JP2008032525A - 基板外観検査用の検査基準データの設定方法およびこの方法を用いた基板外観検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査基準データの設定作業にかかるユーザーの負担を大幅に削減する。
【解決手段】検査基準データの設定対象の部品毎に、良品モデルの画像から切り出した画像の表示領域６１や、操作受付領域６３を含む設定画面を表示し、選択操作を受け付ける。操作受付領域６３で有効化された入力ボックス６４の中には、設定対象の部品やその周囲の外観に関する情報を入力するためのボックスが含まれている。この外観情報の入力ボックス６４に対応する呼出ボタン６５をクリックすると、検査基準データベースに登録されている外観情報に基づく選択肢によるプルダウンメニューが示される。ユーザーが選択肢の選択を完了すると、その選択された外観情報に適合する検査基準データが検査基準データベースから読み出される。
【選択図】図９

Description

この発明は、部品が搭載された基板（はんだ付け工程後の基板およびはんだ付け工程前の双方を含む。）を対象に、その基板の撮像により生成された画像を用いて当該基板の良否を検査する基板外観検査装置に関する。特にこの発明は、検査に使用される検査基準データを基板外観検査装置に設定するための技術に関する。

基板の外観検査を自動で実行するタイプの検査装置は、一般に、カメラやラインセンサなどの撮像手段と、コンピュータが組み込まれたコントローラとを具備する。コントローラは、撮像手段により生成された検査対象の基板の画像を取り込んで、部品やフィレットなどの被検査部位の位置や大きさを計測し、得られた計測値を所定の判定基準値と比較することにより、被検査部位の良否を判定する。

この種の基板外観検査装置として、出願人は、「カラーハイライト方式」と呼ばれる光学系が導入された自動外観検査装置を開発している。カラーハイライト方式とは、赤、緑、青の３種類の色彩光をそれぞれ異なる仰角方向から基板に照射して、被検査部位（一般にはんだ付け部位）からの正反射光を撮像し、赤、緑、青の各色の分布によって被検査部位の傾斜状態を表した画像を生成するものである（特許文献１参照。）。この検査装置では、２値化処理によって各色領域を検出し、その位置や大きさなどを計測して判定基準値と比較することにより、フィレットが正常に形成されているかを判定する。

特公平６−１１７３号 公報

基板外観検査装置による自動検査を行うには、検査に先立ち、種々の検査基準データを設定して、検査装置のメモリに登録する必要がある。
この明細書でいうところの「検査基準データ」は、部品のどの部分を、どのような方法を用いて、どのような手順で検査するかを示すものである。いわば、検査に関する一連の処理（画像の生成、被検査部位の検出、計測、判定など）を行う上で守るべき各種の基準を表すデータである、と考えてもよい。
たとえば、検査対象領域（検査用ウィンドウ）の設定に要するデータ（領域の位置および大きさ）、被検査部位の検出のために実行される処理の種類（２値化処理、エッジ抽出処理、投影処理など）、検査対象領域に対する計測処理の方法、計測結果の良否を判定するための判定基準値などが含まれる。また、被検査部位の検出を２値化により行う場合には、その処理に用いられる２値化しきい値も検査基準データに含まれる。

従来の検査基準データの設定処理（いわゆる「ティーチング」）では、一般に、各被検査部位の状態が良好なモデルの基板（以下、「良品モデル」という。）を撮像して表示し、その表示された画像を係員が確認しながら、部品毎に必要な検査基準データを設定するようにしている。

また検査基準データの設定にかかる労力を軽減するために、あらかじめ部品の種毎に標準的な検査基準データ（ライブラリデータ）を登録しておき、該当するライブラリデータを読み出して設定する場合もある。
ライブラリデータの作成に関する先行技術文献としては、たとえば下記の特許文献２がある。この文献には、部品の形状情報に基づいて検査パラメータ（フィレット長などの特徴量の判定基準値）を自動作成し、この検査パラメータを形状情報に対応づけたものをライブラリデータとして登録することが記載されている。
特開平１１−３１１５０８号公報

検査装置を購入したユーザーの多くは、検査基準データを設定するのに必要な経験や知識を持ち合わせていないため、検査基準データの設定作業が大きな負担となっている。特に装置を購入した直後のユーザーは、設定のノウハウを全く取得できておらず、実際に検査を開始できるようになるまでに、多大な時間がかかる可能性が高い。

このような場合に、各部品に簡単に適用できるようなライブラリデータが用意されていいれば、初心者であっても簡単に検査基準データを設定できる。しかし、従来のライブラリデータは、一般に、部品種毎に標準的なデータが１つ設定されているだけで、実際の部品の状態にあてはまらないことが多い。

特に、カラーハイライト方式のような色彩情報を使用する検査装置では、実装される環境によって色彩の状態が変動するため、一律のライブラリデータを適用できない可能性が高い。たとえば、部品の検査において、部品の色彩と基板の色彩との差異が小さいと、部品の検出用の２値化しきい値や検出対象を変更する必要が生じることがある。また、はんだ付け後のフィレット検査においても、基板の色彩が青色であるためにフィレット部分の青色領域と基板との切り分けが難しくなる場合があったり、ランドの大きさがばらついたり、周囲部品からの反射光や影が発生する場合があるなどの理由で、検出対象の色領域の大きさや検出範囲の変更が必要になることがある。

また、仮に、経験者のノウハウに基づいて、各部品についてそれぞれ複数種のライブラリデータを用意したとしても、ユーザーがどのライブラリデータを選択すれば良いかを判断できなければ、適切な設定を行うのは困難である。

この発明は上記の問題点に着目してなされたもので、実際の基板に搭載される個々の部品の状態に応じた検査基準データを簡単に設定できるようにすることによって、設定作業にかかるユーザーの負担を大幅に削減し、検査装置の利便性を向上することを、目的とする。

上記の目的を解決するための検査基準データの設定方法では、検査対象の基板の良品モデルを撮像し、外部から入力された情報を用いて検査対象の部品の位置を特定するステップ；特定された位置に基づき検査対象領域を設定するステップ；部品の種毎に当該部品またはその近傍の外観情報とその外観情報が表す外観に適合する検査基準データとの組み合わせが複数組登録されたデータベースから、設定対象の部品に設定可能な検査基準データに対応する外観情報を読み出すステップ；良品モデルの撮像により生成された設定対象の部品の画像を表示するとともに、データベースから読み出された外観情報を表す複数の選択肢を表示して選択操作を受け付けるステップ；選択された選択肢に対応する検査基準データをデータベースから読み出すステップ；データベースから読み出された検査基準データと検査対象領域の設定に要する情報とを統合した検査基準データを作成するステップ；の各ステップを、設定対象の部品毎に実行し、各部品の統合された検査基準データを検査装置のメモリに登録する。

