JP2008047580A - 半導体受光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 n型バッファ層2と、n型InGaAs受光層3と、n型窓層4と、n型窓層4からInGaAs受光層3に届くように形成されたp型領域5と、p型領域に電気的に接続されるp部電極15aとを備えるアナログ伝送用のIII−V族化合物半導体の受光素子において、バッファ層のn型キャリア濃度が1.0×1017cm−3以上であることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1における半導体受光素子(フォトダイオード)10である。InP基板1の上にInPバッファ層2が位置しているが、このInPバッファ層2の厚みは2.1μm〜2.3μmであることが望ましく、またそのn型キャリア濃度は1.0×1017cm−3以上とする。バッファ層のキャリア濃度は、望ましくは2.0×1017cm−3〜5.0×1017cm−3とするのがよい。このような高キャリア濃度をもつバッファ層は、これまできわめて稀である。本発明において、高キャリア濃度をもつバッファ層2は基本的に重要であり、順次、説明してゆく。
Beam Epitaxy)法、MOVPE(Metalorganic Vapor Phase Epitaxy)法などを用いて形成することができる。p型キャリアの導入についても、Znを拡散して窓層4を経由してInGaAs受光層3に届くように時間−温度制御などにより実現することができる。拡散遮蔽領域18は、マスクパターンを適宜変えることにより。p型領域5のZn拡散処理と同じ工程で形成することができる。この場合、p型領域5と同じ深さの拡散遮蔽領域18が形成される。
図4は、本発明の実施の形態2における半導体受光素子10を示す図である。本実施の形態における半導体受光素子10は、実施の形態1に比べて、n部電極16がバッファ層2上に位置している点に特徴がある。(1)InPバッファ層2のキャリア濃度および厚み、(2)InGaAs受光層3のキャリア濃度および厚み、(3)InP窓層のキャリア濃度および厚み、(4)p型領域のキャリア濃度、(5)InGaAsコンタクト層13、(6)厚み3μm以上のポリイミド樹脂14上へのp部電極パッド15bの配置、(7)拡散遮蔽領域18、などは、図1に示した受光素子の構成と同じであり、その作用も同様である。図4の光入射面(p型領域5の表面)にはAR膜を配置してもよく、これにより受光層3に至る光量をより多くすることができる。
Claims (8)
- 基板上に位置するn型バッファ層と、該バッファ層上に位置するn型InGaAs受光層と、前記InGaAs受光層上に位置するn型窓層と、前記n型窓層から前記InGaAs受光層に届くように形成されたp型領域と、前記p型領域に電気的に接続されるp部電極とを備えるアナログ伝送用のIII−V族化合物半導体の受光素子において、
前記バッファ層のn型キャリア濃度が1.0×1017cm−3以上であることを特徴とする、半導体受光素子。 - 前記InGaAs受光層は、厚み2.5μm〜2.9μmで、n型キャリア濃度5×1015cm−3以下であることを特徴とする、請求項1に記載の半導体受光素子。
- 前記p型領域上に位置するInGaAsコンタクト層を備え、前記p部電極はそのInGaAsコンタクト層上に位置することを特徴とする、請求項1または2に記載の半導体受光素子。
- 前記p部電極の電極パッドは、厚み3μm以上の樹脂層上に配置されることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の半導体受光素子。
- 前記p型領域を囲むように位置するp型の拡散遮蔽領域を備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体受光素子。
- 前記p部電極が、Au/Zn/Au/Ti/Auから形成されることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の半導体受光素子。
- 前記p部電極との間に前記InGaAs受光層を電気的に挟むように位置するn部電極が、AuGeNiから形成されることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の半導体受光素子。
- 前記p型領域の表面側または前記p型領域と反対側の基板裏面側に、反射防止膜を備えることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載の半導体受光素子。
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