する。検査装置３では、駆動装置５０が回転軸ＲＳ２を回転駆動することで、各組の第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂが回転軸ＲＳ２の回転に同期して回転するとともに、ベルトＢが回転して複数の第１対向ロール６０Ａ及び複数の第２対向ロール６０Ｂが回転軸ＲＳ２の回転に同期して回転する。

このように、第１通電ロール２０Ａ、第２通電ロール２０Ｂ、第１対向ロール６０Ａ及び第２対向ロール６０Ｂを回転させた状態で、検査対象物１を、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂと、ベルトＢとの間に搬入する。この際、陽極１２の表面１２ａ及び引出電極１３の表面１３ａが第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂが配置されている側に位置するように、検査対象物１を検査装置３に搬入する。

第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂと、ベルトＢとの間に搬入された検査対象物１は、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの回転に伴い、ロール表面２１Ａ，２１Ｂに接しながら水平搬送される。図５に例示した形態では、検査対象物１は、左側から右側に水平搬送される。

このように検査対象物１を搬送しながら、検査装置３は、電力供給装置３０によって各組の第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂに電力を供給し、検査対象物１が有する有機ＥＬデバイス１０に通電する。この通電によって有機ＥＬデバイス１０から発光された光をデータ取得部４０の光検出器４１が受けることで、データ取得部４０が有機ＥＬデバイス１０の検査用データを取得し、電気特性検査を行う（検査工程）。

このようにデータ取得部４０が検査用データ（例えば、発光画像データ）を取得することで、例えば発光ムラ検査、輝度検査、ダークスポット検査（シュリンクの状態も含む）等の電気特性検査を実施可能である。データ取得部４０で取得した画像データは、制御装置７０で画像解析してもよい。

電力供給装置３０によって各組の第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂに電力を供給する際には、制御装置７０は、電力供給装置３０が有するスイッチ部３２を制御する。具体的には、制御装置７０は、検査対象物１が有する複数の有機ＥＬデバイス１０のうち所定の有機ＥＬデバイス１０の検査に要する時間の間、所定の電力を第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂを介して供給可能なように、スイッチ部３２のスイッチ３３を順次切り替える。

同時に、制御装置７０は、通電されている上記所定の有機ＥＬデバイス１０にデータ取得部４０の光検出器４１が追随するように、可動装置４２を制御して、データ取得部４０を検査対象物１の搬送方向に移動させる。これにより、通電している有機ＥＬデバイス１０からの光を、検査に要する時間、確実に光検出器４１が受けることが可能である。

上記検査装置３及び検査装置３を用いた検査方法の作用効果について説明する。

第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂのロール表面２１Ａ，２１Ｂは、周方向に連続的に延在する面状の同電位領域であり、滑らかな曲面を形成している。そして、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂは、同電位領域であるロール表面２１Ａ，２１Ｂが有機ＥＬデバイス１０の陽極１２及び引出電極１３の表面１２ａ，１３ａに接触するように配置されている。したがって、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂ上を有機ＥＬデバイス１０が通過する際に、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの回転軸ＲＳ１Ａ，ＲＳ１Ｂを介して第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂに電力を供給することで、容易に有機ＥＬデバイス１０に通電可能である。

ロール表面２１Ａ，２１Ｂが、周方向に連続的に延在する面状の同電位領域である第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂは、簡易な構成であることから製造が容易である。例えば、導電性材料を用いることで第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂを容易に製造され得る。その結果、検査装置３の製造コストの低減を図れる。

同電位領域であるロール表面２１Ａ，２１Ｂは、対応する陽極１２及び引出電極１３と面で接するため、有機ＥＬデバイス１０にロール表面２１Ａ，２１Ｂを介して通電しても、有機ＥＬデバイス１０に穴があくなどの損傷が生じにくい。その結果、有機ＥＬデバイス１０の製造歩留まりの向上を図れる。

電力供給装置３０は、回転軸ＲＳ１Ａ，ＲＳ１Ｂに取り付けられたベアリング２３Ａ，２３Ｂを介して第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂに電力を供給する。よって、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂが回転していても、安定して且つ容易に第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂに電力を供給可能である。

検査装置３は、陽極１２及び引出電極１３への通電用にそれぞれ第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂを有する。第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂは、支持板２４Ａ，２４Ｂに支持されており、支持板２４Ａ，２４Ｂは、レールＲ１に台部２６Ａ，２６Ｂを介して取り付けられている。更に、支持板２４Ａ，２４Ｂに取り付けられた軸支持体２７Ａ，２７Ｂは、回転軸ＲＳ３に対して移動可能である。したがって、検査装置３では、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの間の距離が可変である。すなわち、検査装置３は、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの間の距離を調整するための可動機構を有する。

