JP2008041805A - 半導体結晶成長装置 - Google Patents
半導体結晶成長装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008041805A JP2008041805A JP2006211882A JP2006211882A JP2008041805A JP 2008041805 A JP2008041805 A JP 2008041805A JP 2006211882 A JP2006211882 A JP 2006211882A JP 2006211882 A JP2006211882 A JP 2006211882A JP 2008041805 A JP2008041805 A JP 2008041805A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- organic nitrogen
- ammonia
- crystal growth
- semiconductor crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【課題】アンモニアと有機窒素原料とを混合して供給し、混合して排気処理できる半導体結晶成長装置を提供する。
【解決手段】アンモニアと有機窒素原料xを反応炉2に供給して窒化物半導体の気相成長を行う半導体結晶成長装置1において、上記反応炉2をバイパスさせて排気処理される有機窒素原料xをあらかじめ熱処理する熱処理部3を備えた。
【選択図】図1
【解決手段】アンモニアと有機窒素原料xを反応炉2に供給して窒化物半導体の気相成長を行う半導体結晶成長装置1において、上記反応炉2をバイパスさせて排気処理される有機窒素原料xをあらかじめ熱処理する熱処理部3を備えた。
【選択図】図1
Description
本発明は、アンモニアと有機窒素原料とを混合して供給し、混合して排気処理できる半導体結晶成長装置に関する。
近年、窒化物半導体であるInNが有する真のバンドギャップが0.65eV付近であることが明らかになった。そのため窒化物半導体であるGaN、AlN、InNの混晶を作れば、深紫外相当(波長200〜280nm)から近赤外相当にかけてバンドギャップを変化させることができることから、有用な半導体発光素子用材料となるとして注目されている。その中でも、特に、InGaN混晶は、現在、産業的な需要が高まっている青色から緑色にかけての波長帯域で発光する半導体レーザや発光ダイオードの発光層に用いる材料であるため、活発な研究が行われている。
窒化物半導体結晶の成長には、一般にMOVPE法(有機金属気相成長法)が用いられる。このとき、窒素の原料として一般にアンモニアが用いられる。そのアンモニアの熱分解にはかなりの高温が必要である。
InGaN混晶はGaNやAlGaN混晶のようにInを含まない窒化物半導体に比べて分解温度が低い。このため、MOVPE法におけるInGaN混晶の成長温度は700℃〜800℃である。しかし、このように比較的低温で成長を行うInGaN混晶の結晶成長では、アンモニアの熱分解が不十分となり、成長されたInGaN混晶に窒素欠陥が生じて結晶性が悪化する。
このように窒素の原料としてアンモニアを用いたことにより生じる不都合を回避する方法として、低温でも分解効率が高いジメチルヒドラジンなどの有機窒素原料を用いる成長方法(特許文献1)や、アンモニア中に微量の有機窒素原料を混合する成長方法(特許文献2)が提案されている。しかしながら、有機窒素原料は、低コストでかつ環境負荷が小さい排気処理(いわゆる除害)を行うことが困難である。
ところで、窒化物半導体をMOVPE法で結晶成長させる半導体結晶成長装置における排気処理は、酸スクラバを用いる方法、吸着剤を用いる方法、燃焼方式を用いる方法などがある。
酸スクラバを用いる方法では、強酸水溶液に排気ガスをさらすことで排気ガス中の未反応ガスや半分解ガスを除害する。しかしながら、この方法では、廃酸が大量に発生し環境負荷が大きくなる。よって、この方法は、好ましい排気処理方法ではない。
吸着剤を用いる方法では、吸着剤に排気ガスを吸着させるので、多量の排気ガスを処理するには多量の吸着剤が必要であると共に使用済み吸着剤の交換頻度が高くなるため、排気処理コストが高い。しかも、使用済み吸着剤が産業廃棄物となるので、環境負荷が高い。
このような理由により、アンモニアを窒素の原料とする半導体結晶成長装置における排気処理には、触媒酸化法を用いた燃焼式排気処理が広く用いられている。
