JP2008028080A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008028080A JP2008028080A JP2006197974A JP2006197974A JP2008028080A JP 2008028080 A JP2008028080 A JP 2008028080A JP 2006197974 A JP2006197974 A JP 2006197974A JP 2006197974 A JP2006197974 A JP 2006197974A JP 2008028080 A JP2008028080 A JP 2008028080A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- supply
- processing tank
- tank
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Weting (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】処理槽内から排気を行うことにより、各基板間に溶剤蒸気を円滑に流下させて乾燥ムラを防止することができる基板乾燥装置を提供する。
【解決手段】制御部71は、リフタ31により複数枚の基板Wを処理位置に移動させ、供給・排気管7を介して処理槽1内に供給された処理液で複数枚の基板Wを処理した後、オートカバー23の各供給孔67からイソプロピルアルコールの蒸気を供給させるとともに、排出管57を介して処理液を排出させ、第1真空ポンプ19により処理槽1内を排気させる。処理槽1内を排気するので、処理槽1の上部から供給されたイソプロピルアルコールの蒸気が複数枚の基板Wの間を円滑に流下されて供給・排気管7から排気される。したがって、全ての基板Wを均一に乾燥させることができ、乾燥ムラを防止することができる。
【選択図】図1
【解決手段】制御部71は、リフタ31により複数枚の基板Wを処理位置に移動させ、供給・排気管7を介して処理槽1内に供給された処理液で複数枚の基板Wを処理した後、オートカバー23の各供給孔67からイソプロピルアルコールの蒸気を供給させるとともに、排出管57を介して処理液を排出させ、第1真空ポンプ19により処理槽1内を排気させる。処理槽1内を排気するので、処理槽1の上部から供給されたイソプロピルアルコールの蒸気が複数枚の基板Wの間を円滑に流下されて供給・排気管7から排気される。したがって、全ての基板Wを均一に乾燥させることができ、乾燥ムラを防止することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、処理液により半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板(以下、単に基板と称する)等の基板に対して洗浄、エッチング等の処理を行った後、溶剤蒸気により基板を乾燥する基板処理装置に関する。
従来、この種の装置として、純水を貯留する処理槽と、処理槽の周囲を囲うチャンバと、複数枚の基板を起立姿勢で保持し、処理槽内の処理位置と処理槽上方の待機位置とにわたって基板を昇降させる昇降アームと、処理槽の上部に設けられ、処理槽内にイソプロピルアルコール(IPA)の蒸気を供給するノズルと、処理槽からチャンバの外部へ純水を排出する排出管とを備えたものがある(例えば、特許文献1参照)。
このような構成の装置では、まず、複数枚の基板を保持した昇降アームを処理位置に移動させた状態で基板に対して洗浄処理を行う。そして、処理槽内の純水を排出した後、ノズルからイソプロピルアルコールの蒸気を供給して処理槽内を溶剤雰囲気にする。これにより、基板に付着している純水をイソプロピルアルコールに置換させつつ基板を乾燥させる。その後、昇降アームを待機位置に移動させる。
特開2003−45843号公報(「0035」〜「0041」、図6〜図8)
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、容積が小さい処理槽内にイソプロピルアルコールの蒸気を供給して基板を乾燥させるので、イソプロピルアルコールの消費量が少なくできる一方、処理槽内に収容されている複数枚の基板の間にノズルからムラなくイソプロピルアルコールの蒸気を流通させることができない。したがって、複数枚の基板を全て均一に乾燥させることができず、乾燥ムラが生じることがあるという問題がある。
