JP2008041822A - 露光装置及びデバイス製造方法、並びに環境制御装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】露光不良の発生を抑制可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、液体を介して基板上に露光光を照射して基板を露光する。露光装置は、液体のにおいを検出する検出装置を備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板を露光する露光装置及びデバイス製造方法、並びに環境制御装置に関する。
フォトリソグラフィ工程で用いられる露光装置において、下記特許文献に開示されているような、露光光の光路を液体で満たし、その液体を介して基板を露光する液浸露光装置が知られている。
国際公開第99/49504号パンフレット
特開2005−268742号公報
液浸露光装置において、所望の領域以外の部分に液体がもたらされると、露光不良が発生する可能性がある。そのため、所望の領域以外の部分にもたらされる液体を検出し、露光不良の発生を抑制するための処置を講ずることが必要となる。
また、液浸露光装置のみならず、液体を用いてデバイスを製造する製造装置、例えば基板上に感光材等を含む溶液を塗布する塗布装置、あるいは露光後の基板を現像液等を用いて現像する現像装置等においても、所望の領域以外の部分に液体がもたらされると、不良デバイスが製造される可能性がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、所望の領域以外の部分にもたらされる液体を検出し、その検出結果を用いて露光不良の発生を抑制可能な露光装置、及びその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、不良デバイスの発生を抑制可能な環境制御装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明は実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。
本発明の第1の態様に従えば、液体(LQ)を介して基板(P)上に露光光(EL)を照射して基板(P)を露光する露光装置において、液体(LQ)のにおいを検出する検出装置(6)を備えた露光装置(EX)が提供される。
本発明の第1の態様によれば、露光不良の発生を抑制可能である。
本発明の第2の態様に従えば、液体(LQ)を介して基板(P)上に露光光(EL)を照射して基板(P)を露光する露光装置において、液体(LQ)の一部が気化した気体を検出する検出装置(6)を備え、検出装置(6)の検出結果に基づいて、液体(LQ)の漏れを検出する露光装置(EX)が提供される。
本発明の第2の態様によれば、露光不良の発生を抑制可能である。
本発明の第3の態様に従えば、上記態様の露光装置(EX)を用いるデバイス製造方法が提供される。
本発明の第3の態様によれば、露光不良の発生を抑制可能な露光装置を用いてデバイスを製造できる。
本発明の第4の態様に従えば、液体(LQ)を用いてデバイスを製造する製造装置(EX)の少なくとも一部を収容するチャンバ(101、114)と、液体(LQ)のにおいを検出する検出装置(6)と、を備えた環境制御装置(CH)が提供される。
本発明の第4の態様によれば、不良デバイスの発生を抑制可能である。
本発明によれば、液体のにおいを検出した結果を用いて、露光不良の発生を抑制できる。また本発明によれば、液体のにおいを検出した結果を用いて、不良デバイスの発生を抑制できる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。なお、以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内における所定方向をX軸方向、水平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向のそれぞれに直交する方向(すなわち鉛直方向)をZ軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸まわりの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
<第1実施形態>
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXを示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージ1と、基板Pを保持して移動可能な基板ステージ2と、マスクMのパターンを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンの像を基板Pに投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置3と、制御装置3に接続され、露光装置EXの動作状況を報知する報知装置5とを備えている。報知装置5は、例えば液晶ディスプレイ等の表示装置、光を発する発光装置、及び音を発する発音装置等を含む。なお、ここでいう基板Pは、半導体ウエハ等の基材上に感光材(フォトレジスト)を塗布したものを含み、マスクMは、基板P上に縮小投影されるデバイスパターンが形成されたレチクルを含む。また、本実施形態においては、マスクとして透過型のマスクを用いるが、反射型のマスクを用いてもよい。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXを示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージ1と、基板Pを保持して移動可能な基板ステージ2と、マスクMのパターンを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンの像を基板Pに投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置3と、制御装置3に接続され、露光装置EXの動作状況を報知する報知装置5とを備えている。報知装置5は、例えば液晶ディスプレイ等の表示装置、光を発する発光装置、及び音を発する発音装置等を含む。なお、ここでいう基板Pは、半導体ウエハ等の基材上に感光材(フォトレジスト)を塗布したものを含み、マスクMは、基板P上に縮小投影されるデバイスパターンが形成されたレチクルを含む。また、本実施形態においては、マスクとして透過型のマスクを用いるが、反射型のマスクを用いてもよい。
本実施形態の露光装置EXは、露光波長を実質的に短くして解像度を向上するとともに焦点深度を実質的に広くするために液浸法を適用した液浸露光装置であって、露光光ELの光路空間Kを液体LQで満たすように所定の液浸空間LSを形成可能なノズル部材20を備えている。液浸空間LSは、液体LQで満たされた空間であり、露光光ELの光路空間Kは、露光光ELが進行する光路を含む空間である。本実施形態においては、液浸空間LSを形成するための液体LQとして、デカリン(C10H18)を用いる。
また、本実施形態の露光装置EXは、液体LQのにおいを検出する検出装置6を備えている。後述するように、検出装置6は、液体LQのにおいを検出することによって、液浸空間LSからの液体LQの漏れを検出する。
ノズル部材20は、液浸空間LSを形成するための液体LQを供給可能な液体供給口21(図1には不図示)と、液体LQを回収可能な液体回収口22(図1には不図示)とを有しており、液体供給口21を用いた液体供給動作及び液体回収口22を用いた液体回収動作を適宜行うことによって、露光光ELの光路空間Kを液体LQで満たすように、所定の液浸空間LSを形成可能である。
本実施形態においては、ノズル部材20は、基板Pの表面と対向するように配置され、基板Pの表面との間で液体LQを保持可能であり、その基板Pの表面との間に液浸空間LSを形成可能である。また、ノズル部材20の近傍には、投影光学系PLの複数の光学素子のうち、投影光学系PLの像面に最も近い終端光学素子10が配置されている。終端光学素子10は、基板Pの表面と対向するように配置され、基板Pの表面との間で液体LQを保持可能であり、その基板Pの表面との間に液浸空間LSを形成可能である。
本実施形態においては、ノズル部材20は、投影光学系PLの終端光学素子10と基板Pとの間の露光光ELの光路空間Kを液体LQで満たすように、液浸空間LSを形成する。すなわち、本実施形態においては、露光装置EXは、ノズル部材20を用いて、基板Pの表面と、その基板Pの表面と対向するノズル部材20及び終端光学素子10との間に液浸空間LSを形成する。これにより、投影光学系PLの終端光学素子10と基板Pとの間の露光光ELの光路空間Kが液体LQで満たされる。
露光装置EXは、少なくともマスクMのパターンの像を基板Pに投影している間、ノズル部材20を用いて液浸空間LSを形成する。露光装置EXは、照明系ILより射出され、マスクMを通過した露光光ELを、投影光学系PLと液浸空間LSの液体LQとを介して基板P上に照射する。これにより、マスクMのパターンの像が基板P上に投影され、基板Pが露光される。
また、本実施形態においては、投影光学系PLの投影領域ARを含む基板P上の一部の領域が液体LQで覆われるように、液浸空間LSが形成される。すなわち、本実施形態においては、投影光学系PLの投影領域ARを含む基板P上の一部に液浸領域が形成される局所液浸方式が採用されている。
なお、本実施形態においては、液浸空間LSが、ノズル部材20及び終端光学素子10と、基板Pとの間に形成される場合について主に説明するが、液浸空間LSは、ノズル部材20及び終端光学素子10と、投影光学系PLの像面側においてノズル部材20及び終端光学素子10と対向する位置に配置された基板P以外の物体との間にも形成可能である。例えば、液浸空間LSは、ノズル部材20及び終端光学素子10と、そのノズル部材20及び終端光学素子10と対向する位置に配置された基板ステージ2との間にも形成可能である。
図1に示すように、露光装置EXは、第1コラム7、及び第1コラム7上に設けられた第2コラム8を含むボディ9を備えている。第1コラム7は、ベースプレート11に防振装置12を介して支持されている。本実施形態においては、マスクステージ1は、気体軸受により、第2コラム8の上面(ガイド面)に対して非接触支持されている。投影光学系PLは、第1コラム7の上面に支持されている。基板ステージ2は、第1コラム7の内側の空間7Hに配置されており、気体軸受により、空間7Hの底面(ガイド面)に対して非接触支持されている。
本実施形態においては、少なくともノズル部材20及び終端光学素子10は、第1コラム7の内側の空間7Hに収容されており、ノズル部材20及び終端光学素子10との間で液浸空間LSを形成可能な基板Pを保持して移動可能な基板ステージ2も、空間7Hに収容されている。液浸空間LSは、第1コラム7の内側の空間7Hに形成される。
露光装置EXは、第1コラム7内に気体を供給する給気口14と、第1コラム7内の気体を排出する排気口15とを備えている。給気口14及び排気口15のそれぞれは、第1コラム7の所定位置に形成されている。本実施形態においては、給気口14は、第1コラム7の+Y側の壁に形成され、排気口15は、ノズル部材20及び終端光学素子10を挟んで給気口14と対向する第1コラム7の−Y側の壁に形成されている。
また、露光装置EXは、少なくとも第1コラム7内に、温度及び湿度が調整された清浄な気体Gaを供給可能な空調ユニット50を備えている。空調ユニット50は、給気管50Pを介して給気口14に接続されており、気体Gaを給気口14を介して第1コラム7の内側の空間7Hに供給可能である。本実施形態においては、空間7Hには空気が供給される。また、第1コラム7の内側の空間7Hの気体は、排気口15を介して、第1コラム7の外部に排出される。以下の説明においては、少なくともノズル部材20及び終端光学素子10を収容する第1コラム7の内側の空間7Hを適宜、局所空調室7H、と称する。
本実施形態においては、液体LQのにおいを検出可能な検出装置6は、局所空調室7Hの気体を排出する排気口15の近傍に配置されている。検出装置6は、液浸空間LSを形成するための液体(デカリン)LQに対応した特性(感度)を有している。検出装置6は、液体(デカリン)LQに対して高い感度を有するセンサ素子を有しており、液浸空間LSを形成するための液体(デカリン)LQのにおいを良好に検出可能である。なお、センサ素子としては、酸化物半導体素子、水晶振動子等、所定の素子を用いることができる。
照明系ILは、マスクM上の所定の照明領域IAを均一な照度分布の露光光ELで照明する。照明系ILは、オプティカルインテグレータ、コンデンサレンズ、及び反射ミラー等の複数の光学素子を有しており、それら光学素子は所定の保持機構に保持され、ハウジング16の内側に配置されている。照明系ILから射出される露光光ELとしては、例えば水銀ランプから射出される輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)、あるいはArFエキシマレーザ光(波長193nm)、F2レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)などが用いられる。本実施形態においてはArFエキシマレーザ光が用いられる。
マスクステージ1は、リニアモータ等のアクチュエータを含むマスクステージ駆動装置1Dの駆動により、マスクMを保持した状態で、X軸、Y軸、及びθZ方向に移動可能である。マスクステージ1(ひいてはマスクM)の位置情報はレーザ干渉計1Lによって計測される。レーザ干渉計1Lは、マスクステージ1上に設けられた計測ミラー1Rを用いてマスクステージ1の位置情報を計測する。制御装置3は、レーザ干渉計1Lの計測結果に基づいてマスクステージ駆動装置1Dを駆動し、マスクステージ1に保持されているマスクMの位置制御を行う。
