JP5294293B2 - 電子線照射装置 - Google Patents

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Description

本発明は、UV(紫外線)光源を光電子発生のエネルギー源として用いたフォトカソード方式の光電子銃利用した電子線照射装置に関するものである。
図15に、従来の熱電子銃100の構成を示す。この熱電子銃100は、真空容器101内において、タングステン製のフィラメントあるいはワイヤ等からなるカソード102に電源103から電流を流し、そのカソード102の上面から熱電子104を発生させ、その熱電子104を整流電極105により整流して、電子取出窓106から取り出すものである。電子取出窓106を含む真空容器101は感電防止のために接地され、カソード102と真空容器101の間に、カソード102が相対的に負側、真空容器101側が相対的に正側となる高電圧が、高電圧源107により印加されるが、カソード102を電子取出窓106に近づけ、整流電源108によって、整流電極105がカソード102に対して相対的に正側となる電圧を印加することにより、発生した熱電子104は電子取出窓106方向に整流される。なお、高圧電源107による静電場に代えて、高周波電場が印加される場合もある。しかし、いずれの場合も、カソード102は、通電が必須であるので劣化し易く、1年から2年で破損してしまう。このため、そのカソード102を定期的に交換するメンテナンス作業が必要であった。
また、熱電子発生用のカソード102のフィラメントは、加熱のためにかなりの電力を必要とする。例えば、電子線照射装置(例えば、特許文献1の図2参照)では、フィラメント加熱のために、接地側にモータを設置するとともに高圧電位側に発電機を設置し、モータと発電機の間を絶縁性のロッド(回転軸)で接続してモータを回転させることにより発電機で100V程度の交流電力を発生させ、トランスでこれを5V程度に低下させてフィラメントに印加し、そのフィラメントで熱電子を発生させている。しかし、この手法は、フィラメントを絶縁ガス(SF)が充填された容器内に設置する必要があり、また絶縁性のロッドの加工や設置に時間がかかるとともに、モータ、発電機、トランス等の設置に広いスペースを必要とし、嵩高となる問題がある。
一方、電子発生源として冷陰極を用い、冷陰極用電源供給路として光伝送を利用する方法もある(例えば、特許文献1の図1参照)。この方法は、接地側に発光素子よりなる光源を設けるとともに冷陰極側に光電パネルを設け、光源素子で発生した光を空間伝送することによって光電パネルに送り、ここで光電変換して得た電力を冷陰極と加速電極に印加することで、冷陰極の周囲に電界を形成して光電子を引き出す方法である。しかしながら、この方法は、放射線プロセスなどの実用に供する程度の電子流密度を得るには、未だ十分とは言えず、しかも冷陰極には、表面に無数の突起を設けたカーボンや高融点金属を用いる必要があるため、その加工精度技術の向上が必要であった。
図16に、レーザーフォトカソードを用いた高周波光電子銃(レーザーフォトカソードRFガン)200の構成を示す(例えば、特許文献2の図6参照)。この高周波光電子銃200は、空胴201を画定する導電性の容器202、空胴201内に光電子を放出するフォトカソード203、空胴201内に高周波電場を発生させるマイクロ波を導入する導波路204、光入射窓205、発生した光電子の電子取出窓206を含んで、空胴201内が真空となるよう構成される。フォトカソード203に光入射窓205より、周期的にレーザー光207を照射すると、レーザー光207の径に依存した数mmサイズの光電子群が、空胴201内にパルス的に放出される。その光電子は、空胴201内に発生した高周波電場によって集束、加速され、電子取出窓206から取り出される。
この高周波光電子銃200では、空胴201内の高周波電場は、フォトカソード203へのレーザー光照射に同期して印加される。このため、発生する光電子のクオリティはレーザー光源に依存し、レーザーフォトカソード方式では、数mmサイズのパルス状の光電子群は、高周波電場による以外での加速器は、実用化されていなかった。また、フォトカソード203の量子効率とレーザーパワーの関係から、熱電子銃ほどの光電子を発生させることができなかった。
ところで、地震や台風などの被災地における衛生面の管理が必要とされる状況、ならびに、衛生管理が不徹底な途上国などにおける衛生面の改善をはかるためには、小型かつ可搬性、堅牢性に優れた殺菌装置が望まれている。また、電力事情の悪い途上国での衛生問題を解決するため、さらには、石油資源の保全、地球環境の保護をはかるためには、産業上、低電力の低環境負荷な殺菌装置が望まれている。
従来から、殺菌装置として、上記した熱電子銃を用いた電子加速器を利用したものがあるが、この電子加速器は上記したように嵩高くなり、小型化が困難であった。また、UVランプを利用した殺菌装置も提案されている。これは、前記した熱電子銃を用いた電子加速器を利用した殺菌装置に比べ、小型化が容易であるが、UVは透過能力が低いため、被処理物のごく表面の殺菌処理しか果たせなかった。