しかしながら、この触媒酸化法を用いた燃焼式排気処理を有機窒素原料に適用しようとすると、有機窒素原料はアンモニアと比較して燃焼時の発熱量が多いため、排気ガスを大量の不活性ガスで希釈しながら排気処理しなくてはならない。このため排気処理の設備規模が大きくなり、コストが大幅に上昇する。また、アンモニアの処理に適した触媒では有機窒素原料が効率よく処理されない。よって、触媒酸化法を用いた燃焼式排気処理にも問題がある。
アンモニアと有機窒素原料の混合ガスを使用する半導体結晶成長装置の場合、有機窒素原料のみを吸着剤に吸着させ、アンモニアを燃焼方式で排気処理するという方式が考えられる。しかし、混合ガス中の有機窒素原料のみを効率よく吸着できる吸着剤が存在しないため、この方式も好ましくない。
また、アンモニアと有機窒素原料とを必要に応じて切り替えて反応炉に供給すると共に、排気管を切り替える方法(特許文献3)が提案されているが、アンモニアと有機窒素原料の混合ガスを同時に排気処理することはできない。
以上のように、半導体結晶成長装置では、アンモニアと有機窒素原料とを両方とも一緒に排気処理するのは、非常に困難である。このため、アンモニアと有機窒素原料とを混合して供給する成長方法が実現できない。
ここで、図2に、従来の一般的なアンモニアを用いた半導体結晶成長装置に対して単純に有機窒素原料の供給源を付加した半導体結晶成長装置101を示す。この半導体結晶成長装置101では、ガス供給管5に切り替えバルブ102が設けられ、その切り替えバルブにバイパス管103が接続されている。ガス供給管5に対して、TMG、TMI、TMAの配管、アンモニアの配管が接続され、その下流の切り替えバルブ102にバイパス管103と有機窒素原料xの配管が接続されている。他の部材構成は、本発明の実施形態と同じである。
なお、MOVPE法を用いる半導体結晶成長装置101においては、反応炉2の圧力変動を最小限に抑えるためと、結晶界面での急峻性を高めるために、原料ガスを反応炉2直前まで流しておく必要があり、バイパス管103により反応炉2をバイパスさせて原料ガスを排気処理部4に導く構成となっている。
しかし、図2の半導体結晶成長装置は、アンモニアと有機窒素原料を混合して排気処理することができないので、問題がある。
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、アンモニアと有機窒素原料とを混合して供給し、混合して排気処理できる半導体結晶成長装置を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明は、アンモニアと有機窒素原料を反応炉に供給して窒化物半導体の気相成長を行う半導体結晶成長装置において、上記反応炉をバイパスさせて排気処理される有機窒素原料をあらかじめ熱処理する熱処理部を備えたものである。
1種以上の有機金属原料とアンモニアと有機窒素原料をそれぞれキャリアガスにより搬送して上記反応炉に供給するガス供給管を設け、このガス供給管から有機金属原料とアンモニアとを上記反応炉の下流の排気処理部にバイパスする第1バイパス管と、上記ガス供給管から有機窒素原料を上記排気処理部にバイパスする第2バイパス管とを接続し、この第2バイパス管に上記熱処理部を設けてもよい。
本発明は次の如き優れた効果を発揮する。
(1)アンモニアと有機窒素原料とを混合して供給し、混合して排気処理することができる。
以下、本発明の一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。
図1に示されるように、本発明に係る半導体結晶成長装置1は、アンモニアと有機窒素原料xを反応炉2に供給して窒化物半導体の気相成長を行う半導体結晶成長装置1において、上記反応炉2をバイパスさせて排気処理される有機窒素原料xをあらかじめ熱処理する熱処理部3を備えたものである。
具体的には、反応炉2を迂回して排気処理部4に導かれる有機窒素原料xをその途中で熱処理部3で熱処理してから排気処理部4に送り込むようになっている。
この半導体結晶成長装置1によれば、有機窒素原料xを熱処理部3で熱処理してから排気処理部4に送り込むので、排気処理部4で有機窒素原料xを燃焼式排気処理するときの発熱量を少なくすることができ、大量の不活性ガスによる希釈が不要となる。
有機窒素原料xのみを反応炉2に供給する場合に限らず、アンモニアNH3と有機窒素原料xとを混合して反応炉2に供給する場合でも、アンモニアNH3と有機窒素原料xとが混合される場所より上流からアンモニアNH3と有機窒素原料xとを別々に反応炉2を迂回させ、有機窒素原料xのみを熱処理部3で熱処理してからアンモニアNH3と共に排気処理部4に送り込めば、排気処理部4では触媒を用いた燃焼方式によりアンモニアNH3と有機窒素原料xの両方を排気処理することができる。
