JP2008061048A - 水晶振動子、及びその水晶振動子の封止方法 - Google Patents
水晶振動子、及びその水晶振動子の封止方法 Download PDFInfo
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Abstract
本発明の目的は、水晶振動子容器と樹脂フィルム表面に金属膜が形成された蓋体が接合され一体成形された低背化が可能な生産性の高い水晶振動子、及びその水晶振動子の封止方法を提供すること。
【解決手段】
上記目的を達成する為に本発明は、水晶振動素子が連続した複数個の凹部を有する第一のシート状部材から成るベース基板上に載置されており、個々の水晶振動素子が一括的に封止されるように第二のシート状部材が被せられる構成の水晶振動子において、ベース基板の金属パターン上には水晶振動素子が載置されており、水晶振動素子が一括的に封止される第二のシート状部材には樹脂フィルム表面に金属膜が成膜された蓋体が用いられており、先のベース基板の個々の凹部開口部上縁封止面に形成された金属膜部で蓋体表面の金属膜と接合され封止されている事を特徴とし、又その水晶振動子の封止方法で課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
ベース基板の金属パターン上には水晶振動素子が載置されており、水晶振動素子が一括的に封止される第二のシート状部材には樹脂フィルム表面に金属膜が成膜された蓋体が用いられており、先のベース基板の個々の凹部開口部上縁封止面に形成された金属膜部と蓋体表面の金属膜とが接合され封止されていることを特徴とする。
ベース基板の金属パターン上には水晶振動素子が載置され、水晶振動素子が一括的に封止される第二のシート状部材には樹脂フィルム表面に金属膜が成膜された蓋体が用いられ、ベース基板の個々の凹部開口部上縁封止面に形成された金属膜部が、蓋体表面の金属膜と接合されて成る水晶振動子の封止方法であることを特徴とする。
2 凹部
3 第一のシート状部材
4 ベース基板
5 第二のシート状部材
6 水晶振動子
7 金属パターン
8 樹脂フィルム表面
9 金属膜
10 蓋体
11 凹部開口部上縁封止面
12 金属膜部
Claims (7)
- 水晶振動素子が、連続した複数個の凹部を有する第一のシート状部材から成るベース基板上に載置されており、個々の水晶振動素子が一括的に封止されるように第二のシート状部材が被せられる構成の水晶振動子において、
ベース基板の金属パターン上には水晶振動素子が載置されており、該水晶振動素子が一括的に封止される第二のシート状部材には樹脂フィルム表面に金属膜が成膜された蓋体が用いられており、該ベース基板の個々の凹部開口部上縁封止面に形成された金属膜部と該蓋体表面金属膜とが接合され封止されていることを特徴とする水晶振動子。 - 第一のシート状部材がセラミック、ガラス、Si、SiO2のいずれかより成ることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。
- 該蓋体の厚みが0.005ミリメートル以上、0.1ミリメートル以下であることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。
- 該蓋体の金属膜がアルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、錫(Sn)、金錫(AuSn)、銀ロウのいずれか、またはSi 、SiO2より成ることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。
- 該蓋体の基材である樹脂フィルム上に成膜される該金属膜の下地材料がニッケル(Ni)、クロム(Cr)、チタン(Ti)、またはそれらの合金
のいずれかであり、かつ、その厚みが30オングストローム以上、300オングストローム以下であることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。 - 水晶振動素子が、連続した複数個の凹部を有する第一のシート状部材から成るベース基板上に載置され、個々の該水晶振動素子が一括的に封止されるように第二のシート状部材から成る蓋体が被せられて成る水晶振動子の封止方法において、
ベース基板の金属パターン上には水晶振動素子が載置され、該水晶振動素子が一括的に封止される第二のシート状部材には樹脂フィルム表面に金属膜が成膜された蓋体が用いられ、該ベース基板の個々の凹部開口部上縁封止面に形成された金属膜部が、該蓋体表面の金属膜と接合されて成る水晶振動子の封止方法。 - 該金属膜部と該蓋体表面の該金属膜との接合が、超音波接合、熱融着接合、加熱圧着接合、陽極接合、若しくは、高周波加熱接合のいずれかより成される請求項6に記載の水晶振動子の封止方法。
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