上記方法に使用されるデータベースには、各種部品について、それぞれ部品や周囲の外観が異なる複数のケース毎に、熟練者の知識や経験に基づく検査基準データを登録するのが望ましい。ただし、基板の色彩を検出するための２値化しきい値など、各部品で共用できる検査基準データについては、外観情報と検査基準データとを対応づけただけのデータテーブルを登録してもよい。

上記の方法によれば、設定対象の部品毎に、ユーザーの選択に応じてデータベースから読み出された検査基準データに検査領域の設定に要する情報を加えた検査基準データが作成され、検査装置のメモリに登録される。ここで、ユーザーは、表示された良品モデルの画像から登録対象の部品の外観を確認し、その外観に最も近い選択肢を選択することができるので、登録対象の部品に適した検査基準データを容易に選択することができる。したがって、設定処理に関する経験や知識が乏しいユーザーでも、適切な検査基準データを簡単に設定することが可能になる。

上記方法の一態様では、検査において、カラー画像を２値化する処理により部品を検出して、その実装の適否を判定する。またデータベースには、外観情報として、部品の色彩および基板の色彩の組み合わせを表す情報を登録するとともに、各組み合わせに対応する検査基準データとして、検出対象を特定する情報が登録される。このようにすれば、検査対象の部品を色彩に基づいて検出する場合に、部品と基板との色彩の組み合わせによって、検出対象の色彩が変化する場合でも、画像に現れている部品や基板の色彩から正しい選択肢を選択し、適切な検査基準データを設定することが可能になる。

また、他の態様にかかる検査基準データの設定方法では、検査において、部品のはんだ付け部位の色彩の分布状態に基づきはんだ付けの適否を判定し、データベースには、外観情報として、色彩の分布が現れている領域の形状と分布のパターンとの組み合わせを表す情報を登録する。このようにすれば、基板側電極（ランド）の大きさ、周囲部品からの反射光、周囲部品による影の発生などによって、はんだ付け部位を表す色彩分布が現れている領域の形状や色彩の分布パターンが変動しても、画像に現れているはんだ付け部位の状態に対応する選択肢を選択することにより、適切な検査基準データを設定することが可能になる。

さらに、他の態様にかかる検査基準データの設定方法では、部品の位置を特定するための情報として基板の設計データを入力するとともに、この設計データに基づいて検査対象領域を設定する。このようにすれば、部品の位置を特定する処理や検査対象領域を設定する処理を自動化することが可能になるので、利便性をより一層高めることが可能になる。

上記の検査基準データの設定方法を実行する基板外観検査装置は、検査対象の基板に搭載されている部品の位置を示す情報を入力する入力手段と、検査対象の基板の各部品の検査基準データを設定する検査基準データ設定手段と、検査基準データ設定手段により設定された検査基準データを保存するためのメモリとを備える。
検査基準データ設定手段は、部品の種毎に当該部品またはその近傍の外観情報とその外観情報が表す外観に適合する検査基準データとの組み合わせが複数組登録されたデータベース；検査対象の基板の良品モデルの撮像により生成された各部品の画像；および入力手段が入力した情報を用いて、設定対象の部品の位置を特定するステップ；特定された位置に基づき検査対象領域を設定するステップ；データベースから設定対象の部品に設定可能な検査基準データに対応する外観情報を読み出すステップ；良品モデルの撮像により生成された設定対象の部品の画像を表示するとともに、データベースから読み出された外観情報を表す複数の選択肢を表示して選択操作を受け付けるステップ；選択された選択肢に対応する検査基準データをデータベースから読み出すステップ；データベースから読み出された検査基準データと検査対象領域の設定に要する情報とを統合した検査基準データを作成するステップ；の各ステップを、設定対象の部品毎に実行し、各部品の統合された検査基準データをメモリに登録する。

上記の外観検査装置において、検査基準データ設定手段により使用されるデータベースは、基板外観検査装置のメモリ内に保存されるのが望ましいが、これに限らず、ＣＤ−ＲＯＭなどのリムーバブル記憶媒体を用いて、または外部機器との通信により、基板外観検査装置に提供されるようにしてもよい。

上記の検査基準データの設定方法およびこの方法が適用された基板外観検査装置によれば、実際の良品モデルの画像から確認できる外観に対応する選択肢を選択することによって、その外観に適合する検査基準データを設定できるようにしたので、設定処理に関する知識や経験が乏しいユーザーでも、適切な検査基準データを簡単に設定することができる。よって、基板外観検査装置の利便性を向上できるとともに、検査の質や精度を確保することが可能になる。

図１は、この発明が適用された基板外観検査装置の構成を示す。
この基板外観検査装置（以下、単に「検査装置」という。）は、部品実装工程またはリフロー工程を経た基板を処理対象として、部品毎に検査を行うもので、コントローラ１、カメラ２、照明装置３、基板ステージ４、入力部５、モニタ６などにより構成される。

基板ステージ４には、基板８を支持するためのテーブル部４１や、Ｘ軸ステージおよびＹ軸ステージ（いずれも図示せず。）を含む移動機構４２などが含まれる。

カメラ２および照明部３は、特許文献１に開示されたのと同様に、カラーハイライト方式の光学系を構成する。カメラ２は、カラー静止画像を生成するもので、基板ステージ４１の上方に撮像面を下方に向け、かつ光軸を鉛直方向に合わせた状態で配備される。照明部３は、基板ステージ４とカメラ２との間に配置された３個の円環状光源３Ｒ，３Ｇ，３Ｂにより構成される。これらの光源３Ｒ，３Ｇ，３Ｂは、それぞれ、赤色、緑色、青色の色彩光を発するもので、各中心部をカメラ４の光軸に位置合わせした状態で配備されている。また、各光源３Ｒ，３Ｇ，３Ｂは、基板４に対しそれぞれ異なる方向から光を照射できるように、互いに異なる大きさの径を有するように設定される。

コントローラ１には、コンピュータによる制御部１０のほか、画像入力部１１、撮像制御部１２、照明制御部１３、ＸＹステージ制御部１４、メモリ１５、ＣＤ−ＲＯＭドライブ１６、通信用インターフェース１７などが設けられる。
画像入力部１１には、カメラ２に対するインターフェース回路などが含まれる。撮像制御部１２は、カメラ２に対し、撮像を指示するタイミング信号を出力するためのものである。