投影光学系PLは、マスクMのパターンの像を所定の投影倍率で基板Pに投影する。投影光学系PLは複数の光学素子を有しており、それら光学素子は所定の保持機構に保持され、鏡筒17の内側に配置されている。本実施形態の投影光学系PLは、その投影倍率が例えば1/4、1/5、1/8等の縮小系である。なお、投影光学系PLは等倍系及び拡大系のいずれでもよい。また、投影光学系PLは、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系のいずれであってもよい。また、投影光学系PLは、倒立像と正立像とのいずれを形成してもよい。投影光学系PLの物体面側から投影光学系PLに入射した露光光ELは、その投影光学系PLの複数の光学素子を介して、基板Pの表面と対向するように配置された終端光学素子10の下面(射出面)18より射出される。
また、露光装置EXは、鏡筒17の内側の空間に気体Gpを供給する第1気体供給装置37を備えている。第1気体供給装置37の動作は、制御装置3に制御される。鏡筒17の所定位置には給気口38が形成されており、第1気体供給装置37は、給気管38P、及び給気口38を介して、鏡筒17の内側の空間に気体Gpを供給可能である。鏡筒17の内側の空間は、第1気体供給装置37から供給される気体Gpによって満たされる。本実施形態において、気体Gpは不活性ガスを含む。本実施形態においては、第1気体供給装置37は、化学的に精製され、濃度がほぼ100%の窒素ガスを供給する。これにより、鏡筒17の内側の空間は、濃度がほぼ100%の窒素ガスで満たされる。なお、鏡筒17の内側の空間を満たす気体(不活性ガス)Gpはヘリウムでもよいし、窒素とヘリウムの混合ガスでもよい。
同様に、第1気体供給装置37は、給気管39P、及び照明系ILのハウジング16の所定位置に形成された給気口39を介して、そのハウジング16の内側の空間に気体Gpを供給可能である。照明系ILのハウジング16の内側の空間は、第1気体供給装置37から供給される気体Gpによって満たされる。
基板ステージ2は、基板Pを保持する基板ホルダ2Hを有しており、リニアモータ等のアクチュエータを含む基板ステージ駆動装置2Dの駆動により、基板ホルダ2Hに基板Pを保持した状態で、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZ方向の6自由度の方向に移動可能である。基板ステージ2の基板ホルダ2Hは、基板Pの表面とXY平面とがほぼ平行となるように、基板Pを保持する。基板ステージ2(ひいては基板P)の位置情報はレーザ干渉計2Lによって計測される。レーザ干渉計2Lは、基板ステージ2に設けられた計測ミラー2Rを用いて基板ステージ2のX軸、Y軸、及びθZ方向に関する位置情報を計測する。また、露光装置EXは、基板ステージ2に保持されている基板Pの表面の面位置情報(Z軸、θX、及びθY方向に関する位置情報)を検出可能な不図示のフォーカス・レベリング検出系を備えている。制御装置3は、レーザ干渉計2Lの計測結果及びフォーカス・レベリング検出系の検出結果に基づいて基板ステージ駆動装置2Dを駆動し、基板ステージ2に保持されている基板Pの位置制御を行う。また、本実施形態においては、基板ステージ2上には凹部2Cが設けられており、基板ホルダ2Hはその凹部2Cに配置されている。凹部2C以外の基板ステージ2の上面2Fはほぼ平坦であり、その基板ステージ2の上面2Fと、基板ホルダ2Hに保持された基板Pの表面とはほぼ同じ高さ(面一)である。
図2は、ノズル部材20の近傍を示す側断面図である。図2に示すように、ノズル部材20は、液体LQを供給する液体供給口21と、液体LQを回収する液体回収口22とを有している。ノズル部材20は、終端光学素子10の近傍において、基板Pの表面(基板ステージ2の上面2F)と対向するように配置される。ノズル部材20は、環状の部材であって、基板P(基板ステージ2)の上方において、露光光ELの光路空間Kを囲むように配置される。ノズル部材20は、所定の支持機構(不図示)によって、終端光学素子10と離れるように支持される。終端光学素子10の外周面とノズル部材20の内側面との間には、所定のギャップが形成される。
ノズル部材20は、終端光学素子10の射出面18の一部の領域と対向する上面25を有する底板24を有している。底板24の中央には、露光光ELが通過する開口26が形成されている。底板24の一部は、Z軸方向に関して、終端光学素子10の射出面18と基板P(基板ステージ2)との間に配置されている。終端光学素子10の射出面18と底板24の上面25との間には、所定のギャップが設けられている。液体供給口21は、終端光学素子10の射出面18と底板24の上面25との間の空間に接続されており、その空間に液体LQを供給可能である。
ノズル部材20は、基板Pの表面と対向する下面30を有している。ノズル部材20の下面30は、露光光ELの光路空間Kを囲むように配置された第1面31と、露光光ELの光路空間Kに対して第1面31の外側に配置された第2面32と、露光光ELの光路空間Kに対して第2面32の外側に配置された第3面33とを有している。第2面32は、第1面31を囲むように配置されている。第3面33は、第2面32を囲むように配置されている。
第1面31は、基板Pの表面と対向する底板24の下面を含み、露光光ELが通過する開口26を囲むように配置されている。第1面31は、平坦な面であって、基板Pの表面(XY平面)とほぼ平行である。第1面31は、基板Pの表面との間で液体LQを良好に保持可能である。
第2面32は、液体LQを回収可能な面を含む。ノズル部材20の下面30には、露光光ELの光路空間Kを囲むように液体回収口22が形成され、その液体回収口22には多孔部材27が配置されている。液体回収口22は、多孔部材27を介して液体LQを回収可能であり、第2面32は、液体回収口22に配置された多孔部材27の下面で形成されている。
液体供給口21は、ノズル部材20の内部に形成された液体供給流路23及び液体供給管23Pを介して液体供給装置35に接続されている。液体供給装置35の動作は、制御装置3に制御される。液体供給装置35は、温度が調整された清浄な液体LQを送出可能である。液体回収口22は、ノズル部材20の内部に形成された液体回収流路28及び液体回収管28Pを介して液体回収装置36に接続されている。液体回収装置36の動作は、制御装置3に制御される。液体回収装置36は、真空系等を含み、液体LQを回収可能である。
液浸空間LSを形成するために、制御装置3は、液体供給装置35及び液体回収装置36のそれぞれを駆動し、液体供給口21を用いた液体供給動作、及び液体回収口22を用いた液体回収動作のそれぞれを実行する。液体供給装置35から送出された液体LQは、液体供給管23P及びノズル部材20の液体供給流路23を流れた後、液体供給口21より、終端光学素子10の射出面18と底板24の上面25との間の空間に供給され、開口26を介して、ノズル部材20の下面30と基板P(基板ステージ2)との間の空間に流入し、露光光ELの光路空間Kを満たすように、液浸空間LSを形成する。ノズル部材20の下面30と基板P(基板ステージ2)との間の空間の液体LQは、ノズル部材20の液体回収口22を含む第2面32を介して液体回収流路28に流入し、その液体回収流路28及び液体回収管28Pを流れた後、液体回収装置36に回収される。
制御装置3は、単位時間当たり所定量の液体LQを液体供給口21より供給するとともに単位時間当たり所定量の液体LQを液体回収口22より回収することで、所定の液浸空間LSを形成する。本実施形態においては、制御装置3は、終端光学素子10の射出面18と基板Pの表面との間、及びノズル部材20の第1面31及び第2面32の一部と基板Pの表面との間に液浸空間LSが形成されるように、ノズル部材20の液体供給口21を用いた液体供給動作、及び液体回収口22を用いた液体回収動作のそれぞれを制御する。すなわち、本実施形態においては、制御装置3は、液浸空間LSが第2面32の外側に形成されないように、換言すれば、液浸空間LSが第3面33と基板Pの表面との間に形成されないように、ノズル部材20の液体供給口21を用いた液体供給動作、及び液体回収口22を用いた液体回収動作のそれぞれを制御する。
露光装置EXは、液浸空間LSの液体LQを封じ込めるためのシール機構40を備えている。本実施形態においては、シール機構40の少なくとも一部は、液浸空間LSの外側(第2面32の外側)に形成される。本実施形態においては、シール機構40の少なくとも一部は、ノズル部材20の下面30の第3面33に形成される。シール機構40は、液浸空間LSの周囲の少なくとも一部に気体Gcを供給して、液浸空間LSの液体LQを封じ込める。
シール機構40は、ノズル部材20の下面30の第3面33に形成され、液浸空間LSの周囲の少なくとも一部に気体Gcを供給する気体供給口41と、液浸空間LSの周囲の気体Gc’を回収(排気)する気体回収口42とを備えている。本実施形態においては、気体回収口42は、露光光ELの光路空間K(液浸空間LS)に対して、気体供給口41の外側に配置されている。気体供給口41は、第3面33において、第2面32を囲むように形成されている。気体回収口42は、第3面33において、気体供給口41を囲むように形成されている。本実施形態においては、気体供給口41は、所定の幅を有するスリット状であり、第3面33において環状に形成されている。気体回収口42も、所定の幅を有するスリット状であり、第3面33において環状に形成されている。
気体供給口41は、ノズル部材20の内部に形成された気体供給流路43及び気体供給管43Pを介して第2気体供給装置45に接続されている。第2気体供給装置45の動作は、制御装置3に制御される。第2気体供給装置45は、温度が調整された清浄な気体Gcを送出可能である。気体回収口42は、ノズル部材20の内部に形成された気体回収流路44及び気体回収管44Pを介して気体回収装置46に接続されている。気体回収装置46の動作は、制御装置3に制御される。気体回収装置46は、真空系等を含み、気体を回収可能(排気可能)である。
制御装置3は、少なくとも液浸空間LSが形成されている間、第2気体供給装置45及び気体回収装置46のそれぞれを駆動し、気体供給口41を用いた気体供給動作、及び気体回収口42を用いた気体回収動作(排気動作)のそれぞれを実行する。第2気体供給装置45から送出された気体Gcは、気体供給管43P及びノズル部材20の気体供給流路43を流れた後、気体供給口41より、液浸空間LSの周囲に供給される。また、液浸空間LSの周囲の気体Gc’は、ノズル部材20の気体回収口42を介して気体回収流路44に流入し、その気体回収流路44及び気体回収管44Pを流れた後、気体回収装置46に回収される。
本実施形態において、気体供給口41から供給される気体Gcは不活性ガスを含む。本実施形態においては、第2気体供給装置45は、化学的に精製され、濃度がほぼ100%の窒素ガスを供給する。なお、気体供給口41から供給される気体(不活性ガス)Gcはヘリウムでもよいし、窒素とヘリウムの混合ガスでもよい。
シール機構40の気体供給口41及び気体回収口42は、露光光ELの光路空間Kに対して液浸空間LSの外側(第2面32の外側)に設けられており、シール機構40は、気体供給口41を用いた気体供給動作、及び気体回収口42を用いた気体回収動作を行うことによって、ノズル部材20の下面30(第3面33)と基板Pの表面との間における液浸空間LSの周囲の気体空間において、気体供給口41から気体回収口42に向かう気体の流れを生成可能である。シール機構40は、液浸空間LSの周囲において気体供給口41から基板Pの表面に向かって供給した気体によって、液浸空間LSの液体LQを封じ込める。
液浸空間LSの周囲の気体空間は、給気口14から局所空調室7Hに供給された気体Ga、気体供給口41から供給された気体Gc、及び液浸空間LSの液体LQの一部が気化することによって生成された気体を含む。シール機構40は、気体回収口42を用いた気体回収動作を行うことによって、給気口14から供給された気体Ga、気体供給口41から供給された気体Gc、及び液浸空間LSの液体LQの一部が気化することによって生成された気体を含む気体Gc’を回収(排気)することができる。以下の説明においては、液浸空間LSの液体LQの一部が気化することによって生成された気体を適宜、液体LQのにおい成分、と称する。
図2に示すように、本実施形態においては、終端光学素子10のうち、マスクM(投影光学系PLの物体面)からの露光光ELが入射する上面(入射面)19は、マスクM側に向かって膨らむ凸状の曲面である。終端光学素子10の入射面19側(投影光学系PLの物体面側)の空間は、第1気体供給装置37から給気口38を介して供給された気体Gpで満たされた鏡筒17の内側の空間34であり、終端光学素子10の入射面19は、その気体Gpと接触する。終端光学素子10の射出面18は、XY平面(投影光学系PLの像面)とほぼ平行な平面であり、基板Pの表面と対向するように配置される。終端光学素子10の射出面18側(投影光学系PLの像面側)の空間は、液体LQで満たされた液浸空間LSであり、終端光学素子10の射出面18は、液体LQと接触する。
