JP2008036735A - 研磨パッド、研磨装置、研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、ウェハSに対して化学的および機械的な研磨を行う際、ウェハSの表面と接触するパッド本体10aを備えた研磨パッド10において、パッド本体10aのウェハSと接触する面内における熱伝導率を不均一にしたものである。このため、特に本発明は、パッド本体10aのウェハSと接触する面内における外周部分11の熱伝導率を内周部分12の熱伝導率より低く設定するものである。
【選択図】図1
Description
研磨パッド10の外周部分11の熱伝導率が内周部分12に比べて相対的に低くなるよう、内周部分12に熱伝導率の高いAg(銀)、Al(アルミニウム)、Au(金)、Cu(銅)などの金属、またはこれらの合金を単独種、または複数種、粒子状にして充填する。
研磨パッド10の外周部分11の熱伝導率が内周部分12に比べて相対的に低くなるよう、外周部分11に熱伝導率の低い空気、Ar(アルゴン)、CO2(二酸化炭素)などの気体を単独種、または複数種、空孔(ポア)状にして充填する。熱伝導率の低い物質としては上記気体の他、H2O、エタノールなどの液体でもよい。
研磨パッド10の外周部分11の熱伝導率が内周部分12に比べて相対的に低くなるよう、内周部分12に熱伝導率の高い物質を充填し、外周部分11に熱伝導率の低い物質を充填する。
Claims (10)
- 基板に対して化学的および機械的な研磨を行う際、前記基板の表面と接触するパッド本体を備えた研磨パッドにおいて、
前記パッド本体の前記基板と接触する面内における熱伝導率が不均一となっている
ことを特徴とする研磨パッド。 - 基板に対して化学的および機械的な研磨を行う際、前記基板の表面と接触するパッド本体を備えた研磨パッドにおいて、
前記パッド本体の前記基板と接触する面内における外周部分の熱伝導率が内周部分の熱伝導率より低く設定されている
ことを特徴とする研磨パッド。 - 前記パッド本体における前記内周部分には、金属材料、カーボン系材料、シリコン系材料、高分子材料のうち選択された1つ以上の物質が充填されている
ことを特徴とする請求項2記載の研磨パッド。 - 前記パッド本体における前記外周部分には、気体または液体から成る物質が充填されている
ことを特徴とする請求項2記載の研磨パッド。 - 前記パッド本体の前記外周部分は、回転する前記パッド本体と回転する前記基板の外周部分とが略平行に接する領域である
ことを特徴とする請求項2記載の研磨パッド。 - 前記パッド本体の前記外周部分は、回転する前記パッド本体と回転する前記基板の外周部分における成膜時の段差が発生している箇所とが略平行に接する領域である
ことを特徴とする請求項2記載の研磨パッド。 - 基板に対して化学的および機械的な研磨を行う際、前記基板の表面と接触するパッド本体を備えた研磨パッドと、
前記研磨パッドを回転させる第1の駆動機構と、
前記第1の駆動機構によって回転している前記研磨パッドに対して前記基板が接触している状態で、前記基板を少なくとも回転させる第2の駆動機構と、
前記研磨パッドと前記基板との間に研磨液を供給する供給ノズルとを備える研磨装置において、
前記研磨パッドにおける前記パッド本体の前記基板と接触する面内における熱伝導率が不均一となっている
ことを特徴とする研磨装置。 - 基板に対して化学的および機械的な研磨を行う際、前記基板の表面と接触するパッド本体を備えた研磨パッドと、
前記研磨パッドを回転させる第1の駆動機構と、
前記回転機構によって回転している前記研磨パッドに対して前記基板が接触している状態で、前記基板を少なくとも回転させる第2の駆動機構と、
前記研磨パッドと前記基板との間に研磨液を供給する供給ノズルとを備える研磨装置において、
前記パッド本体の前記基板と接触する面内における外周部分の熱伝導率が内周部分の熱伝導率より低く設定されている
ことを特徴とする研磨装置。 - 研磨パッドのパッド本体を基板と接触させて、化学的および機械的な研磨を行うにあたり、前記パッド本体の前記基板と接触する面内における熱伝導率を不均一にして研磨を行う
ことを特徴とする研磨方法。 - 研磨パッドのパッド本体を基板と接触させて、化学的および機械的な研磨を行うにあたり、前記パッド本体の前記基板と接触する面内における外周部分の熱伝導率を内周部分の熱伝導率より低く設定した状態で研磨を行う
ことを特徴とする研磨方法。
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JP2006211613A JP2008036735A (ja) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | 研磨パッド、研磨装置、研磨方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102756323A (zh) * | 2011-04-27 | 2012-10-31 | 中国科学院微电子研究所 | 化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 |
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-
2006
- 2006-08-03 JP JP2006211613A patent/JP2008036735A/ja active Pending
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