照明制御部１３は、前記照明部３の各光源３Ｒ，３Ｇ，３Ｂの点灯・消灯動作の制御や光量の調整などを行う。ＸＹステージ制御部１４は、基板ステージ４の移動タイミングや移動量を制御する。

メモリ１５には、検査用のプログラムのほか、後記する検査基準データベース１０５や、このデータベース１０５を用いて生成された検査データファイル１０９などが格納される。検査データファイル１０９には、部品毎に、その部品に対する各種検査に必要な検査基準データが登録される。さらに、基板８を複数の領域に分けて撮像する場合には、検査データファイル１０９には、各撮像対象位置にカメラ２の視野を合わせるのに必要なデータ（基板ステージの移動量など）も登録される。

制御部１０は、ＸＹステージ制御部１４を介して基板ステージ４２の移動を制御することにより、カメラ２と基板８とを位置合わせし、撮像する。この撮像により生成されたカラー画像は画像入力部１１を介して制御部１０に入力され、その内部のメモリ（ＲＡＭなど）に格納される。制御部１０は、このＲＡＭに格納されたカラー画像の各被検査部位に対し、それぞれ検査データファイル１０９を用いて検査領域を設定した後、その領域において、被検査部位の検出、計測、判定の各処理を順に実行する。

さらに、制御部１０は、各被検査部位に対する計測結果や判定結果、ならびに検査に使用された画像を、通信用インターフェース１７を用いて情報処理装置２に送信する。

上記の検査装置のコントローラ１には、検査基準データを簡単かつ的確に設定するために、図２に示すような検査基準設定システム１００が組み込まれている。
この検査基準設定システム１００には、上記した検査基準データベース１０５や検査データファイル１０９のほか、画像記憶部１０１、画像切り出し部１０２、外観情報入力部１０３、検査基準データ検索部１０４、ＣＡＤデータ記憶部１０６、ウィンドウ設定部１０７、検査基準統合部１０８、部品用データベース１１０などが含まれる。

上記の検査基準設定システム１００のうち、画像記憶部１０１、ＣＡＤデータ記憶部１０６、検査基準データベース１０５、検査データファイル１０９、および部品用データベース１１０は、それぞれコントローラ１のメモリ１５内に設定される。その他の部分は、メモリ１５にインストールされたプログラムによって制御部１０に設定される機能である。

この実施例の検査基準設定システム１００は、検査対象の基板の良品モデルの画像データとＣＡＤデータとを読み込み、これらとユーザーの設定操作とに基づき、各種検査基準データを設定するものである。画像データは、検査のときと同様に、照明部３による照明下でカメラ２により生成される。

ＣＡＤデータは、基板に搭載される各部品の位置および部品種を特定するための情報として機能するもので、具体的には、基板上のランドの位置および大きさを表すデータ（以下、「ランド情報」という。）や実装される部品の一般名称（角チップ、ＩＣ、コンデンサなど）を特定可能な情報（以下、「部品種情報」という。）が含まれる。このＣＡＤデータは、ＣＤ―ＲＯＭドライブ１６にセットされたＣＤ―ＲＯＭから読み出されるか、または、図示しない外部装置から送信され、通信用インターフェース１７によって取り込まれる。

部品の位置および部品種を特定するための情報は、ＣＡＤデータに限らず、たとえばユーザーに入力させてもよい。しかし、ＣＡＤデータを使用すれば、各情報を精度良くかつ効率良く特定することができる。
検査基準データの設定処理では、上記のランド情報および部品種情報のほかに、補助的な情報として、部品の品番情報が使用される場合もある。品番情報もＣＡＤデータから読み出すことが可能であるが、ＣＡＤデータによっては、品番情報が含まれていない場合もある。このような場合には、品番情報については、ユーザーの入力を受け付けるようにすればよい。

画像切り出し部１０２は、ＣＡＤデータ記憶部１０６に格納されたＣＡＤデータに基づき、基板に搭載されている各部品の位置を特定し、その特定した位置に基づき、画像記憶部１０１に格納された画像から各部品の画像を１つずつ切り出す。外観情報入力部１０３は、切り出された画像を含む設定用の画面を作成して、これをモニタ６に表示し、ユーザーによる外観情報の入力を受け付ける。

検査基準データ検索部１０４は、入力された外観情報を用いて検査基準データベース１０５を検索し、外観情報に適合する検査基準データを読み出す。
検査基準データベース１０５は、経験豊富な開発担当者の知識に基づくものである。この実施例では、複数の部品種につき、その部品や周囲の外観が異なる複数の事例毎に、その外観を示す情報（外観情報）に検査基準データを対応づけたものを、検査基準データベース１０５に登録している。

検査基準データベース１０５にも、原則としてＣＡＤデータ側の部品種情報に対応する情報が登録されるが、検査の便宜上、さらに細分化された部品種情報が登録される場合もある。たとえば、部品種の名称にＡ，Ｂ・・・のような識別符号を付けたものが登録される。さらに、部品種情報毎に、その部品種に属する部品の品番情報が対応づけて登録される場合もある。

外観情報は、画像から視認可能な情報であるが、部品に固有の情報と、部品の配置や周囲との関係によって変動する情報とがある。前者には、たとえば、部品の色彩（部品色）、サイズ、電極の種類や有無などがある。後者には、たとえば、影や二次反射の有無、基板の色彩などがある。またカラーハイライト方式の光学系による画像では、フィレットの長さや傾きの状態を反映した色彩パターンが得られるが、この色彩パターンも、基板側電極（ランド）によって変化する外観情報であると考えられる。

検査基準データベース１０５内の検査基準データには、種々の種類のものが含まれるが、いずれのデータも、そのデータが適用される条件を表す外観情報に対応づけられている。
検査基準データ検索部１０４は、外観情報入力部１０３が受け付けた外観情報を、各種検査基準データに対応する条件に応じて組み合わせ、その組み合わせに対応する検査基準データを読み出す。ここで読み出された検査基準データは、検査基準データ統合部１０８に渡される。

ウィンドウ設定部１０７は、ＣＡＤデータ記憶部１０６に保存されたＣＡＤデータから各部品のランド情報を読み出し、この情報に基づきランドに対する検査ウィンドウ（ランドウィンドウ）を設定する。また部品に対する検査ウィンドウ（部品ウィンドウ）や、処理対象の範囲を示すウィンドウを設定する。さらに、必要に応じて、種々の検査用ウィンドウを設定する。