そのため、例えば、一つの検査装置３を利用して、第１のサイズを有する有機ＥＬデバイス１０を含む検査対象物１と、第１のサイズと異なる第２のサイズを有する有機ＥＬデバイス１０を含む検査対象物１も共に検査可能である。換言すれば、検査装置３は、汎用性を有する。その結果、有機ＥＬデバイス１０の検査に要するコストが低減する。更に、異なる大きさの有機ＥＬデバイス１０の検査のために、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの取り替えなどが不要のため、有機ＥＬデバイス１０の生産性の向上も図れる。

第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの取り換えが不要であることから、有機ＥＬデバイス１０の製造において、有機ＥＬデバイス１０の検査工程を、他の工程から切り離した単独の検査ラインとする必要がない。その結果、有機ＥＬデバイス１０の製造における他の工程と組み合わせ易いとともに、検査の結果、有機ＥＬデバイス１０に異常が発見された場合に、検査工程より上流の工程に検査結果をフィードバックしやすい。

第１対向ロール６０Ａ及び第２対向ロール６０Ｂを備える形態では、第１対向ロール６０Ａ及び第２対向ロール６０Ｂで、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂとともに有機ＥＬデバイス１０を押さえることが可能ある。そのため、ロール表面２１Ａ，２１Ｂと陽極１２及び引出電極１３の表面１２ａ，１３ａをより確実に接触できるので、安定して、有機ＥＬデバイス１０に通電可能である。

検査装置３では、検査対象物１を水平搬送しながら、有機ＥＬデバイス１０の電気特性検査が可能である。そのため、例えば、特許文献１のように、検査対象物１を湾曲させて検査する場合に比べて、有機ＥＬデバイス１０への検査のために必要以上のテンションを付与する必要がない。その結果、有機ＥＬデバイス１０が検査用に付与されたテンションによる損傷を防止できるので、生産性が向上する。

検査装置３では、有機ＥＬデバイス１０を水平搬送しながら検査可能であることで、光検出器４１として、ＣＣＤカメラのようなエリアセンサを使用可能である。有機ＥＬデバイス１０を搬送しながら検査することから、光検出器４１で、検査可能な程度の信号強度を確保するためには、搬送速度を調整する必要がある。エリアセンサでは、ラインセンサに比べて、信号強度を高くするための搬送速度の条件が緩和されている。その結果、より効率的に有機ＥＬデバイス１０を検査可能である。

データ取得部４０が可動装置４２を有する形態では、有機ＥＬデバイス１０が搬送されていても、データ取得部４０の光検出器４１を、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂにより通電されている有機ＥＬデバイス１０に追随して、有機ＥＬデバイス１０の搬送方向に移動させることができる。この場合、搬送速度の影響をより低減しながら、データ取得部４０で検査に要する信号強度を確実に取得できる。換言すれば、データ取得部４０は、電気特性検査のためのデータを確実に取得できる。そのため、より効率的に有機ＥＬデバイス１０を検査可能である。

検査装置３では、有機ＥＬデバイス１０を水平搬送しながら検査可能であることから、例えば、電気特性検査として例示したように点灯検査を行った際に、平面状の有機ＥＬデバイス１０における発光ムラなどを検査できる。そのため、より使用状態に近い状態で有機ＥＬデバイス１０を検査できる。

以上、本発明の種々の実施形態及び実施例について説明した。しかしながら、本発明は上述した種々の実施形態及び実施例に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。

図１では、複数の有機ＥＬデバイス１０の列を一つのみ有する検査対象物１を例示していた。しかしながら、例えば、複数の有機ＥＬデバイス１０の列が並行に２つ以上配置された検査対象物１に対しても本発明は適用可能である。この場合、図８に示したように、第１通電ロール２０Ａ及び第２通電ロール２０Ｂの組を、検査対象物１の搬送方向に直交する方向において、複数の有機ＥＬデバイス１０の列の数に応じて並列に配置すればよい。図７では、検査対象物１が複数の有機ＥＬデバイス１０の列を２つ有する場合を例示している。

第１通電ロール及び第２通電ロールの間の距離は固定されていてもよい。この場合、検査装置は、第１通電ロール及び第２通電ロールの間の距離を可変する機構を有しない。換言すれば、第１通電ロール及び第２通電ロールが、有機ＥＬデバイスの搬送方向に直交する方向に可動する可動機構を有しない。例えば、図５〜図７に示した形態では、例えば、レールＲ１及び台部２６Ａ，２６Ｂは不要であり、更に、軸支持体２７Ａ，２７Ｂは、回転軸ＲＳ３に固定されていてもよく、軸支持体６３Ａ，６３Ｂ及び軸支持体６５Ａ、６５Ｂも回転軸ＲＳ６，ＲＳ７に固定されていてもよい。

