JP2008047761A - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】溶融半田の隣接電極への接触を防止した半導体レーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザの発光点がアレイ上に配列された半導体レーザ素子の複数の電極面とサブマウントの複数の半田面とが接合する部分において、半導体レーザ素子の共振器の長手方向に少なくとも1つ以上の半田面を有し、アレイ方向には、隣接する半導体レーザ素子の電極に接合する半田面が、隣接しないよう共振器の長手方向にずらして形成されていることを特徴する。
【選択図】 図1
【解決手段】レーザの発光点がアレイ上に配列された半導体レーザ素子の複数の電極面とサブマウントの複数の半田面とが接合する部分において、半導体レーザ素子の共振器の長手方向に少なくとも1つ以上の半田面を有し、アレイ方向には、隣接する半導体レーザ素子の電極に接合する半田面が、隣接しないよう共振器の長手方向にずらして形成されていることを特徴する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体レーザ装置に係り、特に複数のレーザを発光する半導体レーザレイ素子の接合構造に関するものである。
従来、半導体レーザ素子は、例えばGaAsからなる半導体基板の主面に互いに分離領域で電気的に分離された複数の半導体レーザ部がアレイ状に形成され、その半導体基板の主面側を下にしてサブマウントの主面の素子搭載領域上に搭載される。サブマウントの素子搭載領域には、半導体レーザ素子のそれぞれの素子の電極と対向した位置に複数の電極が配置されている。
そして、その複数の電極の夫々の主面上には半田層が形成される。つまり、サブマウントの素子搭載領域上に配置された複数の電極の夫々には、半田層を介在して半導体レーザ素子の複数の電極が、サブマウントに配置された所定の対応する電極上に電気的且つ機械的に接続される。
前記サブマウントの素子搭載領域と異なる他の領域上には、複数のボンディングワイヤ接続のためのボンディングパッドがワイヤ装着時にワイヤがレーザ光を遮断しない位置に形成されている。それらが、ボンディングワイヤの他端側を素子パッケージのフランジを貫通して設けられ、フランジとは電気的に分離された複数のリードの一端側にそれぞれ接続することによりパッケージ外部からの素子への通電を可能にしている。
上述の半導体レーザ素子の組立プロセスにおいて、サブマウントの素子の搭載領域上に配置された複数の電極の夫々に半田層を介在して、半導体レーザ素子の複数の電極の夫々を接続する際には、チップを過熱溶融した半田に一定以上の圧力をもって押し付ける。このため溶融半田層内に圧力が発生する。このような圧力は通常半田パターンの端での溶融半田の表面張力と釣り合っているが、半田パターンの端に基板面の微細な凹凸や半田パターンの凹凸等の撹乱要因があるとその部分の表面張力が弱くなり、溶融半田がはみ出す原因となる。
このようなはみ出した溶融半田が隣接の電極に接触し、隣接する電極間が短絡し、半導体レーザ素子の組立プロセスでの歩留まりが低下するという問題が発生する。そのため特開2002−344061公報記載においては、サブマウントの半田層が、前記半導体レーザ素子の光共振器の長手方向の少なくとも一方の端面より当該光共振器の外部に延在した部分を有しており、これによって半導体レーザ素子を押し付けることにより排除された半田を光共振器の長手方向に逃がすことにより、隣接する電極間の短絡を防止する方法が提案されている。
上述した方法においては、半導体レーザ素子の光共振器の長手方向に、サブマウントの半田層が、半導体レーザ素子の端面より外部に延在しているため、半導体レーザ素子の光共振器の長手方向に対して、ボンディング時の温度分布が均等に発生していれば、半田は容易に長手方向に逃がすことが可能である。
しかし、実際のボンディング時には、半導体レーザ素子の中央部と端部では温度分布が異なり、半田層の長手方向で半田が溶融するタイミングが異なってくる。ここで、半田層の中央近傍が早く溶け出すと、半導体レーザ素子の複数の電極の夫々を接続する際に半田に一定以上の圧力をもって押し付けているため、中央部の溶融半田の逃げ場が無くなり、溶融半田が表面張力に勝てずはみ出す原因となる。
また、他の考える要因として、半田の溶融温度より更に温度を上げた設定でボンディングを実施した場合、半田の熱による膨張力が半田の表面張力を上回り、半田に一定以上の圧力をもって押し付けているため、はみ出す原因となる。このようなはみ出した溶融半田が隣接の電極に接触し、隣接する電極間が短絡して、半導体レーザ素子の組立プロセスでの歩留まりが低下するという問題が発生する。
本発明の目的は、ボンディング時の温度分布のバラツキにより発生した溶融半田の隣接電極への接触を防止した半導体レーザ装置を提供することにある。