すなわち、従来の装置は、容積が小さい処理槽内にイソプロピルアルコールの蒸気を供給して基板を乾燥させるので、イソプロピルアルコールの消費量が少なくできる一方、処理槽内に収容されている複数枚の基板の間にノズルからムラなくイソプロピルアルコールの蒸気を流通させることができない。したがって、複数枚の基板を全て均一に乾燥させることができず、乾燥ムラが生じることがあるという問題がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、処理槽内から排気を行うことにより、各基板間に溶剤蒸気を円滑に流下させて基板の乾燥ムラを防止することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、処理液により基板を処理した後、溶剤蒸気により基板を乾燥する基板処理装置において、処理液を貯留する処理槽と、前記処理槽の底部に設けられた供給・排気管を有し、前記処理槽内に処理液を供給するとともに、前記処理槽を排気する供給・排気手段と、前記処理槽の上部に設けられ、前記処理槽内に溶剤の蒸気を供給する供給手段と、前記処理槽内の処理液を排出する排出手段と、前記処理槽内において複数枚の基板を保持する保持手段と、前記処理槽内に前記保持手段により複数枚の基板を保持した状態で、前記供給・排気手段から前記処理槽内に処理液を供給して処理液により基板を処理させ、前記供給手段から溶剤蒸気を供給させるとともに、前記排出手段により前記処理槽内の処理液を排出させた後、前記供給・排気手段により前記処理槽を排気させて基板を乾燥させる制御手段と、を備えたことを特徴とするものである。
すなわち、請求項1に記載の発明は、処理液により基板を処理した後、溶剤蒸気により基板を乾燥する基板処理装置において、処理液を貯留する処理槽と、前記処理槽の底部に設けられた供給・排気管を有し、前記処理槽内に処理液を供給するとともに、前記処理槽を排気する供給・排気手段と、前記処理槽の上部に設けられ、前記処理槽内に溶剤の蒸気を供給する供給手段と、前記処理槽内の処理液を排出する排出手段と、前記処理槽内において複数枚の基板を保持する保持手段と、前記処理槽内に前記保持手段により複数枚の基板を保持した状態で、前記供給・排気手段から前記処理槽内に処理液を供給して処理液により基板を処理させ、前記供給手段から溶剤蒸気を供給させるとともに、前記排出手段により前記処理槽内の処理液を排出させた後、前記供給・排気手段により前記処理槽を排気させて基板を乾燥させる制御手段と、を備えたことを特徴とするものである。
[作用・効果]請求項1に記載の発明によれば、制御手段は、処理槽内に保持手段により基板を保持した状態で、供給・排気手段から処理槽内に処理液を供給させ、供給手段から溶剤蒸気を供給させるとともに、排出手段により処理槽内の処理液を排出させた後、供給・排気手段により処理槽を排気させている。これにより、供給手段により処理槽の上部から処理槽内に供給された溶剤蒸気が、保持手段に保持された複数枚の基板の間を円滑に流れて、処理槽の底部に設けられた供給・排気管を有する供給・排気手段により排気されている。したがって、複数枚の基板の間における溶剤蒸気の円滑な流れにより、全て基板を均一に乾燥でき、基板の乾燥ムラを防止できる。
また、本発明において、前記処理槽の上部開口を開閉する開閉機構をさらに備え、
前記供給手段は、前記開閉機構の下面に設けられていることが好ましい(請求項2)。開閉機構の下面から溶剤蒸気を処理槽内へ供給することにより、処理槽内を迅速に安定して溶剤雰囲気に満たすことができ、基板の乾燥を安定して行うことができる。また、別体の溶剤蒸気用のノズルを設ける必要もなく、構成を簡素化できるという効果もある。
前記供給手段は、前記開閉機構の下面に設けられていることが好ましい(請求項2)。開閉機構の下面から溶剤蒸気を処理槽内へ供給することにより、処理槽内を迅速に安定して溶剤雰囲気に満たすことができ、基板の乾燥を安定して行うことができる。また、別体の溶剤蒸気用のノズルを設ける必要もなく、構成を簡素化できるという効果もある。
また、本発明において、前記処理槽の周囲を囲うチャンバと、前記チャンバ内を減圧する減圧手段とをさらに備え、前記制御手段は、前記供給手段から溶剤蒸気を供給させて前記処理槽内を溶剤雰囲気にさせた後、前記減圧手段により前記チャンバ内を減圧させることが好ましい(請求項3)。最終的に、減圧手段によりチャンバ内を減圧させることで、チャンバ内や基板に付着した溶剤蒸気を蒸発させることができ、基板への残渣の発生を抑制できる。
また、本発明において、前記供給・排気手段は、前記処理槽の底部に設けられた一対の前記供給・排気管に接続された配管と、前記配管に接続され処理液を前記配管側へ供給する供給管と、前記配管に接続され前記配管を介して前記処理槽内の溶剤蒸気を吸引する吸引管と、前記供給管からの処理液の供給と前記吸引管による溶剤蒸気の吸引とを切り換える切換手段とを備えることが好ましい(請求項4)。これにより、処理槽内に処理液を供給するとともに、処理槽を排気する供給・排気手段を簡易な構成にすることができる。
