JP2008028092A - 不良確率の算出方法、パターン作成方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 設計パターンに基づいて基板上にパターンを形成するためのプロセスで生じるプロセスばらつきを含んだ複数のプロセス条件を想定する工程S32と、プロセス条件それぞれの出現確率を求める工程S32と、設計パターンに基づいて基板上に形成されるパターンを予想するためのプロセスシミュレーションをプロセス条件毎に行う工程S33と、プロセスシミュレーションによって予想されたパターンが所定の基準を満たしているか否かをプロセス条件毎に判定する工程S34と、所定の基準を満たしていないと判定されたパターンのプロセスシミュレーションに用いられたプロセス条件の出現確率どうしを足し合わせるS35工程とを備える。
【選択図】 図3
Description
図1は、本実施形態の基本的な動作の一例を示したフローチャートである。なお、本フローチャートに示した基本的な動作は、他の実施形態についても適用可能である。
Ys=1−Ds
と表される。半導体装置の最終的な歩留まりを決定する別の要因として、製造プロセス中のダストがある。このダストに起因する不良確率をDdとすると、ダストに起因する製造歩留まりYdは、
Yd=1−Dd
と表される。プロセスばらつきに起因する不良とダストに起因する不良とは、互いに独立した事象である。したがって、半導体装置の最終的な歩留まりYは、
Y=Ys×Yd=(1−Ds)×(1−Dd)
と表される。
次に、第2の実施形態について説明する。なお、基本的な事項については第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で述べた事項については説明は省略する。
次に、第3の実施形態について説明する。なお、基本的な事項については第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で述べた事項については説明は省略する。
次に、第4の実施形態について説明する。なお、基本的な事項については第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で述べた事項については説明は省略する。
寸法分布=t(w,Wji)
と表すことができる。ただし、wは局所ばらつきを考慮したウェハ上のパターン寸法である。
寸法分布=t(w,Wji−Te)
と表される。図7に、上記寸法分布(寸法ばらつき分布)を示す。
次に、第5の実施形態について説明する。なお、第1〜第4の実施形態で述べた事項については説明は省略する。
次に、第6の実施形態について説明する。本実施形態は、第5の実施形態の方法によって得られた集積回路チップの不良確率に基づいて該集積回路チップの製造歩留まりを算出し、算出された歩留まりに基づいて該集積回路チップの生産投入数量や単価を決定するものである。
Y=Ys×Yd=(1−Ds)×(1−Dd)
となる(S84)。
Claims (5)
- 設計パターンに基づいて基板上にパターンを形成するためのプロセスで生じるプロセスばらつきを含んだ複数のプロセス条件を想定する工程と、
前記プロセス条件それぞれの出現確率を求める工程と、
前記設計パターンに基づいて基板上に形成されるパターンを予想するためのプロセスシミュレーションを前記プロセス条件毎に行う工程と、
前記プロセスシミュレーションによって予想されたパターンが所定の基準を満たしているか否かを前記プロセス条件毎に判定する工程と、
前記所定の基準を満たしていないと判定されたパターンのプロセスシミュレーションに用いられたプロセス条件の出現確率どうしを足し合わせる工程と、
を備えたことを特徴とする不良確率の算出方法。 - 設計パターンから複数の特定箇所を抽出する工程と、
前記特定箇所それぞれについて、設計パターンに基づいて基板上にパターンを形成するためのプロセスで生じるプロセスばらつきを含んだ複数のプロセス条件を想定する工程と、
前記プロセス条件それぞれの出現確率を求める工程と、
前記設計パターンに基づいて基板上に形成されるパターンを予想するためのプロセスシミュレーションを、前記特定箇所それぞれの前記プロセス条件毎に行う工程と、
前記プロセスシミュレーションによって予想されたパターンが所定の基準を満たしているか否かを、前記特定箇所それぞれの前記プロセス条件毎に判定する工程と、
前記特定箇所それぞれについて、前記所定の基準を満たしていないと判定されたパターンのプロセスシミュレーションに用いられたプロセス条件の出現確率どうしを足し合わせて、前記特定箇所それぞれの個別不良確率を求める工程と、
前記特定箇所それぞれについて求められた前記個別不良確率どうしを足し合わせる工程と、
を備えたことを特徴とする不良確率の算出方法。 - 設計パターンに基づいて基板上にパターンを形成するためのプロセスで生じるプロセスばらつきを、パターン寸法の中心値がシフトする第1のプロセスばらつきと、パターン寸法がパターン配置位置に依存して変動する第2のプロセスばらつきとに分ける工程と、
前記第1のプロセスばらつきを含んだ複数のプロセス条件を想定する工程と、
前記プロセス条件それぞれの出現確率を求める工程と、
前記設計パターンに基づいて形成される所定パターンを予想するためのプロセスシミュレーションを前記プロセス条件毎に行い、前記プロセス条件毎に前記所定パターンのパターン寸法を予想する工程と、
前記第2のプロセスばらつきによって生じる前記所定パターンのパターン寸法の寸法分布を予想する工程と、
前記寸法分布の中で所定の基準を満たしていない部分の割合を求める工程と、
前記プロセス条件毎に前記出現確率と前記割合との積を求める工程と、
前記プロセス条件毎に求められた前記積どうしを足し合わせる工程と、
を備えたことを特徴とする不良確率の算出方法。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の方法によって不良確率を算出する工程と、
前記算出された不良確率が所定値よりも大きい場合に前記設計パターンを修正する工程と、
を備えたことを特徴とするパターン作成方法。 - 複数種類の単位セルを用意する工程と、
前記複数種類の単位セルそれぞれについて請求項1乃至3のいずれかに記載の方法で不良確率を算出する工程と、
所望の集積回路チップの設計パターンを用意する工程と、
前記所望の集積回路チップの設計パターンに含まれる前記単位セルの個数を単位セルの種類毎に求める工程と、
前記単位セルの種類毎に前記不良確率と前記個数との積を算出する工程と、
前記単位セルの種類毎に算出された積どうしを足し合わせて前記所望の集積回路チップの不良確率を算出する工程と、
前記所望の集積回路チップの不良確率に基づいて前記所望の集積回路チップの製造歩留まりを算出する工程と、
を備えたことを特徴とする歩留まりの予測方法。
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