KR100890983B1 - 건식 세정 장치 및 건식 세정 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에서의 순환공기 발생유닛(6)은 세정 탱크(5)의 일면을 따라 유동하는 순환공기를 직접 발생시킨다. 상기 순환공기는 세정 매체(4)를 인도하여 비상(飛翔)시키도록 세정 매체(4)의 표면의 방향에 직교하는 방향으로부터 세정 탱크(5)에 축적된 세정 매체(4)에 인가된다. 세정 매체(4)는 순환공기의 힘에 의해 세정 탱크(5) 내부에서 비상한다. 세정 탱크(5) 내부에서 유동하는 세정 매체(4)는 세정매체 가속유닛(7)으로부터 공급된 고속의 공기에 의해 세정 대상물과 충돌하여, 세정 대상물 상의 먼지를 제거한다.

Description

건식 세정 장치 및 건식 세정 방법{DRY CLEANING DEVICE AND DRY CLEANING METHOD}

본 출원은 일본국 출원 제2006-240920호(2006년 9월 6일 출원), 제2006-240948호(2006년 9월 6일 출원) 및 제2006-240971호(2006년 9월 6일 출원)의 우선권 주장 출원으로서, 상기 문헌의 개시 내용은 참조로서 병합된다.

본 출원은 일반적으로 화상 형성 장치에 관한 것이며, 구체적으로는 화상 형성 장치에 사용된 부품의 건식 세정을 수행하기 위한 기술에 관한 것이다.

최근, 복사기, 팩시밀리 기기 및 프린터 등과 같은 사무기기의 제조에 있어서 자원 순환형 사회(resource recycling society)를 만들기 위하여 리사이클 활동(recycling activities)이 적극적으로 이루어지고 있다. 이러한 리사이클 활동은 소비자로부터 사용된 제품을 회수하여, 그 제품을 분해, 세정 및 재조립하고, 그 제품 자체 또는 제품의 특정 부품을 재사용하는 것을 포함한다. 화상 형성 장치의 경우, 복사기, 팩시밀리 기기 및 프린터와 같은 화상 형성 장치의 경우, 매우 미세한 분말인 토너(toner)가 화성 형성 장치 내부의 부품에 부착하는 것은 통상 불가피하다. 화상 형성 장치 자체 또는 그 부품을 재생하는 경우, 토너의 세정이 필요하다.

종래의 방법에 있어서, 예컨대 습식 세정 방법은, 토너를 세정하기 위하여 물 또는 용제를 사용한다. 그러나, 이러한 방법에 있어서는, 토너를 포함하는 유해 방출물을 처리하고, 세정이 완료된 후에 부품을 건조하기 위해 필요한 처리 때문에 에너지 소비, 환경 부담 및 비용 증가의 문제가 있다.

다른 종래 방법, 예컨대 건식 세정 방법은 토너를 세정하기 위하여 에어블로우(air blow)를 이용한다. 그러나, 강한 접착력으로 부착된 토너를 제거하는 데 있어 세정 능력이 충분하지 않으므로, 천(cloth) 등을 사용하여 수작업으로 토너를 제거하기 위한 추가 공정을 필요로 한다. 따라서, 세정 공정은 제품 재사용/재생 공정에 있어서의 장해 공정(bottleneck processes) 중의 하나로서 간주된다.

또 다른 종래 방법, 예컨대, 블라스트 세정(blast cleaning) 방법은, 토너에 대하여 드라이아이스를 사용한다. 그러나, 이들 방법은 드라이아이스를 대량 사용하기 때문에 가동 비용이 높으며 환경 부담이 커지게 된다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 일본국 특허 제3288462호 공보에는 세정 대상물에 부착된 먼지를 제거하는 건식 세정 장치가 개시되어 있다. 이 기술에 있어서, 상기 건식 세정 장치는 회전 실린더 내에서 탄성적으로 유연한 접촉부재(contact member)에 의해 대전된 세정 대상물을 교반하여 세정 대상물을 중성이 되도록 함으로써, 먼지의 접착력을 약화할 수 있으며, 상기 먼지는 세정 대상물로부터 제거될 수 있다. 그러나, 교반(agitation)으로 인한 접촉부재와 세정 대상물 사이의 접촉력은 충분하지 않기 때문에, 강한 접착력을 가진 먼지를 제거하는 것은 어려운 일이다.

게다가, 일본국 특허 제2889547호 공보에는, 세정 대상물에 강철, 알루미늄 또는 스테인레스로 만들어진 작은 구체(sphere) 또는 선재(wire rod)로부터 미세하게 절단된 입자를 불어 넣음으로써 세정 대상물로부터 부착물을 제거하는 기술이 개시되어 있다. 또한, 일본국 특허 제3468995호 공보에는 콘테이너 표면에 고체 미립자를 포함하는 고속 공기를 불어 넣음으로써 수지제의 콘테이너로부터 먼지나 띠끌을 제거하는 샷 블라스트(shot blast) 방법에 대한 기술이 개시되어 있다.

또한, 일본국 특허공개 제2005-329292호 공보에는 세정 대상물로부터 부착물을 제거하는 건식 세정 방법이 개시되어 있다. 이 건식 세정 방법에 있어서, 미세 입자를 흡착하는 미립자 세정 매체가 세정 대상 콘테이너로 도입되며, 세정 노즐은 세정 대상 컨테이너의 개구부에 삽입된다. 고속의 공기는 세정 대상 콘테이너로 주입되며 세정 노즐로부터 배출되어 세정 대상 콘테이너 내부의 세정 매체를 불어 올린다. 불어 올려진 세정 매체는 세정 대상 콘테이너의 내면에 부착된 입자를 제거한다. 이어서, 세정 매체는 세정 노즐 단부의 메시부(mesh portion)와 충돌하여, 세정 매체에 흡착된 미세 입자가 제거되고 걸러져 세정 매체의 재사용이 가능하게 된다. 재생된 세정 매체는 공기에 의해 다시 부상하여, 세정 대상 콘테이너를 반복하여 세정한다.

그러나, 일본국 특허 제3288462호 공보에 개시된 세정 장치에 있어서, 접촉부재와 세정 대상물 사이의 교반으로 인한 접촉력은 충분하지 않다. 그러므로, 강한 접착력으로 부착된 먼지를 제거하는 것은 곤란하다.

게다가, 일본국 특허 제2889547호 및 제3468995호 공보에 개시된 샷 블라스트 방법에 있어서는, 금속의 작은 구체나 선재로부터 미세하게 잘라낸 작은 조각이나 고체 미립자가 사용되기 때문에, 세정 대상물의 표면이 긁히고 마찰되어, 세정 대상물로부터 먼지를 제거하는 공정 동안 표면을 거칠게 만든다. 따라서, 샷 블라스트 방법은 세정 대상물에 대한 스크래치(scratch)가 허용되지 않는 경우에는 부적절하다.

더욱이, 일본국 특허공개 제2005-329292호 공보에 개시된 건식 세정 장치에서는, 세정 매체의 비상(飛翔, flowing up) 및 흡착(adsorption)에 의한 세정 매체의 재생 공정이 동시에 행해지며, 이것은 소형 콘테이너에 있어서 효율적이다. 그러나, 세정 대상물이 세정을 위해 도입되어 이동되는 대형 세정 탱크에 있어서는, 세정 매체를 비상시키기 위한 에너지가 분산되기 때문에, 세정 매체가 세정 탱크 내에서 비상하지 않고 축적되어, 세정 매체의 정체 흐름(stagnation flow)을 유발할 가능성이 있다. 그러므로, 대형 세정 탱크 내의 세정 매체를 충분히 비상시키고 재생하는 것이 어려워져, 세정 능력을 열화시키는 결과를 초래한다.

본 발명의 목적은, 종래 기술의 상기와 같은 문제점들을 적어도 부분적으로 해결하는 것이다.

본원 발명의 일 측면에 따르면, 세정 탱크 내에 존재하는 유연한 박편형 상(flake-shaped)의 세정 매체를 비상시키도록 세정 탱크 내부에 고속의 공기를 발생시키는 순환공기 발생유닛(circulation-air generating unit)과, 세정 대상물과 세정 매체가 충돌하도록 세정 탱크 내에서 유동하는 세정 매체를 가속하여 세정 대상물 상에 붙은 입자들을 분리하는 세정매체 가속유닛(cleaning -medium accelerating unit)과, 세정 대상물로부터 분리된 입자들을 흡인하여 세정 매체를 재생하는 세정매체 재생 유닛(cleaning-mediun recycle unit)을 포함하는 건식 세정 장치가 제공된다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 세정 탱크의 표면을 따라 유동하는 순환 공기에 의해, 세정 탱크의 일면 상에 축적된 유연한 박편형상의 세정 매체를 전달(deliver)하는 단계와, 상기 세정 탱크 내의 전달단계에서 전달된 유연한 박편형상의 세정 매체를 비상시키는 단계와, 상기 비상 단계에서 유동된 세정 매체를 고속의 공기에 의해 세정 대상물과 충돌하도록 하는 단계와, 상기 세정 대상물에 붙은 입자를 제거하는 단계를 포함하는 건식 세정 방법이 제공된다.

본 발명에서의 상술한 목적 및 그외의 목적, 특징, 이점 및 기술적, 산업상 중요성은 본 명세서에 첨부되는 도면을 참조하여, 이하의 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 상세한 설명에 의해 더욱 명확하게 이해될 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 순환공기 발생유닛은 세정 탱크(5)의 내면을 따라서 유동하는 순환공기를 직접 발생하며, 발생된 순환공기는 세정 탱크 내에 축적된 세정 매체의 일면의 방향에 직교하는 방향으로부터 세정 매체에 인가됨으로 써, 세정 매체가 전달되고 비상한다. 따라서, 순환공기에 의해 축적된 세정 매체를 유동시키기 위한 효율적인 힘을 인가하는 것이 가능하게 되어, 다수의 세정 매체를 유동시켜, 세정 매체와 세정 대상물과의 충돌 진동수를 증가시킨다. 결과적으로, 원하는 세정 품질을 실현하는 것이 가능하다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 세정매체 재생유닛이 흡인에 의해 세정 매체상의 부착물을 제거한다. 그러므로, 세정 매체의 청정도가 유지되어, 원하는 세정 품질을 유지하게 된다. 또한, 세정 매체를 반복하여 사용할 수 있으므로, 환경 부담이 낮은 세정을 수행하는 것이 실현된다.