本発明に係る基板処理装置によれば、制御手段は、供給・排気手段から処理槽内に処理液を供給させ、供給手段から溶剤蒸気を供給させるとともに、排出手段により処理槽内の処理液を排出させた後、供給・排気手段により処理槽を排気させているので、供給手段により処理槽の上部から処理槽内に供給された溶剤蒸気が、複数枚の基板の間を円滑に流れて、処理槽の底部に設けられた供給・排気管を有する供給・排気手段により排気される。その結果、複数枚の基板の間における溶剤蒸気の円滑な流れにより、全て基板を均一に乾燥でき、基板の乾燥ムラを防止できる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成図であり、図2は、オートカバーの縦断面図であり、図3は、供給・排気管の平面図である。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成図であり、図2は、オートカバーの縦断面図であり、図3は、供給・排気管の平面図である。
本実施例に係る基板乾処理置は、処理液を貯留する処理槽1を備えている。この処理槽1は、処理液を貯留し、起立姿勢とされた複数枚の基板Wを収容可能な大きさを有する。処理槽1の底部には、複数枚の基板Wが整列されている方向(紙面方向)に沿って長軸を有し、処理液を供給するための供給・排気管7が配設されている。供給・排気管7には、図3に示すように、長軸に沿って所定間隔で形成された複数個の孔8が備えられており、一端側に配管9が連通接続されている。複数個の孔8は、整列された複数枚の基板Wのそれぞれの間に開口する位置に形成されている。配管9は、供給管11と吸引管13に分岐されている。供給管11は、処理液供給源15に接続されており、その流量が制御弁からなる処理液弁17で制御される。吸引管13は、第1真空ポンプ19に接続され、開閉弁21により開閉される。処理液供給源15は、フッ化水素酸(HF)や、硫酸・過酸化水素水(H2SO4/H2O2)の混合液などの薬液や、純水などを処理液として供給管11へ供給する。処理槽1は、上部開口を覆うようにオートカバー23が配備されている。このオートカバー(開閉機構)23は、片開き式のカバー本体25を一対備えている。
処理槽1は、その周囲がチャンバ27で囲われている。チャンバ27は、上部に開閉自在の上部カバー29を備えている。起立姿勢で複数枚の基板Wを保持するリフタ31は、チャンバ27の上方にあたる「待機位置」と、処理槽1の内部にあたる「処理位置」と、処理槽1の上方であってチャンバ27の内部にあたる「上部位置」とにわたって移動可能に構成されている。リフタ31は、鉛直姿勢の背板31aと、この背板31aの下部に、基板Wを起立姿勢で支持するための支持部31bを備えている。図3に示すように、3本の支持部31bは、その上面に基板Wの下縁部を係止する係止溝31c(図3参照)をそれぞれ備えている。係止溝31cは、所定の間隔で形成されている。上部カバー29の下方には、不活性ガスノズル33が配設されている。
なお、上記のリフタ31が本発明における保持手段に相当する。
カバー本体25には、供給管35の一端側が連通接続され、その他端側が蒸気発生装置37に連通接続されている。この供給管35には、流量調整のための制御弁からなる蒸気弁39が配設されている。蒸気発生装置37には、キャリアガス供給源41から窒素(N2)などの不活性ガスがキャリアガスとして供給されるとともに、溶剤供給源43からイソプロピルアルコールなどの溶剤が供給される。蒸気発生装置37は、溶剤供給源43からの溶剤を蒸気にするとともに、キャリアガス供給源41からのキャリアガスと混合して所定の温度で供給管35に供給する。
不活性ガスノズル33には、供給管45の一端側が連通接続され、その他端側が、窒素ガスなどの不活性ガスを供給する不活性ガス供給源47に連通接続されている。不活性ガスの供給量は、不活性ガス弁49によって調整される。また、供給管45の一端側は、カバー本体25にも連通接続されている。
チャンバ27には、内部の気体を排出して減圧する第2真空ポンプ51が配設されている。また、減圧を解消するための開閉弁からなる呼吸弁53が取り付けられている。
なお、上記の第2真空ポンプ51が本発明における減圧手段に相当する。
処理槽1の底部には、排出口53が形成されている。この排出口53には、QDR弁55が設けられている。このQDR弁55から排液すると、処理槽1内の処理液がチャンバ27内に一旦排出される。チャンバ27の底部には、図示しない廃液処理に連通接続された排出管57が取り付けられ、ここに排液弁59が設けられている。
図2に示すように、オートカバー23のカバー本体25は、本体部材60と、多孔質部材61と、連通部材63とを備えている。本体部材60は、長手方向に連通した供給路65を備え、この供給路65は、本体部材60の下面に開口している複数個の供給孔67に連通接続されている。各供給孔67は、所定間隔で形成されている。多孔質部材61は、連続気泡を有する部材であり本体部材60の供給孔67が形成されている面に配設されている。連通部材63は、本体部材60及び多孔質部材61の一端面に配設されている。連通部材63は、供給路65に連通した供給部69が形成されており、この供給部69には、供給管35,45が連通接続されており、不活性ガスや溶剤の蒸気が供給される。
