JP4549662B2 - 半田検査装置および半田検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板に印刷された半田の印刷状態を検査する半田検査装置および半田検査方法に関するものである。

電子部品の実装においては、基板への電子部品の搭載に先立って基板の表面にクリーム半田が塗布される。クリーム半田塗布の方法としてはスクリーン印刷による方法が広く用いられており、印刷工程の後にはクリーム半田の印刷状態を検査する半田検査が行われる。この半田検査は、スクリーン印刷後の基板をカメラにより撮像し、撮像結果を画像処理することにより印刷位置に正しくクリーム半田が印刷されているか否かを判定するものである（例えば特許文献１参照）。これらの検査においては、半田が印刷されるべき部位に所定量以上の半田が検出され、また半田が存在してはならない部位に半田が検出されないことが印刷状態が良好であると判定されるための条件となる。
特開平６−１８２３７号公報

しかしながら、従来のスクリーン印刷においては、上記判定条件に関して次のような不具合が生じていた。まず半田検査において取得される画像中に存在する各種のノイズは、判定結果に影響を与えないよう半田部分抽出処理においてフィルタなどによって極力除去されるが、これらのノイズの中には画像処理によって除去するのが困難なものが存在する。例えば、ガラスエポキシ基板の切断端部には、切断加工時に基板表面が局部的に押しつぶされる結果、半田類似の光反射特性を有する部分が切断端面に形成される場合がある。このため、このような半田以外の部分が光反射特性の類似によって半田と誤認識され、誤った判定結果を与える事態が生じていた。

また基板には本来半田が印刷されるべき部位ではないものの、印刷後に半田が存在していても実際上差し支えない場合が存在する。例えば、半田印刷対象のランドのサイズがある程度以上大きい場合には、スクリーン印刷に用いられるスクリーンマスクには同一のランドに対応して複数のマスク開口が設けられ、ランドには各マスク開口に対応して複数の半田印刷部が形成される。このような場合には、これらの複数の半田印刷部は同一のランドに対して半田を供給する目的であることから、部分的に半田が連結したブリッジ状態となっていても差し支えない。

ところが従来の半田検査においては、半田印刷部間を連結する半田ブリッジが検出された場合には、上述のように実際上は何ら機能的に差し支えない状態であるにもかかわらず、印刷不良と判定される結果となっていた。このように、従来の半田検査においては、画像上のノイズや半田印刷形状に起因して、安定した正しい検査結果が得られない場合があった。

そこで本発明は、安定した正しい検査結果を得ることができる半田検査装置および半田検査方法を提供することを目的とする。

本発明の半田検査装置は、基板のランドに印刷された半田の印刷状態の検査を行う半田検査装置であって、前記半田を撮像して画像データを取得する撮像手段と、半田が印刷されるべき位置・量を示す半田印刷データおよび前記検査の良否判定のしきい値を示す検査しきい値データを含む検査用データを記憶する検査用データ記憶部と、検査対象となる半田の周辺において検査のための画像処理実行の対象としないマスク領域を設定するマスク領域設定手段と、前記撮像手段によって取得された半田の画像データから前記マスク領域に該当する画像データを除いた処理対象画像データを対象として画像処理を実行する画像処理手段と、前記画像処理の結果と前記検査用データとに基づいて前記印刷状態の良否判定を行う良否判定手段とを備え、前記マスク領域設定手段は、前記基板において検査対象の半田が前記基板の切断端部の近傍に位置するか否かを示す基板端部データに基づいて前記マスク領域を設定する基板端部由来マスク領域データ設定部を含む。

本発明の半田検査方法は、基板のランドに印刷された半田の印刷状態の検査を行う半田検査方法であって、半田が印刷されるべき位置・量を示す半田印刷データおよび前記検査の良否判定のしきい値を示す検査しきい値データを含む検査用データを記憶する検査用データ記憶工程と、検査対象となる半田の周辺において検査のための画像処理実行の対象としないマスク領域を設定するマスク領域設定工程と、前記半田を撮像して画像データを取得する撮像工程と、前記撮像工程において取得された半田の画像データから前記マスク領域に該当する画像データを除いた処理対象画像データを対象として画像処理を実行する画像処理工程と、前記画像処理の結果と前記検査用データとに基づいて前記印刷状態の良否判定を行う良否判定工程とを含み、前記マスク領域設定工程において、前記基板において検査対象の半田が前記基板の切断端部の近傍に位置するか否かに基づいて前記マスク領域を設定する基板端部由来マスク領域設定部が、当該マスク領域を自動的に設定する。