特開2006−038516号公報 特開平11−045676号公報
以上のように、図15に示した熱電子銃100は、そこに用いられるカソード102の交換頻度が高く、メンテナンス作業が煩雑であった。また、そのカソード102のフィラメントは、これを動作させるための消費電力大きいという問題があった。また、この熱電子銃100を利用した電子加速器は、加工や設置に時間がかかるとともに、嵩高となる問題もあった。
また、カソードを冷陰極としてそこへの給電に光伝送を使用する手法は、放射線プロセスなどの実用に供する程度の電子流密度を得るには、未だ十分とは言えず、しかも冷陰極の加工精度技術の向上が必要であった。
さらに、図16の光電子銃200は、発生する電子線の径が数mmと小さく光電子数が十分ではなかった。また、この光電子銃200は、高周波電場以外では光電子の集束や加速が不可能であった。
さらに、従来の殺菌装置は、熱電子型の電子加速器を利用するものでは、当該電子加速器の上記した問題が発生し、また、UVランプを用いるものでは、大きな殺菌効果を得ることが困難であった。
本発明の目的は、カソードの交換頻度を低減あるいは皆無にしてメンテナンス作業を低減可能とするとともに、多量の光電子数が発生可能で、カソードの加工精度が要求されず、小型化が可能な光電子銃を利用して、小型かつ可搬性、堅牢性に優れ、しかも低電力の低環境負荷な電子線照射装置を提供することである。
上記目的を達成するために、請求項1にかかる発明の電子線照射装置は、カソードが内部に配置され且つ該カソードで発生した光電子を取り出す電子取出窓が設けられた真空容器、該真空容器の外からUV光を前記カソードに照射して前記カソードから前記光電子を放出させるランプ光源、および該放出された光電子を前記真空容器の前記電子取出窓から外に引き出すように前記光電子に高圧直流電界を印加する高圧電源を有する光電子銃と、該光電子銃の前記電子取出窓から引き出された前記光電子を加速して試料に照射する電子加速器とを含み、前記光電子銃の前記ランプ光源がUV光の他に可視光も発生し、該発生した光の一部を前記試料に照射させるようにしたことを特徴とする。
請求項2にかかる発明は、請求項1記載の電子線照射装置において、前記試料に照射される光は、前記ランプ光源から第1の光ガイドによって導かれることを特徴とする。
請求項3にかかる発明は、請求項1又は2に記載の電子線照射装置において、前記光電子銃の前記真空容器は、前記UV光を前記カソードに対して入射させる光入射窓あるいは前記真空容器内に先端が挿入された第2の光ガイドを有する真空容器、又はUV透過型の真空容器であることを特徴とする。
請求項4にかかる発明は、請求項1乃至3のいずれか1つに記載の電子線照射装置において、前記光電子銃の前記高圧電源は、前記カソード側が相対的に負側、前記電子取出窓側が相対的に正側となる高電圧を印加することを特徴とする。
請求項5にかかる発明は、請求項1乃至のいずれか1つに記載の電子線照射装置において、前記光電子銃の前記高圧電源は、前記カソード側が相対的に負側、前記電子取出窓側の外側に設けた電極が相対的に正側となる高電圧を印加することを特徴とする。
請求項6にかかる発明は、請求項又はに記載の電子線照射装置において、前記真空容器内に整流電極を配置し、該整流電極と前記カソードとの間に前記整流電極が相対的に正側、前記カソードが相対的に負側となる数V〜数十Vの整流電圧を印加する整流電源を備えたことを特徴とする。
本発明の電子線照射装置によれば、光電子銃で発生され電子加速器で加速された光電子が試料に照射されるとき、真空容器外のランプ光源で発生した光もその試料に照射されるので、その試料の加熱効率が高くなる。また、小型化が可能であると共に可搬性、堅牢性、省電力性を有する。また、ランプ光源で発生した光に可視光が含まれ、それも試料に照射されるので、その加熱効率がより高くなる。このとき、光ファイバや光導管等の光ガイドを使用して試料に光を照射するようにすれば、さらに加熱効率が高くなる。
また、電子線照射装置を構成する光電子銃は、カソードの加熱が必須ではないので、カソードの交換頻度を低減あるいは皆無にして、メンテナンス作業を削減可能である。また、UV光を照射するのでその照射面積が大きくなり、さらにUV光に可視光が含まれるときはカソードが若干加熱されることで、発生する光電子数が増大可能である。また、カソードについて特別な加工精度は要求されない。また、フィラメントに電力を供給する機構が必須ではないので、小型化が可能であり、堅牢性も有する
<光電子銃の原理説明>