이하에서는, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 대표적인 실시예에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.

도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 따르는 건식 세정 장치(1)의 개략도이다. 건식 세정 장치(1)는, 도 2에 나타낸 바와 같이 고속의 공기에 의해 유동된 세정 매체(4)를 이용하여 세정 대상물(2)에 부착된, 토너와 같은 다양한 먼지(3)를 제거한다. 건식 세정 장치(1)는, 세정 탱크(5), 순환공기 발생유닛(6), 세정매체 가속유닛(7), 및 세정매체 재생유닛(8)을 포함한다.

상기 건식 세정 장치(1)에 사용된 세정 매체(4)는, 과립형상, 스틱형상, 튜브형상(tubular shape), 섬유형상(fibriform), 박편 형상 등 중의 어느 하나로 형성될 수 있으며, 이들은 금속, 세라믹, 합성수지, 스폰지, 천 중의 어느 하나로 만들어진다. 세정 매체(4)의 형상 및 재료는 세정 대상물(2)의 형상 및 재료의 특 성, 또는 세정 대상물(2)에 부착된 먼지(3)의 입자 크기 또는 부착력에 따라 결정될 수 있다. 박편형상의 세정 매체(4)에 대해서는, 그 면적이 1 평방밀리미터(mm²) ~ 1000 평방 밀리미터(mm²) 사이의 범위에 있으며, 그 두께는 1 마이크로미터(㎛) ~ 500㎛ 사이의 범위에 있는 크기가 바람직하다. 예컨대, 합성 수지 또는 금속으로 만들어진 부품으로부터 전자사진 화상 형성 장치(electrophotographic image forming apparatus)에 사용된, 평균 직경 5㎛ ~ 10 ㎛인 토너 입자를 제거하기 위하여, 박편 형상의, 수지필름, 종이, 또는 금속 박편으로 만들어진 세정 매체(4)를 사용하는 것이 바람직하다.

세정 매체(4)가 박편 형상으로 되어 있는 경우, 세정 매체(4)의 가장자리 부분에서 세정 대상물(2)과 세정 매체(4)가 충돌할 때, 접촉력이 상기 가장자리 부분에 집중되어, 세정 매체(4)의 질량이 작더라도 세정 매체(4)가 먼지(3)를 제거하는데 필요한 힘을 얻을 수 있게 된다. 세정 대상물(2)에 대한 접촉력이 증가할 때 세정 매체(4)는 굴곡되어 인가된 힘을 잃게 되므로, 원치 않는 추가의 힘이 세정 대상물(2)에 인가되지 않는다. 따라서, 세정 대상물(2)은 바렐 마감(barell finishing)용의 일반적인 블라스트 샷 재료 또는 연마제와는 달리 거의 손상되지 않는다. 게다가, 세정 매체(4)가 세정 대상물(2)과의 충돌에 의해 굴곡이 유발된 때 인가된 공기의 점성 저항으로 인하여 박편형상 세정 매체(4)와 세정 대상물 사이에 대부분 비탄성 충돌(inelastic collision)이 일어난다. 따라서, 세정 매체(4)는 거의 튀어오르지 않는다. 세정 매체(4)와 세정 대상물(2) 사이에 경사 충 돌(oblique collision)이 발생하면, 세정 매체(4)는 세정 대상물(2)의 표면을 가로질러 미끄러져, 한 번의 충돌에 의해 상기 표면의 넓은 면적과 접촉한다. 상기 접촉에 기인한 스크래칭 동작 또는 마찰 동작으로 인하여, 평행력(parallel force)이 세정 대상물(2)에 부착된 먼지(3)의 접촉 표면에 인가된다. 결과적으로, 작은 힘으로 세정 대상물(2)로부터 먼지(3)를 제거하는 것이 가능하게 되어, 세정 효율이 증가한다.

세정 탱크(5)는 대략 직사각형 고체인 중공체(hollow body)로 형성되며, 세정 대상물(2)을 넣기 위한 그 상면 상의 세정대상 투입구(cleaning-target loading port, 9), 그 바닥부상의 개구부, 세정대상 투입구(9) 상의 유연성 있게 개폐가능한 커버(10), 및 그 바닥부의 개구부에 세정매체 재생유닛(8)을 포함한다. 세정 탱크(5)의 한쪽 표면의 내면 일부에는, 도 3에 나타낸 바와 같이 순환공기 발생유닛(6)이 배열되어, 세정 탱크(5)의 양측면, 바닥면 및 상면의 내부 표면상에 순환공기의 순환경로를 형성한다. 순환경로를 구성하는 내부 표면의 각 모서리부는, 도 3A에 나타낸 바와 같이 R 형상으로, 또는 도 3b에 나타낸 바와 같이, 각각의 측면, 상면 및 바닥면 사이에 소정의 각도 θ를 가지고 형성되어, 순환공기가 효율적으로 순환될 수 있다. 상기 소정 각도 θ는 보다 적은 저항으로 순환공기를 순환시키기 위하여 바람직하게는 120° ~ 150°사이에서 결정된다.

상술한 바와 같이, 순환 경로를 가진 내면의 각 모서리부는 각각의 인접 측면 사이에 소정 각을 가지고 또는 원형상으로 형성된다. 따라서, 세정 매체는 내면과 충돌하지 않고 전달될 수 있다. 결과적으로, 세정 매체를 효율적으로 전달하는 것이 가능하여, 세정 효율이 증가되며, 보다 적은 공기의 공급으로 세정 매체를 전달하므로, 에너지 절약이 실현된다.

순환공기 발생유닛(6)은 큰 직경의 유입 개구(61)를 가지는 입구부(62)와, 입구부(62)의 출구측 주변에 배열된 압축공기 공급개구(63)를 가지는 출구부(64)를 포함한다. 순환공기 발생유닛(6)은 출구부(64)의 유출 개구(65)를 향하여 발생된 압축공기 공급개구(63)로부터 공급된 고속의 기류(air flow)에 의해 입구부(62)로부터 공기를 들여오고, 압축공기 공급개구(63)로부터 공급된 압축공기량의 수배 내지 수십 배의 양의 공기를 내보낸다. 상기 순환공기 발생유닛(6)을 사용함으로써, 일반적인 에어블로우 노즐을 사용하는 경우에 비하여, 보다 적은 에너지로 세정 매체를 순환시키는 것이 가능하게 되어, 소비되는 압축 공기량을 줄일 수 있다. 게다가, 세정 탱크 내부의 음압을 용이하게 유지할 수 있으며, 세정 탱크(5) 외부로 먼지의 누출을 방지할 수 있다. 질화물 가스, 이산화탄소 가스, 아르곤 가스를 포함하는 불활성 가스 등의 다양한 가스를, 압축 공기 대신에 압축공기 공급개구(63)로부터 공급할 수 있다. 이하의 실시예에서는, 압축공기를 채용하는 경우에 대하여 설명된다. 순환공기 발생유닛(6)은 유입 개구(61) 측을 상방으로 하는 한편, 유출 개구(65) 측을 하방으로 하여, 세정 탱크(5)의 바닥부 근처 순환경로를 구성하는 측면 상에 배치된다.

세정매체 가속유닛(7)은 순환 경로를 구성하는 내면에 직교하는 정면상에 배열된 복수의 가속 노즐(71a)과, 가속 노즐(71a)이 배열된 정면에 마주보는 후면 상에 배열된 복수의 가속 노즐(71b)을 포함한다. 세정매체 가속유닛(7)은 각각의 가 속 노즐(71a, 71b)을 통하여 세정 탱크(5) 내부에, 압축기와 압축 탱크와 같은 압축공기원으로부터 공급된 압축공기를 분출하여, 세정 매체(4)가 세정 대상물(2)과 충돌하게 한다. 가속 노즐(71a, 71b)에 대해서는, 순환공기 발생유닛(6)과 같이 분출 노즐(blowout nozzle)을 사용하는 것이 바람직하다.

세정 탱크 내부에 순환공기의 순환경로를 구성하는 표면에 직교하는 표면상에 세정매체 가속유닛(7)이 배치되고, 세정 탱크의 표면 내부에 세정매체 가속유닛(7)의 노즐이 매설되어, 순환공기의 순환에 간섭을 피하며, 세정 매체를 세정 대상물과 효율적으로 충돌하게 하는 것이 가능하다.

세정매체 재생유닛(8)은, 세정 탱크(5)의 바닥부의 내면 상에 배열된 분리 부재(separation member, 81) 및 후드(hood, 82)를 포함하여, 도 5a의 사시도 및 도 5b의 부분 단면도에 나타낸 폐쇄 공간을 형성한다. 상기 폐쇄 공간은 호스(hose)와 같은 흡인관(11)을 통하여 음압 발생원을 포함하는 집진기(dust collector)(미도시)에 연결되어 후드(82) 내에 음압을 발생시킨다. 분리부재(81)는, 공기와 입자는 통과할 수 있지만 세정 매체(4)는 통과할 수 없는 크기의 복수의 소형 망(poles)과 슬릿(83)을 포함하며, 금속, 플라스틱 메시, 메시, 천공된 금속판, 및 슬릿판와 같은 다공성 부재로 만들어진다. 이러한 구조에 의해, 분리부재(81)는 세정 대상물(2)로부터 제거된 먼지를 제거하며, 세정 대상물(2)과의 충돌에 의해 마모되고 깨진 세정 매체(4) 또는 장기간 사용에 의해 탄성이 열화된 세정매체(4)를 제거한다.

상술한 바와 같이, 세정 매체에 부착된 먼지 등은 세정매체 재생유닛에 의해 흡착으로 제거되어, 세정 매체의 청정도를 유지하는 것이 가능하다. 그러므로, 고품질의 세정을 유지하는 것이 가능하며, 세정 매체를 반복하여 사용할 수 있어, 환경부담이 낮은 세정을 실현하게 된다.

