JP2008070729A - マスクパターン補正方法,マスクパターン補正装置およびそのプログラム - Google Patents
マスクパターン補正方法,マスクパターン補正装置およびそのプログラム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】フォトマスクにおいて入射される入射光の偏光状態と、その入射光が入射されたフォトマスクにおいて出射する出射光の偏光状態との間にて変化する特性値の変化値の分布を偏光変化算出部11が算出する。この後、その算出した変化値の分布に基づいて、マスクパターンを補正部21が補正する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明にかかる実施形態において、マスクパターン補正装置1を示す機能ブロック図である。
以下より、本実施形態のマスクパターン補正装置1がマスクパターンを補正する際の動作について説明する。
Claims (5)
- 設計パターンに対応するようにマスクパターンが形成され、入射光が入射されることによってマスクパターン像を出射し、ウエハに形成されたフォトレジスト膜へ当該マスクパターン像が転写されるフォトマスクにおいて、当該フォトマスクに形成されるマスクパターンを補正するマスクパターン補正方法であって、
前記フォトマスクにおいて入射される入射光の偏光状態と、前記入射光が入射された前記フォトマスクにおいて出射する出射光の偏光状態との間にて変化する特性値の変化値の分布を算出する偏光変化算出工程と、
前記偏光変化算出工程において算出された前記変化値の分布に基づいて、前記マスクパターンを補正する補正工程と
を有する
マスクパターン補正方法。 - 前記偏光状態算出工程は、
前記入射光が入射される前記フォトマスクの面において前記入射光が複屈折する際の複屈折率と光学軸との分布を測定する複屈折性測定工程と、
前記フォトマスクにおいて入射される入射光の偏光状態の分布を測定する入射光偏光状態測定工程と、
前記入射光偏光状態測定工程にて測定された入射光の偏光状態の分布に基づいて、前記フォトマスクにおいて入射される前記入射光のIPSの分布を算出する入射光IPS算出工程と、
前記入射光が入射された前記フォトマスクにおいて出射する出射光の偏光状態の分布を算出する出射光偏光状態算出工程と、
前記出射光偏光状態算出工程にて算出された出射光の偏光状態の分布に基づいて、前記フォトマスクにおいて出射される前記出射光のIPSの分布を算出する出射光IPS算出工程と、
前記入射光IPS算出工程にて算出された前記入射光のIPSと、前記出射光IPS算出工程にて算出された前記出射光のIPSとを差分処理することによって、前記変化値の分布を算出する変化値算出工程と
を有する
請求項1に記載のマスクパターン補正方法。 - 前記補正工程は、
前記変化値算出工程にて算出した前記変化値の分布に基づいて、前記入射光が前記フォトマスクへ入射されることによって前記フォトレジスト膜において転写される転写パターンをシミュレートする転写パターンシミュレーション工程
を有し、
前記転写パターンシミュレーション工程においてシミュレートされた転写パターンが前記設計パターンに対応して形成されるように、前記マスクパターンを補正する
請求項2に記載のマスクパターン補正方法。 - 設計パターンに対応するようにマスクパターンが形成され、入射光が入射されることによってマスクパターン像を出射し、ウエハに形成されたフォトレジスト膜へ当該マスクパターン像が転写されるフォトマスクにおいて、当該フォトマスクに形成されるマスクパターンを補正するマスクパターン補正装置であって、
前記フォトマスクにおいて入射される入射光の偏光状態と、前記入射光が入射された前記フォトマスクにおいて出射する出射光の偏光状態との間にて変化する特性値の変化値の分布を算出する偏光変化算出部と、
前記偏光変化算出部にて算出された前記変化値の分布に基づいて、前記マスクパターンを補正する補正部と
を有する
マスクパターン補正装置。 - 設計パターンに対応するようにマスクパターンが形成され、入射光が入射されることによってマスクパターン像を出射し、ウエハに形成されたフォトレジスト膜へ当該マスクパターン像が転写されるフォトマスクにおいて、当該フォトマスクに形成されるマスクパターンをコンピュータに補正させるプログラムであって、
前記フォトマスクにおいて入射される入射光の偏光状態と、前記入射光が入射された前記フォトマスクにおいて出射する出射光の偏光状態との間にて変化する特性値の変化値の分布を算出する偏光変化算出部と、
前記偏光変化算出部にて算出された前記変化値の分布に基づいて、前記マスクパターンを補正する補正部と
のぞれぞれとして、前記コンピュータを機能させるプログラム。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
CN104944854A (zh) * | 2015-06-09 | 2015-09-30 | 苏州云舒新材料科技有限公司 | 一种净化空气的建筑用材料及其制备方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0912323A (ja) * | 1995-06-29 | 1997-01-14 | Nikon Corp | 紫外線照射による緻密化が抑制された石英ガラス部材 |
JP2003515192A (ja) * | 1999-11-15 | 2003-04-22 | コーニング インコーポレイテッド | フォトリソグラフィ方法、フォトリソグラフィマスクブランク及び作成方法 |
JP2004047737A (ja) * | 2002-07-11 | 2004-02-12 | Toshiba Corp | 検査方法及びフォトマスク |
JP2004087987A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Canon Inc | 露光装置及び方法、並びに、デバイス製造方法 |
JP2005005521A (ja) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Nikon Corp | 露光装置、露光方法、および偏光状態測定装置 |
JP2005311187A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Canon Inc | 照明光学系、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP2006114904A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置、デバイス製造方法 |
JP2006251781A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-09-21 | Asahi Glass Co Ltd | マスクブランクス |
JP2006267997A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-10-05 | Nikon Corp | マスク基板、フォトマスク、露光方法、露光装置の管理方法、及びデバイス製造方法 |
JP2007121413A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Toshiba Corp | フォトマスク用基板の選別方法、フォトマスク作製方法及び半導体装置製造方法 |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0912323A (ja) * | 1995-06-29 | 1997-01-14 | Nikon Corp | 紫外線照射による緻密化が抑制された石英ガラス部材 |
JP2003515192A (ja) * | 1999-11-15 | 2003-04-22 | コーニング インコーポレイテッド | フォトリソグラフィ方法、フォトリソグラフィマスクブランク及び作成方法 |
JP2004047737A (ja) * | 2002-07-11 | 2004-02-12 | Toshiba Corp | 検査方法及びフォトマスク |
JP2004087987A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Canon Inc | 露光装置及び方法、並びに、デバイス製造方法 |
JP2005005521A (ja) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Nikon Corp | 露光装置、露光方法、および偏光状態測定装置 |
JP2005311187A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Canon Inc | 照明光学系、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP2006114904A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置、デバイス製造方法 |
JP2006251781A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-09-21 | Asahi Glass Co Ltd | マスクブランクス |
JP2006267997A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-10-05 | Nikon Corp | マスク基板、フォトマスク、露光方法、露光装置の管理方法、及びデバイス製造方法 |
JP2007121413A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Toshiba Corp | フォトマスク用基板の選別方法、フォトマスク作製方法及び半導体装置製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104944854A (zh) * | 2015-06-09 | 2015-09-30 | 苏州云舒新材料科技有限公司 | 一种净化空气的建筑用材料及其制备方法 |
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