JP2008039121A - リニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は移動体の移動位置を正確に位置決めすると共に小型化を図ることを課題とする。
【解決手段】リニアアクチュエータ１０は、内部に気体が供給されるシリンダチューブ３０と、シリンダチューブ３０内に空気を供給する空気供給部９０と、シリンダチューブ３０内に供給された気体の圧力に応じてシリンダチューブ３０内の任意の位置へ移動するピストン４０と、シリンダチューブ３０の外周に沿って移動可能に設けられた被移動体５０と、ピストン４０の移動を被移動体５０に伝達するマグネットカップリング１２０と、空気供給部９０から供給される空気の供給量を制御して被移動体５０を目標位置に移動させる制御装置１００とを有する。また、ピストン４０とシリンダチューブ３０との間に空気を吐出する静圧軸受１１０を有し、空気圧によりシリンダチューブ３０内を非接触で移動する
【選択図】図１

Description

本発明はリニアアクチュエータに係り、特にコンパクトな構成で且つ被移動体の移動位置の制御をより高精度に行えるように構成されたリニアアクチュエータに関する。

従来のリニアアクチュエータとしては、例えば、空気の給排によりガイド軸の外周に円筒形状のスライダを移動可能に嵌合させ、ガイド軸に設けられた通路より空気を供給してスライダの内周に固定された隔壁（ピストン）を移動させるように構成されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、別のリニアアクチュエータとしては、例えば、円筒形状のシリンダ内を空気圧によって移動する駆動体（ピストン）と、シリンダチューブの外周に移動可能に嵌合する被駆動体とを有し、被駆動体の移動を磁石の磁力を介して被駆動体に伝達する構成のものがある（例えば、特許文献２参照）。

このシリンダ装置では、円筒形状のシリンダチューブ内に挿入されたピストンがシリンダチューブ内の空気圧力差に応じて一端方向または他端方向に移動し、シリンダチューブの外周に対向する被移動体が磁力を介してピストンの移動方向に追従して往復移動するように構成されている。
特開２００１−５０２１０号公報 特開平２−３３９０４号公報

しかしながら、上記特許文献１に記載された装置では、隔壁（ピストン）が移動するためのストロークと、スライダをガイドするためストロークと同じ長さのガイド軸と有する構成であるので、装置の全長が隔壁のストロークの２倍以上となり、装置の小型化を図ることが難しかった。

また、上記特許文献２に記載されたリニアアクチュエータにおいては、ピストンをシリンダチューブの一端または他端に移動させることしかできないため、ピストンをシリンダチューブの任意位置に移動させて停止させることができないという問題があった。

そこで、本発明は上記事情に鑑み、上記課題を解決したリニアアクチュエータを提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。

本発明は、内部に気体が供給されるシリンダチューブと、該シリンダチューブ内に気体を供給する気体供給部と、前記シリンダチューブ内に供給された気体の圧力に応じて前記シリンダチューブ内の任意の位置へ移動するピストンと、前記シリンダチューブ外に自身全体が配置され、前記シリンダチューブの外周に沿って移動可能に設けられた被移動体と、前記ピストンの移動を前記被移動体に非接触で伝達するマグネットカップリングと、前記気体供給部から供給される気体の供給量を制御して前記被移動体を目標位置に移動させる制御部とを備え、上記課題を解決するものである。

また、前記ピストンと前記シリンダチューブとの間に気体を吐出する静圧軸受を有し、気体圧により前記ピストンが前記シリンダチューブ内を非接触で移動するように設けられ、上記課題を解決するものである。

また、前記シリンダチューブの外周を前記被移動体の移動のためのガイドとすることにより、上記課題を解決するものである。

また、前記マグネットカップリングは、前記ピストンと一体的に設けられた主動マグネット部と、前記被移動体に設けられ、前記主動マグネット部との磁力を介して前記ピストンの駆動力を伝達されて前記主動マグネットを追従する従動マグネット部とを有しており、上記課題を解決するものである。

また、前記シリンダチューブの外周に対向する前記マグネットカップリングの従動マグネット部の内側に、前記シリンダチューブの外周との間に気体を吐出する静圧軸受を設けることにより、上記課題を解決するものである。

また、前記シリンダチューブと平行に延在するリニアガイドを有し、前記リニアガイドにより前記被移動体の移動方向をガイドすると共に、前記被移動体の水平状態を維持するように前記被移動体のローリングを規制することにより、上記課題を解決するものである。