図1の半導体結晶成長装置1は、III族元素を含む有機金属化合物及び窒素もしくは窒素を含む化合物を原料とし、MOVPE法により窒化物半導体を結晶成長させるものである。反応炉2の上流には原料ガスを反応炉2に供給するガス供給管5が設けられ、反応炉2の下流には反応炉2内から不要な反応ガスや余剰の原料ガスを排気処理部4に送るガス排出管6が設けられる。反応炉2内には、1200℃程度まで加熱可能な図示しないヒータと、このヒータにより加熱されるサセプタ7が設置される。反応炉2に供給された原料ガスがサセプタ7上に載せられた基板8の付近で熱分解されることにより、基板8上に窒化物半導体が成長するようになっている。
半導体結晶成長装置1では、急峻な結晶界面を形成するために、反応炉2をバイパスさせて原料ガスを流すことによって、反応炉2の直前にまで原料ガスを流しておく必要がある。バイパスさせた原料ガスのうちのアンモニアNH3と有機窒素原料xを混合して排気処理することが本発明の課題である。
ここでは、III族元素を含む有機金属原料として、トリメチルガリウムTMG、トリメチルインジウムTMI、トリメチルアルミニウムTMAを用いる。TMG、TMI、TMAは、各々、原料供給室9に収容されており、図示しないキャリアガス源からキャリアガス管11により導入される水素ガスH2あるいは窒素ガスN2からなるキャリアガスによって搬送され、各々必要に応じてマスフローコントローラ10で流量制御されてガス供給管5に供給されるようになっている。
窒素供給用の原料として、アンモニアNH3とジメチルヒドラジンDMHyを用いる。なお、有機窒素原料xには、モノチルヒドラジン、1,1−ジメチルヒドラジン、1,2−ジメチルヒドラジン、ヒドラジン、ターシャルブチルヒドラジンなどがある。
NH3は、アンモニア供給源12に収容されている。このアンモニア供給源12は、マスフローコントローラ10を介してガス供給管5に接続されている。
DMHyは、有機窒素原料供給室13に収容されており、キャリアガス管11からのキャリアガスによって搬送され、マスフローコントローラ10で流量制御されてガス供給管5に供給されるようになっている。
なお、図示しないが、n型不純物としてのシランガスSiH4の供給源とp型不純物としてのビスシクロペンタジエニルマグネシウムCp2Mgの供給室もガス供給管5に接続されており、n型不純物又はp型不純物の原料ガスが必要に応じてガス供給管5に供給されるようになっている。
反応炉2の下流のガス排出管6は排気処理部4に接続されている。排気処理部4は、成長に寄与せずに排気される反応生成物を蓄積除去するためのトラップ14と、その下流において有機金属を排気処理するための吸着剤を収容した有機金属吸着部15と、その下流においてアンモニア等の窒素化合物を排気処理するための触媒を有する燃焼方式の窒素化合物処理部16とを備えている。図示しないが、排気処理部4の下流には、スクラバが接続され、そのスクラバで、排気処理部4から排出された処理済みガスを冷却したり粉塵を除去したりするようになっている。
ガス供給管5には、エア駆動の切り替えバルブ17,18が挿入され、これら切り替えバルブ17,18には、有機金属原料とアンモニアをバイパスするための第1バイパス管19、有機窒素原料xをバイパスするための第2バイパス管20が接続されている。図示のように、ガス供給管5に対して上流から順に、TMG、TMI、TMAの配管が接続され、その下流に切り替えバルブ17が設けられ、切り替えバルブ17に第1バイパス管19とアンモニアの配管が接続され、その切り替えバルブ17の下流に切り替えバルブ18が設けられ、切り替えバルブ18に第2バイパス管20と有機窒素原料xの配管が接続される。
切り替えバルブ17,18のエア駆動制御は、図示しない制御部により行われる。すなわち、切り替えバルブ17をバイパス位置に制御すると、ガス供給管5の上流からの有機金属原料とアンモニア供給源12からのアンモニアが第1バイパス管19にバイパスされ、切り替えバルブ17を非バイパス位置に制御すると、有機金属原料とアンモニアがガス供給管5の下流へ供給される。切り替えバルブ18をバイパス位置に制御すると、有機窒素原料供給室13からの有機窒素原料xが第2バイパス管20にバイパスされ、切り替えバルブ18を非バイパス位置に制御すると、有機窒素原料供給室13からの有機窒素原料xとガス供給管5の上流からの有機金属原料とアンモニアとがガス供給管5の最も下流にある反応炉2へ供給される。
第2バイパス管20の途中に設けられた熱処理部3は、有機窒素原料xを熱分解するためのヒータ21を熱処理室22内に設置したものである。熱処理室22内雰囲気は、ヒータ21により、有機窒素原料xの熱分解に適した温度、例えば500℃以上に加熱することができる。