前記目的を達成するため、請求項1記載の発明は、レーザの発光点がアレイ上に配列された半導体レーザ素子の複数の電極面とサブマウントの複数の半田面とが接合する部分において、前記半導体レーザ素子の共振器の長手方向に少なくとも1つ以上の半田面を有し、アレイ方向には、隣接する前記半導体レーザ素子の電極に接合する半田面が隣接しないよう共振器の長手方向にずらして形成されていることを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、レーザの発光点がアレイ上に配列された半導体レーザ素子の複数の電極面とサブマウントの複数の半田面とが接合する部分において、前記半導体レーザ素子の共振器の長手方向に半田面を有し、アレイ方向には、隣接する半導体レーザ素子の電極に接合する半田面が交互に大きさが異なるように形成されていることを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、前記請求項1または2記載の発明において、前記半導体レーザ素子の電極面の巾が接合するサブマウントの半田面の最大巾より狭いこと特徴とするものである。
本発明によれば、ボンディング時の溶融半田による隣接電極への接触を避け、組立プロセスの歩留まりを向上できる半導体レーザ装置を得ることが可能となる。
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明する。図1は第1の実施例の半導体レーザ装置の光の進行方向に交差する面での断面図、図2は半導体レーザチップがフェイス・ダウンにて、チップ保持部材に搭載される状態を示している図、図3は本実施例の半導体レーザチップの主要部の平面図、図4は本実施例の半導体レーザチップを搭載する保持部材の平面図である。
本実施例を要約すれば、次のようにいうことができる。即ち本実施例は、半導体基板の主面に分離領域で互いに分離された複数の半導体レーザがアレイ状に配置され、この複数の半導体レーザの夫々の主面上にそれぞれの電極が配置された半導体レーザ素子が、サブマウントの素子塔載領域上に塔載され、前記素子塔載領域上に分離領域で互いに分離されて配置された複数の電極および半田層を介在して前記半導体レーザ素子の複数の電極のそれぞれが対応するサブマウントの電極のみと接続された多素子半導体レーザにおいて、半導体レーザ素子の共振器の長手方向に少なくとも1つ以上の半田面を有し、アレイ方向には、隣接する半導体レーザ素子の電極に接合する半田面が、隣接しないよう共振器の長手方向にずらして形成されていることを1つの特徴としている半導体レーザ装置である。
また、半導体レーザ素子の電極面の巾が、接合するサブマウントの半田面の最大巾より狭いこと特徴としている半導体レーザ装置である。
当該半導体レーザ装置はベース基板及び封止用キャップで形成されるパッケージ内に気密封止される。
図1及び図2を参酌して、第1の実施例に係る半導体レーザ素子の構成を説明する。
図2の(a)の部分は、本例の半導体レーザ装置部の断面図である。本例の半導体レーザ装置においては、n型GaAs基板101上に、n型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層(Seドープ、p=1x1018cm−3、1.8μm)102、多重量子井戸活性層103、p型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層(Znドープ、p=7x1017cm−3、1.6μm)104、および厚さ約0.2μmのp型GaAsキャップ層(Znドープ、p=1x1019cm−3、0.2μm)105の各層が、通例の方法によって順次結晶成長される。
多重量子井戸活性層103は、3層のGa0.5In0.5Pウエル層(厚さ7nm)とこれを挟む4層の(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pバリア層(厚さ4nm)よりなっている。尚、これら各層の詳細の図示は省略されている。p型GaAsキャップ層105及びp型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層104は、SiO2膜をマスクとして幅4μmのストライプ状領域106をのぞき、p型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層104を厚さ0.3μm程度残して化学的に除去される。前記ストライプ状領域106は、図2の紙面に垂直な方向に形成されている。即ち、レーザ光の進行方向に前記ストライプ状領域106が形成されている。更に、前記のSiO2膜をマスクとしてn−GaAs107を前記ストライプ状領域106の両側部に選択成長する。更に、前記SiO2膜を除去した後に、p−GaAs108を再成長することにより、本例のレーザ構造が形成される。
本例では、単一チップ上に8素子のレーザ素子10〜17が形成され、それぞれのレーザ素子10〜17の間には分離溝109が設けられる。この分離溝109は、p−GaAs層及びn−GaAs層を化学エッチングにより除去して形成される。分離溝109により分離されたp−GaAs層108の上に、それぞれの素子10〜17ごとに独立した表面金電極110が設けられており、それぞれの素子10〜17に独立に電流を供給することができる。表面電極以外の半導体結晶表面は酸化シリコン膜111によって覆われており、素子の表面保護及び短絡防止されている。分離溝109及び表面金属電極110はそれぞれ幅10μm及び20μmの帯状のパターンに形成されている。