また、前記気体供給部は、前記ピストンにより画成された一対のシリンダ室の何れか一方に連通された第１の経路と、前記ピストンにより画成された一対のシリンダ室の何れか他方に連通された第２の経路と、前記制御部からの制御信号により前記第１の経路に供給される気体流量を調整する第１の流量調整弁と、前記制御部からの制御信号により前記第２の経路に供給される気体流量を調整する第２の流量調整弁と、前記被移動体の移動方向に応じて前記気体供給源からの圧力気体を前記第１の流量調整弁または前記第２の流量調整弁の何れか一方に供給するように切り替わる切替弁と、を有し、上記課題を解決するものである。

また、前記ピストンは、前記気体供給部と可撓性チューブを介して接続されており、前記可撓性チューブを介して前記静圧軸受に気体を供給され、上記課題を解決するものである。

また、本発明は、前記移動体の位置を計測する計測手段を有し、前記制御部は、前記計測手段の計測位置と前記目標位置との差に基づいて前記シリンダ室への気体供給量を演算して前記第１、第２の流量調整弁の弁開度を制御することにより、上記課題を解決するものである。

本発明によれば、気体供給部から供給される気体の供給量を制御して被移動体を目標位置に移動させることができるので、被移動体をピストンと共に移動させることが可能になり、ピストンストロークとシリンダチューブの全長との差を小さくして小型化に対応することが可能になる。また、シリンダチューブ内を移動するピストンの質量に応じた気体供給量を供給することで、ピストンの移動量を制御することができるので、被移動体を任意の位置に精度良く移動させることが可能になる。

以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。

図１は本発明によるリニアアクチュエータの一実施例を示す斜視図である。図２はリニアアクチュエータの縦断面図である。図３はピストンを拡大して示す断面図である。図１乃至図３に示されるように、リニアアクチュエータ１０は、ハウジング２０と、シリンダチューブ３０と、ピストン４０と、被移動体５０と、可動ベース６０と、リニアガイド７０と、バルブユニット８０Ａ，８０Ｂと、空気供給部（気体供給部）９０と、制御装置１００とより構成されている。

ハウジング２０は、固定ベース２２と、固定ベース２２の両端に起立する側壁２４，２６とを有する。側壁２４，２６の外面には、バルブユニット８０Ａ，８０Ｂ（詳細な構成は後述する）が取り付けられている。

シリンダチューブ３０は、鉄またはアルミなどの金属パイプよりなる中空円筒形状の直管であり、両端が側壁２４，２６の内面凹部に嵌合固定された支持部材２８に支持される。支持部材２８は、円柱形状に形成されており、その外周がシリンダチューブ３０の内周に嵌合固定されてシリンダチューブ３０を支持する。

また、支持部材２８には、バルブユニット８０Ａ，８０Ｂから供給される空気を供給、またはシリンダチューブ３０内の空気を排出するための空気通路２９が軸方向に貫通している。空気通路２９は、シリンダチューブ３０の内部に画成されたシリンダ室３２，３４に連通している。このシリンダ室３２，３４は、ピストン４０によって画成されており、ピストン４０の移動位置に応じてその容積が変動する。尚、シリンダ室３２，３４の容積は、シリンダチューブ３０の内径と、シリンダチューブ３０の全長からピストン４０の全長及び支持部材２８の全長を差し引いた長さ（ピストン移動可能距離）との関係から容易に求めることができる。

図３に示されるように、ピストン４０の外径は、シリンダチューブ３０の内径よりも僅かに小径であり、且つピストン４０には静圧軸受１１０が設けられている。静圧軸受１１０は、ピストン４０の外周に空気を吐出する空気吐出通路１１２と、ピストン４０の外周に形成された空気圧層の空気を回収する空気回収通路１１４とを有する。そのため、ピストン４０の外周とシリンダチューブ３０の内壁との間は、常に一定の空気圧に維持され、ピストン４０とシリンダチューブ３０との間が非接触状態に保たれている。

また、空気吐出通路１１２には、空気供給用の可撓性チューブ１１６が連通接続され、空気回収通路１１４には、空気排出用の可撓性チューブ１１８が連通接続されている。尚、可撓性チューブ１１６，１１８は、ピストン４０が移動する際の抵抗とならないように伸縮可能な比較的柔らかい材質のチューブにより形成されている。

