JP2008041914A - 有機薄膜トランジスタ及びその製造方法。 - Google Patents
有機薄膜トランジスタ及びその製造方法。 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ゲート電極と、ゲート電極を覆い、複数の凹部が形成されるゲート絶縁膜と、複数の凹部に配置されるソース電極及びドレイン電極と、ソース電極及びドレイン電極の間の領域に配置され、ソース電極及びドレイン電極に接続される有機半導体層と、ソース電極及び、ドレイン電極、を有する有機薄膜トランジスタとする。
【選択図】図1
Description
図1に、本実施形態に係る有機薄膜トランジスタ(以下「本有機薄膜トランジスタ」)の概略断面図を示す。図1に示されるとおり、本有機薄膜トランジスタ1は、基板2と、この基板2上に形成されるゲート電極3と、基板2及びゲート電極3を覆って形成され、凹部41a、bが形成されるゲート絶縁膜4と、ゲート絶縁膜4の凹部41aに形成されるソース電極5と、ゲート絶縁膜4の凹部41bに形成されるドレイン電極6と、ソース電極5、ドレイン電極6及びこれらの間の領域(チャネル領域となる。)を覆って形成される有機半導体層7と、ソース電極5、ドレイン電極6及び有機半導体層7を保護する保護膜8と、を有して形成されている。なお、本有機薄膜トランジスタの平面図を図2に示しておく(なお図1は図2のA−A断面図に相当する)。
本実施形態に係る有機薄膜トランジスタ1は、有機半導体層の厚さが異なる以外は実施形態1と同様である。この断面外略図を図6に示し、異なる部分についてのみ説明する。
本実施形態に係る有機薄膜トランジスタ1は、ソース電極5、ドレイン電極6の形状が異なる以外はほぼ実施形態1と同様である。この断面外略図を図7に示し、異なる部分についてのみ説明する。
本実施形態に係る有機薄膜トランジスタ1は、ゲート絶縁総4の凹部41a、bの断面形状が異なる以外はほぼ実施形態1と同様である。この断面外略図を図8に示し、異なる部分についてのみ説明する。
まず、リンがドープされたn型のシリコンウェハーをゲート電極を兼ねた基板として採用し、熱酸化法を用いてSiO2からなるゲート絶縁膜を300nm形成し、フォトリソグラフィ法を用いてソースおよびドレイン電極領域をパターニングした後緩衝フッ酸を用いて深さ33nmの凹部を形成し、DCスパッタリング法を用いてCr(下層)、Pt(上層)からなるソース電極及びドレイン電極をそれぞれ33nm(Pt:31nm、Cr:2nm)形成した。その上に分子線蒸着法を用いてペンタセンからなる有機半導体層を66nm形成した。なお、有機半導体層のチャネル領域の幅/長さは5000μm/22.9μmとした。
一方、上記実施例1とほぼ同様であるが、凹部を形成せず平坦なゲート絶縁膜上にそのままソース電極、ドレイン電極を配置した有機薄膜トランジスタについても作成を行った。この構造の概略を図11に示しておく。なお有機半導体層の厚さは99nmとした。
本実施例は、有機半導体層の厚さを4nmにした以外は実施例1と同様に行った。この作成した有機薄膜トランジスタを上面から見た場合の原子間顕微鏡により撮影した写真を図16に示す。
本比較例は、ほぼ実施例2と同様であるが、比較例1と同様、凹部を形成せず平坦なゲート絶縁膜上にそのままソース電極、ドレイン電極を配置した有機薄膜トランジスタについても作成を行った。なお有機半導体層の厚さは実施例2と同じ4nmとした。なお、この作成した有機薄膜トランジスタを上面から見た場合の原子間顕微鏡により撮影した写真を図17に示す。
本実施例は、有機半導体層の厚さを7nmにした以外は実施例1と同様に行った。また、この得られた有機薄膜トランジスタに対し、ソース接地回路における出力特性を測定した。この結果、電界効果移動度は飽和領域(ドレイン電圧−80V)において0.32cm2/Vs、オン電流は−0.96mA、ゲート閾電圧は13.0Vであり、高い電界効果移動度、高いオン電流を得ることができていることを確認した。
本比較例は、ほぼ実施例3と同様であるが、比較例1と同様、凹部を形成せず平坦なゲート絶縁膜上にそのままソース電極、ドレイン電極を配置した有機薄膜トランジスタについても作成を行った。なお有機半導体層の厚さは実施例3と同じ7nmとした。
Claims (8)
- ゲート電極と、
前記ゲート電極を覆い、複数の凹部が形成されるゲート絶縁膜と、
前記複数の凹部に配置されるソース電極及びドレイン電極と、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極の間の領域に配置され、前記ソース電極及び前記ドレイン電極に接続される有機半導体層と、を有する有機薄膜トランジスタ。 - 前記ソース電極及び前記ドレイン電極のそれぞれは、前記ゲート絶縁膜を介し前記ゲート電極と重畳して配置されている請求項1記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記ゲート絶縁膜の凹部はテーパーを有している請求項1記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記ソース電極及びゲート電極の高さと前記ゲート絶縁膜の高さがほぼ同じである請求項1記載の有機薄膜トランジスタ。
- 基板にゲート電極を形成し、
ゲート絶縁膜を形成し、
前記ゲート絶縁膜に凹部を形成し、
前記ゲート絶縁膜に形成された前記凹部にソース電極及びドレイン電極を形成し、
有機半導体層を形成する、有機薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記ソース電極及び前記ドレイン電極のそれぞれは、前記ゲート絶縁膜を介し前記ゲート電極と重畳するよう形成される請求項5記載の有機薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記ゲート絶縁膜の凹部は、テーパーを有するよう形成される請求項5記載の有機薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記ソース電極及び前記ドレイン電極を形成した後、前記ソース電極、前記ゲート電極及び前記ゲート絶縁膜を研磨し、平坦化する請求項5記載の有機薄膜トランジスタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Country | Link |
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