本発明によれば、撮像手段によって取得された半田の画像データから予め設定されたマスク領域に該当する画像データを除いた処理対象画像データを対象として検査のための画像処理を実行することにより、画像上のノイズや半田印刷形状に起因する検査の誤判定を排除して、安定した正しい検査結果を得ることができる。

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図、図２は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図、図３は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図、図４は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の動作説明図、図５は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置による基板印刷面の平面図、図６は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のマスクプレートの平面図、図７は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置に組み込まれた半田検査装置の制御系の構成を示すブロック図、図８は本発明の一実施の形態の半田検査装置のワークデータ記憶部の記憶内容の説明図、図９、図１０は本発明の一実施の形態の半田検査装置におけるマスク領域設定の説明図、図１１は本発明の一実施の形態の半田検査方法のフロー図である。

まず図１、図２および図３を参照してスクリーン印刷装置の構造を説明する。このスクリーン印刷装置は、電子部品が実装される基板の複数の半田印刷位置ににクリーム半田を印刷する印刷機構のみならず、後述するように、半田印刷後の基板を対象として基板のランドに印刷された半田の印刷状態の検査を行う半田検査装置としての機能を併せ持った構成となっている。

図１、図２において、基板位置決め部１は、Ｙ軸テーブル２およびＸ軸テーブル３よりなる移動テーブル上にθ軸テーブル４を段積みし、さらにその上にＺ軸テーブル５を配設して構成されており、Ｚ軸テーブル５上にはクランパ７によって挟み込まれた基板８を下方から保持する基板保持部６が設けられている。印刷対象の基板８は、図１，図３に示す搬入コンベア１４によって基板位置決め部１に搬入される。基板位置決め部１を駆動することにより、基板８はＸＹ方向に移動し、後述する印刷位置、基板認識位置に位置決めされる。印刷後の基板８は、搬出コンベア１５によって搬出される。

基板位置決め部１の上方には、スクリーンマスク１０が配設されており、スクリーンマ
スク１０はホルダ１１にマスクプレート１２を装着して構成されている。基板８は基板位置決め部１によってマスクプレート１２に対して位置合わせされ下方から当接する。基板８の回路形成面には、図５（ａ）に示すように種類の異なる電子部品を接合するための接合用電極であるランド８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄが設けられており、ランド８ａの近傍には基板８を貫通するスリット８ｅが設けられている。マスクプレート１２には、図６に示すようにランド８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄに対応して、パターン孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが設けられている。ここで、ランド８ｃには、２つのパターン孔１２ｃが対応している。

スクリーンマスク１０上には、スキージヘッド１３が水平方向に往復動自在に配設されている。スキージヘッド１３による印刷動作は、図４（ａ）に示すように、基板８を保持した基板位置決め部１をスクリーンマスク１０の下方の印刷位置に移動させた状態で行われる。印刷動作においては、まず基板８をマスクプレート１２の下面に当接させ、マスクプレート１２上にクリーム半田９を供給し、スキージヘッド１３のスキージ１３ａをマスクプレート１２の表面に当接させて摺動させることにより、基板８の印刷面にはパターン孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを介してクリーム半田９が印刷される。これにより、図５（ｂ）に示すように、ランド８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ上にはそれぞれ半田印刷部（半田）Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４が形成される。ここで、ランド８ｃにはパターン孔１２ｃにより２つの半田印刷部Ｓ３が形成されている。

このとき、スリット８ｅに近接するランド８ａ上に形成された半田印刷部Ｓ１のうち１つ（矢印ａ参照）は、正規印刷位置からスリット８ｅの縁部まではみ出しており、基板８の外縁部８ｆに近接するランド８ｂ上に形成された半田印刷部Ｓ２（矢印ｂ）は、正規印刷位置から外縁部８ｆまではみ出している。また、１つのランド８ｃ上では、２つの半田印刷部Ｓ３が部分的に繋がった形で印刷されており（矢印ｃ）、更に一方側の半田印刷部Ｓ３は外縁部８ｆまではみ出した状態となっている。