検査装置における可動機構は、第１通電ロール及び第２通電ロールの両方が有していても、第１通電ロールと第２通電ロールのどちらか一方が有していてもよい。

検査装置は、第１対向ロール及び第２対向ロールを備えなくてもよい。更に、データ取得部は、可動装置を有さずに、所定の位置に固定されていてもよい。更に、検査装置は、第１通電ロール及び第２通電ロールの組を少なくとも一つ有していればよい。

例えば、検査装置によって枚葉の有機ＥＬデバイスを検査してもよい。この場合でも、第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面は、周方向に連続的に延在する面状の同電位領域であり、第１通電ロール及び第２通電ロールは、ロール表面が有機ＥＬデバイスの陽極及び引出電極の表面に接するように設けられている。そのため、有機ＥＬデバイスへの第１通電ロール及び第２通電ロールを介して通電する際に、有機ＥＬデバイスが損傷しにくい。

第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面全体が同電位領域でなくてもよい。第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面において、周方向に連続的に延びており、第１通電ロール及び第２通電ロールの回転に伴って陽極（第１電極部）の表面及び引出電極（第２電極部）の表面と接する領域が同電位領域であればよい。よって、同電位領域は、周方向に連続して延びており、ロール表面の幅方向より狭い線状又は面状の領域であり得る。

データ取得部は、ＣＣＤカメラのような光検出器の代わりに輝度計を有してもよい。電気特性検査としては有機ＥＬデバイスからの発光状態の検査に限定されず、例えば、有機ＥＬデバイスに通電した際の、電流電圧特性、リーク検査など、有機ＥＬデバイスに通電して行う検査であればよい。例えば電流電圧特性の検査であれば、前述したように、電源にＳＣＵを採用することで実施可能であり、この場合、電源がデータ取得部の機能も有する。

第１通電ロール及び第２通電ロールの回転軸に電力を供給する部材としては、ベアリングに限定されず、例えば、第１通電ロール及び第２通電ロールの回転軸に接触する導電性のブラシ又はスリッピングリングを介して回転軸に電力を供給してもよい。この場合でも、第１通電ロール及び第２通電ロールを回転させながら、第１通電ロール及び第２通電ロールに電力を供給可能である。また、検査装置は、上記第１通電ロールの第１回転軸及び上記第２通電ロールの第２回転軸と、上記電力供給装置とが電気的に接続され、上記第１回転軸及び上記第２回転軸を介して上記第１通電ロール及び上記第２通電ロールに電力を供給できれば、上記部材を備えなくてもよい。

更に、有機ＥＬデバイスに対して第１電極部に接する第１通電ロール及び第２電極部に接する第２通電ロールを備えた形態を説明した。しかしながら、検査装置は、第１電極部及び第２電極部に対して一つの通電ロールを備えていてもよい。この場合、例えば通電ロールのロール表面において、周方向に連続的に延在しており第１電極部と接触する第１接触領域及び第２電極部と接触する第２接触領域がそれぞれ独立した同電位領域となるように、通電ロールを構成すればよい。例えば、第１接触領域及び第２接触領域をロール表面から径方向外側に突出した導電性を有する凸部として形成する。そして、凸部の先端面（第１電極部及び第２電極部と接する面）をなめらかな面とするとともに、第１接触領域としての凸部と第２接触領域としての凸部は、互いに絶縁されていればよい。この場合、第１接触領域としての凸部と第２接触領域としての凸部それぞれに所定の電圧を供給することで、有機ＥＬデバイスに通電可能である。そして、凸部の先端面がなめらかな面であることから検査時における有機ＥＬデバイスの損傷を防止できる。

本発明は、陽極側から光を発する形態に限定されず、陰極側から光を発生する有機ＥＬデバイスにも適用可能である。本発明は、有機ＥＬデバイス以外の有機電子デバイス、例えば、有機太陽電池、有機フォトディテクタ、有機トランジスタなどにも適用可能である。