図1は本発明の光電子銃の光電子発生部の原理構成を示す図である。図1において、11はカソード、12はカソード11への相対的な負電位の印加部、13はカソード11を照射するUV光源、14はそのUV光源13から照射されるUV光、15はカソード11から発生した光電子である。このように、本発明では、UV光源13で発生したUV光14をカソード11に広範囲にわたって照射することで、光電子15をカソード11の面全体で発生させるものである。発生した光電子15は、静電場、高周波電場あるいは誘導電場によって加速することが可能である。このため、光電子の加速空間が制約されることはなく、装置設計が容易となる。
UV光源13としては、光電効果を発生できるある一定以上の高い振動数のUV光を発生させる光源であれば良く、100nm〜400nmの波長、好ましくは、100nm〜300nmの波長の光を発生する光源がよい。このようなUV光源13には、水銀ランプ、キセノン、クリプトンなどのハロゲンランプ方式のほか、LED方式、フラッシュランプ方式、半導体レーザー方式などの各種光源を使用できる。
UV光源13からカソード11へ照射するUV光14は、定常的な一定光のほか、周期的、非周期的なパルス状の光であってもよい。また、そのUV光14の光照射方法は、直接照射する方法の他、UV光源13からのUV光14をリフレクタで反射させることで入射させるような間接照射方法、あるいは、光ファイバー等の光ガイドを用いて光伝送した上で照射しても良い。なお、リフレクタには、反射面に銀コートや金コートを施した基材の他、高純度アルミニウムを用いるのが好ましい。
また、カソード11に用いる材料は、光電効果により光電子を放出する導電性材料、例えば金属などの他、金属酸化物、GaAs−GaAsPなどの超格子半導体などであれば良く、特に、無酸素銅(Cu)、セシウムテルライド(Cs−Te/CsTe)、マグネシウム(Mg)、ランタンバリウム(LaB)等が好ましい。
カソード11から発生する光電子数は、カソード11に用いた材料の量子効率に依存するが、照射するUV光14の光量により制御することができる。また、UV光源13は単数に限られるものではなく、複数のUV光源13を用いてカソード11に照射を行っても良い。
カソード11から光電効果により発生した光電子15は、上記のように静電場、高周波電場、あるいは、誘導電圧による誘導加速によって加速されるが、ここでいう静電場とは、コッククロフト回路等の高圧電源によって昇圧された相対的に正電位と負電位で囲まれた電場を示す。当該高電圧を形成する方法は、トランス型、ヴァンデグラーフ型、コッククロフトウォルトン型、共振変圧器型、ダイナミトロン型など、昇圧回路に関して熟知した、その道の専門家により容易に選択できる昇圧方法であればよい。
さらに、高周波電場は、導電性の容器(透明容器の場合は、その内面又は外面に高周波の通過を遮断する金属製メッシュを設けた容器でも良い。)により画定された空胴内に高周波を入射することで、その空胴内に形成される。また、この空胴の構造は、共振空胴をもつものも含む。高周波としては、マイクロ波、VHF波等を指し、その帯域は30MHz〜12GHzのものを使用する。特に、マイクロ波の波長は、0.5GHz〜12GHz域のLバンド帯域からXバンド帯域を示し、Sバンド(2.86GHz)帯域やLバンド(1.27GHz)帯域が好ましい。
この高周波電場による加速の場合、前記空胴内を真空にして、そこに前記カソード11を配置し、そのカソード11にパルス的にUV光14を照射することで、当該UV光14の照射に同期したパルス状の光電子線が取り出される。この時、マイクロ波は、UV光14の照射に同期して断続的に空胴内に入射される。
なお、本発明の方法による副次的な効果として、UV光源13を特にランプタイプの光源とした場合は、その光源からの光には、光電効果を誘起する100nm〜400nmに含まれる波長の光の他に、400nm以上の波長、即ち、可視光成分の波長帯域の光も含まれる。この可視光成分の波長帯域の光はカソード11への輻射加熱効果があるので、カソード11の仕事関数が低下し、より光電子が発生し易くなる。
カソード11は、図2に示すように、電源16によって通電を行い直接加熱してよい。さらに、図3に示すように、光電子15の発生面と反対側(あるいは側面)にヒータ17を設けて、このヒータ17に電源16により通電することで、カソード11を間接加熱してもよい。これらのようにカソード11を加熱することで、UV光14による光電効果のための仕事関数を積極的に低下させることができるので、UV光14に上記した可視光成分の波長帯域の光が含まれる場合と同様に、より光電子が発生し易くなる。
<実施例1>
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに制限されるものではない。図4は本発明の実施例1の光電子銃10Aの構成を示す図である。ここでは、UV光源13を、感電防止のために全体が接地される真空容器18内に配置し、さらに電極19を整流電極としてカソード11と対向させて配置する。カソード11と真空容器18の間に、カソード11が相対的に負側、真空容器18側が相対的に正側となる高圧の静電場をコッククロフト回路等の高電圧源20により印加すると、カソード11を、接地させた電子取出窓21に対面させて近づけることにより、カソード11の上面から発生した光電子15が、真空容器18の内壁よりも、電子取出窓21方向に引き付けられる。このとき、整流電源22によって、整流電極19がカソード11に対して相対的に正側となる電圧(例えば数V〜数十V)を印加することにより、発生した光電子15は制御電極19によって電子取出窓106方向に整流される。そして、電子取出窓21の外側に、静電場、高周波電場、あるいは、誘導電圧による電子加速器を設けることによって、電子取出窓21からの光電子15の外部に取り出すことができる。