スクリーンマスク１０の上方には、カメラ２０が設けられている。図３に示すように、カメラ２０はＸ軸テーブル２１およびＹ軸テーブル２２によってＸＹ方向に水平移動する。Ｘ軸テーブル２１およびＹ軸テーブル２２は、カメラ２０を移動させるカメラ移動手段となっている。

基板位置決め部１は、図２に示すようにＹ軸テーブル３によってスクリーンマスク１０の下方からＹ方向に移動して保持した基板８を基板認識位置まで移動させることができるようになっており、この状態で図４（ｂ）に示すように、カメラ２０を基板位置決め部１に保持された基板８の上方に移動させることにより、カメラ２０によって基板８の任意の位置を撮像することができる。カメラ２０は基板に印刷された半田を撮像して画像データを取得する撮像手段となっており、印刷後の基板８を対象とした半田検査は、カメラ２０によって取得された画像データに基づいて実行される。

次に図７を参照して、スクリーン印刷装置に組み込まれた半田検査装置の制御系の構成について説明する。制御部２３は、機構制御部２５を介して基板位置決め部１やスクリーン印刷機構などの機構部２６を制御するとともに、カメラ２０の撮像制御を行うＣＣＵ（カメラコントロールユニット）２４や表示部２８を制御し、さらに操作・入力部２７からの入力を制御する。制御部２３は、上述の全体制御装置としての機能のほか、以下に説明する内部処理機能としての画像選択処理部２３ａ、良否判定部２３ｂ、マスク領域データ設定部２３ｃを備えている。

画像選択処理部２３ａは、カメラ２０によって取得された画像データをＣＣＵ２４を介して受信し、この画像データを対象として半田形状検出などの所定の画像処理を行う。こ
の画像処理においては、検査対象となる半田印刷部の周辺において検査のための画像処理実行の対象としないマスク領域を除いた範囲のみを対象として選択的に画像処理が実行される。この選択的画像処理は、マスク領域データ設定部２３ｃによって設定されたマスク領域データに基づいて行われる。画像選択処理部２３ａは、取得された半田の画像データからマスク領域に該当する画像データを除いた処理対象画像データを対象として画像処理を実行する画像処理手段となっている。

良否判定部２３ｂは画像選択処理部２３ａによって処理された画像処理結果および後述する検査用データに基づいて、基板８のランドに印刷された半田の印刷状態の良否を判定する。すなわち、良否判定部２３ｂは画像処理の結果と検査用データとに基づいて印刷状態の良否判定を行う良否判定手段となっている。そして検査結果は、表示部２８のモニタに表示される。

次に記憶部３０について説明する。記憶部３０は、ワークデータ記憶部３１およびプログラム記憶部３２を備えている。プログラム記憶部３２には、制御部２３によって実行される各種処理のための処理プログラムが記憶される。ワークデータ記憶部３１には、検査用データ３１ａ、マスク領域データ３１ｂ、基板端部データ３１ｃ、複数印刷ランド開口データ３１ｄなどのワークデータが記憶される。なお、基板端部データ３１ｃと複数印刷ランド開口データ３１ｄは、本発明に必須のデータではない。

図８に示すように、これらのワークデータは各半田印刷部毎に設定されており、半田印刷部に付された番号を指定することによりワークデータ記憶部３１から読み出し可能となっている。検査用データ３１ａは、検査対象の基板８における半田印刷部の位置を示す半田位置データや、個々の半田印刷部に印刷されるべき半田の形状・量に関連した半田開口データ、良否判定部２３ｂにおける判定に用いられるしきい値データよりなる。ワークデータ記憶部３１は、半田が印刷されるべき位置・量を示す半田印刷データおよび検査の良否判定のしきい値を示す検査しきい値データを含む検査用データを記憶する検査用データ記憶部となっている。