세정매체 재생유닛을 세정 탱크의 바닥부에 배치함으로써, 중력에 의해 세정 탱크의 바닥부에 떨어진 세정 매체가 세정매체 재생유닛을 통과할 가능성을 증가시킬 수 있어, 세정 매체의 재생 효율이 증가된다. 결과적으로, 세정 매체의 청정도를 개선할 수 있어, 세정의 품질이 개선된다.

건식 세정 장치(1)의 제어기(12)는, 공기순환(air circulation) 솔레노이드 밸브(14), 가속 솔레노이드 밸브(15), 가속-전환(acceleration-switching) 제어 밸브(16) 및 재생 솔레노이드 밸브(17)를 포함하고, 도 6의 블럭도 및 도 7a 와 7b의 파이프라인도에 나타낸 바와 같이, 이들은 서로 제어기(12)에 접속되어 있으며, 구동 유닛(13)으로부터의 구동 신호에 의해 각각의 솔레노이드 밸브를 제어한다. 상기 공기순환 솔레노이드 밸브(14)는 압축공기 공급장치(18)로부터 순환공기 발생유닛(6)으로 압축공기를 공급하기 위한 공기 파이프의 전도(conduction) 또는 비전도(non-conduction)를 수행한다. 가속 솔레노이드 밸브(15)는 세정매체 가속유닛(7)으로 압축 공기를 공급하기 위한 공기 파이프의 전도 및 비전도를 수행한다. 상기 가속-전환 제어 밸브(16)는 세정매체 가속유닛(7)의 측면 상에 배열된 가속 노즐(71a, 71b)에 각각 공급되는 압축 공기의 유동 방향을 전환한다. 재생 솔레노이드 밸브(17)는 집진기(19)에 세정매체 재생유닛(8)을 연결하는 흡인관(11)의 전도 및 비전도를 수행한다.

이하에서는, 도 8의 타임차트를 참조하여, 건식 세정 장치(1)의 작업물 이동유닛(work moving unit, 21)에 의해, 작업물 유지유닛(work holding unit, 20)에 의해 유지된 세정 대상물을 세정 탱크(5)에 투입함으로써, 세정 대상물(2)에 부착된 먼지(3)를 제거하는 작업에 대하여 설명한다.

박편형상 세정 매체(4)는 세정 탱크(5)로 도입되어, 세정매체 재생유닛(8)의 분리 부재(81)상에 축적된다. 이어서, 작업물 유지유닛(20)에 의해 유지된 세정 대상물(2)은 작업물 이동유닛(21)에 의해 세정대상 투입구(9)로부터 넣어져 초기 위치에 설정된다. 커버(10)는 세정 탱크(5)를 밀봉하도록 폐쇄된다. 구동 유닛(13)의 작동에 의해 세정 개시 신호를 수신하면, 제어기(12)는 공기순환 솔레노이드 밸브(14)를 개방하고, 압축기와 같은 압축공기 공급장치(18)로부터 순환공기 발생유닛(16)으로 압축공기를 공급하여, 순환공기 발생유닛(6)은 세정탱크(5)의 내면 상에 배치된 순환경로를 따라 유동하는 순환공기를 발생시킨다. 순환공기는 분리부재(81)를 따라서 유동하여, 도 9a에 나타낸 바와 같이 길이 방향으로부터 분리부재(81) 상에 축적된 박편형상 세정 매체(4) 상에 작용하여, 점차 축적물 상부로부터 세정 매체(4)의 축적물을 깎아낸다. 결과적으로, 세정 매체(4)는 도 9b와 9c에 나타낸 바와 같이, 세정 탱크(5) 내로 전달되어 비상한다. 세정 매체(4)를 비상시키기 위한 순환공기가 순환공기 발생유닛(6)로부터 세정 탱크(5)로 직접 분사되기 때문에, 큰 충돌력이 축적된 세정 매체(4)에 인가될 수 있다. 그러므로, 순환공기에 의해 축적된 세정 매체(4)를 확실하게 비상시키는 것이 가능하다.

상술한 바와 같이, 순환공기 발생유닛은 세정매체 재생유닛 상에 축적된 세 정 매체의 표면을 따라 유동하는 순환공기를 발생시킨다. 따라서, 대량의 세정 매체에 대하여 축적된 세정 매체를 비상시키기 위한 큰 힘이 인가되어, 세정 탱크의 내면을 따라서 세정 매체를 순환시키는 것이 가능하다. 결과적으로, 세정 효율이 개선될 수 있다.

환언하면, 세정매체 재생유닛을 따라서 순환공기 발생유닛에 의해 발생된 순환공기를 유동하게 함으로써, 세정매체 재생유닛으로부터 세정매체 재생유닛에 붙은 세정 매체를 확실하게 제거하고, 세정 탱크 내에 세정 매체를 전달하는 것이 가능하다. 게다가, 세정 매체를 재생하는 세정매체 재생유닛의 성능을 유지하는 것이 가능하다.

또한, 세정 탱크의 길이방향을 따라서 순환공기 발생유닛으로부터 순환공기를 발생시킴으로써, 순환공기는 유동시 분산되지 않으며 그 힘을 상실하지 않는다. 따라서, 세정 탱크의 바닥부에 축적된 세정 매체에 순환공기의 힘을 효율적으로 인가하는 것이 가능하다. 아울러, 순환공기 발생유닛의 수가 작고 순환공기 발생유닛에 공급된 공기의 양이 적더라도 세정 매체를 전달하여 비상시키는 것이 가능하다. 결과적으로, 세정에 필요한 에너지량을 억제하는 것이 가능하다.

상술한 바와 같이, 축적된 박편형상의 세정 매체(4)를 공기에 의해 전달하고 비상시키기 위하여, 도 10a에 나타낸 바와 같이, 분리부재(81)상에 축적된 박편형상 세정 매체(4)에 대하여 축적된 세정 매체(4)의 길이방향에 직교하는 방향으로 노즐(22)에 의해 공기가 인가될 때, 압축공기가 인가된 세정 매체(4)의 전부를 비상시키는데 충분한 에너지로 압축된 공기를 공급하는 것이 필요하다. 따라서, 도 10b에 나타낸 바와 같이, 세정 매체(4)의 축적량이 증가함에 따라서 세정 매체(4)를 유동시키는 것이 어려워진다. 뿐만 아니라, 공기를 방출하는 노즐(22) 바로 위의 부분 상에 축적된 세정 매체(4)를 비상시키는 것은 가능하지만, 축적된 박편형상 세정 매체(4)의 유동성이 낮기 때문에, 분리부재(81)가 도 10c에 나타낸 바와 같이, 심지어 노즐(22)을 향하여 경사져 있을 때에도 축적된 세정 매체(4)의 전부를 비상시키는 것은 어렵다. 결과적으로, 노즐(22) 주위 부분에 축적된 세정 매체는 비상하지 않고 잔존한다. 이와는 반대로, 세정 탱크(5)의 내면 상의 순환경로를 따라서 유동하는 순환공기를, 순환공기 발생유닛(6)에 의해 발생시켜 분리부재(81) 상에 축적된 세정 매체(4)의 길이 방향으로부터 공기가 인가되는 경우, 적은 에너지로 세정 매체(4)를 확실하게 비상시키는 것이 가능하다. 결과적으로, 순환공기 발생유닛(6)에 공급된 압축공기의 소비량을 줄일 수 있다. 만일, 세정 매체(4)가 덕트 또는 호스를 이용하여 공기에 의해 전달된다면, 세정 매체(4)에 의해 덕트 또는 호스가 막힐 수 있다. 그러나, 순환공기의 순환경로는 제1 실시예에서 세정 탱크(5)의 내면 상에 형성되며, 순환경로 내의 세정 매체(4)가 막히는 것을 피할 수 있어, 세정 탱크(5) 내의 세정 매체(4)를 비상시키게 된다.

본 실시예에 따르면, 유연한 박편형상 세정 매체를 전달하고 비상시키는 순환공기는 세정 탱크의 내면을 따라서 유동하므로, 순환공기는 분산되지 않으며 그 힘도 상실하지 않는다. 따라서, 세정 탱크상에 축적된 세정 매체에 대하여 순환공기의 힘을 효율적으로 인가할 수 있어, 적은 양의 공급 공기에 의해 대량의 세정 매체를 인도하고 비상시킬 수 있다. 결과적으로, 세정에 필요한 에너지 소비가 억 제된다. 게다가, 일단 제거된 먼지가 세정 탱크의 내면에 재부착하더라도, 대량의 세정 매체가 순환하기 때문에 내면은 연속적으로 세정될 수 있다. 따라서, 세정 탱크의 세정과 같은 유지보수(maintenance) 작업을 줄일 수 있다.

순환공기를 발생하는 순환공기 발생유닛(6)은, 세정 탱크(5) 내에 순환경로를 구성하는 측면의 바닥부 주위에, 유입 개구(61) 측이 상방, 유출 개구(61) 측이 하방으로 되어 배열되어 있다. 그러므로, 세정 탱크(5)의 바닥면을 따라서, 세정 탱크(5)의 바닥부상의 분리부재(81)에 축적된 세정 매체(4)에 대하여 강한 힘을 가진 공기를 인가하는 것이 가능하다. 결과적으로, 유출 개구(65)로부터 떨어진 영역으로 세정 탱크(5)의 내면을 따라서 세정 매체(4)를 전달하는 것이 가능하다. 뿐만 아니라, 유입 개구(61)로 도입된 세정 매체(4)가 분산되어, 공간 밀도가 줄어든다. 따라서, 세정 매체(4)는 유입 개구(61)를 거의 막지 않으므로, 안정적으로 순환공기를 발생시키게 된다. 환언하면, 유입 개구(61)가 그 개구측이 하방에 있는 세정 탱크의 바닥부 주위에 배열되면, 흡입 공기의 힘은 오직 유입 개구(61) 주위의 세정 매체(4)에만 인가된다. 따라서, 세정 탱크(5)의 바닥부에 축적된 대량의 세정 매체(4)를 전달하는 것이 어렵다. 뿐만 아니라, 대량의 축적된 세정 매체(4)가 유입 개구(61)에 의해 흡착될 때, 유입 개구(61)의 공간 밀도가 세정 매체(4)에 의해 증가된다. 그러므로, 유입 개구(61)가 막힌다. 그러나, 제1 실시예에 설명된 구조에 의하면, 이러한 문제들을 피하는 것이 가능하다.