ここで、図1の半導体結晶成長装置1における有機窒素原料xと結晶成長及び排気処理の温度の関係について説明をしておく。例えば、GaNの成長において、窒素の原料としてヒドラジンを用いた場合、アンモニアを用いた場合と比べて低温である500℃での成長が可能であることが非特許文献1に開示されている。1,1−ジメチルヒドラジンを用いた場合では、550−650℃でGaAs基板上に立方晶のGaNを成長させたことが非特許文献2に開示されている。また、モノメチルヒドラジンは、600℃以上の温度でほぼ熱分解されると非特許文献3に開示されている。ターシャルブチヒドラジンは、800℃以上の温度でほぼ熱分解されると非特許文献4に開示されている。さらに、アミン類では、GaNの成長は達成していないが、700℃以上の温度でほぼ熱分解されると非特許文献5に開示されている。つまり、どの有機窒素原料xを用いるかによらず、500℃以上の熱処理をすれば、有機窒素原料xは比較的熱分解効率が高いため、完全に熱分解させることができる。
反応炉2内で有機窒素原料xが熱分解される温度は上記の通りである。一方、熱処理室22の温度は、有機窒素原料がより熱分解され易いように反応炉2の温度より高くした方が好ましい。よって、バイパスされた有機窒素原料xは、熱処理部3の熱処理室22を通ることで十分に熱分解され、その状態で排気処理部4へ送られる。このため、排気処理部4で有機窒素原料xを燃焼式排気処理するときの発熱量を少なくすることができ、大量の不活性ガスによる希釈が不要となる。
従って、反応炉2に供給される有機窒素原料xは反応炉2のヒータの熱で熱分解され、反応炉2に供給されず第2バイパス管20から熱処理部3に送られる有機窒素原料xはヒータ21の熱で熱分解されるので、未分解の有機窒素原料xが排気処理部4に流入することはない。よって、排気処理部4では、触媒を用いた燃焼方式により、アンモニアと有機窒素原料xの混合ガスを排気処理することが可能となる。
本発明の効果を確認するために、実施例と比較例を実施した。
まず、実施例として図1の半導体結晶成長装置1を用意した。熱処理部3の温度は500℃〜900℃とした。アンモニアとメチルヒドラジンの各流量は25cm3/minとし、希釈源23から窒素を10000cm3/minだけ加え、熱処理部3を通して排気処理部4に流した。
このとき、排気処理部4の窒素化合物処理部16内の触媒には約2℃の温度上昇があった。このように、希釈ガスを大量に流すことなく、触媒の温度上昇を抑えることができた。また、このとき排気処理部4から排出された排気ガス中のNOx濃度は10ppm以下であり、大気放出が許容されるに充分な濃度であることが確認された。
一方、比較例として図2の半導体結晶成長装置101を用意した。これはバイパス管103に熱処理部を設けていない従来の装置にアンモニアとジメチルヒドラジンを混合して供給するようにしたものであり、反応炉に供給されないアンモニアとジメチルヒドラジンは共にバイパス管103を通り、混合して排気処理部4に送られる。このとき、それらの各流量は25cm3/minとし、希釈源23から窒素を300000cm3/min加えた。
このとき、排気処理部4の窒素化合物処理部16内の触媒には約10℃の温度上昇があった。
1 半導体結晶成長装置
2 反応炉
3 熱処理部
4 排気処理部
5 ガス供給管
12 アンモニア供給源
13 有機窒素原料供給室
17 切り替えバルブ
18 切り替えバルブ
19 第1バイパス管
20 第2バイパス管
2 反応炉
3 熱処理部
4 排気処理部
5 ガス供給管
12 アンモニア供給源
13 有機窒素原料供給室
17 切り替えバルブ
18 切り替えバルブ
19 第1バイパス管
20 第2バイパス管
Claims (2)
- アンモニアと有機窒素原料を反応炉に供給して窒化物半導体の気相成長を行う半導体結晶成長装置において、上記反応炉をバイパスさせて排気処理される有機窒素原料をあらかじめ熱処理する熱処理部を備えたことを特徴とする半導体結晶成長装置。
- 1種以上の有機金属原料とアンモニアと有機窒素原料をそれぞれキャリアガスにより搬送して上記反応炉に供給するガス供給管を設け、このガス供給管から有機金属原料とアンモニアとを上記反応炉の下流の排気処理部にバイパスする第1バイパス管と、上記ガス供給管から有機窒素原料を上記排気処理部にバイパスする第2バイパス管とを接続し、この第2バイパス管に上記熱処理部を設けたことを特徴とする請求項1記載の半導体結晶成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006211882A JP2008041805A (ja) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | 半導体結晶成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006211882A JP2008041805A (ja) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | 半導体結晶成長装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008041805A true JP2008041805A (ja) | 2008-02-21 |
