JP2008061048A5 - - Google Patents

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CN102362430B (zh) * 2009-04-03 2016-08-17 株式会社大真空 封装构件组件及其制造方法、封装构件以及使用了封装构件的压电振动器件的制造方法
JP5554092B2 (ja) * 2010-03-05 2014-07-23 セイコーインスツル株式会社 電子デバイスパッケージの製造方法
JPWO2015151514A1 (ja) * 2014-03-31 2017-04-13 ナガセケムテックス株式会社 中空部を有する回路部材および実装構造体、ならびに実装構造体の製造方法
CN108735890A (zh) * 2018-05-25 2018-11-02 张琴 准气密性声表面波元件封装结构及制作方法
WO2021117272A1 (ja) * 2019-12-09 2021-06-17 株式会社村田製作所 共振装置及びその製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3472474B2 (ja) * 1998-03-30 2003-12-02 京セラ株式会社 薄型圧電共振子及びその実装構造
JP2006080380A (ja) * 2004-09-10 2006-03-23 Seiko Epson Corp 電子部品用パッケージの封止方法

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