제어기(12)는 소정 시간이 경과하면 공기 순환 솔레노이드 밸브(14)를 폐쇄하고, 순환공기 발생유닛(6)이 순환공기를 발생하는 것을 정지시킨다. 이어서, 제 어기(12)는, 작업물 이동유닛(21)이 초기위치로부터 세정 대상물(2)을 끌어내리도록 하고, 가속 솔레노이드 밸브(15)를 개방하여 가속-전환 제어 밸브(16)를 통하여 세정매체 가속유닛(7)에 압축공기를 공급함으로써, 압축공기가 세정매체 가속유닛(7)의 가속 노즐(71a)로부터 분출된다. 제어기(12)는 재생 솔레노이드 밸브(17)를 개방하여 세정매체 재생유닛(8)을 집진기(19)로 전도하고, 후드(82)에 음압을 발생시킨다. 순환공기 발생유닛(6)에 의해 발생된 순환공기가 정지하면, 순환공기에 의해 유동된 세정 매체(4)가 아래로 떨어진다. 떨어진 세정 매체(4)가 가속 노즐(71a)로부터 분사된 압축공기에 의해 세정 대상물(2)과 충돌하게 되어, 세정 대상물(2)의 표면에 부착된 먼지(3)를 제거한다.

세정 대상물(2)로부터 제거된 먼지(3)와 세정 대상물(2)과의 충돌로 인하여 먼지가 부착된 세정 매체(4)는 중력에 의해 떨어져, 후드(82) 내부의 음압에 기인하여 공기를 진공흡인하는 세정매체 재생유닛(8)의 분리 부재(81) 상에 축적된다. 분리부재(81) 상에 떨어진 먼지와 세정 매체(4)에 부착된 먼지는 후드(82) 내부의 음압으로 인하여 후드(82)로 진공흡인되어, 집진기(19)에 의해 수집된다. 결과적으로, 먼지가 부착된 세정 매체(4)는 효율적으로 재생될 수 있다.

가속 노즐(71a)로부터 압축공기를 소정 시간 동안 분사할 때, 제어기(12)는 가속 솔레노이드 밸브(15)와 재생 솔레노이드 밸브(17)를 폐쇄하고, 세정매체 가속유닛(7)과 세정매체 재생유닛(8)의 작동을 멈춘다. 재생 솔레노이드 밸브(17)가 폐쇄되면, 후드(82) 내부의 음압이 해제되어, 분리 부재(81) 상에 축적된 세정 매체(4)에 대한 후드(82)의 진공력(vacuum force)은 상실된다. 그러므로, 세정 매 체(4)는 순환 공기의 계속되는 유동에 의해 분리 부재(81)로부터 제거된다. 따라서, 세정 매체가 분리부재(81)의 메시부를 덮어 밀봉하도록 하지 않고서 세정 매체(4)로부터 먼지를 연속적으로 제거할 수 있다. 그러므로, 세정 매체(4) 전부를 교체할 필요가 없어, 손상으로 인한 부족한 양을 공급하여 세정 매체(4)를 효율적으로 이용하는 것이 가능하다. 결과적으로 유지보수 효율을 개선할 수 있다.

상술한 바와 같이, 세정매체 재생유닛을 간헐적으로 작동시킴으로써, 세정매체 재생유닛에 붙은 세정 매체를 세정매체 재생유닛으로부터 제거하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 세정매체 재생유닛의 성능이 유지될 수 있다.

보유력(retaining force)이 세정 매체에 인가되기 때문에, 세정매체 재생유닛이 재생을 위하여 세정 매체를 진공흡인할 때, 세정 매체가 이동하는 것이 어렵다. 그러나, 세정 매체는 제1 실시예에 따르면 세정 매체의 순환 동안 세정 매체가 재생되는 것이 아니므로, 세정 매체의 효율적인 순환을 실현하는 것이 가능하다. 결과적으로, 세정매체 가속유닛에 다수의 세정 매체를 투입할 수 있어, 세정 효율을 개선시킨다.

제어기(12)는 공기순환 솔레노이드 밸브(14)를 재개방하여 순환공기 발생유닛(6)이 순환공기를 발생시키도록 하며, 소정 시간(T1) 동안 세정매체 재생유닛(8)의 분리 부재(81) 상에서 재생되어 축적된 세정 매체(4)를 유동시킨다. 이어서, 제어기(12)는 가속 솔레노이드 밸브(15)와 재생 솔레노이드 밸브(17)를 개방하여 가속-전환 제어 밸브(16)를 가속 노즐(71b)로 전환하고, 소정 시간 동안 세정 대상물(2)로부터 먼지를 제거하는 공정과, 세정 매체(4)를 재생하는 공정을 수행한다. 세정 대상물(2)로부터 먼지를 제거하는 공정과 세정 매체(4)를 재생하는 공정을 수행하기 위한 시간은 순환공기를 발생시키는 시간보다 더 길게 설정되어, 폭넓은 범위의 세정 대상물(2)이 세정될 수 있다. 압축공기가 가속 노즐(71a, 71b) 각각으로부터 교대로 분출되기 때문에, 상기 가속 노즐(71a, 71b) 각각으로부터 분출된 공기 사이의 간섭을 피할 수 있다. 그러므로, 세정 매체(4)를 세정 대상물(2)과 확실히 충돌하게 하는 것이 가능하다. 결과적으로, 세정 매체(4)의 세정 효율이 개선될 수 있다.

세정 대상물(2)이 초기 위치로부터 점차 아래로 이동하면서, 순환공기를 발생하고, 세정 대상물(2)로부터 먼지를 제거하며, 세정 매체(4)를 재생하는 공정을 반복하여 수행한다. 도 11b에 나타낸 바와 같이, 세정 대상물(2)이 반환점 위치(turn-round position)에 도달하면, 작업물 이동유닛(21)은 세정 대상물(2)을 아래로 이동시키는 것을 정지하고, 점차 세정 대상물을 상방으로 이동시킨다. 세정 대상물(2)이 점차 상방으로 이동될 때, 제어기(12)는 순환공기를 발생하는 공정, 세정 대상물(2)로부터 먼지를 제거하는 공정, 및 세정 매체(4)를 재생하는 각각의 공정을 교대로 수행하여, 세정 대상물(2)의 전체 표면으로부터 먼지(3)를 제거한다. 도 11c에 나타낸 바와 같이, 세정 대상물(2)이 세정 탱크(5)의 상단부, 즉 초기위치에 도달하면, 제어기(12)는 세정 동작을 정지한다. 세정 동작을 멈추면, 제어기(12)는 세정 탱크(5)의 커버(10)를 개방하여 작업물 이동유닛(21)을 이용하여 세정 탱크(5)로부터 작업물 유지유닛(20)에 의해 유지된 세정 대상물(2)을 배출한다. 계속하여, 세정 대상물(2)은 새로운 세정 대상물로 교체되어 세정 동작이 재개 된다.

상술한 바와 같이, 세정매체 순환유닛 및 세정매체 가속유닛 또는 세정매체 재생유닛을 간헐적으로 작동시킴으로써, 세정 매체를 가속하고, 진공흡인하며 순환시키는 각각의 동작 사이의 간섭을 피하는 것이 가능하다. 따라서, 세정 매체를 효율적으로 이동시켜, 세정 매체를 세정 대상물과 충돌하게 하는 것이 가능하다. 결과적으로, 세정 성능이 개선될 수 있으며, 에너지 소비도 감소될 수 있다.

압축공기가 세정매체 가속유닛(7)의 각각의 가속 노즐(71a, 71b)로부터 교대로 분출되어 세정 대상물(2)의 전체 표면을 세정한다고 설명하였지만, 공기를 분사하기 위한 각도를 조정함으로써 각각의 가속 노즐(71a, 71b)로부터 동시에 압축 공기를 분출하는 것이 가능하다. 먼지가 세정 대상물(2)의 일면 상에만 부착되는 경우, 가속 노즐(71a, 71b) 중의 하나로부터 압축 공기를 분사하는 것으로 충분하다.

순환공기 발생유닛에 의해 발생된 순환공기 및 발생된 공기가 동일한 평면내에서 유동하지 않도록 하는 방식으로 세정매체 가속유닛을 배열함으로써, 순환공기 및 세정 매체를 가속하기 위한 공기 사이의 간섭을 피한다. 결과적으로, 안정적인 세정 성능을 실현할 수 있다.

게다가, 세정 탱크(5) 내부의 평탄면 상에 순환공기 발생유닛에 의해 발생된 순환공기의 순환경로가 형성된다고 설명하였지만, 도 13a 및 13b에 나타낸 바와 같이, 세정 탱크(5)의 순환 경로를 구성하는 표면(51)상에, 순환공기의 유동 방향을 따르는 만곡된 표면으로 또는 사각형상으로 형성된 복수의 홈(23)을 배열하는 것이 가능하다. 홈(23) 내로 세정 매체가 거의 떨어지지 않도록, 세정 매체(4)의 표면 크기보다 작은 폭을 가진 홈(23)을 배열하는 것이 바람직하다. 상술한 바와 같이, 홈(23)을 배열하여, 세정 탱크(5)의 표면(51)과 세정 매체(4) 사이에 공간이 형성되어, 표면(51)과 세정 매체(4) 사이의 접촉 저항이 감소될 수 있다. 게다가, 홈(23) 내에 순환공기를 유동하게 함으로써, 세정 매체(4)를 효율적으로 전달하는 것이 가능하게 되어, 다량의 세정 매체(4)의 전달을 실현한다. 또한, 순환공기는 복수의 홈(23)에 의해 정류(rectifying)되기 때문에, 난류(turbulence)의 발생을 피할 수 있어, 공기력(air force)의 열화를 방지하게 된다. 따라서, 세정 매체(4)를 효율적으로 인도하고 비상시킬 수 있어, 세정 효율이 개선된다. 홈(23)은 공기가 홈(23)을 통하여 통과할 수 있는 높이이면 충분하다. 예컨대, 상기 높이가 0.1밀리미터(mm) ~ 1mm 사이의 범위로 설정되면, 홈(23)은 용이하게 가공될 수 있다.