ピストン４０は、シリンダチューブ３０の内壁に対して非接触状態のまま移動するため、シリンダチューブ３０との摺動抵抗が殆ど無い状態で移動することができる。そのため、ピストン４０はシリンダ室３２，３４の圧力（Ｐ１，Ｐ２）の差に応じて殆ど負荷のない状態で移動することが可能になる。

例えば、Ｐ１＞Ｐ２の場合は、ピストン４０がＹｂ方向に移動し、Ｐ１＜Ｐ２の場合は、ピストン４０がＹａ方向に移動する。なお、ピストン４０には、可動ベース６０の荷重が加わるリニアガイド７０の摺動抵抗が負荷として作用するため、実際にはリニアガイド７０の摺動抵抗に応じた圧力差によってピストン４０を駆動することになる。

このように、ピストン４０は、シリンダチューブ３０の内部を非接触状態のまま移動するため、塵埃の問題が殆どない。また、例えピストン移動動作により塵埃が発生したとしてもシリンダチューブ３０の外部に塵埃が拡散しないため、クリーンルームのような塵埃を嫌う環境での使用に好適である。

被移動体５０は、シリンダチューブ３０の外に自身全体が配置され、シリンダチューブ３０の外周に対向する環状に形成されており、シリンダチューブ３０の延在方向に移動する際に移動方向をガイドされるように設けられている。そのため、シリンダチューブ３０は、リニアガイド７０と共に、可動ベース６０の移動方向をガイドすることができるので、一対のリニアガイド７０をシリンダチューブ３０の両側に配置する必要がなく、その分コンパクトな構成となり、横幅寸法を小さくすることで小型化がより一層促進されている。

さらに、被移動体５０は、シリンダチューブ３０の内側に挿入されたピストン３０の外側に対向配置されているので、ピストンストロークとガイドストロークとを直列に設ける必要がないので、移動方向の長さ寸法を小さくして移動方向の小型化も図ることができる。

シリンダチューブ３０の内部に挿入されたピストン４０と、シリンダチューブ３０の外部に設けられた被移動体５０とは、マグネットカップリング１２０を介して駆動力を伝達される。

マグネットカップリング１２０は、ピストン４０に保持された主動マグネット部１３０と、被移動体５０の内周に保持された従動マグネット部１４０とを有する。主動マグネット部１３０及び従動マグネット部１４０は、それぞれ複数の環状マグネットを同軸上に積重させた構成であり、各マグネットの磁力を介して駆動力の伝達を非接触で行う。

そのため、シリンダ室３２，３４の圧力（Ｐ１，Ｐ２）の差によってピストン３０が移動すると、ピストン４０の駆動力（推力）はマグネットカップリング１２０を介して被移動体５０に伝達される。これにより、可動ベース６０は被移動体５０と共に、シリンダチューブ３０の延在方向であるＹａ方向またはＹｂ方向に移動する。

被移動体５０は、上記従動マグネット部１４０を保持する凹部の前後を囲む内周に静圧軸受１５０が設けられている。そのため、被移動体５０の内周は、静圧軸受１５０から吐出された空気の圧力によりシリンダチューブ３０の外周から微小距離浮上している。よって、被移動体５０は、シリンダチューブ３０に対して非接触状態で移動することが可能になる。

さらに、可動ベース６０の下面一側は結合部６２を介して非移動体５０に結合されており、可動ベース６０の下面他側はリニアガイド７０に摺接するガイド部６４を有する。そのため、可動ベース６０はピストン４０の駆動力が伝達されると、シリンダチューブ３０及びリニアガイド７０にガイドされて水平状態のままＹａ方向またはＹｂ方向に移動する。

さらに、リニアガイド７０は、シリンダチューブ３０と平行に延在形成されており、シリンダチューブ３０の外周に嵌合してシリンダチューブ３０の延在方向に移動する被移動体５０に対してローリング方向への回転動作を規制することができる。そのため、被移動体５０は、ピストン４０の駆動力が伝達されると、シリンダチューブ３０及びリニアガイド７０にガイドされて延在方向（Ｙａ方向またはＹｂ方向）に移動すると共に、シリンダチューブ３０の周方向への回動動作が防止され、水平状態のままＹａ方向またはＹｂ方向に移動する。

側壁２４には、可動ベース６０の位置を計測する計測手段としてのレーザ干渉計１６０が取り付けられている。そして、可動ベース６０上には、レーザ干渉計１６０からのレーザ光を反射させるミラー１６２が設けられている。また、固定ベース２２は、側壁２４，２６の内側に可動ベース６０がストロークエンドに達したときの衝撃を緩和するための緩衝器１７０が設けられている。