部品用データベース１１０には、各種部品について、外観情報入力部１０３、検査基準データ検索部１０４、ウィンドウ設定部１０７などの処理に必要な情報（各種プログラムの実行にかかる条件データを含む。）が格納されている。外観情報入力部１０３は、この部品用データベース１１０から設定用画面の構築に必要な情報を読み出す。検査基準データ検索部１０４やウィンドウ設定部１０７も、後記するように、部品用データベース１１０から処理対象の部品に対応する情報を読み出して、検索処理やウィンドウの設定処理を実行する。

検査基準統合部１０８は、基板上の部品毎に、検査基準データ検索部１０４から渡された検査基準データとウィンドウ設定部１０７により設定された各種ウィンドウの設定データ（ウィンドウの位置や大きさを表すもの）とを統合し、完成体の検査基準データを作成する。この完成体の検査基準データが検査データファイル１０９に保存される。

この実施例では、一般ユーザーであっても、容易に外観情報を入力できるように、外観情報の入力画面に、設定対象の部品の良品画像を表示するとともに、検査基準データベース１０５に登録されている外観情報を選択肢として表示し、選択操作を受け付けるようにしている。よってユーザーは、良品画像を確認しながら、その画像の外観に適合する選択肢を選択することにより、外観情報を入力することができる。

図３は、リフロー後の検査にかかる検査基準データを設定するための画面の一例を示す。この画面には、画像表示領域６１、ウィンドウ構成表示領域６２、および外観情報の入力用の操作受付領域６３などが設けられる。画像表示領域６１には、画像切り出し部１０２により切り出された部品の良品画像が表示される。ウィンドウ構成表示領域６２には、検査に使用される検査用ウィンドウの構成が表示される。

操作受付領域６３には、複数種の項目名（基板色、部品種、部品色・・・）が表示されるとともに、これらの項目毎に入力ボックス６４が設定される。これらの入力ボックス６４のうち、有効化されているものには、右端にプルダウンメニューの呼出ボタン６５が表示される。図３の例では、「部品種」に対応する入力ボックス６４にのみデータが入力されているが、このデータは、ＣＡＤデータ中の部品種情報に基づいて，自動入力されたものである。ここに入力されたデータによって、他の入力ボックス６４の有／無効やプルダウンメニューに表示される情報が特定される。また、画像表示領域６１の上には、設定対象の部品の品番情報の表示枠７２が設けられているが、この枠内の品番情報もＣＡＤデータから読み出されたものである。

操作受付領域６３内の各項目には、教示対象の部品またはその周囲の外観に関するものと、検査の指定に関するものがある。有効化された入力ボックス６４では、呼出ボタン６５がクリック操作されると、図４〜７に示すように、複数の選択肢によるプルダウンメニュー６６が表示される。ユーザーは、マウスなどを用いて、これらの選択肢を自由に選択することができる。

操作受付領域６３の下方には確定ボタン６８やキャンセルボタン６９が設けられ、画像表示領域６１の下方には切替ボタン７０，７１が設けられている。確定ボタン６８が操作されると、操作受付領域６３に格納された各情報が確定されるとともに、検査用のウィンドウの設定処理が実行される。キャンセルボタン６９が操作されると、操作受付領域６３に格納された情報がクリアされる。
切替ボタン７０または７１が操作されると、処理対象の部品が切り替えられる。

以下、図４〜７を参照しつつ、各項目が表す情報の内容や選択肢について説明する。
図４に示す項目「基板色」は、部品が搭載されている基板の色彩を意味する。基板の色彩は、一般に青色か緑色であるので、呼出ボタン６５がクリックされると、『青』『緑』の２つの選択肢によるプルダウンメニュー６６が表示される。ここで、ユーザーがいずれかの選択肢（図示例では『緑』）にカーソル６７を合わせてクリック操作を行うと、下段に示すように、操作対象の選択肢が選択された状態となる。
以下の図５〜７でも同様に、プルダウンメニュー６６に対する選択操作に応じて、いずれかの選択肢が選択状態となる。

図５に示す項目「はんだ形状」は、リフロー工程で形成されたフィレットの形状を表すものである。この例のプルダウンメニュー６６では、『ランド突出し少』『二次反射』『普通Ａ』『普通Ｂ』の４種類の選択肢が見本画像とともに表示されている。
見本画像は、該当する選択肢のフィレットが画像上でどのように見えるかを示すものである。特に、見本画像のフィレットの部分は、実際の画像の色彩に合わせて、青色（図面では、斜線のパターンとして示す。）や赤色（図面では、網点パターンとして示す。）に着色されているので、画像表示領域６１に表示された実際のフィレットの画像との対比が容易になる。なお、部品種情報が変われば、見本画像の表示もそれに対応したものに変更される。

以下、図５の各選択肢や見本画像について説明する。
『ランド突出し少』とは、ランドの幅がきわめて小さいため、ランド上のフィレットが短く、急峻になっていることを意味する。このような状態をカラーハイライト方式の光学系で撮像すると、画像中のフィレットの殆どが青色領域となる。これを反映して、見本画像中のフィレットは、他の画像より面積の小さな青色領域として表されている。

『二次反射』とは、隣の部品のフィレットからの反射光が照射され、その光に対する反射が発生している状態を意味する。この場合の見本画像におけるフィレットは、青色領域の内部に二次反射の発生部位を示す赤色領域が設けられている。

『普通Ａ』は、フィレットの傾斜が比較的緩やかな状態を意味するもので、見本画像のフィレット部は、青色領域と赤色領域とに二分されている（実際には、両者の間に緑色領域が存在するが、面積が小さいため表示が省略されている。）。
『普通Ｂ』は、『普通Ａ』よりフィレットが急峻な状態を意味するもので、見本画像のフィレット部分はすべて青色に着色されている。

つぎに、図６に示す項目「影」は、フィレット部分に影が発生しているか否かを示すものである。この項目に対するプルダウンメニュー６６には、『無』『有』の２つの選択肢が表示される。

図７に示す項目「実装検査」は、部品の実装状態に関する検査の指定に関するものである。この項目に対するプルダウンメニュー６６には、『ＯＮ』『ＯＦＦ』の２つの選択肢が表示される。ここで『ＯＮ』が選択された場合には、表示中の部品について、実装検査用の検査基準データが設定されるが、『ＯＦＦ』が選択された場合には、実装検査用の検査基準データは設定されない。