도 13c 및 13d에 나타낸 바와 같이 오목하게 만곡된 표면상에, 순환경로가 세정 탱크(5)에 형성된 표면(51)을 형성하는 것이 허용된다. 오목하게 만곡된 표면상에 형성된 표면(51)에 의해, 순환공기의 분산을 방지하는 것이 가능하다. 따라서, 다량의 세정 매체(4)가 인도될 수 있어, 세정 탱크(5) 내에 다량의 세정 매체(4)를 분산시키는 것을 가능하게 한다. 결과적으로, 세정 효율을 개선할 수 있다.

도 14a 및 14b에 나타낸 바와 같이, 순환경로가 형성된 세정 탱크(5)의 일측면의 상부 또는 상면 상에, 세정매체 가속유닛(7)을 향하여 세정 매체(4)를 안내하는 공기 정류 유닛(24)을 배열하는 것이 바람직하다. 순환경로 상에 공기 정류 유닛(24)을 배치함으로써, 세정매체 가속유닛(7)과 세정 대상물(2) 사이에 다량의 세 정 매체(4)를 분산할 수 있어, 세정 효율을 개선하게 된다. 게다가, 그 유동 방향이 공기 정류 유닛(24)에 의해 변경되는 세정 매체(4)를 직접 세정 대상물(2)과 충돌하게 하여 세정을 행하는 것이 가능하다. 세정 대상물(2)의 형상 또는 위치에 따라서 공기 정류 유닛(24)에 의한 공기의 유동 각도를 조정하는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같이. 세정 탱크 내에 세정매체 가속유닛으로부터 고속의 공기를 분사하는 경로를 향하여 순환공기를 안내하는 공기 정류 유닛을 배치함으로써, 세정 매체를 전달하기 위한 기류 속도가 증가되는 경우라도, 세정 매체를 세정 대상물과 확실하게 충돌시키는 것이 가능하다. 따라서, 세정 대상물과 충돌하지 않고 세정 매체가 순환한다고 하는 손실을 감소시키는 것이 가능하다. 결과적으로, 세정 매체를 효율적으로 사용하는 것이 가능하다. 게다가, 세정매체 가속유닛으로부터의 에너지에 추가하여 순환경로를 통하여 전달된 운동에너지를 효율적으로 이용하여, 세정 대상물과 세정 매체가 충돌하도록 하는 것이 가능하다. 따라서, 세정 효율이 개선될 수 있다.

도 15a 및 도 15b에 나타낸 바와 같이, 직사각형 형상으로 세정 탱크를 형성하지 않고, 세정 탱크(5)의 바닥부 상에 개구부를 포함하는 경사면(52)을 배치하는 것이 가능하다. 경사면(52) 위에 세정매체 재생유닛(8), 경사면(52)의 하부에 순환공기 발생유닛(6)을 배치하고, 순환공기 발생유닛(6)으로부터 경사면을 따라 순환공기를 유동하게 하는 것이 가능하다. 이러한 구조에 의하면, 세정 대상물(2)과의 충돌에 의해 세정 대상물(2)로부터 먼지를 제거한 후에, 세정매체(4)가 세정매체 재생유닛(8)의 분리 부재(81) 상에 떨어지면, 세정 매체(4)가 순환공기 발생유 닛(6)의 유출 개구(65) 주위에서 쉽게 수집될 수 있다. 순환공기 발생유닛(6)으로부터 수집된 세정 매체(4)로 순환공기를 발생시킴으로써, 보다 적은 양의 압축공기에 의해 다수의 세정 매체(4)를 전달할 수 있어, 에너지 절약을 실현한다. 게다가, 세정매체 재생유닛(8)이 세정 매체(4)를 수집하기 위한 영역으로서 배치된 영역을 이용함으로써, 세정 매체(4)를 재생하기 위하여 보다 긴 시간이 소요될 수 있다. 결과적으로, 세정 매체(4)를 재생하는 효율성이 개선될 수 있다.

제1 실시예에서는, 순환공기 발생유닛(6)이 세정 탱크(5) 내에 단수로 배치되어 있는 것으로 설명되어 있다. 그러나, 본 발명의 제2 실시예에서는, 순환공기 발생유닛(6a, 6b)이 세정매체 재생유닛(8)의 분리 부재(81)를 사이에 끼우는 방식으로, 세정 탱크(5)의 측면의 각각의 바닥부 주위에 두 개의 순환공기 발생유닛(6a, 6b)을 대칭으로 배치하는 것이 가능하다. 도 16에 나타낸 예에서는, 순환공기 발생유닛(6a, 6b)이 세정 탱크(5) 외측에 배치되고, 유출 개구(65)가 세정 탱크(5)의 하부에 배치되며, 유입 개구(61)는 덕트 호스(25)를 통하여 세정 탱크(5)의 상부에 연결되어 있다. 이러한 경우에, 제어기(12)는, 도 17의 블럭도에 나타낸 바와 같이, 공기순환 솔레노이드 밸브(14), 가속 솔레노이드 밸브(15), 가속-전환 제어 밸브(16) 및 재생 솔레노이드 밸브(17) 뿐만 아니라, 도 18의 블럭도에 나타낸 바와 같이 압축 공기의 공급을 순환공기 발생유닛(6a, 6b)으로 전환하는 순환-전환 제어 밸브(26)의 동작을 제어한다. 세정 탱크(5) 내부에 순환공기를 발생시킴으로써 세정 매체(4)를 유동하게 하는 경우, 제어기(12)는, 순환공기 발생유닛(6a, 6b) 각각으로부터 순환공기를 교대로 발생시키도록 순환-전환 제어 밸 브(26)를 제어한다. 따라서, 세정 매체(4)는 세정 탱크(5) 내부에 거의 축적되지 않는다. 그러므로, 세정 탱크(5) 내부의 세정 매체(4)를 효율적으로 사용할 수 있어, 세정 매체(4)와 세정 대상물(2) 사이의 충돌 가능성이 증가한다. 결과적으로, 세정 효율이 개선될 수 있다.

덕트 호스(25)를 통하여 세정 탱크(5)의 상부에 유입 개구(61)를 접속함으로써, 세정 탱크(5) 내부에서 상승하는 기류를 발생하는 것이 가능하다. 따라서, 세정 매체(4)가 부유되는 지속기간이 증가될 수 있어, 유동하는 세정 매체(4)의 수가 증가된다. 결과적으로, 가속 노즐(71a,71b)로부터 분출된 압축공기에 의해 세정 대상물(2)과 충돌하는 세정 매체(4)의 수를 증가시킬 수 있어, 세정성능을 개선한다. 유입 개구(61)가 덕트 호스(25)를 통하여 세정 탱크(5)에 연결되지만, 덕트 호스(25)는 세정 매체(4)로 인하여 공간 밀도가 작은 세정 탱크(5)의 상부에 접속되므로, 세정 매체(4)가 덕트 호스(25) 또는 순환공기 발생유닛(6a, 6b)를 막히게 하는 것을 방지할 수 있다.

세정매체 재생유닛(8)은 세정 탱크(5) 내에 단수로 배치된다고 설명되었지만, 본 발명의 제3 실시예에서는 세정매체 재생유닛(8)을 복수개 배치하는 것이 가능하다. 예컨대, 도 19에 나타낸 바와 같이, 세정 탱크(5)의 바닥부에 배치된 세정매체 재생유닛(8) 뿐만 아니라, 가속 노즐(71a, 71b) 어레이를 사이에 끼우는 복수의 세정매체 재생유닛(8a ~ 8d)을 배치하는 것이 가능하다. 이러한 경우, 제어기(12)는, 도 20에 블럭도에 나타낸 바와 같이 공기순환 솔레노이드 밸브(14), 가속 솔레노이드 밸브(15), 가속-전환 제어 밸브(16), 재생 솔레노이드 밸브(17) 및 순환-전환 제어 밸브(26) 뿐만 아니라, 도 21의 블럭도에 나타낸 바와 같이, 세정매체 재생유닛(8)에 수행된 흡인 동작을 전환하는 흡인-전환 제어 밸브(27)와, 세정매체 재생유닛(8a ~ 8d) 각각에 수행된 흡인 동작을 스위칭하는 흡인-전환 제어 밸브(28)의 각각의 동작을 제어한다. 도 22에 나타낸 바와 같이, 세정 대상물(2)을 세정 탱크(5)의 정면에 배치된 가속 노즐(71a)로부터 압축공기를 분사하여 세정하는 경우, 제어기(12)는 세정매체 재생유닛(8)에 흡인-전환 제어 밸브(28)를 연결하며, 세정 탱크(5)의 후면에 배치된 세정매체 재생유닛(8c, 8d)에 흡인-전환 제어 밸브(28)을 연결한다. 한편, 세정 탱크(5)의 후면에 배치된 가속 노즐(71b)로부터 압축공기를 분사함으로써 세정 대상물(2)을 세정하는 경우, 제어기(12)는 세정 탱크(5)의 정면에 배치된 세정매체 재생유닛(8a, 8b)에 흡인-전환 제어 밸브(28)를 연결한다. 이러한 방식으로, 가속 노즐(71a)로부터 분사된 압축공기에 의해 비상한 세정 매체(4)와 먼지(3)는 세정매체 재생유닛(8c, 8d)에 붙는다. 먼지(3)와 세정 매체(4)가 세정매체 재생유닛(8c, 8d)에 붙는 경우, 가속 노즐(71a)로부터의 기류는 세정매체 재생유닛(8c, 8d)으로부터의 흡입 공기뿐만 아니라, 먼지(3)와 세정 매체(4)에 작용한다. 따라서, 세정매체 재생유닛(8c, 8d) 각각의 분리 부재(81)의 메시부에서의 유동 속도를 대부분 증가시킬 수 있어, 세정 매체(4)에 부착된 먼지(3)를 제거하는 성능을 개선시킨다. 결과적으로, 세정 매체(4)는 확실하게 재생될 수 있다. 가속 노즐(71a)로부터 압축공기의 분사가 정지되면, 세정매체 재생유닛(8c, 8d)은 소정 시간이 경과된 후에 흡인 동작을 종료한다. 그러므로, 세정매체 재생유닛(8c, 8b)으로부터 세정매체 재생유닛(8c, 8b)에 붙은 세정 매체를 확실하 게 제거할 수 있다.