上記の構成のオートカバー23は、下面に多孔質部材61を備えているので、イソプロピルアルコールの蒸気をムラなく均一にして処理槽1内に供給することができるようになっている。供給孔67をきめ細かく形成し、均一にイソプロピルアルコールの蒸気を供給できる場合には、多孔質部部材67を備える必要はない。
本実施例装置は、オートカバー23からイソプロピルアルコールの蒸気を供給する構成を採用しているので、オートカバー23とは別体のノズルが不要となって構成を簡単化できる。
上述した第1真空ポンプ19、開閉弁21、上部カバー29、リフタ31、不活性ガス弁49、第2真空ポンプ51、呼吸弁53、QDR弁55、排液弁59などの動作は、本発明における制御手段に相当する制御部71により統括的に制御される。
次に、図4を参照して、上述した構成を備えた装置の動作について説明する。なお、図4は、処理毎に各部の動作状況を示す図である。この図4中において、処理液弁17やオートカバー23の動作が開放である箇所には「開放」と記してあるが、空白の部分は「閉止」を意味する。同様に、ポンプが動作されている箇所には「ON」と記してあるが、空白の部分は「停止」を意味する。
制御部71は、上部カバー29及びオートカバー23を開放し、未処理の基板Wを複数枚保持しているリフタ31を「待機位置」から「上部位置」に搬入させる(ステップS1)。このとき、排液弁59は開放のままである。次に、制御部71は、チャンバ27内の酸素濃度低減処理を行う(ステップS2)。具体的には、不活性ガス弁49及び呼吸弁53を開放し、不活性ガス供給源47からチャンバ27内に不活性ガスを供給させる。これにより、チャンバ27及び処理槽1内の空気が不活性ガスによってパージされ、その結果、酸素濃度が低減される。さらに、制御部71は、リフタ31を上部位置から処理位置にまで下降させる。
チャンバ27内の酸素濃度が低減されると、制御部71は、処理液弁17を開放するとともにオートカバー23を閉止する。これにより、処理液供給源15から供給管11、配管9及び供給・排気管7を介して薬液が処理液として処理槽1に供給され、処理槽1から溢れた処理液がチャンバ27の底部で回収される。回収された処理液は、排出管57を通して排出される。このようにして処理液が処理槽1へ供給された後、制御部71は、リフタ31を処理位置に所定時間だけ維持して基板Wに対して処理液による処理を行う(ステップS3)。
薬液洗浄を開始して所定時間が経過すると、制御部71は、リフタ31を処理位置に維持させたまま、処理液供給源15からの薬液に代えて純水を処理液として処理槽1へ供給させる。そして、その状態を所定時間だけ維持して、基板Wを純水で洗浄処理する(ステップS4)。
純水洗浄が完了すると、制御部71は、処理液弁17を閉止して処理槽1への純水の供給を停止させる。さらに、蒸気弁39を開放して、蒸気発生装置37からイソプロピルアルコール(IPA)の蒸気を所定の温度に過熱した状態で供給管35へ供給させる。これにより、イソプロピルアルコールの蒸気がオートカバー23の各供給孔67から処理槽1内に供給され、処理槽1に貯留している純水の液面がイソプロピルアルコールの蒸気によって置換される(ステップS5)。
このとき、処理槽1上部は、オートカバー23により閉塞されているので、処理槽1の純水液面が迅速にイソプロピルアルコールの蒸気により置換が行われる。
上述したイソプロピルアルコールによる液面置換を所定時間だけ維持した後、制御部71は、呼吸弁53を閉止する。この状態を所定時間だけ維持すると、処理槽1から溢れてチャンバ27内に拡がったイソプロピルアルコールの蒸気が充満することになり、チャンバ27内の全体が溶剤雰囲気にされる(ステップS6)。
次いで、制御部71は、QDR弁55を開放する。これにより、処理槽1内の純水がチャンバ27の底部に排出され、処理槽1の液面が急激に下降される。すると、基板Wが純水から露出して、基板Wの表面に付着している純水が、処理槽1内に充満しているイソプロピルアルコールの蒸気によって置換され始める(ステップS7)。チャンバ27の底部に回収された純水は、排出管57を通して排出される。
基板Wの表面が純水からイソプロピルアルコールの蒸気による置換を開始した後、制御部71は、不活性ガス弁49、QDR弁55及び排液弁59を閉止させるとともに、第1真空ポンプ19を作動させる。これにより、オートカバー23の各供給孔67から供給されたイソプロピルアルコールの蒸気は、処理槽1内に充満するとともに、供給・排気管7を介の複数個の孔8から排気されるので、リフタ31に起立姿勢で保持されている複数枚の基板Wの間を円滑に通過して排気される(ステップS8)。
なお、このとき第2真空ポンプ51も作動させると、チャンバ27内全体が減圧されて減圧乾燥が行われ、チャンバ27内、処理槽1内、及び基板Wの表面に付着しているイソプロピルアルコールの蒸気が蒸発し、この蒸発により基板Wへの残渣の発生を抑制できる。