さらに、図示していないが、「極性検査」や「ブリッジ検査」についても、「実装検査」と同様に『ＯＮ』および『ＯＦＦ』の選択肢が設けられる。一方、フィレット検査は必須の検査であるため、この検査の有無を指定するための項目は設けられていない。
また、「部品色」については、後記する色パラメータ用の検査基準テーブル（図１２に示す。）に部品色として格納されている色彩が選択肢として表示される。ただし、部品色が特定の１色に限定されている場合には、図３の例のように「基板色」の入力ボックス６４は有効化されず、選択肢も表示されない。

また、「部品種」については、前記したようにＣＡＤデータ中の部品種情報があらかじめ自動入力されるが、この情報に誤りがある場合などには、ユーザーの操作によって部品種情報を変更することができる。この変更作業のために、「部品種」の入力ボックス６４では、検査基準データベース１０５に登録されているすべての部品種を選択肢とするプルダウンメニューを呼び出せるようにしている。

上記の各項目のうち、「基板色」「はんだ形状」「影」の各プルダウンメニュー６６中に示される選択肢は、いずれも検査基準データベース１０５に登録された外観情報である。これらの項目については、ユーザーは、画像表示領域６１に表示されている良品画像を参照しながら、この画像に適した外観情報を選択することができる。特に「はんだ形状」については、選択の判断基準となる見本画像が示されるので、知識や経験が乏しいユーザーでも、適切な選択肢を選ぶことができる。

一方、「実装検査」「極性検査」「ブリッジ検査」のプルダウンメニュー６６中に示される選択肢は、検査の実行／非実行を指定するためのものである。
これらの項目についても、ユーザーは、画像表示領域６１の表示を見て判断することができる。たとえば、「実装検査」や「極性検査」について、部品の色彩と基板の色彩とが類似しており、両者の切り分けが難しいと判断した場合には、『ＯＦＦ』を選択する。また、「ブリッジ検査」についても、隣の部品との間の距離によってブリッジが発生する可能性を予想し、発生の可能性が高いと判断した場合に『ＯＮ』を選択することができる。

図８は、上記の６種類の項目について、ユーザーの選択操作が完了した時点の操作受付領域６３の表示を示す。この状態下で、ユーザーが確定ボタン６８をクリックすると、有効な入力ボックス６４内に格納された情報が確定し、これらの情報の表す選択内容に適合する検査基準データが検査基準データベース１０５から読み出される。また、実行する検査に応じて検査用ウィンドウが自動設定される。

図９は、操作受付領域６３に対する入力が終了し、確定ボタン６８がクリックされた後の設定画面を示す。この時点の設定画面では、画像表示領域６１内に、各種検査用ウィンドウが表示される。図中、Ｗ１１，Ｗ１２は、はんだ検査のためのランドウィンドウであり、Ｗ２は部品実装検査のための部品ウィンドウである。

さらに、上記のウィンドウＷ１１，Ｗ１２，Ｗ２を包含する範囲に、処理対象範囲を特定するためのウィンドウＷ３（以下、「処理対象ウィンドウＷ３」という。）が設定されている。検査の際には、処理対象ウィンドウＷ３内からフィレットを示す色彩分布が現れている領域を特定し、この領域の位置に基づいてランドウィンドウＷ１１，Ｗ１２や部品ウィンドウＷ２の位置が調整される。

各ウィンドウＷ１１，Ｗ１２，Ｗ２，Ｗ３は、ウィンドウ設定部１０７によって自動設定されるが、設定用画面において、位置や大きさを修正する操作を受け付けることもできる。

図３や図９に示した操作受付領域６３には、入力ボックス６４が有効化されていない項目が６つあるが、これらはいずれも外観情報に関するものである。これらの入力ボックス６４も、設定対象の部品の部品種に応じて適宜有効化され、呼出ボタン６５の操作に応じて選択可能な外観情報を選択肢とするプルダウンメニューが呼び出される。

図１０および図１１は、図３〜９の例とは異なる部品種用の操作受付領域６３を示す。これらの図に示すように、領域６３に表示される項目は変わらないが、有効化される入力ボックス６４は、部品種によって変化する。また、「はんだ形状」に示される選択肢や見本画像も、部品種によって異なるものとなる。

上記の有効な入力ボックス６４を特定するためのデータや「はんだ形状」の見本画像は、部品種情報に対応づけられて、部品用データベース１１０に登録されている。また、部品用データベース１１０には、各種部品の形状に関する情報も登録されている。検査基準データベース１０５や部品用データベース１１０の登録情報は、適宜、ＣＤ−ＲＯＭからの読み出しや、インターネット上のデータベースサービスからのダウンロードによって更新することができる。

つぎに、検査基準データベース１０５の具体的な内容について説明する。
この実施例の検査基準データベース１０５には、各種検査について、被検査部位を検出するための色パラメータが登録される。さらに、実行される処理の内容を示すデータや計測データの良否を判定するための判定基準値なども登録されるが、登録される内容は検査の種類によって異なるものになる。

図１２は、ある部品種の部品検査用の色パラメータが登録されたデータテーブル（以下、「色パラメータテーブル」という。）の例を示す。
「色パラメータ」は、被検査部位の色彩を検出するための２値化しきい値であって、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色の階調および明度について、抽出対象の数値範囲が設定される。部品の検査では、これら４種類のデータの数値範囲をすべて満たす画素が、被検査部位の構成画素

図１２の例では、部品の色彩（部品色）が『茶』『緑』『青』の各場合について、それぞれの色彩を検出するのに適したＲ，Ｇ，Ｂおよび明度の範囲が設定されている。
この色パラメータテーブルの「部品色」は入力対象領域の「部品色」の項目にリンクする。『茶』『緑』『青』は、具体的な外観情報であり、「部品色」に対する選択肢として入力ボックス６４に表示される。

さらに、図１２では図示を省略しているが、部品検査用の色パラメータテーブルには、部品色の検出用の色パラメータのほか、電極部分の色彩を検出するための色パラメータも格納される。

検査基準データベース１０５には、上記の部品検出用の色パラメータテーブルのほか、はんだ検査において赤、緑、青の各色領域を検出するための色パラメータテーブルや、基板の色彩を検出するための色パラメータテーブルなどが設けられる。これらの色パラメータテーブルには、それぞれ基板色を条件にして、条件毎に値の異なる色パラメータが登録される。

さらに、検査基準データベース１０５には、検査の種毎に、色パラメータや検査ウィンドウの設定データ以外の検査基準データをまとめたデータテーブル（以下、「検査基準テーブル」という。）も格納される。