次に、この半導体ウエハを裏面から機械的研磨および化学エッチングにより厚さ100μmまで研削した後、裏面電極112を設けた。以上のようにして形成した半導体ウエハを、図3に示すレーザ共振器113に直交する方向の幅を600μm、レーザ共振器113と同一の方向の長さ300μmに分割してレーザチップ114を得ることが出来る。
図3は、このレーザチップ114の主要部の平面構成を示している。光共振器を構成するストライプ部113は8本配置され、このストライプ部113に対応した表面金電極110が配置されている。
以上のように形成した半導体レーザチップ114を、保持部材、即ちサブマウントに主面を下向きに組立てた。図2がこの組立時の状態を示している。図2(b)がその断面図、図4がその平面図である。
サブマウントの主面の例は、図4のような平面構成を有している。板状の窒化アルミニウム115に、金を主材料とする厚さ0.3μmの電極131及び金と錫の合金からなる厚さ2μm〜3μmの半田140〜147が設けられている。前記各電極にはボンディングパッド120が設けられている。図4の電極131の一部に四角形部分がこのボンデイング領域である。尚、図5および図6においても同様である。こうしたサブマウントに、半導体チップの主面を下向きにして、当該半導体レーザ装置を組立てた。組立ては図2に示すようにサブマウントを摂氏280度に加熱して半田140〜147を溶融させ、半導体レーザチップ114の接合面を1グラムの荷重でこれに押し付けることにより行った。
サブマウント上の半田パターンのうち4本のレーザ素子に対応する半田140、142、144、146は、アレイ状半導体レーザの共振器113の方向と略平行な帯状の形状を有し、中央近傍が両端部より細く(5〜10μm)なっている。共振器方向の長さは、半導体レーザの共振器113の長さより40μm以上長く形成されている。レーザチップ114の接着の位置合わせ誤差が、約10μmあるので、接着時には半田パターンがチップの下から共振器方向に5μm〜35μm出るようにチップの融着位置を定めた。
以上に述べた4本の共振器30、32、34、36(図3参照)以外の共振器31、33、35、37(図3参照)に関しては、半田141、143、145、147が前記した中央近傍の細くなった半田部以外の部分で細く(5〜10μm)、本実施例では、共振器113方向の上下が細くなっている。つまり、半田140〜147は、隣接する半田面が交互に細くなったり太くなったりの千鳥パターンを形成しており、しかも、隣接する細い部分は太い部分より少なくとも共振器方向に対して長く(10μm以上)なっている。図4の半田パターンの効用については後述する。
図5は、本例でのサブマウントの半田パターンと半導体レーザの共振器の関係を示す図である。4つの半導体レーザの共振器20〜23が、各半田パターンに対応する。図6は、これに対応したレーザチップの位置関係を示している。図3と図5を参酌すれば、本関係は容易に理解されるであろう。
以上に述べたサブマウントの素子塔載領域と異なる他の領域上には、複数のボンディングワイヤ接続のためのホンディングパッド120が、ワイヤ装着時にワイヤがレーザ光を遮蔽しない位置に形成されている。ボンディングワイヤの他端側を素子パッケージのフランジを貫通して設けられ、フランジとは電気的に分離された複数のリードの一端側にそれぞれ接続することにより、パッケージの外部から素子への通電を可能としている。
図7に、図4のサブマウントにレーザチップを接着する際の電極及びチップの位置関係の詳細を示す。図7は図4における半田パターン142、143に対する位置関係を例示している。各図において、半導体チップの端部を符号122、レーザ共振器を113として示した。
図7において、チップ融着時にチップの下から押し出される半田の盛り上がりによりレーザ光が遮光されないように、チップの下から出る半田のパターン150は、チップ端面122では、接着される位置の近傍において、レーザ共振器113からずらして形成されている。これによりチップ接着時の溶融半田への加圧によりチップ下から排除された半田は共振器の軸、即ちレーザ光が通過する領域からはずれた位置に排出されることになる。
また、チップと融着する細い半田面151は、太い半田面152に比べ十分に細く、太い部分と隣接する位置に形成され、細い半田面151は、太い半田面152より、共振器の長手方向に対し十分長くなっている。これにより隣接の半田面との絶縁距離が十分に確保され、チップ接着時の溶融半田への加圧により太い半田面152から排除された半田が、一部は細い半田面151に流れた後に横方向へ、一部は太い半田面152から横方向に流れて行く。この時、横方向の絶縁距離は十分確保されているので、隣接する電極間の短絡は発生しない。
図7での矢印はこの溶融半田の流れを示している。隣接する電極同士の間でこの様な半田パターンがずれた領域を設ける場合、これに対応して隣接電極の半田パターンがずれた領域と隣接する部分の電極パターンを細くさせることが電極間の間隔を十分に確保するために有効である。