次に、上述した構成を有する露光装置EXを用いてマスクMのパターンの像を基板Pに露光する方法について説明する。基板ステージ2に基板Pが保持された後、ノズル部材20及び終端光学素子10と基板P(基板ステージ2)とを対向させた状態で、制御装置3は、液体供給口21を用いた液体供給動作、及び液体回収口22を用いた液体回収動作のそれぞれを実行し、所定の液浸空間LSを形成する。また、制御装置3は、気体供給口41を用いた気体供給動作、及び気体回収口42を用いた気体回収動作のそれぞれを実行し、液浸空間LSの液体LQを封じ込めるように、液浸空間LSの周囲に気体の流れを生成する。そして、制御装置3は、照明系ILより射出した露光光ELでマスクMを照明し、マスクMのパターンの像を投影光学系PL及び液浸空間LSの液体LQを介して基板P上に投影する。本実施形態の露光装置EXは、マスクMと基板Pとを所定の走査方向に同期移動しつつ、マスクMのパターンの像を基板P上に投影する走査型露光装置(所謂スキャニングステッパ)である。本実施形態においては、基板Pの走査方向(同期移動方向)をY軸方向とし、マスクMの走査方向(同期移動方向)もY軸方向とする。制御装置3は、基板PをY軸方向に移動するとともに、その基板PのY軸方向への移動と同期して、マスクMをY軸方向に移動しつつ、投影光学系PL及び液浸空間LSの液体LQを介して基板P上に露光光ELを照射することによって、基板Pを露光する。
図3は、液浸空間LSが形成されるとともに、その液浸空間LSの液体LQがシール機構40によって封じ込められている状態を示す模式図である。単位時間当たり所定量の液体LQが液体供給口21より供給されるとともに、単位時間当たり所定量の液体LQが液体回収口22より回収されることによって、液浸空間LSは、第3面33よりも内側(第2面32の外側のエッジよりも内側)において、所定の大きさに形成される。また、シール機構40によって、液浸空間LSの液体LQが封じ込められている。これにより、液浸空間LSに対して基板Pを移動しつつ露光する場合においても、シール機構40の外側への液体LQの漏れが抑制されている。すなわち、シール機構40の気体供給口41から供給された気体Gcによって、液浸空間LSの液体LQは、少なくともその供給された気体Gcの内側の空間に封じ込められ、その気体供給口41からの気体Gcの外側への液体LQの漏れが抑制されている。本実施形態においては、気体供給口41は、基板Pの表面に向けて気体Gcを供給しており、液浸空間LSの液体LQは、少なくとも気体供給口41より内側の空間に封じ込められる。
また、気体回収口42は、液浸空間LSの周囲の気体空間の気体Gc’を回収(排気)する。液浸空間LSの周囲の気体空間には、液体LQのにおい成分が含まれているが、液浸空間LSの液体LQがシール機構40の内側に封じ込められている状態、すなわち、シール機構40の外側に液体LQが漏れていない状態においては、気体回収口42は、液体LQのにおい成分をほぼ全て回収(排気)することができる。
局所空調室7Hにおいては、給気口14から排気口15に向かう気体の流れが生成されているが、液体LQが漏れていない状態においては、排気口15から排出される気体Ga’に含まれる液体LQのにおい成分の量(液浸空間LSの液体LQの一部が気化することによって生成された気体の割合)は、ほぼ無い、あるいは極僅かである。すなわち、シール機構40の外側に液体LQが漏れていない状態においては、局所空調室7Hから排気口15を介して排出される気体Ga’の純度は、給気口14から局所空調室7Hに供給される気体Gaの純度とほぼ同じである。この場合、排気口15の近傍に配置されている検出装置6には、液体LQのにおい成分はほぼ到達せず、検出装置6は、液体LQのにおいを検出しない。
図4は、液浸空間LSの液体LQの一部がシール機構40の外側へ漏れた状態を示す模式図である。図4に示すように、何らかの原因によって、液浸空間LSの液体LQの一部が、シール機構40の外側(気体供給口41からの気体Gcの外側)へ漏れる可能性がある。例えば、基板Pの移動条件(液浸空間LSに対する基板Pの移動速度、加速度、移動方向、移動距離等)、基板Pの表面条件(基板Pの表面を形成する膜の特性、液体LQに対する基板Pの接触角等)などによって、液体LQがシール機構40の外側に漏れる可能性がある。シール機構40の外側に液体LQが漏れた状態においては、液体LQのにおい成分は、気体回収口42によって十分に回収(排気)されない。局所空調室7Hにおいては、給気口14から排気口15に向かう気体の流れが生成されており、液体LQが漏れた状態においては、排気口15から排出される気体Ga’に含まれる液体LQのにおい成分の量は、多くなる。すなわち、シール機構40の外側に液体LQが漏れた状態においては、局所空調室7Hから排気口15を介して排出される気体Ga’の純度は、給気口14から局所空調室7Hに供給される気体Gaの純度に対して低下する。この場合、排気口15の近傍に配置されている検出装置6には、液体LQのにおい成分が到達し、検出装置6は、液体LQのにおいを検出する。
このように、本実施形態においては、検出装置6は、液体LQのにおいを検出することによって、液浸空間LSからの液体LQの漏れを検出することができる。検出装置6の検出結果は制御装置3に出力される。制御装置3は、検出装置6の検出結果に基づいて、液体LQが漏れたと判断したとき、例えば露光装置EXの動作を停止する等、所定の処置を講ずることができる。また、制御装置3は、検出装置6の検出結果に応じて、報知装置5を用いて警報を発することができる。すなわち、制御装置3は、検出装置6の検出結果に基づいて、液体LQが漏れたと判断したとき、例えば、報知装置5の表示装置を用いて、液体LQが漏れた旨を表示したり、発光装置より光を発したり、あるいは発音装置より音を発することによって、液体LQが漏れた旨をオペレータ等に知らせることができる。また、オペレータは、報知装置5の報知に基づいて、例えば露光装置EXの動作を停止したり、メンテナンスを実行したりする等、所定の処置を講ずることができる。
以上説明したように、液体LQのにおいを検出可能な検出装置6を設けたので、液体LQのにおいを検出することによって、液浸空間LSからの液体LQの漏れを検出することができる。液体LQが漏れた場合、露光装置EXが置かれている環境が変動し、露光不良が発生したり、不良デバイスが製造される可能性が高くなる。例えば、漏れた液体LQが気化すると、その気化熱によって温度が変化する可能性がある。温度が変化すると、露光装置EXを構成する各種部材、機器が熱変形したり、各種計測機器の計測精度が劣化する等の不具合が生じる可能性がある。また、漏れた液体LQによって湿度が変化した場合においても、計測機器の計測精度が劣化する等の不具合が生じる可能性がある。これら不具合が生じると、露光不良が発生したり、不良デバイスが製造される可能性が高くなる。また、液体LQが漏れた状態を放置しておくと、露光不良が発生する可能性のある環境下(露光に適していない環境下)で基板Pを露光し続けてしまい、デバイスの生産性が低下する可能性もある。
本実施形態においては、液体LQのにおいを検出する検出装置6の検出結果に基づいて、液体LQが漏れたかどうかを判断できるので、液体LQが漏れた場合には、例えば露光装置EXの動作を停止したり、メンテナンスを実行したり、報知装置5で液体LQが漏れた旨を報知する等、適切な処置を実行することができる。したがって、露光に適していない環境下で基板Pが露光されることを抑制することができ、露光不良の発生、不良デバイスの発生等を抑制することができる。また本実施形態においては、液体LQのにおいを検出する検出装置6を所定位置に配置するといった簡易な構成で、液体LQの漏れを検出することができ、装置の複雑化、高コスト化を抑制することができる。また、本実施形態においては、検出装置6は、液浸空間LSが形成される局所空調室7Hにおける気体の流れの下流側である排気口15近傍に配置されるので、液体LQのにおいを良好に検出することができる。
<第2実施形態>
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。図5は、第2実施形態に係る露光装置EXを示す図である。図5に示すように、本実施形態においては、検出装置6は、シール機構40の外側におけるノズル部材20の近傍に配置されている。シール機構40の外側に液体LQが漏れていない状態と漏れた状態とでは、そのノズル部材20の近傍に配置された検出装置6にもたらされる液体LQのにおい成分の量が異なる。したがって、制御装置3は、ノズル部材20の近傍に配置された検出装置6の検出結果に基づいて、液体LQが漏れたかどうかを判断することができる。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。図5は、第2実施形態に係る露光装置EXを示す図である。図5に示すように、本実施形態においては、検出装置6は、シール機構40の外側におけるノズル部材20の近傍に配置されている。シール機構40の外側に液体LQが漏れていない状態と漏れた状態とでは、そのノズル部材20の近傍に配置された検出装置6にもたらされる液体LQのにおい成分の量が異なる。したがって、制御装置3は、ノズル部材20の近傍に配置された検出装置6の検出結果に基づいて、液体LQが漏れたかどうかを判断することができる。
<第3実施形態>
次に、第3実施形態について説明する。図6は、第3実施形態に係る露光装置EXを示す図である。図6において、露光装置EXは、少なくともノズル部材20及び終端光学素子10を収容する局所空調室7Hと、局所空調室7Hに気体Gaを供給する給気口14と、局所空調室7Hの気体を排出する排気口15と、排気口15から排出された気体Ga’を給気口14に送る流路53とを備えている。以下の説明においては、排気口15から排出された気体の少なくとも一部を給気口14に送る流路53を適宜、リターンダクト53、と称する。
次に、第3実施形態について説明する。図6は、第3実施形態に係る露光装置EXを示す図である。図6において、露光装置EXは、少なくともノズル部材20及び終端光学素子10を収容する局所空調室7Hと、局所空調室7Hに気体Gaを供給する給気口14と、局所空調室7Hの気体を排出する排気口15と、排気口15から排出された気体Ga’を給気口14に送る流路53とを備えている。以下の説明においては、排気口15から排出された気体の少なくとも一部を給気口14に送る流路53を適宜、リターンダクト53、と称する。
本実施形態においては、露光装置EXは、排気口15から排出された気体の少なくとも一部を、局所空調室7H及びリターンダクト53を含む流路内で局所的に循環させる。本実施形態においては、リターンダクト53の一部に、気体の状態(温度、湿度、及び清浄度を含む)を調整可能な局所空調ユニット51が配置されている。また、局所空調ユニット51は、ファンモータ等、気体の流れを生成可能な気流生成装置を備えており、リターンダクト53において排気口15から給気口14に向かう気体の流れを生成可能である。局所空調室7Hから排気口15を介してリターンダクト53に排出された気体は、局所空調ユニット51に供給される。局所空調ユニット51は、排気口15から送られた気体の状態を調整した後、給気口14に送る。局所空調室7Hには、局所空調ユニット51から、温度及び湿度が調整された清浄な気体(空気)が供給される。
そして、本実施形態においては、検出装置6は、リターンダクト53の所定位置に配置されている。具体的には、検出装置6は、排気口15と局所空調ユニット51との間のリターンダクト53の所定位置に配置されている。シール機構40の外側に液体LQが漏れていない状態と漏れた状態とでは、リターンダクト53に配置された検出装置6にもたらされる液体LQのにおい成分の量が異なる。したがって、制御装置3は、リターンダクト53に配置された検出装置6の検出結果に基づいて、液体LQが漏れたかどうかを判断することができる。
また本実施形態においては、露光装置EXは、ボディ9、ベースプレート11、照明系IL、マスクステージ1、投影光学系PL、及び基板ステージ2を収容可能なチャンバ60と、外部空間から気体(空気)を取り込み、その取り込んだ気体の状態(温度、湿度、及び清浄度を含む)を調整するとともに、その調整した気体をチャンバ60に供給する空調ユニット52とを備えている。チャンバ60の+Z側の壁には給気口61が形成されており、空調ユニット52は、調整した気体を給気口61を介してチャンバ60内に供給可能である。以下の説明においては、チャンバ60の内側の空間60Hを適宜、第1空調室60H、と称する。局所空調室7Hは、第1露光室60Hの内側に配置されている。
チャンバ60の所定位置には、第1空調室60Hの少なくとも一部の気体をリターンダクト53に排出する排気口64が配置されている。リターンダクト53には、排気口15を介して局所空調室7Hの気体が流入するとともに、排気口64を介して第1空調室60Hの気体が流入する。したがって、本実施形態においては、局所空調室7Hから排気口15を介して排出された気体の少なくとも一部、及び空調ユニット52によって外部空間から取り込まれ、第1空調室60Hから排気口64を介して排出された気体の少なくとも一部が、局所空調室7H及びリターンダクト53を含む流路内で局所的に循環する。局所空調室7H及びリターンダクト53を含む流路内で循環する気体は、空調ユニット52によって第1空調室60Hに供給された気体を、局所空調ユニット51によってさらに調整したものであり、清浄度が高く、温度及び湿度も安定している。なお本実施形態においては、局所空調ユニット51からの気体は、局所空調室7Hに接続された給気口14に加えて、マスクステージ1の近傍に配置された給気口13M、及び基板ステージ2の近傍に配置された給気口13Pのそれぞれにも供給される。
また、露光装置EXは、チャンバ60内の気体を外部に排出する排気口62、63を備えている。排気口62は、チャンバ60の−Z側の壁に形成されている。排気口63は、リターンダクト53の所定位置に形成されている。チャンバ60内の第1空調室60Hの気体は、排気口62を介してチャンバ60の外部に排出可能であるとともに、排気口64を介してリターンダクト53に排出された後、リターンダクト53に形成された排気口63を介してチャンバ60の外部に排出可能である。