상술한 바와 같이, 세정매체 재생유닛 각각에 의해 수행된 세정 매체의 재생 동작을 교대로 전환함으로써, 세정 매체 흡인작용은 세정 탱크 내의 세정매체 재생유닛 중의 하나에서 연속하여 수행된다. 결과적으로, 세정 매체의 재생성과 세정 탱크 내부의 음압을 유지하는 것이 가능하다.

유동된 세정 매체(4)가 가속 노즐(71a, 71b)에 의해 가속되지 않고 떨어진다고 하는 원하지 않는 상황을 방지할 수 있다. 게다가, 가속 노즐(71a, 71b)이 압축공기를 분출할 때 가속 노즐(71a, 71b)과 세정 대상물(2) 사이에 다량의 세정 매체(4)를 공급하는 것이 가능하다. 결과적으로, 세정 효율이 개선될 수 있다. 환언하면, 세정 대상물(2)을 박편형상 세정 대상(4)과 세정 대상물(2) 사이의 충돌에 의해 세정하는 경우, 세정 품질은 소정 속도 이상의 속도로 세정 대상물(2)과 세정 매체(4)가 충돌하는 진동수에 실질적으로 비례한다. 따라서, 세정 매체(4)의 공급량이 증가하면, 세정 품질이 개선되어, 결과적으로 세정시간과 에너지 소비를 줄일 수 있다.

가속 노즐(71a, 71b)과 세정매체 재생유닛(8a, 8b)을 이용한 러프 세정(rough cleaning)을 수행한 후에, 세정 매체(4)를 이용하여 세정 대상물(2)을 세정하는 것이 가능하다. 러프 세정을 수행하는 작업은 도 23에 나타낸 타임차트를 참조하여 설명된다.

박편형상 세정 매체(4)는 세정 탱크(5)로 도입되어 세정매체 재생유닛(8)의 분리 부재(81)에 축적된다. 이어서, 작업물 유지유닛(20)에 의해 유지된 세정 대상 물(2)은 작업물 이동유닛(21)에 의해 세정대상 투입구(9)로부터 투입되어, 초기 위치에 설정된다. 커버(10)를 폐쇄하여 세정 탱크(5)를 밀봉한다. 구동 유닛(13)의 작동에 의해 세정 개시 신호를 수신할 때, 제어기(12)는 가속 솔레노이드 밸브(15)를 개방하여 소정 간격으로 가속-전환 제어 밸브(16)를 전환함으로써, 각각의 가속 노즐(71a, 71b)은 교대로 압축 공기를 불어낸다. 제어기(12)는 각각의 가속 노즐(71a, 71b)로부터의 압축공기 분사의 전환과 동기하여 가속-전환 제어 밸브(16)를 전환하여, 가속 노즐(71a, 71b)의 각각에 마주하는 표면상에 배치된 세정매체 재생유닛(8a, 8b 및 8c, 8d)쌍 각각에 의해 수행된 흡착을 전환한다. 환언하면, 세정 탱크(5)의 정면상에 배치된 가속 노즐(71a)이 압축공기를 분사하면, 세정 탱크(5)의 후면 상에 배치된 세정매체 재생유닛(8c, 8d)은 흡인 동작을 수행한다. 이러한 동작에 의해, 가속 노즐(71a)로부터 분사된 압축공기는 세정 대상물(2)과 충돌하여, 세정 대상물(2) 상의 대부분의 먼지(3) 또는 약하게 부착된 오염물(stain)이 제거되어, 세정 대상물(2)의 러프 세정을 완료한다. 계속하여, 순환공기 발생유닛(6)은 압축공기를 발생시켜 세정매체 재생유닛(8)의 분리 부재(81)상에 축적된 세정 매체(4)를 전달하여 비상시키며, 세정 대상물(2)은 유동하는 세정 매체(4)를 이용하여 세정된다. 유동하는 세정 매체(4)에 의한 세정이 종료된 후에, 각각의 가속 노즐(71a, 71b)은 교대로 압축공기를 분사하여, 제어기(12)는 각각의 가속 노즐(71a, 71b)로부터의 압축공기 분사의 전환과 동기하여 가속-전환 제어 밸브(16)를 전환한다. 따라서, 가속 노즐(71a, 71b)에 마주보는 표면상에 각각 배치된 세정매체 재생유닛(8a, 8b 및 8c, 8d)의 각 쌍에 의해 수행된 흡인은 서로 전환될 수 있다. 계속하여, 제어기(12)는 정전기에 의해 세정 대상물(2)에 부착된 세정 매체(4)를 떨쳐내며, 세정 동작을 종료한다. 이후에, 제어기(12)는, 세정 탱크(5)의 커버(10)를 개방하여 작업물 이동유닛(21)에 의해 세정 탱크(5)로부터 세정 대상물(2)을 떼어내고, 새로운 세정 대상물(2)과 상기 세정 대상물을 교체하여 세정 동작을 재개한다. 상술한 바와 같은 세정 매체(4)의 탈각(shake-off) 세정을 수행함으로써, 세정 속도를 증가시키며 세정 품질을 개선할 수 있다.

세정매체 재생유닛(8a 내지 8d)이 세정 탱크(5)의 정면 및 후면 상에 배치된 것을 설명하였지만, 다르게 배치할 수도 있다. 본 발명의 제4 실시예에서는, 도 24a 및 24B에 나타낸 바와 같이, 세정 탱크(5)의 V자 형상 바닥부를 만드는, 각각의 개구를 포함하는 경사면(52a, 52b)이 세정 탱크(5)의 바닥부에 배치되고, 세정매체 재생유닛(8)은 각각의 경사면(52a, 52b) 상에 배치되며, 순환공기 발생유닛(6a, 6b)은 경사면(52a, 52b)의 각 하단부에 배치되고, 그리고 순환공기는 상기 경사면(52a, 52b)을 따라서 각각의 순환공기 발생유닛(6a, 6b)으로부터 교대로 흐른다. 이러한 경우, 순환공기의 순환경로를 구성하는 세정 탱크(5)의 측면의 상면 또는 상부 상에, 세정매체 가속유닛(7)을 향하여 세정 매체(4)를 안내하는 공기 정류 유닛(24)을 배치하는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같이, 세정매체 재생유닛을 포함하는 V자 형상 경사면이 세정 탱크의 바닥부에 배치된 구조에 의하면, 각각의 경사면을 따라서 순환공기를 발생시키는 순환공기 발생유닛은 각각의 경사면의 하단부상에 배치되고, 상기 경사면의 각각의 하단부 상에 배치된 순환공기 발생유닛의 각각은 교대로 작동하여, 상기 세 정 매체는 순환경로 상의 하나의 영역에 수집될 수 있다. 게다가, 순환공기는 세정 탱크의 내면을 따라서 수집된 세정매체를 순환시키도록 세정 탱크의 내면을 따라서 간헐적으로 발생된다. 따라서, 다량의 세정 매체를 적은 공기량에 의해 일시에 인도할 수 있다. 결과적으로, 에너지 절약을 실현할 수 있으며, 세정 효율이 개선될 수 있다.

세정 매체(4)가 세정 대상물(2)과의 충돌에 의해 세정 대상물(2)을 세정하도록 비상하면, 세정 매체(4) 일부는 세정매체 재생유닛(8)의 분리 부재(81)에 포함된 메시부를 통하여 집진기(19)에 배출된다. 따라서, 세정 탱크(5) 내의 세정 매체(4)의 수는 세정 동안 감소된다. 세정 탱크(5) 내의 세정 매체(4)의 수가 감소하는 것으로 인하여 세정 매체의 유동 량이 세정 탱크(5) 내에서 감소되면, 세정 효과는 줄어든다. 어떠한 경우에는, 작업물 유지유닛(20)에 의해 유지된 복수의 세정 대상물(2)이 세정을 위하여 세정 탱크(5)에 투입된다. 이러한 경우, 도 25에 나타낸 바와 같이, 세정 탱크(5) 내부에 매체량 측정유닛(29)을 배치하고, 소정 간격으로 가속 노즐(71a, 71b)을 사이에 끼우는 세정대상 검출유닛(30a, 30b)을 배치하는 것이 바람직하다. 이러한 구조는 본 발명의 제5 실시예로서 이하에 설명된다. 매체량 측정유닛(29)은, 도 26에 나타낸 바와 같이, 광전자 센서(photoelectric sensor, 291)의 광학 축이 세정 매체(4)의 순환 방향에 직교하게 되는 방식으로 배치된 광전자 센서(291)로 구성된다. 세정대상 검출유닛(30a, 30b)은 광투사/수신 유닛(light projecting/receiving unit)(301)과 반사판(302)을 포함하는 광전자 센서로 구성된다. 광투사/수신 유닛(301)은 세정 매체(4)와의 간섭을 방지하기 위하 여 투명창을 통하여 세정 탱크(5)의 정면 또는 후면에 부착된다. 반사판(302)은 광투사/수신 유닛(301)과 마주하는 내면에 부착되며, 그 광학 축이 길이 방향으로 세정 탱크(5)를 가로지르는 방식으로 배치된다. 매체량 측정 유닛(29)과 세정대상 검출유닛(30a, 30b)은, 도 27에 나타낸 바와 같이 제어기(12)에 접속된다. 제어기(12)는 매체량 측정유닛(29)으로서 광전자 센서(291)의 광학 축이 몇 회나 블로킹되는지 측정하고, 소정 시간 동안 유동하는 세정 매체(4)의 양을 정량화하며, 세정대상 검출유닛(30a, 30b) 중 하나가 세정 대상물(2)을 검출할 때 세정 동작을 제어한다.