減圧乾燥を所定時間だけ行った後、気圧リカバリを行う(ステップS9)。具体的には、第1真空ポンプ19及び第2真空ポンプ51を停止させる。さらに、QDR弁55、排液弁57、不活性ガス弁47、呼吸弁53を開放する。これにより減圧されていた処理槽1及びチャンバ27内の圧力が大気圧にまで回復される。
気圧リカバリの後、制御部71は、QDR弁55、排液弁57、不活性ガス弁49、呼吸弁53を閉止するとともに、オートカバー23を開放し、処理位置にあるリフタ31を上部位置にまで上昇させて処理槽1から基板Wをチャンバ27から搬出させ、上部カバー29を開放して基板Wを上部位置から待機位置にまで上昇させて搬出させる(ステップS10)。その後、制御部71は、チャンバ27の上部カバー29を閉止するとともに、処理液弁17を開放して、処理槽1に処理液を満たしておくとともに、不活性ガス弁49を開放してチャンバ27内を不活性ガスで充満させておく(ステップS11)。
上述したように制御部71は、リフタ31により複数枚の基板Wを処理槽1内の処理位置に移動させ、供給・排気管7を介して処理槽1内に供給された処理液で複数枚の基板Wを洗浄等の処理した後、オートカバー23の各供給孔67からイソプロピルアルコールの蒸気を供給させるとともに、排出管57を介して処理液を排出させ、第1真空ポンプ19により処理槽1内を排気させる。処理槽1内を排気するので、処理槽1の上部から供給されたイソプロピルアルコールの蒸気が複数枚の基板Wの間を円滑に流下されて供給・排気管7から排気される。したがって、全ての基板Wを均一に乾燥させることができ、乾燥ムラを防止することができる。
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
(1)処理槽1内にイソプロピルアルコールの蒸気を供給する供給手段とは別体で、チャンバ27内の上部にイソプロピルアルコールの蒸気を供給する第2の供給手段を備えるようにしてもよい。
(2)上述した実施例では、イソプロピルアルコールの蒸気を供給しているが、その他の有機溶剤を供給するようにしてもよい。
(3)上述した実施例では、処理槽1内の処理液をQDR弁55を介して排出してチャンバ27内に一旦排出した後、チャンバ27から排出管57を通して排出するようにしているが、処理槽1を内槽と外槽で構成し、内槽から溢れた処理液を外槽で回収する構成するとともに、内槽の処理液をチャンバ27外に一度に排出する構成としてもよい。
W … 基板
1 … 処理槽
7 … 供給・排気管
11 … 供給管
15 … 処理液供給源
19 … 第1真空ポンプ
23 … オートカバー
25 … カバー本体
27 … チャンバ
31 … リフタ
33 … 不活性ガスノズル
51 … 第2真空ポンプ
53 … 排出口
55 … QDR弁
57 … 排出管
60 … 本体部材
61 … 多孔質部材
71 … 制御部
1 … 処理槽
7 … 供給・排気管
11 … 供給管
15 … 処理液供給源
19 … 第1真空ポンプ
23 … オートカバー
25 … カバー本体
27 … チャンバ
31 … リフタ
33 … 不活性ガスノズル
51 … 第2真空ポンプ
53 … 排出口
55 … QDR弁
57 … 排出管
60 … 本体部材
61 … 多孔質部材
71 … 制御部
Claims (4)
- 処理液により基板を処理した後、溶剤蒸気により基板を乾燥する基板処理装置において、
処理液を貯留する処理槽と、
前記処理槽の底部に設けられた供給・排気管を有し、前記処理槽内に処理液を供給するとともに、前記処理槽を排気する供給・排気手段と、
前記処理槽の上部に設けられ、前記処理槽内に溶剤の蒸気を供給する供給手段と、
前記処理槽内の処理液を排出する排出手段と、
前記処理槽内において複数枚の基板を保持する保持手段と、
前記処理槽内に前記保持手段により複数枚の基板を保持した状態で、前記供給・排気手段から前記処理槽内に処理液を供給して処理液により基板を処理させ、前記供給手段から溶剤蒸気を供給させるとともに、前記排出手段により前記処理槽内の処理液を排出させた後、前記供給・排気手段により前記処理槽を排気させて基板を乾燥させる制御手段と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記処理槽の上部開口を開閉する開閉機構をさらに備え、
前記供給手段は、前記開閉機構の下面に設けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置において、
前記処理槽の周囲を囲うチャンバと、
前記チャンバ内を減圧する減圧手段とをさらに備え、