排気口62、63には、その排気口62、63を介して排出される気体の量(単位時間当たりの排気量)を調整可能な調整機構70が配置されている。図7は、排気口62に配置された調整機構70を示す図である。図7において、調整機構70は、複数のスリット状の開口71Kが形成された第1板状部材71と、複数のスリット状の開口72Kが形成された第2板状部材72とを備えている。第1板状部材71は、第2板状部材72に対して、図中、少なくともY軸方向に移動可能である。第2板状部材72に対する第1板状部材71の位置が変化することによって、開口71Kと開口72Kとの重複領域によって形成される排気口62の大きさが変化する。制御装置3は、不図示の駆動装置を介して、第1板状部材71を移動することによって、排気口62の大きさ、ひいては排気口62を介して排出される気体の量(単位時間当たりの排気量)を調整可能である。また、排気口63にも、調整機構70が配置されており、制御装置3は、排気口63に配置された調整機構70を用いて、排気口63を介して排出される気体の量(単位時間当たりの排気量)を調整可能である。
本実施形態においては、制御装置3は、例えばリターンダクト53に形成されている排気口63の調整機構70を用いて、局所空調室7Hの排気口15から排出され、リターンダクト53を介して給気口14に送られる気体の量を調整可能である。例えば、給気口14に送られる気体の量を多くする場合には、制御装置3は、調整機構70を用いて排気口63を小さくし、給気口14に送られる気体の量を少なくする場合には、排気口63を大きくする。なお、制御装置3は、給気口14に送られる気体の量を多くする場合、局所空調ユニット51の気流生成装置(ファンモータ)の出力(駆動力)を上昇させ、給気口14に送られる気体の量を少なくする場合、低下させるようにしてもよい。
本実施形態においては、制御装置3は、リターンダクト53に配置された検出装置6の検出結果に応じて、排気口15から排出され、リターンダクト53を介して給気口14に送られる気体の量を調整する。例えば、検出装置6が液体LQのにおいを検出していないときには、制御装置3は、調整機構70を用いて排気口63を小さくし、排気口15から排出され、リターンダクト53を介して給気口14に送られる気体の単位時間当たりの量を所定値に設定した状態で、基板Pを露光する。
一方、検出装置6が液体LQのにおいを検出したときには、制御装置3は、調整機構70を用いて排気口63を大きくし、排気口15から排出され、リターンダクト53を介して給気口14に送られる気体の少なくする、又はほぼゼロにする。あるいは、制御装置3は、局所空調ユニット51の気流生成装置(ファンモータ)の出力(駆動力)を低下させる、又は気流生成装置(ファンモータ)の駆動を停止する。なお、排気口15からリターンダクト53を介して給気口14に気体が送られるのを抑制するためのシャッタ部材等をリターンダクト53の所定位置に配置するようにしてもよい。
例えば液体LQが漏れた場合、液体LQの一部が気化することによって生成された気体(本実施形態においてはデカリンを含む気体)が、局所空調室7Hから排気口15を介してリターンダクト53に流入し、局所空調ユニット51にもたらされる可能性がある。その状態を放置しておくと、例えば空調ユニット51が劣化する可能性がある。また、デカリンを含む気体が、局所空調室7Hから排気口15を介してリターンダクト53に流入した状態を放置しておくと、デカリンを含む気体が局所空調室7Hに戻ったり、デカリンを含む気体が局所空調室7H及びリターンダクト53を含む流路内で循環し続けたりする不具合が発生する可能性がある。
そこで、本実施形態においては、検出装置6が液体LQのにおい(液体LQの漏れ)を検出した場合、制御装置3は、その検出装置6の検出結果に応じて、排気口15から排気され、リターンダクト53を介して給気口14に送られる気体の量を少なくする、又はほぼゼロにする。これにより、デカリンを含む気体が局所空調ユニット51にもたらされたり、デカリンを含む気体が局所空調室7Hに戻されたり、デカリンを含む気体が局所空調室7H及びリターンダクト53を含む流路内で循環し続けたりする不具合の発生を抑制することができる。
また、液体LQが漏れた状態においては、局所空調室7Hを含む第1露光室60H及びリターンダクト53等に、デカリンを含む気体(純度が低い気体)が多く存在することとなる。そこで、制御装置3は、検出装置6の検出結果に応じて、液体LQが漏れたと判断した場合、調整機構70を用いて排気口62、63を大きくする。これにより、排気口15から排出され、リターンダクト53を介して給気口14に送られる気体の量が低減されるとともに、チャンバ60内の気体(純度が低い気体)が外部に素早く排出される。また、制御装置3は、空調ユニット52を用いて、外部空間から取り込んだ気体を調整した後、その調整した気体を局所空調室7Hを含む第1空調室60Hに供給する。これにより、局所空調室7Hを含む第1露光室60H及びリターンダクト53等には、温度及び湿度が調整された清浄な気体が満たされ、露光装置EXは、露光に適した環境下で基板Pを露光することができる。
<第4実施形態>
次に、第4実施形態について説明する。本実施形態の特徴的な部分は、制御装置3は、検出装置6の検出結果に基づいて、液浸空間LSの液体LQと接触した物体上における液体LQの残留を検出する点にある。図8は、第4実施形態に係る露光装置EXを示す図である。図8において、露光装置EXは、基板ステージ2に対して基板Pを搬入(ロード)するとともに、基板ステージ2から基板Pを搬出(アンロード)する基板搬送システム80を備えている。
次に、第4実施形態について説明する。本実施形態の特徴的な部分は、制御装置3は、検出装置6の検出結果に基づいて、液浸空間LSの液体LQと接触した物体上における液体LQの残留を検出する点にある。図8は、第4実施形態に係る露光装置EXを示す図である。図8において、露光装置EXは、基板ステージ2に対して基板Pを搬入(ロード)するとともに、基板ステージ2から基板Pを搬出(アンロード)する基板搬送システム80を備えている。
基板ステージ2は、ノズル部材20及び終端光学素子10との間で液浸空間LSを形成可能な露光位置(投影光学系PLの直下の位置)PJ1と、基板搬送システム80との間で基板Pを交換可能な基板交換位置(ローディングポジション)PJ2との間で移動可能である。基板搬送システム80は、基板交換位置PJ2と、露光位置PJ1及び基板交換位置PJ2とは離れた所定位置PJ3との間で基板Pを移動可能(搬送可能)である。本実施形態においては、所定位置PJ3には、基板Pを収容可能な基板収容装置(キャリア)81が配置されている。本実施形態においては、検出装置6は、露光位置PJ1と所定位置PJ3との間の基板Pの搬送経路上(移動経路上)に配置されている。本実施形態においては、検出装置6は、基板搬送システム80の搬送経路上に配置されている。
制御装置3は、ノズル部材20を用いて、ノズル部材20及び終端光学素子10と露光位置PJ1に配置された基板ステージ2上の基板Pとの間に液浸空間LSを形成し、露光位置PJ1において、基板ステージ2上の基板Pを露光する。基板Pは、液体LQと接触した状態で露光される。基板Pの露光が終了すると、制御装置3は、例えばノズル部材20の液体回収口22を用いて基板P上から液体LQを除去する動作を実行する。そして、制御装置3は、露光後の基板Pを保持した基板ステージ2を基板交換位置PJ2に移動する。そして、制御装置3は、基板交換位置PJ2に移動した基板ステージ2上から、露光後の基板Pを基板搬送システム80を用いてアンロードする。基板搬送システム80は、基板ステージ2からアンロードした基板Pを基板収容装置81に搬送する。
基板搬送システム80の搬送経路上には検出装置6が配置されており、制御装置3は、例えば基板搬送システム80で基板Pを保持した状態で、検出装置6を用いた検出動作を実行する。露光後の基板P上に液体LQが残留していない場合、検出装置6は液体LQのにおいを検出しない。一方、露光後の基板P上に液体LQが残留している場合、検出装置6は液体LQのにおいを検出する。このように、検出装置6は、液浸空間LSの液体LQと接触した基板P上における液体LQの残留を検出することができる。検出装置6の検出結果は制御装置3に出力される。制御装置3は、検出装置6の検出結果に基づいて、液浸空間LSの液体LQと接触した基板P上に液体LQが残留しているかどうかを判断することができる。
基板P上に液体LQが残留している状態を放置しておくと、例えば基板Pの表面を形成する膜が変質したり、基板P上に液体LQの付着跡が形成されたりする可能性がある。このような状態で、例えば現像処理など、露光後に行われる所定の処理を実行した場合、基板P上に形成されるパターンに欠陥が生じる等、不良デバイスが製造されてしまう可能性がある。また、基板P上に残留した液体LQが、現像装置等、露光後の各種プロセス処理を実行する装置に影響を与え、不良デバイスが製造されてしまう可能性もある。また、基板P上に液体LQが残留した状態を放置しておくと、その残留した液体LQが気化し、その気化熱によって基板Pが熱変形したり、あるいは、露光装置EXが置かれている環境が変動したりして、不良デバイスが発生する可能性がある。
本実施形態においては、液体LQのにおいを検出可能な検出装置6の検出結果に基づいて、液体LQが残留しているかどうかを判断できるので、液体LQが残留している場合には、例えば液体LQが残留している基板Pをデバイス製造工程から除外したり、あるいは報知装置5で液体LQが残留している旨を報知して、オペレータに適切な処置の実行を促す等、デバイスの生産性の低下を抑制するための処置を講ずることができる。
<第5実施形態>
次に、第5実施形態について説明する。図9は、第5実施形態に係る露光装置EXを示す図である。図9に示すように、検出装置6は、基板Pを収容可能な基板収容装置81に配置されてもよい。露光後の基板Pが収容される基板収容装置81に検出装置6を配置することによって、その検出装置6を用いて、液浸空間LSの液体LQに接触した基板P上における液体LQの残留を検出することができる。
次に、第5実施形態について説明する。図9は、第5実施形態に係る露光装置EXを示す図である。図9に示すように、検出装置6は、基板Pを収容可能な基板収容装置81に配置されてもよい。露光後の基板Pが収容される基板収容装置81に検出装置6を配置することによって、その検出装置6を用いて、液浸空間LSの液体LQに接触した基板P上における液体LQの残留を検出することができる。
<第6実施形態>
次に、第6実施形態について説明する。第6実施形態の特徴的な部分は、露光装置EXが、例えば特開2005−101487号公報に開示されているような、液浸露光後の基板P上に残留する液体LQを除去可能な液体除去装置84を備えている点にある。図10は、液体除去装置84の一例を示す模式図である。液体除去装置84は、基板搬送システム80の搬送経路の途中に配置されている。液体除去装置84は、チャンバ85と、チャンバ85内に配置され、基板Pの表面及び裏面のそれぞれに気体(例えばドライエア)を吹き付ける気体ノズル86、86とを備えている。チャンバ85の所定位置には開口87、88が形成されており、開口87、88のそれぞれには扉87A、88Aが設けられている。基板搬送システム80の第1アーム80Aは、露光後の基板Pを開口87を介してチャンバ85の内側に搬入可能であり、第2アーム80Bは、液体除去装置84で処理された基板Pを開口88を介してチャンバ85の内側から搬出可能である。制御装置3は、チャンバ85の内側に基板Pを配置した状態で、気体ノズル86、86から気体を吹き出し、その気体ノズル86、86から吹き出した気体の力によって、基板P上に残留した液体LQを除去可能である。また、少なくとも気体ノズル86、86から気体を吹き出している間においては、扉87A、88Aによって開口87、88が閉じられ、チャンバ85内部が密閉される。また、チャンバ85には、流路89Aを介して液体吸引装置89が接続されている。基板Pから吹き飛ばされた液体LQは、チャンバ85に接続されている液体吸引装置89によって回収される。
次に、第6実施形態について説明する。第6実施形態の特徴的な部分は、露光装置EXが、例えば特開2005−101487号公報に開示されているような、液浸露光後の基板P上に残留する液体LQを除去可能な液体除去装置84を備えている点にある。図10は、液体除去装置84の一例を示す模式図である。液体除去装置84は、基板搬送システム80の搬送経路の途中に配置されている。液体除去装置84は、チャンバ85と、チャンバ85内に配置され、基板Pの表面及び裏面のそれぞれに気体(例えばドライエア)を吹き付ける気体ノズル86、86とを備えている。チャンバ85の所定位置には開口87、88が形成されており、開口87、88のそれぞれには扉87A、88Aが設けられている。基板搬送システム80の第1アーム80Aは、露光後の基板Pを開口87を介してチャンバ85の内側に搬入可能であり、第2アーム80Bは、液体除去装置84で処理された基板Pを開口88を介してチャンバ85の内側から搬出可能である。制御装置3は、チャンバ85の内側に基板Pを配置した状態で、気体ノズル86、86から気体を吹き出し、その気体ノズル86、86から吹き出した気体の力によって、基板P上に残留した液体LQを除去可能である。また、少なくとも気体ノズル86、86から気体を吹き出している間においては、扉87A、88Aによって開口87、88が閉じられ、チャンバ85内部が密閉される。また、チャンバ85には、流路89Aを介して液体吸引装置89が接続されている。基板Pから吹き飛ばされた液体LQは、チャンバ85に接続されている液体吸引装置89によって回収される。