３…検査装置、１０…有機ＥＬデバイス、１２…陽極（第１電極部）、１２ａ…表面（第１電極部の表面）、１３…引出電極（第２電極部）、１３ａ…表面（第２電極部の表面）、１５…陰極（第２電極部）、２０Ａ…第１通電ロール、２０Ｂ…第２通電ロール、２１Ａ，２１Ｂ…ロール表面（同電位領域）、２３Ａ，２３Ｂ…ベアリング、２６Ａ，２６Ｂ…台部（可動機構）、２７Ａ，２７Ｂ…軸支持体（可動機構）、３０…電力供給装置（電力供給部）、３２…スイッチ部、４０…データ取得部、４２…可動装置（可動部）、６０Ａ…第１対向ロール、６０Ｂ…第２対向ロール、Ｒ１…レール（可動機構）、ＲＳ１Ａ…回転軸（第１回転軸）、ＲＳ１Ｂ…回転軸（第２回転軸）。

Claims (9)

1. 第１電極部及び第２電極部を有する有機電子デバイスを連続して搬送しながら前記有機電子デバイスの電気特性検査を行うための検査装置であって、
   前記有機電子デバイスの前記第１電極部にロール表面が接するように配置されており、前記第１電極部に通電する第１通電ロールと、
   前記有機電子デバイスの前記第２電極部にロール表面が接するように配置されており、前記第２電極部に通電する第２通電ロールと、
   前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールにより前記第１電極部及び前記第２電極部を介して通電された前記有機電子デバイスの検査用データを取得するデータ取得部と、
   前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールに電力を供給する電力供給部と、
   を備え、
   前記第１通電ロールのロール表面において、前記第１電極部との接触領域であって周方向に連続して延びている前記接触領域内の電位が同じであり、
   前記第２通電ロールのロール表面において、前記第２電極部との接触領域であって周方向に連続して延びている前記接触領域内の電位が同じであり、
   前記電力供給部は、前記第１通電ロールの第１回転軸及び前記第２通電ロールの第２回転軸に電気的に接続されており、前記第１回転軸及び前記第２回転軸を介して前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールに電力を供給する、
   有機電子デバイスの検査装置。
2. 前記電力供給部は、前記第１回転軸及び前記第２回転軸に接するブラシ、ベアリング又はスリッピングリングを介して、前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールに電力を供給する、
   請求項１に記載の有機電子デバイスの検査装置。
3. 前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールの組が、前記有機電子デバイスの搬送方向に沿って複数配置されており、
   前記電力供給部は、複数の前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールの組のそれぞれへの通電を、前記有機電子デバイスの搬送速度に同期してオン／オフするためのスイッチ部を有する、
   請求項１又は２に記載の有機電子デバイスの検査装置。
4. 複数の前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールの組は、前記有機電子デバイスを水平に支持できるように配置されている、
   請求項３に記載の有機電子デバイスの検査装置。
5. 前記データ取得部は、前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールにより通電されている前記有機電子デバイスに追随して、前記有機電子デバイスの搬送方向に移動させるための可動部を有する、
   請求項３又は４に記載の有機電子デバイスの検査装置。
6. 前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールの少なくとも一方が、前記有機電子デバイスの搬送方向に直交する方向に可動する可動機構を有する、請求項１〜５の何れか１項に記載の有機電子デバイスの検査装置。
7. 前記第１通電ロールと対向配置されており、前記第１通電ロールとともに、前記有機電子デバイスを押さえるための第１対向ロールと、
   前記第２通電ロールと対向配置されており、前記第２通電ロールとともに、前記有機電子デバイスを押さえるための第２対向ロールと、
   を備える、
   請求項１〜６の何れか１項に記載の有機電子デバイスの検査装置。
8. 前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールの組が、前記有機電子デバイスの搬送方向に直交する方向に複数並列に配置されている、
   請求項１〜７の何れか１項に記載の有機電子デバイスの検査装置。
9. 第１電極部及び第２電極部を有する有機電子デバイスを連続して搬送しながら前記有機電子デバイスの電気特性検査を行う検査方法であって、
   搬送されている前記有機電子デバイスの前記第１電極部及び前記第２電極部のそれぞれに第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面を接触させて、前記有機電子デバイスに第１通電ロール及び第２通電ロールのロール表面を介して通電し、前記有機電子デバイスの検査用データを取得して、電気特性を検査する工程を有し、
   前記第１通電ロールのロール表面において、前記第１電極部との接触領域であって周方向に連続して延びている前記接触領域内の電位が同じであり、
   前記第２通電ロールのロール表面において、前記第２電極部との接触領域であって周方向に連続して延びている前記接触領域内の電位が同じであり、
   前記電気特性を検査する工程では、前記第１通電ロールの第１回転軸及び前記第２通電ロールの第２回転軸を介して前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールに電力を供給することによって、前記有機電子デバイスに前記第１通電ロール及び前記第２通電ロールのロール表面を介して通電する、
   有機電子デバイスの検査方法。

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