マスク領域データ３１ｂは、画像選択処理部２３ａにおける画像処理において指定される前述のマスク領域を示すデータである。このマスク領域は、図９に示すように、検査対象となる半田印刷部３６を囲む認識対象範囲３５内において、矩形の半田印刷部３６の４辺のうち、マスク領域３８が設定される辺の方向を指定することにより設定される。図９では、半田印刷部３６の上辺（Ｕ）、下辺（Ｄ）にマスク領域３８が設定された例を示している。マスク領域データ３１ｂにおいては、マスク領域設定に該当する辺の方向（Ｕ、Ｄ、Ｌ、Ｒ）に１を、その他の方向に０を入力することにより、マスク領域設定辺が特定される。

基板端部データ３１ｃ、複数印刷ランド開口データ３１ｄは、各半田印刷部が形成されるランドについての特定条件を示すデータ項目であり、後述するようにマスク領域データ３１ｂは、基板端部データ３１ｃ、複数印刷ランド開口データ３１ｄに基づいて、マスク領域データ設定部２３ｃによって設定される。基板端部データ３１ｃは、当該ランドが基板８において基板がカットされた切断縁部に近接して位置するか否かを示している。すなわち図５に示すように、スリット８ｅの切断縁部や基板８の外縁部８ｆに沿って存在するランドが、切断縁部に近接して位置するランドに該当し、基板端部データ３１ｃにおいては、このようなランドについて該当する方向（Ｕ、Ｄ、Ｌ、Ｒ）に１が、その他の方向には０が入力される。

複数印刷ランド開口データ３１ｄは、当該ランドが図５に示すランド８ｃのように、複数のマスク開口によって複数の半田印刷部が形成される複数印刷ランドであるか否かを示
すデータである。複数印刷ランド開口データ３１ｄはマスクプレート１２の開口データから作成され、該当するランドについては１以上の数が、該当しないランドについては０が入力される。

そして、該当するランドについて、「複数開口ランド」の欄が同一の数字同士は、同一のランドに属することを示す。例えば、図８における「番号」が２のランドと、「番号」が３のランドは、「複数開口ランド」のランドの数字がともに１であることから、同一のランドに属する複数開口ランドであることが分かる。さらに同一基板に２組以上の複数開口ランドが存在する場合には、「複数開口ランド」の欄に２以降の数字が順次付されていく。また同一ランドにつき、２つだけでなく３以上の開口が存在することもある。そして、これらの開口における相互の位置関係は、「半田位置」のデータを参照することにより判断可能である。したがって、「複数開口ランド」のデータと「半田位置」のデータから、複数開口ランドにおいてマスク領域３８を設定すべき方向が判断可能となっている。

次に、マスク領域データ設定部２３ｃによるマスク領域設定について説明する。図７に示すように、マスク領域データ設定部２３ｃは、基板端部由来マスク領域データ設定部２３ｄ、複数開口由来マスク領域データ設定部２３ｅ、直接設定部２３ｆより構成されている。基板端部由来マスク領域データ設定部２３ｄは基板端部データ３１ｃに基づいてマスク領域データを設定し、複数開口由来マスク領域データ設定部２３ｅは、複数印刷ランド開口データ３１ｄに基づいてマスク領域データを設定する。さらに直接設定部２３ｆは、操作・入力部２７による操作画面上での範囲指定入力によって、基板端部データ３１ｃや複数印刷ランド開口データ３１ｄ等の他のデータを必要とせずマスク領域データを直接設定する。なお、基板由来マスク領域データ設定部２３ｄと複数開口由来マスク領域データ設定部
２３ｅと直接設定部２３ｆとを必ずしも全て備えている必要はない。

したがってマスク領域データ設定部２３ｃは、検査対象となる半田の周辺において検査のための画像処理実行の対象としないマスク領域を設定するマスク領域設定手段となっている。そしてこのマスク領域設定手段は、望ましくは、基板端部データ３１ｃに基づいてマスク領域を設定し、さらに印刷に用いられるマスクプレート１２の開口データに基づき、複数印刷ランド上の半田を対象としてマスク領域を設定する。