図１３は、ある部品種の部品に適用される部品実装検査用の検査基準テーブルの例を示す。
この実施例の部品実装検査では、部品検出用の色パラメータテーブルに格納された色パラメータを用いて２値化処理を行い、この２値化により検出された領域の面積を所定の判定基準値と比較することにより、部品の有無を判別する。このような内容の検査では、検出に用いられる色パラメータが適切であれば、部品が存在する場合の検出領域の大きさに大きな差異は生じないと思われるので、部品の有無判別のための判定基準値は１種類で足りる。ただし、基板と部品との色彩の差が小さい場合には、基板の部分が部品として誤検出され、検査に誤りが生じる可能性がある。

この点を考慮して、この例の検査基準テーブルでは、部品−基板間の色彩の関係に基づいて検出対象を設定するようにしている。具体的には、部品色と基板色との各組み合わせをそれぞれ個別の条件として、条件毎に、『本体検出』『電極検出』のそれぞれのＯＮ／ＯＦＦを設定している。『ＯＮ』は検出を行うことを意味し、『ＯＦＦ』は「検出を行わないことを意味する。

『本体検出』は、部品本体を検出対象とすることを意味する。この検出が『ＯＮ』に設定されている場合には、部品ウィンドウ内の画像を部品検出用の色パラメータにより２値化する。『電極検出』は、電極を検出対象とすることを意味する。この検出が『ＯＮ』に設定されている場合には、部品ウィンドウ内の画像を、電極検出用の色パラメータにより設定する。

部品本体、電極ともに周囲との色彩の色彩の切り分けが容易な場合には、１番目および２番目の登録データのように、『本体検出』『電極検出』とも『ＯＮ』に設定しても良い。一方、周囲との色彩の切り分けが難しい場合には、３番目の登録データのように、『本体検出』のみを『ＯＮ』に設定するとともに、ノイズの誤検出を防止できるような処理を実行する必要がある。

たとえば、部品本体の色彩に対し、周囲の基板やはんだの色彩をノイズとして誤検出する可能性がある場合には、はんだ検出用の色パラメータや基板色検出用の色パラメータに基づき、ランドウィンドウ内の画像のうち、はんだや基板色に該当する色彩が現れている部分を除外し、残りの領域を対象にした２値化処理を実行する。または、部品本体があるべき位置に局所的なウィンドウを設定して、そのウィンドウ内の画像のみを２値化する場合もある。
検査基準データベース１０５には、図１３に示した各検査基準データに対し、それぞれそのデータでＯＮ設定されている部位の検出に適したプログラムにリンクする情報（たとえばプログラムのファイル名やプログラムの格納場所を示すアドレス）が格納されている。よって、ユーザーの選択した基板色および部品色によって条件が確定されれば、検出対象部位とともにその検出のために実行される検査プログラムも確定することになる。

図１４は、ある部品種の部品に適用されるはんだ検査用の検査基準テーブルの例を示す。この例では、フィレットの検査に使用される判定基準値を、「はんだ形状」「影」「基板色」の３種類の外観情報の組み合わせに応じて決定するようにしている。具体的には、各品番毎に複数種の条件を設定するとともに、各条件にそれぞれフィレットの『幅』および『長さ』に対する判定基準値を対応づけている。

３種類の外観情報は、いずれも設定画面の操作受付領域６３に示されたものである。各条件として設定されている具体的な情報は、プルダウンメニュー６６に選択肢として表示されるものである。

はんだ検査では、ランドウィンドウ内の画像を２値化して赤、緑、青の各色領域を検出した後、これらの色彩の分布に基づき、フィレットの幅や長さを計測する。一般的に、部品側電極から基板面に向かう方向に沿う画素数をはんだの長さとし、これに直交する方向をはんだの幅として、少なくとも青色領域の画素数を計数する。したがって、フィレットの形状や影の有無によって、計数値も変動する可能性がある。

また、基板色は青または緑であるため、はんだの青色領域や緑色領域を検出するための色パラメータによって、ランドウィンドウ内に含まれる基板面が誤検出される可能性がある。よって、部品によっては、この誤検出によって計測値が大きめになる可能性があることを考慮する必要がある。

図１４の検査基準テーブルでは、上記のような原因で計測値が変動する可能性を考慮して、各種の条件によって、計測値の良否を判定するための判定基準値が異なるものになるようにしている。

はんだ検査には、フィレット検査のほかに、はんだのぬれ性（部品側電極およびランドに対するはんだの装着状態をいう。）の検査が含まれる。この検査は、各色領域の面積などを計測してその適否を判定するものである。図１４には図示していないが、このぬれ性の検査についても、フィレット検査の場合と同様に、３種類の外観情報の組み合わせが異なる複数種の条件毎に判定基準値が対応づけられ、検査基準テーブルに登録される。

図１５は、検査基準設定システム１００の機能を用いて実施されるティーチング処理（新規の基板の検査基準データを作成する処理をいう。）についての一連の流れを示す。

まず最初のＳＴ１（ＳＴは「ステップ」の略である。以下も同じ。）では、基板の良品モデルを基板ステージ４に導入し、撮像を行う。ここで生成された画像は図２の画像記憶部１０１に格納される。

つぎに、ＳＴ２では、ＣＤ−ＲＯＭドライブ１６または通信用インターフェース１７を用いてＣＡＤデータを読み込み、ＣＡＤデータ記憶部１０６に登録する。ＳＴ３では、このＣＡＤデータから、各部品のランドの位置および大きさ、部品の品番情報などを読み出し、作業用メモリに保存する。

ＳＴ４では、着目部品を特定するためのカウンタｎを初期値の「１」に設定する。以下、このカウンタｎが基板の部品全数を超えるまで、ＳＴ５〜１０のループを繰り返す。

ＳＴ５では、ｎ番目の部品について、部品種情報を読み出すとともに、ランド情報などを用いて、この部品の実装位置を特定する。なお、部品種情報の補足情報として品番情報を使用する場合であって、ＣＡＤデータに品番情報が含まれていない場合には、この段階でユーザーの入力を受け付ける。

ＳＴ６では、ＳＴ５で特定した部品位置に基づいて、良品モデルの全体画像から着目中の部品の画像を切り出す処理を実行する。

ＳＴ７では、切り出された画像やＣＡＤデータおよび検査基準データベース１０５などを用いて、着目中の部品に適合する検査基準データを設定する。つぎのＳＴ８では、設定された検査基準データを検査データファイル１０９に登録する。ＳＴ９では、ｎの値をインクリメントする。

良品モデルの基板に搭載されていたすべての部品について、検査基準データの登録が完了すると、ＳＴ１０が「ＹＥＳ」となって処理を終了する。

図１６は、ＳＴ７の検査基準データの設定処理の詳細な流れを示す。以下、この図を用いて、検査基準データの設定処理を詳細に説明する。

図１６において、最初のステップであるＳＴ１０１では、図３に示した設定用画面をモニタ６に表示する。つぎのＳＴ１０２では、設定用画面上の操作受付領域６３において、外観情報の選択操作を受け付ける。

