JP2015046305A - 中性粒子質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】中性粒子質量分析装置は、試料台10とイオンビーム源20とメッシュ電極30とレーザ光源40と制御部50と分析部60とからなる。メッシュ電極30は、試料から放出される試料由来の粒子のうち、二次イオンを試料側に押し戻す。レーザ光源40は、試料台10とメッシュ電極30との間で試料台の表面に平行にレーザ光を照射可能なものであり、試料由来の粒子をイオン化する。制御部50は、メッシュ電極電位を二次イオンを押し戻し可能な電位に設定した状態でイオンビームを照射後、所定の時間後にメッシュ電極電位を反転させると共に、レーザ光を照射するように制御する。分析部60は、レーザ光源からのレーザ光によりイオン化される試料を質量分析する。
【選択図】図1
Description
20 イオンビーム源
30 メッシュ電極
31 高電圧源
40 レーザ光源
50 制御部
60 分析部
61 引き込み電極
Claims (4)
- 試料をイオン化してその質量を分析する中性粒子質量分析装置であって、該中性粒子質量分析装置は、
真空チャンバ内に提供され試料が配置される試料台と、
前記試料台に配置される試料をスパッタするためにイオンビームを照射するイオンビーム源と、
イオンビーム源からのイオンビームによりスパッタされることで試料から放出される試料由来の粒子のうち、二次イオンを試料側に押し戻すためのメッシュ電極と、
前記試料台とメッシュ電極との間で前記試料台の表面に平行にレーザ光を照射可能なレーザ光源であって、試料由来の粒子にレーザ光を照射し、試料由来の粒子をイオン化するレーザ光源と、
イオンビーム源のイオンビーム照射タイミング制御と、メッシュ電極の電位制御と、レーザ光源のレーザ光照射タイミング制御とを行う制御部であって、メッシュ電極電位を二次イオンを押し戻し可能な電位に設定した状態でイオンビームを照射後、所定の時間後にメッシュ電極電位を反転させると共に、レーザ光を照射するように制御する制御部と、
前記レーザ光源からのレーザ光によりイオン化される試料を質量分析する分析部と、
を具備することを特徴とする中性粒子質量分析装置。 - 請求項1に記載の中性粒子質量分析装置において、前記メッシュ電極は、試料台と分析部との間に着脱自在に構成されることを特徴とする中性粒子質量分析装置。
- 請求項1又は請求項2に記載の中性粒子質量分析装置であって、さらに、前記分析部のメッシュ電極側に、イオン化される試料を分析部に引き込むための引き込み電極を有し、該引き込み電極は、イオン化される試料を引き込み可能な電位に設定されることを特徴とする中性粒子質量分析装置。
- 請求項3に記載の中性粒子質量分析装置において、前記引き込み電極は、イオン化される試料がメッシュ電極側から分析部に引き込まれるような電位勾配となるように電位が設定されることを特徴とする中性粒子質量分析装置。
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Cited By (2)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6435844A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-06 | Shimadzu Corp | Mass spectrograph |
JPH0197365A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-04-14 | Shimadzu Corp | エネルギー分析器 |
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- 2013-08-28 JP JP2013176865A patent/JP6343758B2/ja active Active
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