以上に述べたような半田の排出による電極間の短絡防止のためのパターンは半導体レーザチップとの接着領域で、隣接する半田面が交互に細くなったり太くなったりするパターンを設けることがより有効であった。パターンにおける微細化サブマウント面積の節減のため、これらのパターンを当該装置の要求に応じて組み合わせて用いることが有効である。
図8は、中央の盛り上がった構造の例を示す第2の実施例の半導体レーザ装置の断面図である。この構造はn型GaAs基板101上にn型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層(Seドープ、p=1x1018cm−3、1.8μm)102、多重量子井戸活性層103、p型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層(Znドープ、p=7x1017cm−3、1.6μm)104、および厚さ約0.2μmのp型GaAsキャップ層(Znドープ、p=1x1019cm−3、0.2μm)105が順次結晶成長される。多重量子井戸活性層は3層のGa0.5In0.5Pウエル層(厚さ7nm)と、これを挟む4層の(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pバリア層(厚さ4nm)よりなっている。
こうして形成した半導体積層体より、p型GaAsキャップ層105及びp型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層104は、SiO2膜をマスクとして、幅3μmのストライプ状領域106を残して、p型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層104を厚さ0.3μm程度残して化学的に除去してリッジ型構造を作成した。尚、前記ストライプ領域の軸は、前記の例と同様、紙面と交差する方向である。そして、このリッジ構造の上面を除いて、パッシベーション膜の酸化シリコン膜111を被着した。単一チップ上に、以上のようなリッジ状のレーザ素子が8素子(20〜27)形成され、それぞれのレーザ素子20〜27には電気的に相互に分離された金電極110が設けられている。
以上のようにして作成した半導体レーザは、機械的研磨および化学エッチングにより基板の裏面から厚さ100μmまで研削した後、裏面電極112を設け、レーザ共振器113に直交する方向の幅を600μm、レーザ共振器113と同一の方向の長さ300μmに分割してレーザチップ114を得た。このレーザチップ114の平面構成は図3と同様である。
この素子を接着するサブマウントの電極及び半田パターンは、図4に示した場合と同じなので説明は省略するが、これにより素子組立工程の歩留まりを大幅に向上できた。
次に本願発明を適用可能なアレイ型半導体レーザ素子部の間隔とその時の半導体レーザの電極及び半田パターンの寸法例について説明する。
半導体レーザの帯状の電極及び分離溝の幅をそれぞれa、bとし、サブマウントの半田パターンと分離溝の幅をそれぞれx、y、zとする。図2に各幅を図示した。これらのa、b、x、y、zの間には以下の関係が必要と考えられる。アレイピッチdがレーザチップとサブマウントで一致することから、次式を得る。
a+b+c=(x+y)/2+z=d・・・(式1)
半導体レーザのへき開位置の誤差と組立て時の位置合わせの誤差がそれぞれ±5μm程度あるので、合わせ位置が5μmずれても、電極と半田面が接着できるためには次の式を得る。ここで、x>yの関係がある。
a+5≦x・・・(式2)
a≧y+5・・・(式3)
半田の厚さは均一な接合を得るためには2μm以上必要であるが、5μm以上になると半田面151、152から押し出される半田の量が多くなりすぎ、本願発明を用いてもはみ出し半田により隣接の電極間が接触する恐れがあるので、半田厚さの最適範囲は2μmから5μmである。この厚さの半田に再現性よくパターンを形成するためには半田のパターンの間隔Zは10μm以上必要と考えられる。従って次の関係となる。
z≧10・・・(式4)
前記式2〜4から本願発明は、アレイ間隔30μmまでのアレイ素子に十分適用可能であり、この時の半導体レーザの電極の幅は次の関係を有する。
a≦d+z−30・・・(式5)
尚、実施例においては、2つの半田パターンを例示したが、本願発明の趣旨にかなう他の諸形態を用いることが出来ることはいうまでもない。
a+b+c=(x+y)/2+z=d・・・(式1)
半導体レーザのへき開位置の誤差と組立て時の位置合わせの誤差がそれぞれ±5μm程度あるので、合わせ位置が5μmずれても、電極と半田面が接着できるためには次の式を得る。ここで、x>yの関係がある。
a+5≦x・・・(式2)
a≧y+5・・・(式3)
半田の厚さは均一な接合を得るためには2μm以上必要であるが、5μm以上になると半田面151、152から押し出される半田の量が多くなりすぎ、本願発明を用いてもはみ出し半田により隣接の電極間が接触する恐れがあるので、半田厚さの最適範囲は2μmから5μmである。この厚さの半田に再現性よくパターンを形成するためには半田のパターンの間隔Zは10μm以上必要と考えられる。従って次の関係となる。
z≧10・・・(式4)
前記式2〜4から本願発明は、アレイ間隔30μmまでのアレイ素子に十分適用可能であり、この時の半導体レーザの電極の幅は次の関係を有する。