オペレータがマスク領域データ設定を手動設定で行う場合は、オペレータが認識対象範囲３５内の画像や、データが存在する場合には基板端部データ３１ｃ、複数印刷ランド開口データ３１ｄ等を参照しながら、図９に示すように、表示部２８のモニタに表示される操作画面３４上で行う。画面上の対象指定枠３９を操作して番号を指定することにより、設定対象の半田印刷部３６が認識対象範囲３５とともに操作画面３４に表示される。そして半田印刷部３６の各辺に対応して設定されたスイッチ３７Ｕ、３７Ｄ、３７Ｌ、３７Ｒを操作することにより、所望の辺方向にマスク領域３８が設定される。なお、操作画面３４上に複数の認識対象範囲３５を表示し、マウスなどのポインティングデバイスによって特定の辺を含む領域を囲むなどして、複数のランドについて一括してマスク領域３８を設定してもよい。このようにすると、手動設定におけるマスク領域設定作業の操作性が向上するので好ましい。

設定操作後に設定解除または再設定を行う場合には、解除ボタン４０を操作することにより、マスク領域設定が解除される。このようにして設定されたマスク領域データ３１ｂは、ワークデータ記憶部３１に記憶される。なお、オペレータによる手動設定に替えて、マスク領域データ３１ｂは、ワークデータ記憶部３１の基板端部データ３１ｃまたは複数印刷ランド開口データ３１ｄに基づき、マスク領域データ設定部２３ｃによって自動的にマスク領域データ３１ｂを設定するようにしてもよい。

例えば、図８において、「基板端部」の欄を参照することにより、「番号」が１のランドについては「マスク方向」が「Ｒ」の位置に、「番号」が３のランドについては「マスク方向」が「Ｕ」の位置に、マスク領域データ３１ｂが自動的に設定される。なお、この例では、「基板端部」の欄の数字が、「マスク方向」の欄における対応箇所にそのまま加算されることによって、マスク領域データ３１ｂが自動的に設定される。

そして、「複数開口ランド」の欄を参照することにより、「番号」が２のランドと「番号」が３のランドは、「複数開口ランド」の欄にいずれも１が入力されていることから、同一ランドに属する複数開口ランドであることが分かる。さらに、「半田位置」の欄を参照することにより、これらのランドの位置関係について、同一のＹ座標で左側に「番号」が２のランド、右側に「番号」が３のランドが位置していることが分かる（Ｘ軸は右側を正とする）。このことから、ブリッジを許容可能な方向として、「番号」が２のランドについては「マスク方向」が「Ｒ」の位置に、「番号」が３のランドについては「マスク方向」が「Ｌ」の位置に、マスク領域データ３１ｂが自動的に設定される。なお、このようにマスク領域データ３１ｂを自動的に設定する演算等の処理は、制御部２３における演算部（図示省略）が実行する。

次に図１０を参照して、マスク領域設定の具体例を説明する。図１０（ａ）、（ｂ）は、それぞれ図５に示すランド８ａ、８ｃ上に形成される半田印刷部Ｓ１，Ｓ３を検査対象とする場合のマスク領域設定例を示している。図１０（ａ）の例では、認識対象範囲３５内において半田印刷部Ｓ１の右側にマスク領域３８が設定される。なお、基板の外縁部８ｆに近接するランド８ｂ、８ｃ上に形成される半田印刷部Ｓ２，Ｓ３（図５に示す矢印ｂ、ｄ参照）についても同様に各半田印刷部の右側にマスク領域３８が設定される。

また図１０（ｂ）の場合は、検査対象となるランド８ｃ上の右側の半田印刷部Ｓ３の右側にマスク領域３８が設定される。これにより、これらの半田印刷部を対象として画像選択処理部２３ａによって行われる画像処理においては、マスク領域３８の範囲が画像処理対象から除外される。

次に図１１を参照して、基板のランドに印刷された半田の印刷状態の検査を行う半田検査方法について説明する。まず、半田検査実行に先立って、ワークデータ記憶部３１に検査対象の基板の検査用データ３１ａを記憶する（検査用データ記憶工程）。このデータ記憶時には、当該基板に対応した基板端部データ３１ｃ、複数印刷ランド開口データ３１ｄも記憶される。次いで、必要に応じて基板端部データ３１ｃ、複数印刷ランド開口データ３１ｄに基づいて、前述のように手動または自動によりマスク領域データ３１ｂを設定する。すなわち特に自動設定の場合には基板端部由来マスク領域データ設定部２３ｄによって基板端部データ３１ｃに基づいてマスク領域データを設定し、さらに複数開口由来マスク領域データ設定部２３ｅによって複数印刷ランド開口データ３１ｄに基づいてマスク領域データを設定し、設定結果をワークデータ記憶部３１に記憶させる。