ここで、リニアアクチュエータ１０の制御系の構成について図４を参照して説明する。図４に示されるように、制御装置１００は、入力された目標値とレーザ干渉計１６０の計測値との差に基づいてピストン４０が目標位置に移動するようにバルブユニット８０Ａ，８０Ｂの各弁を制御する。バルブユニット８０Ａ，８０Ｂは、空気供給部９０からの配管経路（第１、第２の経路）１８０Ａ，１８０Ｂに圧力センサ１８２Ａ，１８２Ｂと、流量調整弁（第１、第２の流量調整弁）１８４Ａ，１８４Ｂと、流量計１８６Ａ，１８６Ｂと、三方弁１８８Ａ，１８８Ｂとが配設されている。

上記流量調整弁１８４Ａ，１８４Ｂは、制御装置１００からの制御信号により弁開度を調整されてシリンダ室３２，３４に供給する空気供給量（流量）、またはシリンダ室３２，３４から排出される空気排出量（流量）を制御する。

また、三方弁１８８Ａ，１８８Ｂは、空気供給部９０に連通されたａポート、シリンダチューブ３０に連通されたｂポート、大気開放された排気経路１８９に連通されたｃポートを有し、制御装置１００からの制御信号によりａ−ｂポート間を連通する空気供給モード、またはｂ−ｃポート間を連通する排気モードに切り替わる切替弁である。尚、三方弁１８８Ａ，１８８Ｂとしては、例えば、ボール弁式の電磁式三方弁を用いても良いし、あるいは電磁駆動式３ポート２位置のスプール弁を用いても良い。また、三方弁１８８Ａ，１８８Ｂの代わりにオン・オフ信号により開弁または閉弁となる電磁弁を２個組み合わせた構成のものを用いて良い。

また、空気供給部９０は、コンプレッサ１９０と、空気タンク１９２と、圧力制御弁１９４とを有する。コンプレッサ１９０により生成された圧縮空気は、空気タンク１９２に供給され、空気タンク１９２の圧力が常に規定圧になるように蓄圧される。そして、空気タンク１９２に蓄圧された空気は、圧力制御弁１９４により予め設定された設定圧に調整されてバルブユニット８０Ａ，８０Ｂに供給される。

尚、本実施例では、コンプレッサ１９０により空気を圧縮して圧力気体を生成する場合を一例として説明するが、例えば、酸素を嫌う環境下においては、空気以外の気体（例えば、窒素など）を加圧してシリンダ室３２，３４に供給するようにしても良いのは勿論である。

ここで、制御装置１００が実行する制御処理について図５を参照して説明する。図５に示されるように、制御装置１００は、Ｓ１１において、メモリに入力された目標位置データを読み込む。次にレーザ干渉計１６０により計測された可動ベース６０の計測位置データを読み込む（Ｓ１２）。続いて、目標位置から計測位置を減算して移動距離Ｌを演算する（Ｓ１３）。尚、演算により求められた移動距離Ｌが−（マイナス）の場合は可動ベース６０をＹａ方向に移動させ、移動距離Ｌが＋（プラス）の場合は可動ベース６０をＹｂ方向に移動させる。

次のＳ１４では、移動距離Ｌに応じた空気量、すなわちピストン４０を距離Ｌ移動させるのに必要な空気量Ｑ（所定圧での空気供給量）を演算する。尚、この空気量Ｑは、シリンダ室３２，３４の内径と移動距離Ｌから求まる。

続いて、上記演算処理で求まった空気量Ｑに応じて流量調整弁１８４Ａ，１８４Ｂの弁開度を調整する（Ｓ１５）。以下、ピストン４０をＹａ方向に移動させる場合を例に挙げて説明する。

次のＳ１６では、移動方向（Ｙａ方向）の三方弁１８８Ａを排気モードに設定する。続いて、駆動側（Ｙｂ方向）の三方弁１８８Ｂを空気供給モードに設定する（Ｓ１７）。これにより、シリンダ室３２の空気が三方弁１８８Ａのｃポートより排気されると共に、空気供給部９０で生成された圧縮空気がシリンダ室３４に供給される。そのため、ピストン４０は、シリンダ室３２と３４との圧力差（Ｐ１＜Ｐ２）によりＹａ方向に移動する。