a≦d+z−30・・・(式5)
尚、実施例においては、2つの半田パターンを例示したが、本願発明の趣旨にかなう他の諸形態を用いることが出来ることはいうまでもない。
本発明の実施例では細い半田面151を用いて説明したが、この細い部分を半田を設けず電極パターンで形成することで、細い部分からの半田のはみ出しが無くなるため、更に短絡の防止を避けることが可能である。
本発明の効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。半導体レーザ素子が組み込まれる半導体レーザ素子において、半田に起因する電極間の短絡を防止し、組立プロセスでの歩留まりを高めることができる。また、電極間の短絡を防止し、前記半導体レーザ素子の組立プロセスでの歩留まりを高める半導体レーザ素子を提供できる。
図9に本発明と比較するため、従来の半田パターン217とレーザ共振器の軸213の関係を示す。図は2つの共振器についてのみ示している。図において、符号222はレーザチップの端面、224は偶発的な半田のはみ出し部である。本発明のように半導体レーザ素子の電極あるいは半田層が当該半導体レーザチップより大きい領域をもたない場合、溶融半田の偶発的な半田のはみ出し部224によって並置された2つの半田パターン217が電気的に接触する不具合が発生する。
101…n型半導体基板、102…n型クラッド層、103…多重量子井戸活性層、104…p型クラッド層、105…p型キャップ層、106…ストライプ状領域、107…n−GaAs、108…p−GaAs、109…分離溝、110…表面金電極、111…酸化シリコン膜、112…裏面電極、113…レーザ共振器、114…レーザチップ、115…窒化アルミニウム、120…ボンディングパッド、122…チップ端面、131…電極、140〜147…半田、150…チップ下から出る半田のパターン、151…細い半田パターン、152…太い半田パターン。
Claims (3)
- レーザの発光点がアレイ上に配列された半導体レーザ素子の複数の電極面とサブマウントの複数の半田面とが接合する部分において、前記半導体レーザ素子の共振器の長手方向に少なくとも1つ以上の半田面を有し、アレイ方向には、隣接する前記半導体レーザ素子の電極に接合する半田面が隣接しないよう共振器の長手方向にずらして形成されていることを特徴としている半導体レーザ装置。
- レーザの発光点がアレイ上に配列された半導体レーザ素子の複数の電極面とサブマウントの複数の半田面とが接合する部分において、前記半導体レーザ素子の共振器の長手方向に半田面を有し、アレイ方向には、隣接する半導体レーザ素子の電極に接合する半田面が交互に大きさが異なるように形成されていることを特徴としている半導体レーザ装置。
- 請求項1または2記載の半導体レーザ装置において、前記半導体レーザ素子の電極面の巾が接合するサブマウントの半田面の最大巾より狭いこと特徴とする半導体レーザ装置。
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
JP2008244440A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-10-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ装置及び画像表示装置 |
JP2010272554A (ja) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Sharp Corp | 光学部品及びその製造方法 |
JP2010287646A (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板及び半導体装置 |
-
2006
- 2006-08-18 JP JP2006223237A patent/JP2008047761A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008244440A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-10-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ装置及び画像表示装置 |
JP2010272554A (ja) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Sharp Corp | 光学部品及びその製造方法 |
JP2010287646A (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板及び半導体装置 |
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Legal Events
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A711 | Notification of change in applicant |
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