次いで、半田検査が開始されると（ＳＴ１）、まず、必要なデータの読込が行われる（ＳＴ２）。すなわち、ワークデータ記憶部３１から検査対象となる半田印刷部についての検査用データ３１ａやマスク領域データ３１ｂが読み込まれる。そしてマスク領域データ３１ｂが読み込まれることにより、検査対象となる半田の周辺において検査のための画像処理実行の対象としないマスク領域を設定する（マスク領域設定工程）。

この後基板８に印刷された半田をカメラ２０によって撮像して画像データを取得する（撮像工程）（ＳＴ３）。そして半田画像の選択的画像処理が実行される（ＳＴ４）。すなわち、撮像工程において取得された半田の画像データからマスク領域に該当する画像デー
タを除いた処理対象画像データを対象として、画像選択処理部２３ａによって画像処理を実行する（画像処理工程）。

この後、画像処理の結果と検査用データ３１ａとに基づいて、当該半田印刷部の印刷状態の良否判定を行う（良否判定工程）（ＳＴ５）。そして、当該半田印刷部が検査対象となる最後の半田であるか否かを判断し（ＳＴ６）、全ての検査対象について検査終了であることを確認して半田検査を終了する。

上述の画像処理工程においては、図１０にて設定されたマスク領域３８が処理対象から除外されることから、従来の半田検査において生じていた以下のような不具合を排除することができる。すなわち、図１０（ａ）に示すように、スリット８ｅに近接するランド８ａや、基板８の外縁部８ｆに近接するランド８ｂ、８ｃ上の半田印刷部を対象とする場合には、基板切断加工時に切断端面に形成された半田類似の光反射特性を有する部分が半田と誤認識され、誤った判定結果を与える事態が生じていた。これに対し、本実施の形態においては、このような半田類似の光反射特性を有する部分は予めマスク領域３８によってマスクされ画像処理対象から排除されているため、上述の誤判定が生じない。

またサイズがある程度以上大きいランド８ｃのようにランド上に２つの半田印刷部が存在する例において、図５（ｂ）の矢印ｃに示すように、半田印刷部相互が連結状態となった場合でも、同一ランド上の半田印刷部間で連結している限りにおいては実用上何ら不都合を生じないため、半田検査において許容されなければならない。しかしながら従来の半田検査においては、このような場合は印刷不良の１パターンである「ブリッジ」に該当するとしてＮＧ判定がなされていた。これに対し、本実施の形態においては、検出された半田が「ブリッジ」と見なされる範囲は、予めマスク領域３８によってマスクされて画像処理対象から排除されているため、上述のような不都合が生じない。

このように、取得された半田の画像データから予め設定されたマスク領域に該当する画像データを除いた処理対象画像データを対象として検査のための画像処理を実行することにより、画像上のノイズや半田印刷形状に起因する検査の誤判定を排除して、安定した正しい検査結果を得ることができる。

本発明の半田検査装置および半田検査方法は、画像上のノイズや半田印刷形状に起因する検査の誤判定を排除して、安定した正しい検査結果を得ることができるという効果を有し、半田印刷後の基板を撮像して得られた画像データに基づいて所定の半田検査を行う分野に有用である。

本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の動作説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置による基板印刷面の平面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のマスクプレートの平面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置に組み込まれた半田検査装置の制御系の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の半田検査装置のワークデータ記憶部の記憶内容の説明図 本発明の一実施の形態の半田検査装置におけるマスク領域設定の説明図 本発明の一実施の形態の半田検査装置におけるマスク領域設定の説明図 本発明の一実施の形態の半田検査方法のフロー図

符号の説明

８ 基板
９ クリーム半田
２０ カメラ
２３ 制御部
２３ａ 画像選択処理部
２３ｂ 良否判定部
２３ｃ マスク領域データ設定部
３１ ワークデータ記憶部

Claims (4)