매체량 측정유닛(29)과 세정대상 검출유닛(30a, 30b)이 세정 탱크(5) 내에 배치된 세정 장치에 의해 수행된 세정 동작이, 도 28에 나타낸 타임차트를 참조하여 설명된다.

작업물 유지유닛(20)에 의해 유지된 복수의 세정 대상물(2)을 도 25에 나타낸 바와 같이 세정 탱크(5)에 투입한 후에, 그리고 세정 개시 신호를 수신하면, 순환공기 발생유닛(6)은 세정매체 재생유닛(8) 상에 축적된 세정 매체를 인도하고, 세정 탱크(5) 내부에서 세정 매체(4)를 비상시키기 위한 순환공기를 발생시킨다. 매체량 측정 유닛(29)으로서 광전자 센서(291)는 유동하는 세정 매체(4)의 양을 검출하고 제어기(12)에 측정된 양을 입력한다. 제어기(12)는, 미리 결정된 임계값과 미리 결정된 기간내에 유동하는 세정 매체(4)의 입력량을 비교한다. 유동하는 세정 매체(4)의 양이 상기 임계값을 초과하면, 제어기(12)는 세정 동작을 시작한다. 유동하는 세정 매체(4)의 양이 임계값과 동일하거나, 작은 경우, 제어기(12)는 세정 매체(4)가 부족하다는 경고를 발하고, 세정 동작을 종료한다. 이어서, 소정량 또는 상기 희박함에 대응하는 양의 세정 매체(4)가 호퍼(hopper) 등으로부터 공급된다. 세정 매체(4)가 세정 개시 신호의 수신에 따라서 비상하고, 유동하는 세정 매체(4)의 양이 임계값을 초과하면, 제어기(12)는 세정 동작을 재개한다.

상술한 바와 같이, 유동하는 세정 매체(4)의 양이 검출되고 세정이 미리 결정된 양 또는 그 이상인 세정 매체(4)를 이용하여 수행되기 때문에, 원하는 품질의 세정을 수행할 수 있다. 세정 대상물(2)과 충돌하는 세정 매체(4)의 양은 유동하는 세정 매체(4)의 양에 비례한다. 따라서, 제어기(12)가 각각의 소정 시간동안 유동하는 세정 매체(4)의 양으로부터 세정 품질을 결정하는 것이 가능하다. 게다가, 유동하는 세정 매체(4)의 양의 변화를 기록함으로써 세정 품질 및 세정 성능을 확실하게 정량화하는 것이 가능하다.

세정 동작을 시작할 때에, 작업물 유지유닛(20)에 의해 유지된 복수의 세정 대상물(2)은 작업물 이동유닛(21)에 의해 상하로 이동된다. 제1 세정 대상물(2)이 가속 노즐(71a, 71b) 상에 배치된 세정대상 검출유닛(29a)의 광학 축이 세정 대상물(2)에 의해 블로킹되는 위치에 도달하고, 세정대상 검출신호가 세정대상 검출유닛(29a)으로부터 제어기(12)로 입력되면, 제어기(12)는, 가속 노즐(71a)로부터의 압축공기의 분사 동작과 세정매체 재생유닛(8)에 의한 흡인 동작을 수행할 타이밍을 결정한다. 상기 타이밍은, 세정 대상물(2)의 이동 속도 및 세정대상 검출유닛(30a)과 가속 노즐(71a, 71b) 사이의 거리에 기초한 가속 노즐(71a, 71b)의 위치에 도달하기 위하여 세정 대상물(2)에 의해 걸린 지연시간을 포함하도록 결정된다. 이어서, 제어기(12)는 상기 타이밍에 순환공기의 유동을 정지시키고, 가속 노즐(71a)로부터 압축공기를 분사하여, 세정매체 재생유닛(8)이 흡인 동작을 시작하게 하여 제1 세정 대상물을 세정한다. 세정대상 검출유닛(30a)으로부터의 세정대상 검출신호의 입력이 정지되면, 제어기(12)는, 세정 대상물(2)의 이동 속도와 세정대상 검출유닛(30a)과 가속 노즐(71a, 71b) 사이의 거리로부터 얻어진, 가속 노즐(71a, 71b)의 위치에 도달하기 위하여 세정 대상물(2)에 의해 걸린 지연시간을 포함하는 타이밍에, 가속 노즐(71a)로부터 압축공기를 분사하는 동작 및 세정매체 재생유닛(8)의 흡인 동작을 종료한다. 계속하여, 제어기(12)는, 순환공기 발생유닛(6)이 순환공기를 발생시키도록 한다. 제어기(12)는 세정대상 검출유닛(30a)으로부터 세정대상 검출신호가 입력될 때마다 상기 제어 동작을 반복하며, 순차 세정 대상물(2) 각각을 세정한다. 세정 대상물(2)이 반환점 위치에 도달하여 상방으로 이동하기 시작하면, 제어기(12)는 세정대상 검출신호가 가속 노즐(71a, 71b) 하부에 배치된 세정대상 검출유닛(30b)으로부터 입력될 때마다 상기 제어동작을 반복하여, 가속 노즐(71b)로부터 압축공기를 불어낸다. 따라서, 세정 대상물(2)의 전체 표면을 세정할 수 있다.

상술한 바와 같이, 압축공기가 세정 대상물(2)의 위치에 따라서 다량의 압축공기를 소비하는 가속 노즐(71a, 71b)로부터 분출되기 때문에, 압축공기의 사용을 줄일 수 있어, 에너지 절약이 실현된다.

광전자 센서(291)가 매체량 측정유닛(29)으로서 이용된다고 설명되었지만, 힘 센서에 의해 세정 대상물(2)에 세정 매체(4)의 충돌력을 축적하는 방법, 중량 센서에 의한 공정 종료시의 중량 측정 방법, 또는 거리 센서(distance sensor) 등에 의해 세정 탱크(5)의 바닥부에서의 축적량을 측정하는 방법을 채용하는 것이 가능하다. 세정 매체(4)의 충돌력을 축적하는 경우, 축적된 충돌의 횟수로부터 세정 품질을 결정할 수 있다.

도 29에 나타낸 발명의 제6 실시예에서는, 작업물 이동유닛(21) 및 작업물 유지유닛(20) 사이에서, 모터 또는 에어 실린더에 의해 길이 방향 축의 회전방향으로 작업물 유지유닛(20)을 회전시키는 작업물위치 변경유닛(31)을 포함하는 것이 가능하다. 뿐만 아니라, 각각의 가속 노즐(71)로부터 공기의 분사 방향이, 예컨대 수평방향과 수직 방향으로 서로 다르게 되는 방식으로, 순환경로를 구성하는, 세정탱크(5)의 측면 상의 세정매체 가속유닛(7)으로서 복수의 쌍, 예컨대 3쌍의 가속 노즐(71) 어레이를 배열하는 것이 가능하다. 작업물 유지유닛(20)에 의해 유지되고 세정 탱크(5) 내에 투입된 세정 대상물(2)은 세정 탱크(5) 내에서 상하로 이동하도록 작업물위치 변경유닛(31)에 의해 회전되어, 복수 쌍의 가속 노즐(71)로부터 압축공기를 교대로 불어내어 세정된다. 상술한 바와 같이, 세정 대상물(2)은 상하로 이동시 회전되며, 압축공기는 각각 다른 방향으로부터 세정 대상물(2)로 분사된다. 따라서, 세정 대상물(2)이 복잡한 형상을 하고 있더라도 세정 대상물(2)의 전체 표면을 확실하게 세정할 수 있다.

지금까지 본원 발명은 특정 실시예와 관련하여 완전하고 명확하게 설명되었지만, 첨부된 특허청구범위는 이에 한정되는 것이 아니며, 당업자라면 본 명세서에서 설명된 기술 사상의 범위 내에서 모든 변형 및 다른 구성들을 실현할 수 있다는 것으로 이해되어야 한다.

도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략도이다.

도 2a 및 도 2b는, 도 1에 나타낸 세정 대상물로부터 박편형상의 세정 매체에 의해 먼지를 제거하는 공정을 설명하는 개략도이다.

도 3a 및 3b는, 도 1에 나타낸 세정 탱크의 단면도이다.

도 4는, 도 1에 나타내는 순환공기 발생유닛의 단면도이다.

도 5a 및 5b는, 도 1에 나타낸 세정매체 재생 유닛의 개략도이다.

도 6은, 도 1에 나타낸 건식 세정 장치의 구동 제어 유닛의 블럭도이다.

도 7a 및 7b는, 도 1에 나타낸 건식 세정 장치의 구동 유닛의 블럭도이다.

도 8은, 도 1에 나타낸 건식 세정 장치에 의해 수행된 세정 작업의 타임차트(time chart)이다.

도 9a 내지 9c는, 도 1에 나타낸 세정매체 재생유닛 상에 축적된 세정 매체의 순환 공기에 의한 인도 상태를 설명하기 위한 개략도이다.

도 10a 내지 도 10c는, 도 1에 나타낸 세정매체 재생유닛 상에 축적된 세정 매체의 순환 공기에 의한 다른 인도 상태를 설명하기 위한 개략도이다.

도 11a 내지 도 11c는, 도 1에 나타낸 세정 대상물을 세정하는 공정을 설명하기 위한 개략도이다.

도 12는, 도 1에 나타낸 세정매체 가속유닛의 가속 노즐로부터 방출된 공기에 의한 세정 대상물과 세정 매체의 충돌을 설명하기 위한 개략도이다.

도 13a 내지 도 13d는, 도 1에 나타낸 세정 탱크 내에서 순환공기의 순환경 로를 구비한 내부 표면의 개략도이다.