図4に示したように、真空容器18内にUV光源13を配置する場合は、カソード11の光電子放出面と対向する位置に複数のUV光源13を配置する他、図5(真空容器等は図示を省略した)に示すように、それら複数のUV光源13から照射されるUV光14を、個々のリフレクタ23によってカソード11の方向に反射させるようにすることもできる。
なお、UV光源13にランプタイプのものを使用したとき、発生する光に含まれる輻射加熱源となる可視光成分の波長帯域の光によって、カソード11以外の真空容器18等が輻射加熱によって変形され歪むことを防ぐために、冷却装置を設けることも有効である。特に、取り出した光電子15を高周波電場により加速する場合は、高周波電場空間を構成する空胴が温度変化により変形すると、加速のための共振周波数が変化するため、これを避けるために、空胴に冷却装置を設けた方が良い。
<実施例2>
図6は本発明の実施例2の光電子銃10Bの構成を示す図である。ここでは、真空容器18に光入射窓24を設け、その外側にUV光源13を設置し、外側から真空容器18内のカソード11にUV光14を入射させるようにしている。この場合、光入射窓24の材質は、UV透過性の高い材質であることが望ましく、例えば石英ガラスが好ましい。また、UV光14を効率よくカソード11へ入射させるため、光学ガイド25を用いて導入するのが望ましい。この光学ガイド25には、内側に銀コートや金コートを施した基材や、高純度アルミニウムを用いるのが好ましい。また、この光学ガイド25として、光ファイバを用いることもできる。
本実施例でも、電子取出窓21から取り出した光電子15は、電子取出窓21の外側に取り付けた静電場、高周波電場、あるいは誘導電圧による電子加速器によって加速できる。また、UV光14に含まれる可視光成分の波長帯域の光によって、カソード11以外の真空容器18や光学ガイド25等が輻射加熱され変形して歪むことを防ぐために、冷却装置を設けることも有効である。なお、光学ガイド25として光ファイバを使用する場合は、その先端を真空容器18内部にまで挿入させることが望ましい。
<実施例3>
図7は本発明の実施例3の光電子銃10Cの構成を示す図である。ここでは、真空容器として石英ガラス製のUV透過型の真空容器26を使用し、これを感電防止のため接地する。また、コッククロフト回路等の高電圧源27により、カソード11と真空容器26の外側に配置した電極28との間に、カソード11が相対的に負側、電極28が相対的に正側となる高圧を印加する。なお、電子取出窓21には、厚さ数ミクロンの高分子膜あるいは、半導体膜を用いる。
この光電子銃10Cは、外部のUV光源13から、UV透過型の真空容器26を通してカソード11にUV光14を照射することで、光電子15を発生させる。光電子は、UV透過型の真空容器26の電子取出窓21の外側の電極28により整流、加速されて外部に取り出される。
本実施例でも、電子取出窓21から取り出した光電子15は、電極28による静電場に加えて、追加構成の静電場、高周波電場、あるいは誘導電圧による電子加速器によって加速できる。静電場加速では、電極28のよりも更に高い正側電位の電極を、電極28の更に外側に配置することにより、電極28で加速された光電子15が更に加速される。なお、このように電子取出窓21の外側に電極28を設けて、そこで光電子15を整流、加速させる構成は、図4および図6で説明した電子銃についても、その変形例として適用できる。
<実施例4>
図8は本発明の実施例4の光電子銃10Dの構成を示す図である。ここでも、真空容器として石英ガラス製のUV透過型の真空容器26を使用し、これを感電防止のため接地する。また、コッククロフト回路等の高電圧源27により、カソード11と真空容器26の電子取出窓29との間に、カソード11が相対的に負側、電子取出窓29が相対的に正側となる高圧を印加する。なお、電子取出窓29には、厚さ数ミクロンの導電性金属箔、例えば、チタン箔、アルミ箔などを用いる。
この光電子銃10Dは、外部のUV光源13から、UV透過型の真空容器26を通してカソード11にUV光14を照射することで、光電子15を発生させる。光電子は、UV透過型の真空容器26の電子取出窓29で整流、加速されて外部に取り出される。
