JP2008044243A - メッシュ一体型マスクの原板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属基板12と、この金属基板12を構成する金属とは化学的エッチング特性の異なる金属からなるメッシュ14とを有し、メッシュ14は金属基板12に埋設されている。金属基板12を構成するための第1層21に、この第1層21を構成する金属とは化学エッチング特性の異なる金属からなる第2層22を積層して積層体23を形成し、積層体23の第2層側の表面を圧下によって塑性変形させて表面に凸部23aを形成し、この凸部23aをバフ研磨して第2層22によるメッシュ14を形成する。
【選択図】図2
Description
12 金属基板
12a 凹部
14 メッシュ
21 第1層
22 第2層
23 積層体
23a 凸部
30 金型
30a 凹部
40 マスク
42 レジスト
50 ロール
52 コイル
53 メッキ浴
54 圧下装置
55 バフ研磨機
56 コイル
Claims (12)
- 金属基板と、この金属基板を構成する金属とは化学的エッチング特性の異なる金属からなるメッシュとを有し、
前記メッシュが前記金属基板に埋設されているメッシュ一体型マスクの原板。 - 前記金属基板の一方の面は、平面状に形成されるとともに前記メッシュが露出している請求項1に記載のメッシュ一体型マスクの原板。
- 前記メッシュは、凹凸が形成された前記金属基板の一方の面側の部位を機械的に除去することによってメッシュ状に露出したものである請求項2に記載のメッシュ一体型マスクの原板。
- 前記金属基板は、アルミニウム又はアルミニウムを含む合金からなり、
前記メッシュは、ニッケル、銅又はこれらの少なくとも一方を含む合金からなる請求項1に記載のメッシュ一体型マスクの原板。 - 前記金属基板はステンレスからなり、
前記メッシュは、チタン、ニッケル又はこれらの少なくとも一方を含む合金からなる請求項1に記載のメッシュ一体型マスクの原板。 - 前記金属基板の厚みは10μm〜1mmである請求項4又は5に記載のメッシュ一体型マスクの原板。
- 請求項1から6の何れか1項に記載のメッシュ一体型マスクの原板から前記金属基板の一部をエッチングにより除去してなるメッシュ一体型マスク。
- 金属基板とメッシュとが一体的に設けられたメッシュ一体型マスクの原板の製造方法であって、
金属基板を構成するための第1層に、この第1層を構成する金属とは化学エッチング特性の異なる金属からなる第2層を積層して積層体を形成し、
前記積層体の第2層側の表面を塑性変形させて表面に凹凸を形成し、この凹凸のうち突出した部分を物理的に除去することによって前記第2層によるメッシュを形成するメッシュ一体型マスクの原板の製造方法。 - 前記積層体を、ローラ表面に凹凸パターンが設けられたロールで圧下して前記第2層側の表面を塑性変形させて当該表面に連続的に凹凸を形成する請求項8に記載のメッシュ一体型マスクの原板の製造方法。
- 凹凸パターンが設けられた型を用い、
前記積層体を前記型と一緒にロールで圧下して前記第2層側の表面を塑性変形させて凹凸を形成する請求項8に記載のメッシュ一体型マスクの原板の製造方法。 - バフ研磨により前記凹凸のうち突出した部分を除去する請求項8から10の何れか1項に記載のメッシュ一体型マスクの原板の製造方法。
- 前記凹凸パターンは、10〜500μmの多数の穴を有する請求項9又は10に記載のメッシュ一体型マスクの原板の製造方法。
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