本実施形態においては、検出装置6は、チャンバ85の内側に配置されている。制御装置3は、液体除去装置84の気体ノズル86、86を用いた液体LQの除去動作中及び除去動作後の少なくとも一方において、検出装置6による検出動作を実行する。例えば、制御装置3は、液体除去装置84の気体ノズル86、86による液体LQの除去動作中において、検出装置6による検出動作を実行する。そして、制御装置3は、検出装置6が液体LQのにおいを検出しなくなるまで、液体除去装置84による液体LQの除去動作を実行する。そして、検出装置6が液体LQのにおいを検出しなくなるのを確認した後、制御装置3は、基板搬送システム80の第2アーム80Bを用いて、液体LQが除去された基板Pをチャンバ85の内側から搬出し、基板収容装置81等に搬送する。また、制御装置3は、液体除去装置84の気体ノズル86、86による液体LQの除去動作を所定時間実行した後、検出装置6による検出動作を実行することもできる。そして、検出装置6が液体LQのにおいを検出しなくなったことを確認した後、制御装置3は、基板搬送システム80の第2アーム80Bを用いて、液体LQが除去された基板Pをチャンバ85の内側から搬出し、基板収容装置81等に搬送する。こうすることにより、基板P上より液体LQを確実に除去した後、その後のプロセス処理に移行することができる。
<第7実施形態>
次に、第7実施形態について説明する。第7実施形態の特徴的な部分は、検出装置6は、液浸空間LSの液体LQと接触したノズル部材20及び終端光学素子10の少なくとも一方における液体LQの残留を検出する点にある。例えば、液体LQを用いない処理を実行したり、露光装置EXのメンテナンスを実行したりする場合等において、液浸空間LSの液体LQを全て取り去る必要が生じる可能性がある。その場合、例えばノズル部材20(あるいは終端光学素子10)に液体LQが残留すると、その残留した液体LQが気化することによって気化熱が生じ、ノズル部材20(あるいは終端光学素子10)が熱変形したり、液体LQの付着跡が形成される不具合が生じる可能性がある。そこで、本実施形態においては、検出装置6を用いて、液浸空間LSの液体LQと接触したノズル部材20及び終端光学素子10の少なくとも一方における液体LQの残留を検出する。
次に、第7実施形態について説明する。第7実施形態の特徴的な部分は、検出装置6は、液浸空間LSの液体LQと接触したノズル部材20及び終端光学素子10の少なくとも一方における液体LQの残留を検出する点にある。例えば、液体LQを用いない処理を実行したり、露光装置EXのメンテナンスを実行したりする場合等において、液浸空間LSの液体LQを全て取り去る必要が生じる可能性がある。その場合、例えばノズル部材20(あるいは終端光学素子10)に液体LQが残留すると、その残留した液体LQが気化することによって気化熱が生じ、ノズル部材20(あるいは終端光学素子10)が熱変形したり、液体LQの付着跡が形成される不具合が生じる可能性がある。そこで、本実施形態においては、検出装置6を用いて、液浸空間LSの液体LQと接触したノズル部材20及び終端光学素子10の少なくとも一方における液体LQの残留を検出する。
図11は、第7実施形態に係る露光装置EXを示す模式図である。本実施形態においては、検出装置6は、ノズル部材20の近傍に配置されている。ノズル部材20を用いて、ノズル部材20及び終端光学素子10と基板ステージ2上の基板Pとの間に液浸空間LSを形成した状態で基板Pを露光した後、例えば液体LQを用いない処理を実行するために、制御装置3は、ノズル部材20の液体回収口22を用いて、液浸空間LSの液体LQを全て取り去る動作を実行する。そして、制御装置3は、検出装置6を用いた検出動作を実行する。検出装置6の検出結果は制御装置3に出力される。制御装置3は、検出装置6の検出結果に基づいて、液浸空間LSの液体LQと接触したノズル部材20及び終端光学素子10に液体LQが残留しているかどうかを判断することができる。そして、液体LQが残留していると判断した場合には、メンテナンスを実行したり、報知装置5で液体LQが残留している旨を報知する等の処置を講ずることができる。
<第8実施形態>
次に、第8実施形態について説明する。第8実施形態の特徴的な部分は、露光装置EXが、例えば特開2005−277363号公報に開示されているような、ノズル部材20及び終端光学素子10に残留する液体LQを除去可能な液体除去装置90を備えている点にある。図12は、液体除去装置90の一例を示す模式図である。本実施形態においては、液体除去装置90の少なくとも一部は、ノズル部材20及び終端光学素子10と対向可能な基板ステージ2に配置されている。液体除去装置90は、基板ステージ2上に形成された溝2Tの内側に配置され、気体を吹き出す吹出口91と、液体LQを回収可能な回収口92とを備えている。制御装置3は、吹出口91とノズル部材20の下面30及び終端光学素子10の下面18の少なくとも一方とを対向させた状態で、吹出口91から気体を吹き出し、その吹き出した気体の力によって、ノズル部材20及び終端光学素子10に残留した液体LQを除去可能である。また、ノズル部材20及び終端光学素子10の少なくとも一方から吹き飛ばされた液体LQは、回収口92によって回収される。
次に、第8実施形態について説明する。第8実施形態の特徴的な部分は、露光装置EXが、例えば特開2005−277363号公報に開示されているような、ノズル部材20及び終端光学素子10に残留する液体LQを除去可能な液体除去装置90を備えている点にある。図12は、液体除去装置90の一例を示す模式図である。本実施形態においては、液体除去装置90の少なくとも一部は、ノズル部材20及び終端光学素子10と対向可能な基板ステージ2に配置されている。液体除去装置90は、基板ステージ2上に形成された溝2Tの内側に配置され、気体を吹き出す吹出口91と、液体LQを回収可能な回収口92とを備えている。制御装置3は、吹出口91とノズル部材20の下面30及び終端光学素子10の下面18の少なくとも一方とを対向させた状態で、吹出口91から気体を吹き出し、その吹き出した気体の力によって、ノズル部材20及び終端光学素子10に残留した液体LQを除去可能である。また、ノズル部材20及び終端光学素子10の少なくとも一方から吹き飛ばされた液体LQは、回収口92によって回収される。
また、本実施形態においても、制御装置3は、液体除去装置90による液体LQの除去動作中及び除去動作後の少なくとも一方において、検出装置6による検出動作を実行する。例えば、制御装置3は、検出装置6が液体LQのにおいを検出しなくなるまで、液体除去装置90による液体LQの除去動作を実行する。あるいは、制御装置3は、液体除去装置90による液体LQの除去動作を所定時間実行した後、検出装置6による検出動作を実行する。これにより、液体LQが除去されて、検出装置6が液体LQのにおいを検出しなくなったことを確認することができる。
<第9実施形態>
次に、第9実施形態について説明する。第9実施形態の特徴的な部分は、検出装置6が、ノズル部材20及び終端光学素子10と対向するように配置され、ノズル部材20及び終端光学素子10との間で液浸空間LSを形成可能な基板ステージ2における液体LQの残留を検出する点にある。例えば、基板ステージ2の上面2Fに液体LQが残留している状態を放置しておくと、その残留した液体LQが気化することによって気化熱が生じ、基板ステージ2が熱変形したり、あるいは液体LQの付着跡が形成される不具合が生じる可能性がある。また、基板ホルダ2Hに液体LQが残留することも考えられる。例えば液浸露光後の基板Pを基板ステージ2(基板ホルダ2H)からアンロードした後、基板ホルダ2Hに液体LQが残留する可能性がある。基板ホルダ2Hに液体LQが残留していると、その基板ホルダ2Hに次の基板Pをロードしたとき、その基板ホルダ2Hで基板Pを良好に保持できなくなる可能性がある。そこで、本実施形態においては、検出装置6を用いて、液浸空間LSの液体LQと接触した基板ステージ2の上面2F及び基板ホルダ2Hにおける液体LQの残留を検出する。
次に、第9実施形態について説明する。第9実施形態の特徴的な部分は、検出装置6が、ノズル部材20及び終端光学素子10と対向するように配置され、ノズル部材20及び終端光学素子10との間で液浸空間LSを形成可能な基板ステージ2における液体LQの残留を検出する点にある。例えば、基板ステージ2の上面2Fに液体LQが残留している状態を放置しておくと、その残留した液体LQが気化することによって気化熱が生じ、基板ステージ2が熱変形したり、あるいは液体LQの付着跡が形成される不具合が生じる可能性がある。また、基板ホルダ2Hに液体LQが残留することも考えられる。例えば液浸露光後の基板Pを基板ステージ2(基板ホルダ2H)からアンロードした後、基板ホルダ2Hに液体LQが残留する可能性がある。基板ホルダ2Hに液体LQが残留していると、その基板ホルダ2Hに次の基板Pをロードしたとき、その基板ホルダ2Hで基板Pを良好に保持できなくなる可能性がある。そこで、本実施形態においては、検出装置6を用いて、液浸空間LSの液体LQと接触した基板ステージ2の上面2F及び基板ホルダ2Hにおける液体LQの残留を検出する。
図13は、第9実施形態に係る露光装置EXを示す模式図である。本実施形態においては、検出装置6は、基板交換位置PJ2に配置されている。制御装置3は、ノズル部材20を用いて液浸空間LSを形成し、露光位置PJ1において、基板ステージ2上の基板Pを露光する。基板Pの露光が終了すると、制御装置3は、例えばノズル部材20の液体回収口22を用いて、基板P上及び基板ステージ2上から液体LQを除去する動作を実行する。そして、制御装置3は、露光後の基板Pを保持した基板ステージ2を基板交換位置PJ2に移動する。制御装置3は、基板交換位置PJ2に移動した基板ステージ2上から、搬送システム80を用いて、基板Pをアンロードする。そして、制御装置3は、基板交換位置PJ2に配置されている検出装置6を用いて、基板Pがアンロードされた後の基板ステージ2に対する検出動作を実行する。検出装置6の検出結果は制御装置3に出力される。制御装置3は、検出装置6の検出結果に基づいて、基板ステージ2に液体LQが残留しているかどうかを判断することができる。液体LQが残留していると判断された場合には、例えば報知装置5で液体LQが残留している旨を報知する等の処置を講ずることができる。
<第10実施形態>
次に、第10実施形態について説明する。第10実施形態の特徴的な部分は、露光装置EXが、基板ステージ2に残留する液体LQを除去可能な液体除去装置93を備えている点にある。図14は、液体除去装置93の一例を示す模式図である。図14において、液体除去装置93は、基板ステージ2の上方に配置されたカバー部材94と、基板ステージ2とカバー部材94との間に形成される空間96に乾燥した気体を供給する給気口95と、空間96の気体を排出する排気口97とを備えている。給気口95から乾燥した気体を基板ステージ2に供給することによって、基板ステージ2に残留した液体LQを気化させ、基板ステージ2上から液体LQを除去することができる。なお、本実施形態においては、液体除去装置93は、基板交換位置PJ2で液体除去動作を実行する。また、露光後の基板Pを基板ステージ2からアンロードした後、基板ステージ2上に基板Pが無い状態で、液体除去装置93による液体除去動作が実行される。
次に、第10実施形態について説明する。第10実施形態の特徴的な部分は、露光装置EXが、基板ステージ2に残留する液体LQを除去可能な液体除去装置93を備えている点にある。図14は、液体除去装置93の一例を示す模式図である。図14において、液体除去装置93は、基板ステージ2の上方に配置されたカバー部材94と、基板ステージ2とカバー部材94との間に形成される空間96に乾燥した気体を供給する給気口95と、空間96の気体を排出する排気口97とを備えている。給気口95から乾燥した気体を基板ステージ2に供給することによって、基板ステージ2に残留した液体LQを気化させ、基板ステージ2上から液体LQを除去することができる。なお、本実施形態においては、液体除去装置93は、基板交換位置PJ2で液体除去動作を実行する。また、露光後の基板Pを基板ステージ2からアンロードした後、基板ステージ2上に基板Pが無い状態で、液体除去装置93による液体除去動作が実行される。
本実施形態においては、検出装置6は、基板ステージ2とカバー部材94とで形成される空間96に配置される。また、本実施形態においても、制御装置3は、液体除去装置93による液体LQの除去動作中及び除去動作後の少なくとも一方において、検出装置6による検出動作を実行する。例えば、制御装置3は、検出装置6が液体LQのにおいを検出しなくなるまで、液体除去装置93による液体LQの除去動作を実行する。あるいは、制御装置3は、液体除去装置93による液体LQの除去動作を所定時間実行した後、検出装置6による検出動作を実行する。これにより、液体LQが除去されて、検出装置6が液体LQのにおいを検出しなくなったことを確認することができる。
<第11実施形態>
次に、第11実施形態について説明する。第11実施形態の特徴的な部分は、露光装置EXが、例えば特開平11−135400号公報、特開2000−164504号公報等に開示されているような、基板を保持して移動可能な基板ステージと、基準マークが形成された基準部材、各種光電センサ等、露光に関する計測を実行可能な計測器を搭載して移動可能な計測ステージとを備えた点にある。図15は、第11実施形態に係る露光装置EXを示す模式図である。図15に示すように、液浸空間LSは、ノズル部材20及び終端光学素子10と、投影光学系PLの像面側においてノズル部材20及び終端光学素子10と対向する位置に配置された計測ステージ29の上面29Fとの間にも形成可能である。
次に、第11実施形態について説明する。第11実施形態の特徴的な部分は、露光装置EXが、例えば特開平11−135400号公報、特開2000−164504号公報等に開示されているような、基板を保持して移動可能な基板ステージと、基準マークが形成された基準部材、各種光電センサ等、露光に関する計測を実行可能な計測器を搭載して移動可能な計測ステージとを備えた点にある。図15は、第11実施形態に係る露光装置EXを示す模式図である。図15に示すように、液浸空間LSは、ノズル部材20及び終端光学素子10と、投影光学系PLの像面側においてノズル部材20及び終端光学素子10と対向する位置に配置された計測ステージ29の上面29Fとの間にも形成可能である。