本実施例でも、電子取出窓29から取り出した光電子15は、静電場、高周波電場、あるいは、誘導電圧による誘導加速によって加速される。静電場加速では、電子取出窓29の相対的な正電位よりも更に高い正電位の電極を、電子取出窓29の更に外側に配置することにより、電子取出窓29で加速された光電子15が更に加速される。なお、このように電子取出窓29に電極を兼用させ、そこで光電子15を整流、加速させる構成は、図4および図6で説明した電子銃についても、その変形例として適用できる。
<実施例5>
図9に、上記した実施例1〜4で説明した光電子銃10A〜10Dを光電子銃10として使用した静電場による電子加速器30の構成を示す。光電子銃10に静電場加速管31と走査管32と高圧直流電源33を組み合わせることで、電子加速器30が構成される。静電場加速管31には、高圧直流電源33で発生した高電圧を分圧する複数の分圧抵抗34、その分圧抵抗34で分圧された電圧が印加される多段の電極35が備えられる。また、走査管32には走査コイル36、真空ポンプ37、電子取出窓38が備えられる。高圧直流電源33は、光電子銃10の図4,図6〜図8に示した高圧電源19も兼ねるようにすることができる。
光電子銃10のカソード11で発生した光電子15は、当該電子銃10の電極で引き出されて電子取出窓21(又は29)から静電場加速管31に取り出され、多段の電極35による電場勾配によってさらに加速されて電子線40となり、走査管32において走査コイル36により走査され、電子取出窓38から大気中に取り出され、プロセス処理等に供される。
<実施例6>
図10に、上記した実施例1〜4で説明した光電子銃10A〜10Dを光電子銃10として使用した高周波電場による電子加速器50の構成を示す。51は導電性金属からなる高周波電場加速管である。52は高周波入力口、53は高周波出力口、54は空胴、55は電子通過材質からなる電子取出窓である。高周波としてSバンドやLバンドなどの電波を入力して空胴54内に高周波電場を発生させ、ここに光電子銃10で発生した光電子15を投入すると、その光電子15が集束、加速されて電子線40となり、電子取出窓55から取り出される。なお、図9における電子加速器30と同様に、走査管を設けて、電子線40を走査させることもできる。
<実施例7>
図11に、図9に示した電子銃10と電子加速器30との組み合わせにより構成され、あるいは図10に示した電子銃10と電子加速器50(但し、走査管付き)との組み合わせにより構成される電子線照射装置61を使用した殺菌装置60の構成を示す。なお、ここでは、電子銃10としては、図6〜図8に示したように、真空容器18(又は26)の外側にUV光源13を備えた光電子銃10B〜10Dのいずれかを使用する。また、図11では、UV光源13が電子線照射装置61の外部に配置された表示となっているが、これは表示の便宜上からであり、実際には電子線照射装置61の内部に配置される。
この電子線照射装置61は、UV光源13を真空容器18(又は26)の外側に備えているので、そのUV光源13で発生するUV光を、電子線照射装置61内の光電子銃のカソード11に照射させると同時に、殺菌処理を行う試料70にも照射する。これによって、その試料70には、電子線照射装置61からの電子線40と同時にUV光14が照射されることになり、電子線40による殺菌に加えてUV光14による殺菌も行われ、殺菌効果が大きくなる。なお、試料70はベルトコンベア等の搬送装置80による搬送途中で殺菌処理される。試料70に照射するUV光は、ファイバや光導管等の光ガイドを使用すれば、UV照射効率が高くなる。
本実施例の殺菌装置は、電子線照射装置61の光電子銃10の部分を前記したように小型、省電力、堅牢に構成できることから、可搬型とすることができ、メンテナンス作業も低減できるので、使用場所の制約が少なくなる。このため、衛生管理が不十分で電力事情の悪い途上国、あるいは地震/台風の被害を受けた被災地での衛生用品の殺菌処理用、病院での医療器具の殺菌処理用等として使用することが可能であり、また、屋外での使用も可能となる。
<実施例8>
図12に、図11の殺菌装置60の変形例の構成を示す。ここでは、UV光源13として、UV光の他に熱線を含む可視光も発生するランプ光源を使用する。そして、UV光源13から、光電子銃のカソード11と試料70に、UV光14および可視光90を照射させる。可視光90は試料70を加熱する効果を持つので、殺菌効果を高めることができる。なお、光電子銃のカソード11にUV光14のみを照射させるために、可視光を反射させるリフレクタを使用すれば、このリフレクタで反射した可視光も試料70に照射させることができ、結局、UV光源13で発生する可視光の全てを試料70に照射させることができ、加熱効果がより大きくなる。また、試料70に照射するUV光と可視光は、ファイバや光導管等の光ガイドを使用すれば、より照射効率が高くなる。
<実施例9>
図13に図11の殺菌装置60の別の変形例の構成を示す。ここでは、試料70に対して、UV光源13によるUV光14を上流側で照射してから、電子線照射装置61によって電子線40を照射させるようにした。このように、試料70に対して、UV光14の照射と電子線40の照射を時間差をもって行うようにしても、殺菌効果は高くなる。なお、試料70に対するUV光14の照射は、電子線40を照射した後に行うよう、電子線照射装置61の下流側で行っても良い。
