JP2008051789A - 流路形成体への温度センサの取付構造 - Google Patents
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Abstract
【課題手段】流路形成体(1,2)への温度センサ(3)の取付構造であって、断面積が1mm2以上且つ8mm2以下の流路(7)を形成した流路形成体(1,2)と、前記流路(7)を流れる流体の温度を測定するための温度センサ(3)とを備え、前記流路(7)を形成する壁の一部に、流体の流れる方向に略平行な凹部(52)を有し、この凹部(52)に温度センサ(3)の測温部(31a)を設けたことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
以下、添付図面を参照して、本発明の第1実施形態について説明する。図1は第1実施形態の温度センサ付マイクロデバイスの正面一部断面図、図2は図1のA−A線矢視図、図3は第1ブロックの3面一部断面図、図4は第2ブロックの正面一部断面図、図5は第2ブロックの側面一部断面図、図6は温度センサの構造を示す断面図、図7は本発明の要部を示す図である。なお図3において、図3(A)は正面一部断面図、図3(B)は側面一部断面図、図3(C)は底面図を示す。
〔第2実施形態〕
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図9は第2実施形態の温度センサ付マイクロデバイスの正面一部断面図、図10は図9のB−B線矢視図、図11は第2実施形態の温度センサ付マイクロデバイスの要部を示す図である。これら各図において、第1実施形態の温度センサ付マイクロデバイス10の構成要素と同一の構成要素については、同一の符号を付してありその説明を省略する。
2 第2ブロック(流路形成体)
3 熱電対型温度センサ(温度センサ)
4 断熱部材(断熱手段)
6a 銀鑞(接合材、封止材)
7 流路
31 シース
31a シースの折り曲げた部分(測温部)
32 熱電対要素
52 凹部
70 流路
210 流路形成体
521 凹部
Claims (8)
- 流路形成体(1,2,210)への温度センサ(3)の取付構造であって、
断面積が1mm2以上且つ8mm2以下の流路(7,70)を形成した流路形成体(1,2,210)と、前記流路(7,70)を流れる流体の温度を測定するための温度センサ(3)とを備え、
前記流路(7,70)を形成する壁の一部に、流体の流れる方向に略平行な凹部(52,521)を有し、この凹部(52,521)に温度センサ(3)の測温部(31a)を設けたことを特徴とする流路形成体への温度センサの取付構造。 - 凹部(52)と温度センサ(3)の測温部(31a)とが接合材(6a)により接合された請求項1に記載の流路形成体への温度センサの取付構造。
- 凹部(52)と温度センサ(3)の測温部(31a)との隙間が封止材(6a)により封止された請求項1または請求項2に記載の流路形成体への温度センサの取付構造。
- 封止材(6a)の表面と流路(7)の内周面とが略面一とされた請求項3に記載の流路形成体への温度センサの取付構造。
- 温度センサ(3)の測温部(31a)における少なくとも一部が流路(7,70)内の空間に曝された請求項1から請求項4のいずれかに記載の流路形成体への温度センサの取付構造。
- 温度センサ(3)は、内部に熱電対要素(32)を設けたシース(31)を測温部として構成された熱電対型温度センサである請求項1から請求項5のいずれかに記載の流路形成体への温度センサの取付構造。
- 流路形成体(1,2,210)は、ポリテトラフルオロエチレン樹脂または接着性フッ素樹脂等の合成樹脂からなる請求項1から請求項6のいずれかに記載の流路形成体への温度センサの取付構造。
- 流路形成体(1,2,210)の周りに断熱手段(4)を設けた請求項1から請求項7のいずれかに記載の流路形成体への温度センサの取付構造。
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