また、基板ステージ2及び計測ステージ29は、投影光学系PLの像面側で移動可能であり、制御装置3は、投影光学系PLの直下の位置を含む所定領域内で、基板ステージ2の上面2Fと計測ステージ29の上面29Fとを接近又は接触させた状態で、基板ステージ2と計測ステージ29とをXY方向に一緒に移動することにより、ノズル部材20及び終端光学素子10の下面側に形成された液浸空間LSを、基板ステージ2の上面2Fと計測ステージ29の上面29Fとの間で移動することができる。
例えば、液浸空間LSを基板ステージ2の上面2Fに移動する動作を実行した場合において、計測ステージ29上に液体LQが残留する可能性がある。そこで、本実施形態においては、検出装置6を用いて、液浸空間LSの液体LQと接触した計測ステージ29の上面29Fにおける液体LQの残留を検出する。そして、その検出結果に基づいて、例えば報知装置5で液体LQが残留している旨を報知する等の処置を講ずることができる。また、計測ステージ29上の液体LQを除去する場合には、図14を参照して説明したような液体除去装置93を用いることができる。
また、上述の第10、第11実施形態において、基板ステージ及び計測ステージの少なくとも一方に残留する液体LQを除去するために、例えば特開2005−277363号公報に開示されているような液体除去装置を用いることもできる。
<第12実施形態>
次に、第12実施形態について説明する。第12実施形態の特徴的な部分は、検出装置6が、基板Pを保持して移動可能な基板搬送システム80の搬送アーム82に設けられている点にある。図16は、本実施形態に係る露光装置EXの一例を示す図である。図16に示すように、露光装置EXは、検出装置6を保持して移動可能な搬送アーム82を備えている。搬送アーム82は、基板Pを保持して移動可能な部材である。
次に、第12実施形態について説明する。第12実施形態の特徴的な部分は、検出装置6が、基板Pを保持して移動可能な基板搬送システム80の搬送アーム82に設けられている点にある。図16は、本実施形態に係る露光装置EXの一例を示す図である。図16に示すように、露光装置EXは、検出装置6を保持して移動可能な搬送アーム82を備えている。搬送アーム82は、基板Pを保持して移動可能な部材である。
このように、検出装置6を保持して移動可能な可動部材を設けることによって、露光装置EXの任意の位置において、検出装置6を用いた検出動作を実行することができる。例えば、検出装置6を保持した搬送アーム82をノズル部材20及び終端光学素子10の少なくとも一方に近づけることによって、ノズル部材20及び終端光学素子10の少なくとも一方に液体LQが残留しているかどうかを検出することができる。また、検出装置6を保持した搬送アーム82を基板ステージ2及び計測ステージ29の少なくとも一方に近づけることによって、基板ステージ2及び計測ステージ29の少なくとも一方に液体LQが残留しているかどうかを検出することができる。また、基板Pを保持可能な搬送アーム82に検出装置6を設けることによって、露光後の基板Pを搬送する際に、その基板Pに液体LQが残留しているかどうかを良好に検出することができる。また、検出装置6を保持した搬送アーム82を、局所空調室7Hに配置することによって、液浸空間LSの液体LQの漏れを検出することもできる。
なお、検出装置6は、基板Pを保持して移動可能な搬送アーム82のみならず、例えば投影光学系PLの像面側で移動可能な基板ステージ2の一部、あるいは計測ステージ29の一部に配置することも可能である。この場合においても、露光装置EXの任意に位置において、検出装置6を用いた検出動作を実行したり、液浸空間LSの液体LQの漏れを検出したりすることができる。
<第13実施形態>
次に、第13実施形態について説明する。第13実施形態の特徴的な部分は、鏡筒17の内側の空間34に供給された気体Gpを用いて、液浸空間LSの液体LQを封じ込める点にある。図17は、第13実施形態に係る露光装置EXの一部を示す側断面図、図18は、図17の一部の拡大図である。本実施形態の露光装置EXは、終端光学素子10の入射面19側(鏡筒17の内側)の空間34に気体Gpを供給する給気口38と、給気口38から供給された気体Gpが、液浸空間LSの周囲の少なくとも一部に供給されるように、鏡筒17の内側の空間34と液浸空間LSの周囲の気体空間の少なくとも一部とを接続する流路48とを備えている。本実施形態においては、鏡筒17の下端には、終端光学素子10を保持する保持部材17Hが保持されており、流路48は、保持部材17Hの一部に形成されている。本実施形態においては、鏡筒17の内側の空間34の気体Gpが、保持部材17Hに形成された流路48を介して、液浸空間LSの周囲の少なくとも一部に供給され、その供給された気体Gpによって、液浸空間LSの液体LQが封じ込められる。
次に、第13実施形態について説明する。第13実施形態の特徴的な部分は、鏡筒17の内側の空間34に供給された気体Gpを用いて、液浸空間LSの液体LQを封じ込める点にある。図17は、第13実施形態に係る露光装置EXの一部を示す側断面図、図18は、図17の一部の拡大図である。本実施形態の露光装置EXは、終端光学素子10の入射面19側(鏡筒17の内側)の空間34に気体Gpを供給する給気口38と、給気口38から供給された気体Gpが、液浸空間LSの周囲の少なくとも一部に供給されるように、鏡筒17の内側の空間34と液浸空間LSの周囲の気体空間の少なくとも一部とを接続する流路48とを備えている。本実施形態においては、鏡筒17の下端には、終端光学素子10を保持する保持部材17Hが保持されており、流路48は、保持部材17Hの一部に形成されている。本実施形態においては、鏡筒17の内側の空間34の気体Gpが、保持部材17Hに形成された流路48を介して、液浸空間LSの周囲の少なくとも一部に供給され、その供給された気体Gpによって、液浸空間LSの液体LQが封じ込められる。
また、液浸空間LSに対して流路48の外側には、気体回収口42’を有する気体回収部材42Bが配置されている。気体回収口42’は、気体回収装置46’と接続されており、液浸空間LSの周囲の気体は、気体回収口42’を介して、気体回収装置46’に回収される。
なお、本実施形態の終端光学素子10は、入射面19の外周と射出面18の外周とを接続する外周面を備え、その外周面は、基板Pの表面から離れるように形成されている。そして、ノズル部材20の少なくとも一部が、終端光学素子10の外周面と基板Pの表面との間に形成された空間に配置されている。
以上説明したように、液浸空間LSの液体LQを封じ込めるために、鏡筒17の内側の空間34の気体Gpを用いることもできる。本実施形態によれば、液浸空間LSの液体LQを封じ込めるためのシール機構の構成を簡略化することができる。
<第14実施形態>
次に、第14実施形態について説明する。第14実施形態の特徴的な部分は、液浸空間LSの液体LQとは異なる液体LQ’を供給して、液浸空間LSの液体LQを封じ込める点にある。図19は、第14実施形態に係る露光装置EXの一部を示す模式図である。図19において、露光装置EXは、露光光ELの光路空間Kを満たすように形成された液浸空間LSの周囲に、液浸空間LSの液体LQとは異なる液体LQ’を供給する第2液体供給口76を備えている。本実施形態においては、第2液体供給口76は、ノズル部材20の第3面33に形成されている。また、ノズル部材20の第3面33において、液浸空間LSに対して第2液体供給口76の外側及び内側のそれぞれには、液体LQ’を回収可能な第2、第3液体回収口77、78が形成されている。制御装置3は、第2液体供給口76を用いた液体供給動作と、第2、第3液体回収口77、78を用いた液体回収動作とを適宜行うことによって、液浸空間LSから離れた位置で、液浸空間LSを囲むように、第2液浸空間LS’を形成可能である。
次に、第14実施形態について説明する。第14実施形態の特徴的な部分は、液浸空間LSの液体LQとは異なる液体LQ’を供給して、液浸空間LSの液体LQを封じ込める点にある。図19は、第14実施形態に係る露光装置EXの一部を示す模式図である。図19において、露光装置EXは、露光光ELの光路空間Kを満たすように形成された液浸空間LSの周囲に、液浸空間LSの液体LQとは異なる液体LQ’を供給する第2液体供給口76を備えている。本実施形態においては、第2液体供給口76は、ノズル部材20の第3面33に形成されている。また、ノズル部材20の第3面33において、液浸空間LSに対して第2液体供給口76の外側及び内側のそれぞれには、液体LQ’を回収可能な第2、第3液体回収口77、78が形成されている。制御装置3は、第2液体供給口76を用いた液体供給動作と、第2、第3液体回収口77、78を用いた液体回収動作とを適宜行うことによって、液浸空間LSから離れた位置で、液浸空間LSを囲むように、第2液浸空間LS’を形成可能である。
本実施形態においては、液浸空間LSを形成するための液体LQとしてデカリンを用い、第2液浸空間LS’を形成するための液体LQ’として水(純水)を用いる。また、本実施形態においては、検出装置6は、液浸空間LSを形成するための液体LQ(デカリン)に対して高い感度を有するセンサ素子を有し、第2液浸空間LS’を形成するための液体LQ’(水)に対して感度を有するセンサ素子は有していない。検出装置6は、排気口15の近傍、リターンダクト53、及びノズル部材20の近傍の少なくとも1箇所に配置されている。
そして、本実施形態においては、露光装置EXは、第2液体供給口76、及び第2、第3液体回収口77、78を含むシール機構40’によって形成される第2液浸空間LS’によって、液浸空間LSの液体LQを封じ込める。液浸空間LSの液体LQがシール機構40’の外側(第2液浸空間LS’の外側)に漏れていない状態においては、液体LQのにおい成分は第2液浸空間LS’の外側に流出しない。したがって、検出装置6は液体LQのにおいを検出しない。一方、液浸空間LSの液体LQがシール機構40’の外側に漏れた状態においては、検出装置6は液体LQのにおいを検出することができる。
なお、上述の第1〜第14実施形態において、シール機構40(40’)は、液浸空間LSの形成するためのノズル部材20の一部(第3面33)に形成されているが、ノズル部材20とは別の部材に形成されていてもよい。例えば、ノズル部材20を囲むように環状の部材を設け、その環状の部材に、シール機構40(40’)の少なくとも一部を設けるようにしてもよい。例えば、その環状の部材のうち、基板Pの表面と対向する下面に、気体を供給する気体供給口41を設けたり、液体LQ’を供給する第2液体供給口76を設けることができる。
<第15実施形態>
次に、第15実施形態について説明する。第15実施形態においては、液体を用いてデバイスを製造するデバイス製造装置の少なくとも一部を収容する環境制御装置CHが、液体のにおいを検出する検出装置6を備えている場合を例にして説明する。図20は、第15実施形態に係る環境制御装置CHを示す概略構成図である。図20において、環境制御装置CHは、デバイス製造装置を収容する本体チャンバ101と、外部空間から気体(空気)を取り込み、その取り込んだ気体の状態(温度、湿度、及び清浄度を含む)を調整するとともに、その調整した気体を本体チャンバ101内に供給する空調ユニット102とを備えている。本体チャンバ101と空調ユニット102とは、ダクト103を介して接続されている。
次に、第15実施形態について説明する。第15実施形態においては、液体を用いてデバイスを製造するデバイス製造装置の少なくとも一部を収容する環境制御装置CHが、液体のにおいを検出する検出装置6を備えている場合を例にして説明する。図20は、第15実施形態に係る環境制御装置CHを示す概略構成図である。図20において、環境制御装置CHは、デバイス製造装置を収容する本体チャンバ101と、外部空間から気体(空気)を取り込み、その取り込んだ気体の状態(温度、湿度、及び清浄度を含む)を調整するとともに、その調整した気体を本体チャンバ101内に供給する空調ユニット102とを備えている。本体チャンバ101と空調ユニット102とは、ダクト103を介して接続されている。
空調ユニット102は、ハウジング104と、ハウジング104内に外部空間の気体(空気)を取り込むための取込口104Aと、取り込んだ気体を排出する排気口104Bと、ハウジング104内に配置され、取込口104Aから取り込んだ気体の温度を調整する温度調整器105と、気体の湿度を調整する湿度調整器106と、ハウジング104内に配置され、取込口104Aを介してハウジング104内に外部空間の気体を取り込むように気体の流れを生成するファンモータ(気流生成装置)107と、ファンモータ107よりも排気口104B側に配置され、排気口104Bから排出される気体中の不純物を除去するためのフィルタユニット108とを備えている。排気口104Bは、ダクト103に接続されている。
温度調整器105は、クーラ105A及びヒータ105Bを含み、不図示の温度センサの検出結果に基づいて、取込口104Aを介してハウジング104内に取り込んだ気体を所定の温度に調整する。湿度調整器106は、加湿器等を含み、不図示の湿度センサの検出結果に基づいて、取込口104Aを介してハウジング104内に取り込んだ気体を所定の湿度に調整する。フィルタユニット108は、気体中の汚染物質を除去するケミカルフィルタ108A、及び気体中の微粒子(パーティクル)を除去するULPAフィルタ(Ultra Low Penetration Air-filter)及びHEPAフィルタ(High Efficiently Particulate Air-filte)の少なくとも一方を有するパーティクルフィルタ108Bを含み、取込口104Aを介してハウジング104内に取り込んだ気体中の不純物を除去する。
