JP2008026275A - 弾性表面波角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電膜4の表面側に摂動錘兼上部電極6を形成すると共に、裏面側に下部電極3を形成する。また、摂動錘兼上部電極6の両側に検出用の櫛歯電極7〜10を備える。このような構成の角速度センサは、摂動錘兼上部電極6に対して直接駆動電圧を印加することにより、摂動錘兼上部電極6を上下方向(基板垂直方向)に振動させることができる。このため、摂動錘兼上部電極6の振動に基づいて角速度を検出することが可能となる。したがって、従来のように摂動錘を中心とした一方向に沿って駆動用の櫛歯電極および反射器を並べる必要がなく、櫛歯電極7〜10を配置するのみで良いため、角速度センサの小型化を図ることができ、回路と共に角速度センサを構成する場合には、回路との集積化も図ることが可能となる。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態の角速度センサ1を示したものであり、図1(a)は、角速度センサ1の上面レイアウトを示した図であり、図1(b)は、図1(a)におけるA−A断面図である。なお、図1(a)は断面図ではないが、理解を容易にするために部分的にハッチングを示してある。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の角速度センサ1は、第1実施形態に対して検出器の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の角速度センサ1は、第1実施形態に対して下部電極3および層間絶縁膜5の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態の角速度センサ1は、第1実施形態に対して基板2の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態の角速度センサは、第2実施形態に示した角速度センサ1に備えられたセンサ部を複数個配置したものである。図5は、本実施形態の角速度センサ1の斜視図である。この図に示すように、複数のセンサ部を1チップ内に配置しても良い。このようにすれば、各センサ部に備えられた櫛歯電極7〜10および21〜24の出力を加算して増幅させることが可能となるため、より角速度センサ1を高感度にすることが可能となる。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態の角速度センサ1では、第1実施形態に対して摂動錘兼上部電極6の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは異なる部分についてのみ説明する。
上記第1実施形態では、摂動錘兼上部電極6を長方形状に形成したが、これは単なる一例であり、必ずしも長方形にする必要はない。同様に、第2実施形態に関しても、摂動錘兼上部電極6が正方形でなくても良い。つまり、摂動錘兼上部電極6を上下方向に振動させられ、かつ、摂動錘兼上部電極6でコリオリ力に基づいて発生する弾性波が検出用の櫛歯電極7〜10に伝達できるような形状であれば、どのような形状であっても構わない。
5…層間絶縁膜、6…摂動錘兼上部電極、7〜10…櫛歯電極、
7a〜10a…櫛歯部、7b〜10b…連結部、11…駆動電圧印加ライン、
12…駆動電源、13…ライン、21〜24…櫛歯電極。
Claims (20)
- 表面となる第1面と裏面となる第2面を有した圧電体(4)と、
前記圧電体(4)の前記第1面側に形成された摂動錘兼上部電極(6)と、
前記圧電体(4)の前記第2面のうち、少なくとも前記摂動錘兼上部電極(6)と対向する位置に形成された下部電極(3)と、
前記摂動錘兼上部電極(6)から離間して配置され、前記摂動錘兼上部電極(6)に対して加えられた角速度に応じた物理量を検出する検出器(7〜10、21〜24)と、を有したセンサ部を備えていることを特徴とする弾性表面波角速度センサ。 - 前記検出器(7〜10、21〜24)は、第1検出器(7、8)および第2検出器(9、10)を含んでおり、該第1、第2検出器(7〜10)が前記摂動錘兼上部電極(6)を挟んだ両側に1つずつ配置され、これら第1、第2検出器(7〜10)および前記摂動錘兼上部電極(6)が同軸上に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記第1、第2検出器(7〜10)の出力の差に基づいて、前記角速度の検出を行うことを特徴とする請求項2に記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記検出器(7〜10、21〜24)は、前記第1、第2検出器(7〜10)に加えてさらに第3検出器(21、22)および第4検出器(23、24)を含んでおり、該第3、第4検出器(21〜24)も前記摂動錘兼上部電極(6)を挟んだ両側に1つずつ配置され、これら第3、第4検出器(21〜24)および前記摂動錘兼上部電極(6)が同軸上に配置されており、この軸が第1、第2検出器(7〜10)および前記摂動錘兼上部電極(6)の配置された軸と垂直をなしていることを特徴とする請求項2または3に記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記第1、第2検出器(7〜10)の出力の差、前記第3、第4検出器(21〜24)の出力の差に基づいて、前記角速度の検出を行うことを特徴とする請求項4に記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記圧電体(4)は薄膜であり、該圧電膜(4)の裏面側には、前記下部電極(3)を介して支持基板(2)が配置されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記支持基板(2)は、絶縁基板もしくは高抵抗の半導体材料よりなる基板にて構成されていることを特徴とする請求項6に記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記支持基板(2)のうち、前記摂動錘兼上部電極(6)と対応する位置は抉り取られた穴部(2a)とされていることを特徴とする請求項6または7に記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記穴部(2a)において、前記第1、第2検出器(7〜10)が並べられる軸方向の前記穴部(2a)の両端部が前記摂動錘兼上部電極(6)の両端部よりも内側に配置されていることを特徴とする請求項8に記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記穴部(2a)において、前記第1、第2検出器(7〜10)が並べられる軸方向の前記穴部(2a)の両端部が前記摂動錘兼上部電極(6)の両端部よりも外側に配置されていることを特徴とする請求項8または9に記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記穴部(2a)において、前記第1、第2検出器(7〜10)が並べられる軸方向及び前記第3、第4検出器(21〜24)が並べられる軸方向の前記穴部(2a)の両端部が前記摂動錘兼上部電極(6)の両端部よりも内側に配置されていることを特徴とする請求項8に記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記摂動錘兼上部電極(6)は1つのみ形成されていることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか1つに記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記下部電極(3)は、前記圧電膜(4)の前記第2面のうち、前記摂動錘兼上部電極(6)と対向する位置にのみ形成されていることを特徴とする請求項1ないし12のいずれか1つに記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記圧電体(4)における前記第1面の表面には層間絶縁膜(5)が形成されており、該層間絶縁膜(5)を介して前記摂動錘兼上部電極(6)が形成されていることを特徴とする請求項1ないし13のいずれか1つに記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記層間絶縁膜(5)は、前記圧電膜(4)における前記第1面のうち、前記摂動錘兼上部電極(6)と対応する位置にのみ形成されていることを特徴とする請求項14に記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記摂動錘兼上部電極(6)が格子状に複数個分割されており、該複数個に分割された前記摂動錘兼上部電極(6)がそれぞれ電気的に接続された構成とされていることを特徴とする請求項1ないし15のいずれか1つに記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記センサ部が1チップ内に複数個配置されていることを特徴とする請求項1ないし16のいずれか1つに記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記圧電体(4)は、AlN、ZnO、PZT、PT、LiNbO3、LTのいずれか1つにより構成されていることを特徴とする請求項1ないし17のいずれか1つに記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記摂動錘兼上部電極(6)もしくは前記下部電極(3)の電極材料として、Al、Al−Si、Al−Si−Cu、もしくは不純物をドーピングしたPoly−Siのいずれか1つが用いられていることを特徴とする請求項1ないし18のいずれか1つに記載の弾性表面波角速度センサ。
- 前記摂動錘兼上部電極(6)もしくは前記下部電極(3)の電極材料として、Au、Pt、W、Ruのいずれか1つが用いられていることを特徴とする請求項1ないし18のいずれか1つに記載の弾性表面波角速度センサ。
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