このようにピストン４０が移動する過程では、圧力センサ１８２Ａ，１８２Ｂにより検出された圧力値がメモリに記憶され、且つ流量計１８６Ａ，１８６Ｂにより計測された流量が積算されて空気供給量Ｑ１及び空気排出量Ｑ２がメモリに記憶される。

次のＳ１８では、計測された空気供給量Ｑ１及び空気排出量Ｑ２を読み込み、目標位置に移動するのに必要な空気量（演算値）Ｑが供給、排出されたか否かを判定する（Ｓ１９）。

上記Ｓ１９において、空気供給量Ｑ１及び空気排出量Ｑ２が演算値の空気量Ｑに達していないときは、流量調整弁１８４Ａ，１８４Ｂの弁開度の制御を継続する（Ｓ２０）。また、上記Ｓ１９において、空気供給量Ｑ１及び空気排出量Ｑ２が演算値の空気量Ｑに達したときは、レーザ干渉計１６０により計測された可動ベース６０の現在位置を読み込む（Ｓ２１）。

そして、可動ベース６０の現在位置が目標位置に達したか否かをチェックする（Ｓ２２）。このＳ２２において、可動ベース６０の現在位置が目標位置に達したときは、移動方向（Ｙａ方向）の三方弁１８８Ａを空気供給モードに切り替える（Ｓ２３）。

次に圧力センサ１８２Ａ，１８２Ｂにより検出された現在の圧力値Ｐ１，Ｐ２を読み込み（Ｓ２４）、圧力値Ｐ１＝Ｐ２か否かをチェックする（Ｓ２５）。このＳ２５において、Ｐ１＝Ｐ２になったときは、シリンダ室３２と３４との圧力差が無くなってピストン４０が停止する。また、Ｓ２５において、シリンダ室３２の圧力Ｐ１がシリンダ室３４の圧力Ｐ２に達していないときは、流量調整弁１８４Ａを開く方向に変更するように弁開度を調整する（Ｓ２６）。そして、再度、Ｓ２４に戻り、現在の圧力値Ｐ１，Ｐ２を読み込み、Ｓ２５で圧力値Ｐ１＝Ｐ２か否かをチェックする。

また、Ｓ２５において、シリンダ室３２の圧力Ｐ１とシリンダ室３４の圧力Ｐ２とが均衡したときは、流量調整弁１８４Ａ，１８４Ｂを閉弁させる（Ｓ２７）。このように、空気供給量Ｑ１及び空気排出量Ｑ２が演算値の空気量Ｑに達するまで流量調整弁１８４Ａ，１８４Ｂの弁開度の制御を行うことにより、ピストン４０及び可動ベース６０を目標位置へ正確に移動させて位置決めすることが可能になる。

また、本実施例では、静圧軸受１１０によりピストン４０の外周とシリンダチューブ３０の内壁との間が常に一定の空気圧に維持され、ピストン４０とシリンダチューブ３０との間が非接触状態に保たれているので、ピストン４０を殆ど抵抗の無い状態で移動させることが可能であり、シリンダ室３２と３４との圧力差（Ｐ１＜Ｐ２）が小さくてもピストン４０をスムーズに移動させることができ、且つピストン４０が目標位置に達したときは、瞬時にシリンダ室３２と３４との圧力差をゼロ（Ｐ１＝Ｐ２）にしてピストン４０を停止させて位置決めすることが可能である。

本実施例の変形例としては、例えば、ピストン４０に静圧軸受１１０を設ける代わりに、ピストン４０の外周に低摩擦の樹脂層（四フッ化エチレン樹脂など）を形成する構成とすることも考えられる。この場合には、ピストン４０に空気を給排する必要がないので、可撓性チューブ１１６，１１８を設けないで済み、その分部品点数を減らすことが可能になる。

また、上記実施例では、ピストン４０の断面及びシリンダチューブ３０の内周、外周を円形とした場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、例えば、四角形としても良い。この場合、シリンダチューブ３０の外周に嵌合する被移動体５０のローリング方向への回転規制が行い易いので、リニアガイド７０を削除した構成とすることも可能になる。

本発明のリニアアクチュエータは、空気供給量を調整することで被移動体の移動を精密に制御することが可能になるため、例えば、リニアモータのようにコイルからの磁界の影響を嫌うような環境でも使用することができると共に、ピストンを移動させる際の発熱が小さいので、熱の影響を嫌うような条件下でも使用することが可能になる。