本体チャンバ101は、第1空調室111と、第2空調室112と、第3空調室113と、ダクト103を介して空調ユニット102からの気体が供給されるメインダクト115とを備えている。また、第1空調室111内には局所空調室114が形成されている。
メインダクト115のうち、空調ユニット102からの気体が供給される給気口115Aの近傍には、ケミカルフィルタ等を含むフィルタユニット116が配置されている。メインダクト115は、空調ユニット102からダクト103を介して供給された気体を、第1、第2、第3空調室111、112、113のそれぞれに送る。第1、第2、第3空調室111、112、113のそれぞれの上部には、メインダクト115からの気体が供給される第1、第2、第3給気口117、118、119がそれぞれ形成されている。また、第1、第2、第3給気口117、118、119のそれぞれには、パーティクルフィルタ等を含むフィルタユニット121、122、123が配置されている。
本体チャンバ101は、本体チャンバ101内の気体を排出する複数の排気口125、126、127、128を備えている。第1空調室111の下部には、第1空調室111内の気体を外部に排出するための排気口125、126が形成されている。第2空調室112の所定位置には、第2空調室112内の気体を外部に排出するための排気口127が形成されている。第3空調室113の所定位置には、第3空調室113内の気体を外部に排出するための排気口128が形成されている。そして、各排気口125、126、127、128のそれぞれには、図7を参照して説明したような調整機構70が配置されている。
また、本体チャンバ101は、環境制御装置CHの動作を制御する制御装置130の各種制御機器を収容するボックス131を備えている。ボックス131の内部の気体は、排気口132を介して外部空間に排出される。
また、本体チャンバ101は、第1空調室111内に形成された局所空調室114と、局所空調室114の気体を排出する排気口135と、局所空調室114に気体を供給する給気口134と、排気口135から排出された気体を給気口134に送るリターンダクト136とを備えている。すなわち、本実施形態の環境制御装置CHは、空調ユニット102によって外部空間から取り込んだ気体の少なくとも一部、及び排気口135から排出された気体の少なくとも一部を、局所空調室114、及びリターンダクト136を含む流路で循環させる局所循環系140を備えている。また、本体チャンバ101は、第1空調室111の気体の少なくとも一部をリターンダクト136に排出するための排気口137を備えている。
リターンダクト136の一部には、気体の状態(温度、湿度、及び清浄度を含む)を調整可能な局所空調ユニット142が配置されている。局所空調室114から排気口135を介してリターンダクト136に排出された気体の少なくとも一部、及び第1空調室111から排気口137を介してリターンダクト136に排出された気体の少なくとも一部は、リターンダクト136を流れ、局所空調ユニット142によって調整された後、給気口134を介して、局所空調室114に供給される。
局所空調ユニット142は、クーラ等を含む温度調整器143、ファンモータ144、及びフィルタユニット145を備えている。温度調整器143は、気体の温度を調整可能であり、不図示の温度センサの検出結果に基づいて、気体の温度を調整する。ファンモータ144は、リターンダクト136において、給気口134に向かう気体の流れを生成する。フィルタユニット145は、ケミカルフィルタ及びパーティクルフィルタを含む。本実施形態においては、局所空調ユニット142を通過した気体は、フィルタユニット146を通過した後、局所空調室114に接続された給気口134に供給される。また、本実施形態においては、第1空調室111内の複数位置のそれぞれに給気口154、155が配置されており、局所空調ユニット142からの気体は、各給気口134、154、155のそれぞれに分岐される。
本実施形態においては、本体チャンバ101には、液体を用いてデバイスを製造するためのデバイス製造装置の少なくとも一部が配置される。また、本実施形態においては、デバイス製造装置のうち、液体を用いた処理部、及び/又は、液体が満たされた液浸空間を形成可能な部材が、局所空調室114の内側に設定されている。
そして、本実施形態においては、液体のにおいを検出する検出装置6が、リターンダクト136の所定位置(局所空調ユニット142よりも上流側)に配置されている。なお、検出装置6は、局所空調室114の排気口135の近傍に配置することもできる。
本実施形態においては、環境制御装置CHは、液体を用いてデバイスを製造する製造装置として、液浸露光装置を収容している。本実施形態においては、第1空調室111に、上述の第1〜第14実施形態で説明したような露光装置EXが収容されている。また、局所空調室114には、少なくともノズル部材20、終端光学素子10、及び基板ステージ2が配置されている。
また、第2空調室112には、複数のマスクMを収容可能なマスク収容装置(ライブラリ)151と、マスクステージ1とマスク収容装置151との間でマスクMを搬送可能なマスク搬送システム150とが配置されている。
また、第3空調室113には、複数の基板Pを収容可能な基板収容装置81と、基板ステージ2と基板収容装置81との間で基板Pを搬送可能な基板搬送システム80とが配置されている。
次に、上述の構成を有する環境制御装置CHの動作について説明する。空調ユニット102のファンモータ107が駆動されると、そのファンモータ107の吸引力によって、取込口104Aを介して、空調ユニット102のハウジング104内に外部空間から気体(空気)が取り込まれる。空調ユニット102は、取込口104Aから取り込んだ気体の状態を、温度調整器105、湿度調整器106、及びフィルタユニット108等を用いて調整する。空調ユニット102によって調整された気体は、ダクト103を介して本体チャンバ101のメインダクト115に流入する。メインダクト115に流入した気体は、第1、第2、第3給気口117、118、119のそれぞれを介して、第1、第2、第3空調室11、112、113のそれぞれに供給される。また、第1、第2、第3空調室111、112、113内の気体の少なくとも一部は、排気口125、126、127、128を介して、本体チャンバ101の外部に排出される。
また、局所空調室114及び第1空調室111の少なくとも一部の気体は、排気口135、137を介してリターンダクト136に排出される。そして、リターンダクト136に配置されている局所空調ユニット142のファンモータ144の駆動によって、リターンダクト136には、排気口135、137から給気口134に向かう気体の流れが生成される。局所温調ユニット142で調整された気体は、給気口134を介して局所空調室114に供給されるとともに、他の給気口154、155を介して第1空調室111の複数の所定位置のそれぞれに供給される。
本実施形態においては、制御装置130は、例えばリターンダクト136に形成されている排気口126の調整機構70を用いて、局所空調室114の排気口135から排出され、リターンダクト136を介して給気口134に送られる気体の量を調整可能である。制御装置130は、リターンダクト136に配置された検出装置6の検出結果に応じて、排気口135から排出され、リターンダクト136を介して給気口134に送られる気体の量を調整する。
例えば、検出装置6が液体LQのにおいを検出していないときには、制御装置130は、調整機構70を用いて排気口126を小さくし、局所空調室114に単位時間当たり所定量の気体を供給する。局所空調室114は、デバイスを製造するのに適した環境に調整され、デバイス製造装置は、デバイスを製造するのに適した環境下でデバイスを製造可能である。
一方、検出装置6が液体LQのにおいを検出したときには、制御装置130は、調整機構70を用いて排気口126を大きくし、排気口135から排出され、リターンダクト136を介して給気口134に送られる気体の少なくする、又はほぼゼロにする。あるいは、制御装置3は、局所空調ユニット142のファンモータ144の出力(駆動力)を低下させる、又はファンモータ144の駆動を停止する。換言すれば、制御装置130は、局所循環系140における気体の循環をほぼ停止する。なお、排気口135からリターンダクト136を介して給気口134に気体が送られるのを抑制するためのシャッタ部材等をリターンダクト136の所定位置に配置するようにしてもよい。これにより、液体が気化した成分を含む気体(純度が低い気体)が局所空調ユニット142にもたらされ、その局所空調ユニット142のフィルタユニット145等が劣化したり、純度が低い気体が局所循環系140で循環し続けたりする不具合の発生を抑制することができる。
また制御装置130は、検出装置6の検出結果に応じて、純度が低い気体が存在すると判断した場合、調整機構70を用いて排気口125、126を大きくする。これにより、排気口135から排出され、リターンダクト136を介して給気口134に送られる気体の量が低減されるとともに、局所空調室114を含む第1空調室111内の気体(純度が低い気体)が外部に素早く排出される。また、制御装置130は、空調ユニット102を用いて、外部空間から取り込んだ気体を所望の状態に調整した後、その調整した気体を局所空調室114を含む第1空調室111に供給する。空調ユニット102によって外部空間から取り込まれた気体の少なくとも一部は、局所循環系140を循環し、給気口134に送られるとともに、局所空調室114に供給される。これにより、局所空調室114を含む第1露光室111及びリターンダクト136等には、温度及び湿度が調整された清浄な気体が満たされ、デバイスの製造に適した環境が形成される。
以上説明したように、本実施形態においては、環境制御装置CHは、検出装置6の検出結果に基づいて、純度が低い気体が存在すると判断した場合、局所循環系140における気体の循環を停止し、その純度が低い気体を本体チャンバ101から排出し、空調ユニット102を用いて外部空間から気体を取り込む。これにより、環境制御装置CHは、本体チャンバ101内を清浄な気体で満たして、デバイスの製造に適した環境を形成することができる。
なお、第15実施形態においては、環境制御装置CHに収容されるデバイス製造装置が露光装置EXである場合を例にして説明したが、環境制御装置CHに収容されるデバイス製造装置としては、露光装置に限られず、例えば基板P上に感光材等を含む溶液を塗布する塗布装置、あるいは露光後の基板Pを現像液等を用いて現像する現像装置であってもよい。液体を用いてデバイスを製造するデバイス製造装置を本実施形態の環境制御装置CHに収容することによって、例えば液体が漏れた場合であっても、その液体の漏れを検出し、デバイスの製造に適した環境を形成するための処置を講ずることができる。そして、そのデバイスの製造に適した環境で基板Pを処理して、所望性能のデバイスを製造できる。
なお、上述の第1〜第15実施形態において、液体としてはデカリンに限られず、デカリンを含む溶液でもよいし、例えばイソプロパノール及びグリセロールといったC−H結合やO−H結合を持つ液体、ヘキサン、ヘプタン、デカン等の液体(有機溶剤)でもよい。あるいは、液体LQとしては、過フッ化ポリエーテル(PFPE)やフッ素系オイル等のフッ素系流体、セダー油等を用いることも可能である。また、液体LQとしては、国際公開第2005/114711号公報、国際公開第2005/117074号公報、国際公開第2005/119371号公報などに開示されているものを用いることもできる。要は、検出装置6でにおいを検出可能であり、デバイスを良好に製造できる液体であれば任意の液体を用いることができる。また、液体LQとしては、水(純水)でもよい。
なお、上述の第1〜第15実施形態においては、第1空調室(局所空調室)に供給される気体が空気である場合を例にして説明したが、第1空調室(局所空調室)に供給される気体としては、窒素、ヘリウム等の不活性ガスでもよい。
なお、上述の各実施形態においては、投影光学系PLの終端光学素子10の射出面18側の光路空間Kが液体LQで満たされているが、国際公開第2004/019128号パンフレットに開示されているように、終端光学素子10の入射面19側の光路空間も液体で満たされていてもよい。そして、例えば入射面19側の光路空間を満たす液体が漏れた場合、検出装置6は、その液体の漏れを検出することができる。
なお、上記各実施形態の基板Pとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等が適用される。
露光装置EXとしては、マスクMと基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(スキャニングステッパ)の他に、マスクMと基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを一括露光し、基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパ)にも適用することができる。
また、露光装置EXとしては、第1パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第1パターンの縮小像を投影光学系(例えば1/8縮小倍率で反射素子を含まない屈折型投影光学系)を用いて基板P上に一括露光する方式の露光装置にも適用できる。この場合、更にその後に、第2パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第2パターンの縮小像をその投影光学系を用いて、第1パターンと部分的に重ねて基板P上に一括露光するスティッチ方式の一括露光装置にも適用できる。また、スティッチ方式の露光装置としては、基板P上で少なくとも2つのパターンを部分的に重ねて転写し、基板Pを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。