Family
ID=39176513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006211882A Pending JP2008041805A (ja) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | 半導体結晶成長装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008041805A (ja) |
-
2006
- 2006-08-03 JP JP2006211882A patent/JP2008041805A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8110889B2 (en) | MOCVD single chamber split process for LED manufacturing | |
US6569238B2 (en) | Apparatus and method for depositing semi conductor film | |
KR20130046333A (ko) | 핵생성 층을 포함하는 질화물 화합물 구조물의 형성 | |
TW201106502A (en) | Cluster tool for LEDs | |
US20120156863A1 (en) | Substrate pretreatment for subsequent high temperature group iii depositions | |
WO2012162195A2 (en) | Methods for pretreatment of group iii-nitride depositions | |
JP2006237582A (ja) | 結晶窒化ガリウムベースの化合物の成長方法及び窒化ガリウムベース化合物を含む半導体デバイス | |
JPH1126383A (ja) | 窒化物半導体の結晶成長方法 | |
US6730611B2 (en) | Nitride semiconductor growing process | |
JP4196767B2 (ja) | 成長装置 | |
JPH09295890A (ja) | 半導体製造装置および半導体製造方法 | |
JP4284944B2 (ja) | 窒化ガリウム系半導体レーザ素子の製造方法 | |
EP2143832A2 (en) | Method and reactor for preparing films and devices under high nitrogen chemical potential | |
JPH08316151A (ja) | 半導体の製造方法 | |
JP2008041805A (ja) | 半導体結晶成長装置 | |
JP3174257B2 (ja) | 窒化物系化合物半導体の製造方法 | |
US20100139554A1 (en) | Methods and apparatus for making gallium nitride and gallium aluminum nitride thin films | |
JP4670206B2 (ja) | 窒化物系半導体の製造方法 | |
JP3984365B2 (ja) | 化合物半導体の製造方法、並びに半導体発光素子 | |
JPH04151822A (ja) | 化合物半導体の有機金属気相成長法 | |
JPH09186091A (ja) | Iii−v族化合物半導体の製造方法 | |
JP3900653B2 (ja) | 化合物半導体の結晶成長方法 | |
JPH1012624A (ja) | 窒化物系化合物半導体の熱処理方法 | |
JP4961820B2 (ja) | 化合物半導体の製造方法 | |
JP4768773B2 (ja) | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 |