前記制御手段は、前記供給手段から溶剤蒸気を供給させて前記処理槽内を溶剤雰囲気にさせた後、前記減圧手段により前記チャンバ内を減圧させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記供給・排気手段は、前記処理槽の底部に設けられた一対の前記供給・排気管に接続された配管と、前記配管に接続され処理液を前記配管側へ供給する供給管と、前記配管に接続され前記配管を介して前記処理槽内の溶剤蒸気を吸引する吸引管と、前記供給管からの処理液の供給と前記吸引管による溶剤蒸気の吸引とを切り換える切換手段とを備えることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006197974A JP2008028080A (ja) | 2006-07-20 | 2006-07-20 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006197974A JP2008028080A (ja) | 2006-07-20 | 2006-07-20 | 基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008028080A true JP2008028080A (ja) | 2008-02-07 |
Family
ID=39118421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006197974A Pending JP2008028080A (ja) | 2006-07-20 | 2006-07-20 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008028080A (ja) |
-
2006
- 2006-07-20 JP JP2006197974A patent/JP2008028080A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5626611B2 (ja) | 基板乾燥装置及び基板乾燥方法 | |
US20110290280A1 (en) | Substrate processing method and non-transitory storage medium for carrying out such method | |
CN107611056B (zh) | 用于处理基板的设备和方法 | |
JP4688741B2 (ja) | 基板処理装置 | |
TWI714876B (zh) | 基板處理裝置、基板處理方法及基板處理裝置之控制方法 | |
JP4584783B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体 | |
JP2006278955A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP5122371B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、プログラムならびに記憶媒体 | |
JP4498986B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体 | |
JP2002066475A (ja) | 基板洗浄装置 | |
JP6228800B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2008028080A (ja) | 基板処理装置 | |
KR102061004B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP2008028323A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5222499B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP5917121B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP4421967B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2013149666A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP3795297B2 (ja) | 基板洗浄装置 | |
JP2006278466A (ja) | 基板処理装置 | |
JP3999946B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
WO2024095760A1 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP5226452B2 (ja) | チャンバ洗浄方法 | |
JP5425666B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2009027078A (ja) | 基板処理装置 |