また、本発明は、特開平10−163099号公報、特開平10−214783号公報、特表2000−505958号公報などに開示されているような複数の基板ステージを備えたマルチステージ型の露光装置にも適用できる。
また、上述の実施形態においては、投影光学系PLと基板Pとの間に局所的に液体を満たす露光装置を採用しているが、本発明は、特開平6−124873号公報、特開平10−303114号公報、米国特許第5,825,043号などに開示されているような露光対象の基板の表面全体が液体中に浸かっている状態で露光を行う液浸露光装置にも適用可能である。この場合においても、液体を封じ込めるシール機構を設け、液体が漏れたときだけ、検出装置が液体のにおいを検出可能にすればよい。
露光装置EXの種類としては、基板Pに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)、マイクロマシン、MEMS、DNAチップ、あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
なお、上述の実施形態においては、光透過性の基板上に所定の遮光パターン(又は位相パターン・減光パターン)を形成した光透過型マスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第6,778,257号公報に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターン又は反射パターン、あるいは発光パターンを形成する電子マスク(可変成形マスクとも呼ばれ、例えば非発光型画像表示素子(空間光変調器)の一種であるDMD(Digital Micro-mirror Device)などを含む)を用いてもよい。
また、国際公開第2001/035168号パンフレットに開示されているように、干渉縞を基板P上に形成することによって、基板P上にライン・アンド・スペースパターンを露光する露光装置(リソグラフィシステム)にも本発明を適用することができる。
また、例えば特表2004−519850号公報(対応米国特許第6,611,316号)に開示されているように、2つのマスクのパターンを、投影光学系を介して基板上で合成し、1回の走査露光によって基板上の1つのショット領域をほぼ同時に二重露光する露光装置などにも本発明を適用することができる。また、プロキシミティ方式の露光装置、ミラープロジェクション・アライナーなどにも本発明を適用することができる。
以上のように、本願実施形態の露光装置EXは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図21に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態の露光装置EXによりマスクのパターンを基板に露光する露光工程、及び露光された基板を現像する現像工程を含む基板処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
2…基板ステージ、5…報知装置、6…検出装置、7…第1コラム、7H…局所空調室、10…終端光学素子、14…給気口、15…排気口、20…ノズル部材、40…シール機構、41…気体供給口、50…空調ユニット、51…局所空調ユニット、53…リターンダクト、60…チャンバ、60H…第1空調室、70…調整機構、80…基板搬送システム、81…基板収容装置、84…液体除去装置、90…液体除去装置、93…液体除去装置、101…本体チャンバ、102…空調ユニット、111…第1空調室、114…局所空調室、134…給気口、135…排気口、136…リターンダクト、142…局所空調ユニット、CH…環境制御装置、EL…露光光、EX…露光装置、K…光路空間、LQ…液体、LS…液浸空間、P…基板
Claims (22)
- 液体を介して基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
液体のにおいを検出する検出装置を備えた露光装置。 - 前記露光光の光路を液体で満たすように所定の液浸空間を形成可能な液浸空間形成部材を備え、
前記検出装置は、前記液体のにおいを検出することによって、前記液浸空間からの液体の漏れを検出する請求項1記載の露光装置。 - 前記液浸空間形成部材は、前記液浸空間の液体を封じ込めるためのシール機構を備え、
前記検出装置は、前記液体のにおいを検出することによって、前記シール機構の外側への液体の漏れを検出する請求項2記載の露光装置。 - 前記シール機構は、前記液浸空間の周囲の少なくとも一部に気体を供給して前記液体を封じ込め、
前記検出装置は、前記気体の外側への液体の漏れを検出する請求項3記載の露光装置。 - 少なくとも前記液浸空間形成部材を収容するチャンバと、
前記チャンバ内の気体を排出する排気口とを備え、
前記検出装置は、前記排気口近傍に配置されている請求項2〜4のいずれか一項記載の露光装置。 - 少なくとも前記液浸空間形成部材を収容するチャンバと、
前記チャンバ内に気体を供給する給気口と、
前記チャンバ内の気体を排出する排気口と、
前記排気口から排出された気体を前記給気口に送る流路とを備え、
前記検出装置は、前記流路に配置されている請求項2〜4のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記検出装置の検出結果に応じて、前記排気口から排出され、前記給気口に送られる気体の量を調整する調整機構を備えた請求項6記載の露光装置。
- 前記露光光の光路を液体で満たすように所定の液浸空間を形成可能な液浸空間形成部材を備え、
前記検出装置は、前記液体のにおいを検出することによって、前記液浸空間の液体と接触した物体上における液体の残留を検出する請求項1記載の露光装置。 - 前記液浸空間の液体と接触可能な第1の位置と前記第1の位置とは離れた第2の位置との間で前記基板を搬送する搬送システムを備え、
前記検出装置は、前記搬送システムの搬送経路上に配置されている請求項1記載の露光装置。 - 前記第2の位置に配置され、前記基板を収容可能な収容装置を備え、
前記検出装置は、前記収容装置に配置されている請求項9記載の露光装置。 - 前記物体上に残留する液体を除去可能な除去装置を備え、
前記除去装置による除去動作中及び除去動作後の少なくとも一方において前記検出装置による検出動作が実行される請求項8記載の露光装置。 - 前記検出装置は、前記液浸空間形成部材近傍に配置される請求項2〜11のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記検出装置を保持して移動可能な可動部材を備えた請求項1〜12のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記可動部材は、前記基板を保持する基板保持部材である請求項13記載の露光装置。
- 前記検出装置の検出結果に応じて警報を発する報知装置を備えた請求項1〜14のいずれか一項記載の露光装置。
- 液体を介して基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
液体の一部が気化した気体を検出する検出装置を備え、
前記検出装置の検出結果に基づいて、液体の漏れを検出する露光装置。 - 請求項1〜請求項16のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
- 液体を用いてデバイスを製造する製造装置の少なくとも一部を収容するチャンバと、
液体のにおいを検出する検出装置と、を備えた環境制御装置。 - 前記チャンバは、液体の液浸空間を形成する液浸空間形成部材を収容可能であり、
更に、前記チャンバは、該チャンバ内の気体を排出する排気口を備え、
前記検出装置は、前記排気口近傍に配置されている請求項18記載の環境制御装置。 - 前記チャンバは、液体の液浸空間を形成する液浸空間形成部材を収容可能であり、
更に、前記チャンバは、該チャンバ内に気体を供給する給気口と、該チャンバ内の気体を排出する排気口と、前記排気口から排出された気体を前記給気口に送る流路とを有し、
前記検出装置は、前記流路に配置されている請求項18記載の環境制御装置。 - 前記検出装置の検出結果に応じて、前記排気口から排出され、前記給気口に送られる気体の量を調整する調整機構を備えた請求項20記載の環境制御装置。
- 外部空間から気体を取り込み可能な取込機構を備え、
前記検出装置の検出結果に応じて、前記取込機構で取り込まれた気体が前記給気口に送られる請求項21記載の環境制御装置。
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Cited By (5)
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---|---|---|---|---|
US20090086175A1 (en) * | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Asml Netherlands B.V. | Methods relating to immersion lithography and an immersion lithographic apparatus |
JP2010062558A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Asml Netherlands Bv | 流体ハンドリング構造、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
JP2011238930A (ja) * | 2010-05-11 | 2011-11-24 | Asml Netherlands Bv | 流体ハンドリング構造、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
WO2013099959A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
JP2013251580A (ja) * | 2009-12-09 | 2013-12-12 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090086175A1 (en) * | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Asml Netherlands B.V. | Methods relating to immersion lithography and an immersion lithographic apparatus |
US8587762B2 (en) * | 2007-09-27 | 2013-11-19 | Asml Netherlands B.V. | Methods relating to immersion lithography and an immersion lithographic apparatus |
JP2010062558A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Asml Netherlands Bv | 流体ハンドリング構造、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
KR101227636B1 (ko) * | 2008-09-02 | 2013-01-30 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 유체 핸들링 구조체, 리소그래피 장치 및 디바이스 제조 방법 |
JP2013251580A (ja) * | 2009-12-09 | 2013-12-12 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
JP2016075935A (ja) * | 2009-12-09 | 2016-05-12 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置 |
US9746782B2 (en) | 2009-12-09 | 2017-08-29 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and a device manufacturing method |
US10018921B2 (en) | 2009-12-09 | 2018-07-10 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and a device manufacturing method |
JP2011238930A (ja) * | 2010-05-11 | 2011-11-24 | Asml Netherlands Bv | 流体ハンドリング構造、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
US8780324B2 (en) | 2010-05-11 | 2014-07-15 | Asml Netherlands B.V. | Fluid handling structure, lithographic apparatus and device manufacturing method |
WO2013099959A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
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