1. 基板のランドに印刷された半田の印刷状態の検査を行う半田検査装置であって、前記半田を撮像して画像データを取得する撮像手段と、半田が印刷されるべき位置・量を示す半田印刷データおよび前記検査の良否判定のしきい値を示す検査しきい値データを含む検査用データを記憶する検査用データ記憶部と、検査対象となる半田の周辺において検査のための画像処理実行の対象としないマスク領域を設定するマスク領域設定手段と、前記撮像手段によって取得された半田の画像データから前記マスク領域に該当する画像データを除いた処理対象画像データを対象として画像処理を実行する画像処理手段と、前記画像処理の結果と前記検査用データとに基づいて前記印刷状態の良否判定を行う良否判定手段とを備え、
   前記マスク領域設定手段は、前記基板において検査対象の半田が前記基板の切断端部の近傍に位置するか否かを示す基板端部データに基づいて前記マスク領域を設定する基板端部由来マスク領域データ設定部を含むことを特徴とする半田検査装置。
2. 基板のランドに印刷された半田の印刷状態の検査を行う半田検査装置であって、前記半田を撮像して画像データを取得する撮像手段と、半田が印刷されるべき位置・量を示す半田印刷データおよび前記検査の良否判定のしきい値を示す検査しきい値データを含む検査用データを記憶する検査用データ記憶部と、検査対象となる半田の周辺において検査のための画像処理実行の対象としないマスク領域を設定するマスク領域設定手段と、前記撮像手段によって取得された半田の画像データから前記マスク領域に該当する画像データを除いた処理対象画像データを対象として画像処理を実行する画像処理手段と、前記画像処理の結果と前記検査用データとに基づいて前記印刷状態の良否判定を行う良否判定手段とを備え、
   前記マスク領域設定手段は、印刷に用いられるマスクプレートの開口データに基づき、同一ランドに複数のマスク開口によって複数の半田印刷部が形成される複数印刷ランド上の半田を対象として前記マスク領域を設定する複数開口由来マスク領域データ設定部を含むことを特徴とする半田検査装置。
3. 基板のランドに印刷された半田の印刷状態の検査を行う半田検査方法であって、半田が印刷されるべき位置・量を示す半田印刷データおよび前記検査の良否判定のしきい値を示す検査しきい値データを含む検査用データを記憶する検査用データ記憶工程と、検査対象となる半田の周辺において検査のための画像処理実行の対象としないマスク領域を設定するマスク領域設定工程と、前記半田を撮像して画像データを取得する撮像工程と、前記撮像工程において取得された半田の画像データから前記マスク領域に該当する画像データを除いた処理対象画像データを対象として画像処理を実行する画像処理工程と、前記画像処理の結果と前記検査用データとに基づいて前記印刷状態の良否判定を行う良否判定工程とを含み、
   前記マスク領域設定工程において、前記基板において検査対象の半田が前記基板の切断端部の近傍に位置するか否かに基づいて前記マスク領域を設定する基板端部由来マスク領域設定部が、当該マスク領域を自動的に設定することを特徴とする半田検査方法。
4. 基板のランドに印刷された半田の印刷状態の検査を行う半田検査方法であって、半田が印刷されるべき位置・量を示す半田印刷データおよび前記検査の良否判定のしきい値を示す検査しきい値データを含む検査用データを記憶する検査用データ記憶工程と、検査対象となる半田の周辺において検査のための画像処理実行の対象としないマスク領域を設定するマスク領域設定工程と、前記半田を撮像して画像データを取得する撮像工程と、前記撮像工程において取得された半田の画像データから前記マスク領域に該当する画像データを除いた処理対象画像データを対象として画像処理を実行する画像処理工程と、前記画像処理の結果と前記検査用データとに基づいて前記印刷状態の良否判定を行う良否判定工程とを含み、
   前記マスク領域設定工程において、同一ランドに複数のマスク開口によって複数の半田印刷部が形成される複数印刷ランド上の半田を対象として前記マスク領域を設定する複数開口由来マスク領域データ設定部が、当該マスク領域を自動的に設定することを特徴とする半田検査方法。

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