JP2008039413A - 基板検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 従来の基板検出装置では、基板からの反射波以外に周囲からの反射波が受波器に入力し、誤動作を生じるという問題がある。
【解決手段】 基板７はローラ等で移動可能に装着され、基板７の一方の側部に乱反射を生じる部材８ａを設けた反射板８が装着され、又、基板７を挟んで、反射板８と対向する位置に超音波振動子を内蔵する送波器９が斜めに装着され、送波器９からの超音波が基板７に反射してに入力される位置に超音波振動子を内蔵する受波器１０が装着され、送波器９と受波器１０が装着されている部分に乱反射を生じる部材１１ａを設けた反射板１１が装着され、送波器９は制御装置１２に内蔵された発信器１３に接続され、又受波器１０は制御装置１２に内蔵された受信機１４に接続されている。
【選択図】図１
【解決手段】 基板７はローラ等で移動可能に装着され、基板７の一方の側部に乱反射を生じる部材８ａを設けた反射板８が装着され、又、基板７を挟んで、反射板８と対向する位置に超音波振動子を内蔵する送波器９が斜めに装着され、送波器９からの超音波が基板７に反射してに入力される位置に超音波振動子を内蔵する受波器１０が装着され、送波器９と受波器１０が装着されている部分に乱反射を生じる部材１１ａを設けた反射板１１が装着され、送波器９は制御装置１２に内蔵された発信器１３に接続され、又受波器１０は制御装置１２に内蔵された受信機１４に接続されている。
【選択図】図１
Description
本発明は、送波器の超音波振動子から発生した超音波を基板に照射し、基板で反射した反射波を受波器の超音波振動子で受波して検出する基板検出装置に関するものである。
従来、図２に示すように、圧電素子１が音響整合層２に固定され、圧電素子１を囲むように筒状ケース３が音響整合層２に固定され、圧電素子１を埋めるように筒状ケース３に弾性樹脂４が充填され、圧電素子１にコード５を介してコネクタ６が接続された超音波センサが提案されている。
このように構成された従来の超音波センサは、基板が音響整合層２上を通過するとき、圧電振動子１から発生した超音波が基板で反射し、この反射した超音波を圧電振動子１で検出することによって、基板が超音波センサ上を通過することが検出される。
しかしながら、このように構成した従来の超音波センサでは、基板が超音波センサの上を通過するときに、基板からの反射波以外に周囲からの反射波が受波器に入力して誤動作を生じるという問題があった。
特開平１０−２２４８９５号公報
解決しようとする問題点は、従来の基板検出装置では、基板からの反射波以外に周囲からの反射波が受波器に入力し、誤動作を生じるという問題がある。
本発明では、基板が移動するように配置され、乱反射を生じる部材を設けた第１の反射板は基板の一方の側部に配置され、基板に向けて斜めに超音波を送信する送波器が基板の第１の反射板と対向する位置に配置され、受波器が送波器からの超音波が基板に反射して入力する位置に配置され、乱反射を生じる部材を設けた第２の反射板が送波器と受波器の配置部分に配置され、制御装置は送波器に発振信号を送信する発信器と受波器からの受波信号を増幅する増幅器とを内蔵するように構成されているものである。
本発明の基板検出装置では、送波器の超音波振動子から発生した超音波を基板で反射させて受波器に入力し、送波器と受波器の部分に配置した乱反射を生じる部材を設けた第２の反射板と、基板を挟んで対向した位置に配置された乱反射を生じる部材を設けた第１の反射板によって、周囲から入力される超音波を除去することができるいう利点がある。
本発明では、周囲から入力される不要な超音波の除去を、基板を挟んで配置した第１，第２の反射板により行うことができた。
図１は本発明の実施例の基板検出装置の構成図で、基板７はローラ等で移動可能に装着され、基板７の一方の側部に乱反射を生じる部材８ａを設けた反射板８が装着され、又、基板７を挟んで、反射板８と対向する位置に超音波振動子を内蔵する送波器９が斜めに装着され、送波器９からの超音波が基板７に反射してに入力される位置に超音波振動子を内蔵する受波器１０が装着され、送波器９と受波器１０が装着されている部分に乱反射を生じる部材１１ａを設けた反射板１１が装着され、送波器９は制御装置１２に内蔵された発信器１３に接続され、又受波器１０は制御装置１２に内蔵された受信機１４に接続されている。
このように構成された本実施例の基板検出装置では、制御装置１２の発振器１３から発振出力が送波器９の超音波振動子に印加されると、超音波振動子から照射された超音波は基板７で反射し、反射された超音波は受波器１０の超音波振動子で受信され、この反射波が受波器１０で受信されることによって基板７が送波器９と受波器１０の近傍を通過することが確認される。
ここで、基板７が送波器９近傍に達しない前に周囲の雑音が受波器１０に入力するのを防ぐために、送波器９と受波器１０の部分に配置された乱反射を生じる部材１１ａを設けた反射板１１と基板７の対向部の側部に配置された乱反射を生じる部材８ａを設けた反射板８によって外部からきた超音波を乱反射し、受波器１０に外部からの超音波が入力されないようにすることにより、基板７の通過を確実に検出することができるという利点がある。
なお、上記実施例において、基板７，反射板８，送波器９，受波器１０，反射板１１は空気中に配置するようにしたが、これらの素子を水中に配置するようにしてもよい。
７ 基板
８ 反射板
８ａ 乱反射を生じる部材
９ 送波器
１０ 受波器
１１ 反射板
１１ａ 乱反射を生じる部材
１２ 制御装置
１３ 発信器
１４ 受信器
８ 反射板
８ａ 乱反射を生じる部材
９ 送波器
１０ 受波器
１１ 反射板
１１ａ 乱反射を生じる部材
１２ 制御装置
１３ 発信器
１４ 受信器
Claims (2)
- 移動するように配置された基板と、該基板の一方の側部に配置された乱反射を生じる部材を設けた第１の反射板と、前記基板の前記第１の反射板と対向する位置に前記基板に向けて斜めに超音波を送信する送波器と、該送波器からの超音波が前記基板に反射して入力する位置に配置された受波器と、前記送波器と前記受波器の配置部分に配置された乱反射を生じる部材を設けた第２の反射板と、前記送波器に発振信号を送信する発信器と前記受波器からの受波信号を増幅する増幅器とを内蔵する制御装置とからなることを特徴とする基板検出装置。
- 前記基板、前記反射板、前記送波器及び前記受波器を液体中に配置することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006209885A JP2008039413A (ja) | 2006-08-01 | 2006-08-01 | 基板検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006209885A JP2008039413A (ja) | 2006-08-01 | 2006-08-01 | 基板検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008039413A true JP2008039413A (ja) | 2008-02-21 |
Family
ID=39174617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006209885A Pending JP2008039413A (ja) | 2006-08-01 | 2006-08-01 | 基板検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2008039413A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10007197B2 (en) | 2014-03-12 | 2018-06-26 | Asml Netherlands B.V. | Sensor system, substrate handling system and lithographic apparatus |
-
2006
- 2006-08-01 JP JP2006209885A patent/JP2008039413A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10007197B2 (en) | 2014-03-12 | 2018-06-26 | Asml Netherlands B.V. | Sensor system, substrate handling system and lithographic apparatus |
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