JP2008062148A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 洗浄媒体を飛翔させ、洗浄対象物に衝突させることにより付着物を除去する洗浄装置であって、
   洗浄槽と、
   前記洗浄槽の内壁面に沿って循環気流を発生し、前記洗浄媒体を飛翔させる循環用気流発生手段と、
   前記飛翔した前記洗浄媒体を気流によって前記洗浄対象物に衝突させる洗浄媒体加速手段と、
   前記洗浄対象物から分離された付着物と洗浄によって劣化した洗浄媒体とを排出する洗浄媒体再生手段とを有し、
   前記洗浄媒体加速手段は、複数の加速ノズルを有し、
   前記複数の加速ノズルは、気流を交互に又は同時に噴射させることを特徴とする洗浄装置。
2. 前記洗浄媒体加速手段は、前記複数の加速ノズルの噴射角度を調節することにより気流を同時に噴射させることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
3. 前記洗浄槽は、ほぼ直方体状の中空体で形成されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
4. 前記洗浄媒体は、面積が１〜１０００ｍｍ ^２ であり、かつ厚さが１〜５００μｍの薄片状の物体であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の洗浄装置。
5. 前記洗浄媒体再生手段は、前記洗浄槽の底部内壁に配置された分離部材とフードで閉空間が形成され、前記分離部材上に積み上げられた洗浄媒体に前記循環用気流発生手段からの気流が作用することで、堆積した洗浄媒体の上層部から徐々に堆積を崩しながら持ち上げ、前記洗浄槽に沿って運搬して飛翔させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の洗浄装置。
6. 前記飛翔している洗浄媒体の量を検出する検出手段と、
   前記検出手段によって検出された前記洗浄媒体の量に応じて洗浄動作を制御する制御手段とを有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の洗浄装置。
7. 前記洗浄対象物を保持する保持手段と、
   前記保持手段で保持された洗浄対象物を移動させる移動手段と、
   前記移動手段で移動された洗浄対象物の位置を検知する検知手段と、
   前記検知手段によって検知された洗浄対象物の位置に応じて洗浄動作を制御する制御手段とを有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の洗浄装置。
8. 洗浄媒体を飛翔させ、洗浄対象物に衝突させることで付着物を除去する洗浄方法であって、
   洗浄槽の内壁面に沿って循環気流を発生し、前記洗浄媒体を飛翔させる循環用気流発生ステップと、
   前記飛翔した前記洗浄媒体を気流によって前記洗浄対象物に衝突させる洗浄媒体加速ステップと、
   前記洗浄対象物から分離された付着物と洗浄によって劣化した洗浄媒体とを排出する洗浄媒体再生ステップとを有し、
   前記洗浄媒体加速ステップは、複数の加速ノズルにより気流を交互に又は同時に噴射させることを特徴とする洗浄方法。