<実施例10>
図14に図11の殺菌装置60の別の変形例の構成を示す。ここでは、UV光源13としてランプ光源を用い、試料70に対して、UV光源13によってUV光14および可視光90を上流側で照射してから、電子線照射装置61によって電子線40を照射させるようにした。このように、試料70に対して、UV光14および可視光90の照射と電子線40の照射を時間差をもって行うようにしても、殺菌効果は高くなる。なお、試料70に対するUV光14および可視光90の照射は、電子線40を照射した後に行うよう、電子線照射装置61の下流側で行っても良い。
<実験例1>
図6に示した光電子銃10Bにおいて、カソード11として大きさ3×3cmの無酸素銅を用い、またUV光源13として、水銀の共鳴線である184.9nmと253.7nmの光が強力に放射される線スペクトル光源である低圧水銀ランプ(ウシオ電機製、ウシオ低圧UVランプ UL1−3DQ、出力30W×15本)を4個用い、さらに光学ガイド24として、UV光に対する反射効率の高い高純度アルミニウムを用い、電子取出窓21として厚さ12.7μmで直径10cmのチタン箔を用いた。電子取出窓21とカソード11との離間距離は10cmとし、真空容器18の真空度は10−6 torrとした。そして、SUS304製のフランジで固定された石英製の光入射窓23を通して、カソード11の全面に4方向からUV光14を入射させ、光電効果によりカソード11の面全体より光電子15を発生させた。
なお、光学ガイド24の外側および光入射窓23の固定フランジには、冷却水を流し、長波長の可視光成分の光による発熱を除去するとともに、光入射窓23とUV光源13の距離は、大気中の酸素による185nmの光吸収をさけるため、10mmとした。
本実験例においては、高圧電源20をコッククロフト回路とし、これによって100kVに昇圧することで形成した静電場を、カソード11と電子取出窓21との間に印加することで、カソード11で発生した光電子15を加速し、カソード11に対して相対的に正側の50Vの電圧を印加した整流電極19によって整流して、電子取出窓21から真空下から大気中に取り出した。
電子線発生を確認するため、電子取出窓21の直後の10mmの距離にガフクロミックフィルムを置き、電子線の照射を5分間行った。なお、電子線照射による本フィルムの着色効果により、照射野の評価が可能である。
照射後、フィルムの照射野は、均一な着色を示し、その領域をノギスで測定した結果、ほぼ3cm×3cm四方の矩形の照射が行われていることがわかった。この結果から、図6の光電子銃10Bから光電子が発生し、加速されていることが確認できた。
<実験例2>
実験例1と同じ条件の光電子銃10Bにおいて、高圧電源19で発生した100kVの静電場で加速を行った光電子の飛程を、ターゲット試料の照射後の吸光度分布から評価した。ターゲット試料には、厚さ25μm、比重1.74のETFEフィルムを20枚積層して厚さ500μmとして用い、電子取出窓21の直後の10mmの距離において、電子線を30分間照射した。本方法は、特開2004−108999に記載の方法である。
照射後、可視分光光度計(日本分光製 V550)により、200nm〜900nmまでの範囲で、積層されたフィルムについて、各一枚ごとの吸光度測定を行い、ETFEフィルム中に生成した共役二重結合による吸光度変化を、厚さ25μmごとの分布として求めた結果、厚さ10mmの空気層と厚さ12.7μmのチタン箔によるエネルギーロスを補正した際の光電子線の深度エネルギー付与分布計算プログラム(ETRANエドマルト)を用いた計算結果とほぼ一致した。
<実験例3>]
図4に示した光電子銃10Aにおいて、カソード11に大きさ5×1cmのマグネシウムを用い、真空容器18内に、UV光源13として波長200〜350nmの範囲で強い紫外線を放射するDeep−UVランプ(ウシオ電機製、UXM−501MD、500W×4本)を2個設置し、2方向からカソード11全面に光を入射させた。なお、図4では図示しなかったが、UV光源13からのUV光14を、表面を銀コートしたアルミニウムの光学ガイドを用いてカソード11に照射させるとともに、カソード11以外の機器へ可視光成分によるの輻射加熱を防いだ。
本実験例においては、実験例1と同じように高圧電源20によって100kVの静電場をカソード11と電子取出窓21の間に印加することで、発生した光電子15を加速した。電子取出窓21に厚さ12.7μmで直径10cmのチタン箔を使用し、カソード11に対し相対的に正側の50Vが印加された整流電極19の方向に向かって加速された光電子15を、その電子取出窓21により、真空下から大気中に取り出した。電子取出窓21とカソード11との離間距離は15cmとし、真空容器18の真空度は10−5 torrとした。