また、上記実施例では、シリンダチューブ３０及び静圧軸受１１０，１５０に空気を供給する場合を一例として挙げたが、これに限らず、空気以外の気体（例えば、窒素やヘリウムなど）を用いても良い。

本発明によるリニアアクチュエータの一実施例を示す斜視図である。 リニアアクチュエータの縦断面図である。 ピストンを拡大して示す断面図である。 リニアアクチュエータ１０の制御系を示す系統図である。 制御装置１００が実行する制御処理を説明するためのフローチャートである。

符号の説明

１０ リニアアクチュエータ
２０ ハウジング
３０ シリンダチューブ
３２，３４ シリンダ室
４０ ピストン
５０ 被移動体
６０ 可動ベース
７０ リニアガイド
８０Ａ，８０Ｂ バルブユニット
９０ 空気供給部
１００ 制御装置
１１０，１５０ 静圧軸受
１１６，１１８ 可撓性チューブ
１２０ マグネットカップリング
１３０ 主動マグネット部
１４０ 従動マグネット部
１６０ レーザ干渉計
１８０Ａ，１８０Ｂ 配管経路
１８２Ａ，１８２Ｂ 圧力センサ
１８４Ａ，１８４Ｂ 流量調整弁
１８６Ａ，１８６Ｂ 流量計
１８８Ａ，１８８Ｂ 三方弁
１９０ コンプレッサ
１９２ 空気タンク
１９４ 圧力制御弁

Claims (9)

1. 内部に気体が供給されるシリンダチューブと、
   該シリンダチューブ内に気体を供給する気体供給部と、
   前記シリンダチューブ内に供給された気体の圧力に応じて前記シリンダチューブ内の任意の位置へ移動するピストンと、
   前記シリンダチューブ外に自身全体が配置され、前記シリンダチューブの外周に沿って移動可能に設けられた被移動体と、
   前記ピストンの移動を前記被移動体に非接触で伝達するマグネットカップリングと、
   前記気体供給部から供給される気体の供給量を制御して前記被移動体を目標位置に移動させる制御部と、
   を備えたことを特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 前記ピストンと前記シリンダチューブとの間に気体を吐出する静圧軸受を有し、気体圧により前記ピストンが前記シリンダチューブ内を非接触で移動するように設けられたことを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
3. 前記シリンダチューブの外周を前記被移動体の移動のためのガイドとしたことを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
4. 前記マグネットカップリングは、
   前記ピストンと一体的に設けられた主動マグネット部と、
   前記被移動体に設けられ、前記主動マグネット部との磁力を介して前記ピストンの駆動力を伝達されて前記主動マグネットを追従する従動マグネット部と、
   を有することを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
5. 前記シリンダチューブの外周に対向する前記マグネットカップリングの従動マグネット部の内側に、前記シリンダチューブの外周との間に気体を吐出する静圧軸受を設けたことを特徴とする請求項４に記載のリニアアクチュエータ。
6. 前記シリンダチューブと平行に延在するリニアガイドを有し、前記リニアガイドにより前記被移動体の移動方向をガイドすると共に、前記被移動体の水平状態を維持するように前記被移動体のローリングを規制することを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
7. 前記気体供給部は、
   前記ピストンにより画成された一対のシリンダ室の何れか一方に連通された第１の経路と、
   前記ピストンにより画成された一対のシリンダ室の何れか他方に連通された第２の経路と、
   前記制御部からの制御信号により前記第１の経路に供給される気体流量を調整する第１の流量調整弁と、
   前記制御部からの制御信号により前記第２の経路に供給される気体流量を調整する第２の流量調整弁と、
   前記被移動体の移動方向に応じて前記気体供給源からの圧力気体を前記第１の流量調整弁または前記第２の流量調整弁の何れか一方に供給するように切り替わる切替弁と、
   を有することを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
8. 前記ピストンは、前記気体供給部と可撓性チューブを介して接続されており、前記可撓性チューブを介して前記静圧軸受に気体を供給されることを特徴とする請求項２に記載のリニアアクチュエータ。
9. 前記移動体の位置を計測する計測手段を有し、前記制御部は、前記計測手段の計測位置と前記目標位置との差に基づいて前記シリンダ室への気体供給量を演算して前記第１、第２の流量調整弁の弁開度を制御することを特徴とする請求項７に記載のリニアアクチュエータ。

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