도 14a 및 14b는, 도 13a 내지 13d에 나타낸 순환 경로 상에 공기 정류 유닛을 가진 세정 탱크의 단면도이다.

도 15a 및 도 15b는, 제1 실시예에 따른 경사 표면을 가진 세정 탱크의 단면도이다.

도 16은, 본 발명의 제2 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략도이다.

도 17은, 도 16에 나타낸 건식 세정 장치의 구동 제어 유닛의 블럭도이다.

도 18은, 도 16에 나타낸 건식 세정 장치의 구동 유닛의 블럭도이다.

도 19는, 본 발명의 제3 실시예에 따르는 건식 세정 장치의 개략도이다.

도 20은, 도 19에 나타낸 건식 세정 장치의 구동 제어 유닛의 블럭도이다.

도 21은, 도 19에 나타낸 건식 세정 장치의 구동 유닛의 블럭도이다.

도 22는, 도 19에 나타낸 건식 세정 장치에서 세정 대상물과 세정 매체의 충돌 상태를 설명하기 위한 개략도이다.

도 23은, 상기 제3 실시예에 따르는 러프 세정과 탈각 작업(shake-off operation)을 포함하는 세정 작업의 타임차트이다.

도 24a 및 24b는, 본 발명의 제4 실시예에 따르는 건식 세정 장치의 개략도이다.

도 25는, 본 발명의 제5 실시예에 따르는 매체량 측정 유닛과 세정대상 검출 유닛을 포함하는 건식 세정 장치의 개략도이다.

도 26은, 도 25에 나타낸 매체량 측정 유닛을 구성하는 광전자 센 서(photoelectronic sensor)의 개략도이다.

도 27은, 도 25에 나타낸 건식 세정 장치의 구동 제어 유닛의 블럭도이다.

도 28은, 도 25에 나타낸 건식 세정 장치에 의해 수행된 작업의 타임차트이다.

도 29는, 본 발명의 제6 실시예에 따르는 건식 세정 장치의 개략도이다.

Claims (22)

1. 건식 세정 장치로서,

   세정 탱크(5) 내에 존재하는 가요성(flexible)의 박편(flake) 형상의 세정 매체(4)를 비상(flow up)시키도록 상기 세정 탱크(5) 내부에 고속의 공기를 발생시키는 순환공기 발생유닛(6)과,

   상기 세정 매체(4)가 세정 대상물과 충돌하도록 상기 세정 탱크(5) 내에서 유동하는 세정 매체(4)를 가속하여, 상기 세정 대상물 상에 붙은 입자를 분리하는 세정매체 가속유닛(7)과,

   상기 세정 대상물로부터 분리된 입자들을 흡인하여 상기 세정 매체(4)를 재생하는 세정매체 재생유닛(8)

   을 구비하는 건식 세정 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 순환공기 발생유닛(6)은 상기 세정 탱크(5)의 내면을 따라서 유동하는 순환공기를 발생시키는 것인 건식 세정 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 순환공기 발생유닛(6)은 상기 세정매체 재생유닛(8)을 따라 유동하는 순환공기를 발생시키는 것인 건식 세정 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 순환공기 발생유닛(6)은 상기 세정 탱 크(5)의 길이 방향을 따라 유동하는 순환공기를 발생시키는 것인 건식 세정 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 순환공기 발생유닛(6)은,

   제1 유입 개구(61)와 제1 유출 개구를 가지는 원통형 유입 부재(62)로서, 상기 제1 유입 개구(61)는 상기 제1 유출 개구보다 크기가 더 크고, 상기 제1 유출 개구는 상기 세정 매체(4)보다 크기가 더 큰 것인 상기 원통형 유입 부재(62)와,

   제2 유입 개구, 공기 유입 개구(63), 및 제2 유출 개구(65)를 가지는 원통형 유출 부재(64)로서, 상기 제2 유입 개구는 상기 제1 유출 개구보다 크기가 더 크고 상기 제1 유출 개구 주위에 배치되며, 상기 공기 유입 개구(63)는 상기 제2 유입 개구 근처에 배치된 것인 상기 원통형 유출 부재(64)

   를 포함하며,

   고속의 공기가 상기 공기 유입 개구(63)로부터 상기 원통형 유출 부재(64)로 통과되어, 상기 세정 매체(4)가 상기 제1 유입 개구(61)로부터 상기 원통형 유입 부재(62)에 진입하고 나서, 상기 제1 유출 개구 및 상기 제2 유입 개구로부터 상기 원통형 유출 부재(64)로 진입하며, 최종적으로 상기 제2 유출 개구(65)로부터 상기 원통형 유출 부재(64) 밖으로 나가는 것인 건식 세정 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 제1 유입 개구(61)는 상기 세정 탱크(5) 내의 상기 유출 개구의 위치보다 높은 위치에 배치되는 것인 건식 세정 장치.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 순환공기 발생유닛(6)은 복수 개 설치되고,

   상기 건식 세정 장치는, 각각의 상기 순환공기 발생유닛(6)에 대하여 순환공기를 발생시키는 동작을 전환하는 제어기(12)를 더 구비하는 것인 건식 세정 장치.
8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 순환공기 발생유닛(6), 상기 세정매체 가속 유닛(7), 및 상기 세정매체 재생유닛(8) 중에서 적어도 2개의 유닛을 간헐적으로 구동하는 제어기(12)를 더 구비하는 것인 건식 세정 장치.
9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세정매체 가속유닛(7)은 상기 세정 탱크(5)의 일면에 배치되고, 상기 일면은 순환공기가 유동하는 순환경로가 배치된 타면에 직교하는 표면인 것인 건식 세정 장치.
10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세정매체 가속유닛(7)은 상기 세정 탱크(5)의 일면에 매설된(embedded) 노즐을 포함하는 것인 건식 세정 장치.
11. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세정매체 재생유닛(8)은 상기 세정 탱크(5)의 바닥부에 배치된 것인 건식 세정 장치.
12. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세정매체 재생유닛(8)은 복수 개 설치되 고, 상기 세정매체 재생유닛(8)은 상기 세정매체 가속유닛(7)에 대면하는 위치에서 상기 세정 탱크(5)의 바닥부에 배치되는 것인 건식 세정 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 세정매체 재생유닛(8)에 의해 각각 수행된 상기 세정 매체(4)의 재생 동작을 교대로 전환하는 제어기(12)를 더 구비하는 것인 건식 세정 장치.
14. 제1항 또는 제2항에 있어서, 복수의 홈(23)이 순환공기의 유동 방향을 따라서 상기 세정 탱크(5)의 일면에 배치되고, 상기 일면은 순환공기가 유동하는 표면인 것인 건식 세정 장치.
15. 제1항 또는 제2항에 있어서, 오목한 형상의 만곡 표면이 순환공기의 유동 방향을 따라서 상기 세정 탱크(5)의 일면 상에 배치되고, 상기 일면은 순환공기가 유동하는 표면인 것인 건식 세정 장치.
16. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세정 탱크(5)의 바닥부에 배치된 경사면(52)을 더 포함하며,

    상기 세정매체 재생유닛(8)은 상기 경사면(52) 상에 배치되고,

    상기 순환공기 발생유닛(6)은 상기 경사면(52)을 따라 유동하는 순환공기를 발생시키며, 상기 경사면(52)의 하단부에 배치되는 것인 건식 세정 장치.
17. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세정 탱크(5)의 바닥부상에서 상기 세정 탱크(5) 내부에 배치된 V자 형상 경사면(52a)을 더 구비하며,

    상기 세정매체 재생유닛(8)은 상기 V자 형상 경사면(52a)의 측면 각각에 배치되고,

    상기 순환공기 발생유닛(6)은 상기 V자 형상 경사면(52a)의 측면 각각을 따라서 유동하는 순환공기를 발생시키고, 상기 V자 형상 경사면(52a)의 측면 각각의 하단부상에 배치되는 것인 건식 세정 장치.
18. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세정 탱크(5)에 배치된 공기 정류 유닛(24)을 더 구비하며, 상기 공기 정류 유닛(24)은 순환공기를 상기 세정매체 가속유닛(7)으로부터 고속의 공기를 불어내는 경로로 안내하는 것인 건식 세정 장치.
19. 제1항 또는 제2항에 있어서,

    상기 세정 탱크(5) 내에서 유동하는 세정 매체의 양을 검출하는 매체량 측정유닛(29)과,

    상기 매체량 측정유닛(29)에 의해 측정된 유동량을 미리 결정된 임계값과 비교하고, 상기 유동량이 상기 임계값 이하인 때 경고를 발하는 제어기(12)

    를 더 구비하는 것인 건식 세정 장치.
20. 제1항 또는 제2항에 있어서,

    상기 세정 탱크(5) 내의 세정 대상물을 검출하고, 세정 대상물의 검출을 나타내는 신호를 출력하는 세정대상 검출유닛(30a)과,

    상기 순환공기 발생유닛(6), 상기 세정매체 가속유닛(7) 및 상기 세정매체 재생유닛(8)을 상기 신호에 동기하여 작동시키는 제어기(12)

    를 더 구비하는 것인 건식 세정 장치.
21. 건식 세정 방법으로서,

    세정 탱크의 일면 상에 축적된 가요성의 박편 형상의 세정 매체를, 세정 탱크의 표면을 따라 유동하는 공기의 순환에 의해 전달하는 단계와,

    상기 세정 탱크 내의 상기 전달 단계에서 전달된 상기 가요성의 박편 형상의 세정 매체를 비상시키는 단계(flowing up)와,

    상기 비상 단계에서 유동된 상기 세정 매체를 고속의 공기에 의해 세정 대상물과 충돌시키는 단계와,

    상기 세정 대상물에 붙은 입자를 제거하는 단계

    를 포함하는 건식 세정 방법.
22. 제21항에 있어서, 상기 세정 매체가 세정 대상물과의 충돌한 후에 상기 세정 매체에 부착된 입자를 세정하는 단계를 더 포함하고, 상기 세정 매체는 상기 세정 단계에서 상기 입자가 세정된 후에 반복하여 사용되는 것인 건식 세정 방법.

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