電子線発生を確認するため、電子取出窓21の直後の10mmの距離にガフクロミックフィルムを置き、電子線の照射を5分間行った。
照射後、フィルムの照射野は、均一な着色を示し、その領域をノギスで測定した結果、ほぼ5cm×1cm四方の矩形の照射が行われていることがわかった。この結果から、図4の光電子銃10Aから光電子が発生し、加速されていることが確認できた。
<実験例4>
実験例3と同じ条件の図4の光電子銃10Aにおいて、高圧電源19で発生した100kVの静電場で加速を行った光電子15の飛程を、ターゲット試料の照射後の吸光度分布から評価した。ターゲット試料には、実験例2と同じく、厚さ25μm、比重1.74のETFEフィルムを20枚積層して厚さ500μmとして用い、電子取出窓21の直後の10mmの距離において、光電子線を30分間照射した。
照射後、可視分光光度計(日本分光製 V550)により、200nm〜900nmまでの範囲で、積層されたフィルムについて、各一枚ごとの吸光度測定を行い、ETFEフィルム中に生成した共役二重結合による吸光度変化を、厚さ25μmごとの分布として求めた結果、厚さ10mmの空気層と厚さ12.7μmのチタン箔によるエネルギーロスを補正した際の光電子線の深度エネルギー付与分布計算プログラム(ETRANエドマルト)を用いた計算結果とほぼ一致した。
<実験例5>
図4に示した光電子銃10Aにおいて、カソード11に大きさ3×3cmの無酸素銅を用いた他は実験例3と同じ条件として、高圧電源20によって150kVの静電場を印加することで、発生した光電子15を加速した。電子取出窓21に厚さ12.7μm、直径10cmのチタン箔を使用し、電極19の方向に向かって加速された光電子15をその電子取出窓21により、真空下から大気中に取り出した。
150kVの静電場で加速を行った光電子発生個数(電流値)をファラデーカップにより測定した。なお、ファラデーカップは、電子取出窓21の外側に設置した。光電子線照射時の電流値として、2.9mA(2.9mC)を観測した。この結果、発生光電子数は、光電子の電荷が1.6×10−19 C/個であることから、(2.9×10−3C)/(1.6×10−19 C)=1.8×10+16 個の光電子が発生したことが確認できた。
<実験例6>
実験例5における発生光電子数1.8×10+16 個を、UV光源13の出力から発生可能な光電子数と比較した。光電子発生のために用いたUV光源13の総出力は4kWであり、4kJのエネルギーとして換算でき、1eVは1.6×10−19 Jである。
全ての光子が、カソード11に入射され光電子15に変換するために用いられると仮定した場合、1光子あたり、6.4×10−19 Jのエネルギーとなる。その結果、4kJの光での発生光子は、4000/(6.4×10−19 )=6.25×10+21 個となる。用いた無酸素銅のカソードの量子効率は約1×10−5 であることから、最大6.25×10+16 の光電子が発生することになる。
この実験例6においては、全エネルギーが光電変換されたと仮定しているが、実際には、7割程度のエネルギーが変換ロスしていると考えられることから、実施例5における発生光電子数は、計算結果と比較的良い一致をみていると考えられる。
本発明の光電子銃の光電子発生部の原理説明図である。 本発明の光電子銃の別の例の光電子発生部の原理説明図である。 本発明の光電子銃の更なる別の例の光電子発生部の原理説明図である。 本発明の実施例1の光電子銃の構成図である。 図4の光電子銃において複数のUV光源を配置する場合の構成図である。 本発明の実施例2の光電子銃の構成図である。 本発明の実施例3の光電子銃の構成図である。 本発明の実施例4の光電子銃の構成図である。 本発明の実施例5の電子加速器の構成図である。 本発明の実施例6の電子加速器の構成図である。 本発明の実施例7の殺菌装置の構成図である。 本発明の実施例8の殺菌装置の構成図である。 本発明の実施例9の殺菌装置の構成図である。 本発明の実施例10の殺菌装置の構成図である。 従来の熱電子銃の構成図である。 従来の高周波光電子銃の構成図である。
符号の説明
10:10A,10B,10C,10D:光電子銃、11:カソード、12:相対的負電位印加部、13:UV光源、14:UV光、15:光電子、16:電源、17:ヒータ、18:真空容器、19:電極、20:高圧電源、21:電子取出窓、22:整流電源、23:リフレクタ、24:光入射窓、25:光学ガイド、26:UV透過型の真空容器、27:高圧電源、28:電極、29:電子取出窓
30:電子加速器、31:静電場加速管、32:走査管、33:高圧直流電源、34:分圧抵抗、35:電極、36:走査コイル、37:真空ポンプ、38:電子取出窓
40:電子線
50:電子加速器、51:高周波電場加速管、52:高周波入力口、53:高周波出力口、54:空胴、55:電子取出窓
60:殺菌装置、61:電子線照射装置
70:試料
80:搬送装置
90:可視光
100:熱電子銃、101:真空容器、102:カソード、103:電源、104:熱電子、105:電極、106:電子取出窓、107:高圧電源、108:整流電源