有効化された全ての入力ボックス６４に対する選択が終了し、確定ボタン６８が操作されると、外観情報の入力完了となり、ＳＴ１０３以下の処理に進む。
ＳＴ１０３では、必須の検査であるはんだ検査について、はんだ検査用の色パラメータテーブルから、赤、緑、青の各色領域を検出するための色パラメータを読み出す。また、「はんだ形状」「影」「基板色」などの外観情報について、選択された情報を用いてはんだ検査用の検査基準データテーブルを検索し、選択内容に対応する検査基準データを読み出す。

ＳＴ１０４〜１０６では、図９に示した各種検査用ウィンドウ（以下、「標準設定のウィンドウ」と呼ぶ。）を設定するための処理を行う。まず、ＳＴ１０４では、ＣＡＤデータから取り込まれたランド情報を用いてランドウィンドウの設定を行う。具体的には、ランド毎に、そのランドを包含する大きさのウィンドウを設定する。よって、ランドウィンドウの数や大きさは、部品によって異なるものとなる。

つぎのＳＴ１０５では、ＳＴ１０４で設定されたランドウィンドウの配置関係を部品用データベース１１０に登録されている部品の形状データと照合するなどして、部品の含まれる範囲を特定する。そして、この特定した範囲に部品ウィンドウＷ２を設定する。

さらに、ＳＴ１０６では、部品ウィンドウＷ２を基準に処理対象ウィンドウＷ３の設定範囲を定める。図１７は、この設定処理の一例を示すもので、部品ウィンドウＷ２の縦幅の長さをＡとして、このウィンドウの上下の端縁よりそれぞれＡ／２だけ外側の位置を、処理対象ウィンドウＷ３の上下端縁に設定にしている。また、左右のランドウィンドウＷ１１，Ｗ１２に対しそれぞれＡ／４だけ外側の位置を、処理対象ウィンドウＷ３の左右の端縁に設定している。

このようにして、ウィンドウの設定処理が終了すると、ＳＴ１０７では、部品の実装検査を行うように選択されているかどうかをチェックする。ここで、操作受付領域６３の「実装検査」の入力ボックス６４に『ＯＮ』が格納されていると、ＳＴ１０７が「ＹＥＳ」となってＳＴ１０８に進む。ＳＴ１０８では、着目中の部品につき、操作受付領域６３に入力された部品色および基板色の組み合わせにより、その部品の部品種に対応する検査基準データテーブル（図１３に示したもの）を検索し、検出対象のＯＮ／ＯＦＦ情報を読み出す。さらにＳＴ１０９では、ＯＮ設定された検査対象部位（部品本体または電極の少なくとも一方）について、色パラメータテーブルから、操作受付領域６３に入力された「部品色」に対応する色パラメータを読み出す。
「実装検査」が『ＯＦＦ』の場合には、ＳＴ１０７が「ＮＯ」となり、ＳＴ１０８，１０９はスキップされる。

つぎに、ＳＴ１１０では、その他の周辺検査（極性検査やブリッジ検査を指す。）が『ＯＮ』に設定されているかどうかをチェックする。ここで、いずれかの検査用の入力ボックス６４に『ＯＮ』が格納されている場合には、ＳＴ１１１に進み、選択されている周辺検査用の判定基準データテーブルから判定基準データを読み出す。

さらに、ＳＴ１１２では、標準設定のウィンドウ（ランドウィンドウ、部品ウィンドウ、処理対象ウィンドウ）以外の検査用ウィンドウを設定する。たとえば、ブリッジ検査を行う場合には、部品本体ウィンドウやランドウィンドウの設定範囲より外側の領域に、細長形状のウィンドウを設定する。

また、部品実装検査について、ＯＮ設定された検査対象部位に対応する検査用のプログラムによる処理が、局所ウィンドウ内での検出処理を行うものである場合には、部品ウィンドウＷ２を２値化して検出対象部位の色彩が現れている領域を検出し、その領域内に局所ウィンドウを設定する。なお、この際の２値化処理には、ＳＴ１０９で読み出された色パラメータが使用される。

最後のＳＴ１１３では、これまでのステップで設定された検査用ウィンドウの位置および大きさを示す情報と、検査基準データベース１０５から読み出された各種検査基準データとを、検査の種毎に対応づける。この処理をもって、１つの部品に対する検査基準データの設定が完了する。

ところで、前出の部品用データベース１１０には、検査用ウィンドウの設定方法に関するプログラムの実行に必要な条件データやパラメータが、部品の種毎に格納されている。部品の形状や色彩、ノイズの有無によって、ウィンドウの設定条件が変動するからである。
たとえば、部品ウィンドウＷ２については、ランドウィンドウの数や配置によって、ＳＴ１０６の部品本体の検出処理を行う範囲を調整する必要がある。

また、部品本体に設定される局所ウィンドウ（以下、「本体検出用ウィンドウ」という。）についても、部品本体の大きさや、画像に現れるノイズなどを考慮した調整が必要となる。
たとえば、チップ部品の場合には、図１８（１）に示すように、部品ウィンドウＷ２の中央部に、このウィンドウＷ２の縦横をそれぞれ所定の比率をもって縮小したウィンドウＷ４を設定し、これを本体検出用ウィンドウとする。

また、「メルフ」と呼ばれる円筒型チップ部品の場合には、幅方向の中央部に鏡面反射によるノイズが生じやすいので、図１８（２）に示すように、部品ウィンドウＷ２内の上下の端縁近傍に、１つずつ本体検出用ウィンドウＷ４１，Ｗ４２を設定する。
また、電解コンデンサの場合には、部品の上面の広範囲に印刷等によるノイズがあるため、図１８（３）に示すように、部品ウィンドウＷ２内の四隅に、それぞれ１つずつ本体検出用ウィンドウＷ４Ａ，Ｗ４Ｂ，Ｗ４Ｃ，Ｗ４Ｄを設定する。

以上、説明したように、この実施例の検査装置では、熟練者の知識に基づき構築された検査基準データベース１０５を組み込むとともに、このデータベース１０５を検索するのに必要な外観情報を、基板の良品モデルの画像を参考にしながら簡単に入力できるようにしたので、ティーチングの知識や経験が乏しいユーザーであっても、簡単に的確な検査基準データを設定することが可能になる。よって、ティーチング作業に要する時間を大幅に削減して、速やかに検査を開始することが可能になる。

