JP2008039766A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. カソードが内部に配置され且つ該カソードで発生した光電子を取り出す電子取出窓が設けられた真空容器、該真空容器の外からＵＶ光を前記カソードに照射して前記カソードから前記光電子を放出させるＵＶ光源、および該放出された光電子を前記真空容器の前記電子取出窓から外に引き出すように前記光電子に高圧直流電界を印加する高圧電源を有する光電子銃と、
   該光電子銃の前記電子取出窓から引き出された前記光電子を加速して試料に照射する電子加速器とを含み、
   前記光電子銃の前記ＵＶ光源で発生した光の一部を前記試料に照射させるようにしたことを特徴とする電子線照射装置。
2. 請求項１に記載の電子線照射装置において、
   前記ＵＶ光源が、前記ＵＶ光の他に可視光も発生するランプ光源であることを特徴とする電子線照射装置。
3. 請求項１又は２に記載の電子線照射装置において、
   前記試料に照射される光は、前記ＵＶ光源から第１の光ガイドによって導かれることを特徴とする電子線照射装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか１つに記載の電子線照射装置において、
   前記光電子銃の前記真空容器は、前記ＵＶ光を前記カソードに対して入射させる光入射窓あるいは前記真空容器内に先端が挿入された第２の光ガイドを有する真空容器、又はＵＶ透過型の真空容器であることを特徴とする電子線照射装置。
5. 請求項１乃至４のいずれか１つに記載の電子線照射装置において、
   前記光電子銃の前記高圧電源は、前記カソード側が相対的に負側、前記電子取出窓側が相対的に正側となる高電圧を印加することを特徴とする電子線照射装置。
6. 請求項１乃至４のいずれか１つに記載の電子線照射装置において、
   前記光電子銃の前記高圧電源は、前記カソード側が相対的に負側、前記電子取出窓側の外側に設けた電極が相対的に正側となる高電圧を印加することを特徴とする電子線照射装置。
7. 請求項５又は６に記載の電子線照射装置において、
   前記真空容器内に整流電極を配置し、該整流電極と前記カソードとの間に前記整流電極が相対的に正側、前記カソードが相対的に負側となる数Ｖ〜数十Ｖの整流電圧を印加する整流電源を備えたことを特徴とする電子線照射装置。