200:高周波光電子銃、201:空胴、202:導電性容器、203:フォトカソード、204:導波路、205:光入射窓、206:電子取出窓、207:レーザー光

Claims (6)

  1. カソードが内部に配置され且つ該カソードで発生した光電子を取り出す電子取出窓が設けられた真空容器、該真空容器の外からUV光を前記カソードに照射して前記カソードから前記光電子を放出させるランプ光源、および該放出された光電子を前記真空容器の前記電子取出窓から外に引き出すように前記光電子に高圧直流電界を印加する高圧電源を有する光電子銃と、
    該光電子銃の前記電子取出窓から引き出された前記光電子を加速して試料に照射する電子加速器とを含み、
    前記光電子銃の前記ランプ光源がUV光の他に可視光も発生し、該発生した光の一部を前記試料に照射させるようにしたことを特徴とする電子線照射装置。
  2. 請求項1記載の電子線照射装置において、
    前記試料に照射される光は、前記ランプ光源から第1の光ガイドによって導かれることを特徴とする電子線照射装置。
  3. 請求項1又は2に記載の電子線照射装置において、
    前記光電子銃の前記真空容器は、前記UV光を前記カソードに対して入射させる光入射窓あるいは前記真空容器内に先端が挿入された第2の光ガイドを有する真空容器、又はUV透過型の真空容器であることを特徴とする電子線照射装置。
  4. 請求項1乃至3のいずれか1つに記載の電子線照射装置において、
    前記光電子銃の前記高圧電源は、前記カソード側が相対的に負側、前記電子取出窓側が相対的に正側となる高電圧を印加することを特徴とする電子線照射装置。
  5. 請求項1乃至のいずれか1つに記載の電子線照射装置において、
    前記光電子銃の前記高圧電源は、前記カソード側が相対的に負側、前記電子取出窓側の外側に設けた電極が相対的に正側となる高電圧を印加することを特徴とする電子線照射装置。
  6. 請求項又はに記載の電子線照射装置において、
    前記真空容器内に整流電極を配置し、該整流電極と前記カソードとの間に前記整流電極が相対的に正側、前記カソードが相対的に負側となる数V〜数十Vの整流電圧を印加する整流電源を備えたことを特徴とする電子線照射装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2016048000A2 (ko) * 2014-09-22 2016-03-31 전남대학교산학협력단 광 발생 장치
JP2017053823A (ja) 2015-09-11 2017-03-16 株式会社東芝 電子線照射装置
AU2017249500A1 (en) * 2016-04-14 2018-11-01 Feldreich Caro Ruiz AB An apparatus for use in irradiation therapy comprising ionization module and UV-light source
US9984846B2 (en) * 2016-06-30 2018-05-29 Kla-Tencor Corporation High brightness boron-containing electron beam emitters for use in a vacuum environment
WO2018043709A1 (ja) * 2016-09-02 2018-03-08 株式会社東芝 加速器、加速器の運転方法および加速器を用いた半導体の製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0619958B2 (ja) * 1987-04-28 1994-03-16 キヤノン株式会社 電子ビーム描画装置
JP2598730B2 (ja) * 1991-09-11 1997-04-09 株式会社荏原総合研究所 微粒子の荷電方法及び装置
JP2648538B2 (ja) * 1991-10-25 1997-09-03 浜松ホトニクス株式会社 2次元の電子源を利用した検査装置
JP2001057168A (ja) * 1999-08-19 2001-02-27 Sumitomo Heavy Ind Ltd 加速空洞を有する電子銃及び電子ビーム発生方法
JP2001143648A (ja) * 1999-11-17 2001-05-25 Hitachi Ltd 光励起電子線源および電子線応用装置
JP3810656B2 (ja) * 2001-07-23 2006-08-16 株式会社神戸製鋼所 微小x線源
JP2004095311A (ja) * 2002-08-30 2004-03-25 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 電子線発生装置

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