さらに、上記の実施例では、「はんだ形状」に関する外観情報をユーザーに選択させているが、これに代えて、基板の良品モデルの画像を用いて、各部品のフィレットにおける赤、緑、青の分布パターンを抽出し、その抽出されたパターンに最も近い見本画像を特定し、その見本画像に対応する選択肢を自動的に選択するようにしてもよい。

前記したように、この検査装置では、ＣＡＤデータ中のランド情報を用いてランドウィンドウを自動設定でき、また、検査基準データベース１０５に、はんだ検査用の色パラメータテーブルが設定されているので、良品モデルを撮像した後に、この撮像により生成された画像にランドウィンドウを自動設定し、このウィンドウ内の色彩の分布パターンを抽出することができる。よって、抽出した分布パターンとはんだ形状の選択肢の見本画像とのマッチング処理を行うことによって、図３の設定用画面が表示された時点で、既に「はんだ形状」の選択肢が選択された状態にすることができる。

このような方法により、はんだ形状の選択肢を自動的に選択すれば、ユーザーの負担はより一層軽減され、検査基準データを速やかに設定することができる。
ただし、ユーザーが画像表示領域６２の画像を参照して、自動選択の結果が適切でないと判断した場合のために、自動選択された「はんだ形状」の選択肢を、適宜マニュアル操作で変更できるようにしておくのが望ましい。

この発明の一実施例にかかる基板外観検査装置の構成を示すブロック図である。 検査基準設定システムの機能ブロック図である。 検査基準データの設定画面の例を示す説明図である。 「基板色」の選択操作時の表示例を示す説明図である。 「はんだ形状」の選択操作時の表示例を示す説明図である。 「影」の選択操作時の表示例を示す説明図である。 「実装検査」の選択操作時の表示例を示す説明図である。 選択完了後の操作受付領域の表示例を示す説明図である。 検査用ウィンドウが表示された設定画面の例を示す説明図である。 操作受付領域の他の表示例を示す説明図である。 操作受付領域の他の表示例を示す説明図である。 部品検出用の色パラメータテーブルの例を示す説明図である。 部品実装検査用の検査基準データテーブルの例を示す説明図である。 フィレット検査用の検査基準データテーブルの例を示す説明図である。 ティーチング処理の流れを示すフローチャートである。 検査基準データの設定に関する処理の流れを詳細に示したフローチャートである。 処理対象ウィンドウの設定方法の一例を示す説明図である。 部品実装検査に用いられる本体検出用ウィンドウの設定例を示す説明図である。

符号の説明

１ コントローラ
２ カメラ
５ 入力部
８ 基板
１０ 制御部
１５ メモリ
６１ 画像表示領域
６３ 操作受付領域
６４ 入力ボックス
６６ プルダウンメニュー
１００ 検査基準設定システム
１０５ 検査基準データベース
１０９ 検査データファイル
Ｗ１１，Ｗ１２ ランドウィンドウ
Ｗ２ 部品ウィンドウ

Claims (5)

1. 基板の撮像により生成された画像を用いて当該基板の良否を検査する検査装置に、検査基準データを設定するための方法であって、
   検査対象の基板の良品モデルを撮像し、
   外部から入力された情報を用いて設定対象の部品の位置を特定するステップ；特定された位置に基づき検査対象領域を設定するステップ；部品の種毎に当該部品またはその近傍の外観情報とその外観情報が表す外観に適合する検査基準データとの組み合わせが複数組登録されたデータベースから、設定対象の部品に設定可能な検査基準データに対応する外観情報を読み出すステップ；前記良品モデルの撮像により生成された設定対象の部品の画像を表示するとともに、データベースから読み出された外観情報を表す複数の選択肢を表示して選択操作を受け付けるステップ；選択された選択肢に対応する検査基準データを前記データベースから読み出すステップ；データベースから読み出された検査基準データと前記検査対象領域の設定に要する情報とを統合した検査基準データを作成するステップ；の各ステップを、設定対象の部品毎に実行し、各部品の前記統合された検査基準データを前記検査装置のメモリに登録する、
   ことを特徴とする基板外観検査用の検査基準データの設定方法。
2. 前記検査では、カラー画像を２値化する処理により部品を検出して、その実装の適否を判定し、
   前記データベースには、外観情報として、部品の色彩および基板の色彩の組み合わせを表す情報が登録されるとともに、各組み合わせに対応する検査基準データとして、検出対象を特定する情報が登録されている請求項１に記載された基板外観検査用の検査基準データの設定方法。
3. 前記検査では、部品のはんだ付け部位の色彩の分布状態に基づきはんだ付けの適否を判定し、
   前記データベースには、外観情報として、前記色彩の分布が現れている領域の形状と分布のパターンとの組み合わせを表す情報が登録されている請求項１に記載された基板外観検査用の検査基準データの設定方法。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載された方法において、
   前記部品の位置を特定するための情報として基板の設計データを入力するとともに、この設計データに基づいて検査対象領域を設定する、基板外観検査用の検査基準データの設定方法。
5. 基板を撮像し、その撮像により生成された画像を用いて当該基板の良否を検査する基板外観検査装置であって、
   検査対象の基板に搭載されている部品の位置を示す情報を入力する入力手段と、
   部品の種毎に当該部品またはその近傍の外観情報とその外観情報が表す外観に適合する検査基準データとの組み合わせが複数組登録されたデータベース；前記検査対象の基板の良品モデルの撮像により生成された各部品の画像；および前記入力手段が入力した情報を用いて、検査対象の基板の各部品の検査基準データを設定する検査基準データ設定手段と、
   検査基準データ設定手段により設定された検査基準データを保存するためのメモリとを備え、
   前記検査基準データ設定手段は、前記入力手段が入力した情報を用いて設定対象の部品の位置を特定するステップ；特定された位置に基づき検査対象領域を設定するステップ；前記データベースから設定対象の部品に設定可能な検査基準データに対応する外観情報を読み出すステップ；良品モデルの撮像により生成された設定対象の部品の画像を表示するとともに、データベースから読み出された外観情報を表す複数の選択肢を表示して選択操作を受け付けるステップ；選択された選択肢に対応する検査基準データを前記データベースから読み出すステップ；データベースから読み出された検査基準データと前記検査対象領域の設定に要する情報とを統合した検査基準データを作成するステップ；の各ステップを、設定対象の部品毎に実行し、各部品の前記統合された検査基準データを前記メモリに登録する、
   ことを特徴とする基板外観検査装置。