JP2008002993A - 回路パターン検査装置のセンサ部位置校正用治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】非接触検査を行う回路パターン検査装置の一対のセンサ電極11の位置校正のために用いられ、基板上の両外側に基準ライン23,24が設けられて基板上中央に配置される直線位置校正用配線L1を線対称に、校正用信号の印加側と受信側が異なるピッチで途中に段差を有する複数の位置校正用配線22が形成されたセンサ電極位置校正用治具であり、信号を印加しながら位置校正用配線22を横切るようにセンサ電極11を走査移動し、検出された信号データから該当する位置校正用配線22の段差に見合う位置ずれを校正する。
【選択図】 図2
Description
図1は、本発明に係るセンサ部位置校正用治具を使用する回路パターン検査装置の概念的な構成例を示す図である。
図3は、説明を容易にするために直線配線O(L1)に対して一方側の位置校正用配線を詳細に示している。図4(a),(b)は、センサ電極11と位置校正用配線22の位置ずれについて説明するための図である。図5は、センサ部と校正用基板との位置関係を示す図である。図6は、位置校正用配線から得られる校正用検出信号の一例を示す図である。
図3において、例えば、A端側の平行な配線の全てのピッチを10μmとし、B端側の平行な位置校正用配線の全てのピッチを40μmとする。つまり、位置校正用配線L2(図4(a))であれば、A端側とB端側では、30μmの段差による距離がある。以下同様に、位置校正用配線L3では60μm、位置校正用配線L4では90μm、位置校正用配線L5(図4(b))では120μmとなり、30μm単位で外側に段差が広がっていく。図4(a),(b)において、センサ5aを送信センサにおける送信センサ電極11aとし、センサ5bを受信センサにおける受信センサ電極11bとしている。これらのピッチの数値は、センサ電極の大きさ、検査基板1に形成される回路パターンの配線幅や配線間距離等を考慮して適宜設定される。
Claims (4)
- 検査基板上に形成された回路パターンの両端に検査信号を送受信して検査を行う回路パターン検査装置における該検査信号に送受信する少なくとも一方が非接触である一対の送信センサ及び受信センサから成るセンサ部を位置校正するために用いられ、
校正用基板上の中央に形成される直線を中央として線対称に形成され、位置校正のための信号を印加する側の前記送信センサに対向する印加側配線部分と、前記受信センサに対向する受信側配線部分とが異なるピッチで配列され、印加側配線部分と受信側配線部分の接続部分に段差を有する複数の位置校正用配線と、
前記位置校正用配線の両外側に形成される直線の基準ラインと、
で構成され、
前記送信センサから前記位置校正のための信号を前記印加側配線部分に印加しつつ、前記位置校正用配線を横切るようにセンサ部を移動し、前記受信側配線部分から検出された信号データから選択された位置校正用配線の前記段差に見合う前記送信センサと前記受信センサの位置ずれを校正することを特徴とする回路パターン検査装置のセンサ部位置校正用治具。 - 前記印加側配線部分間のピッチよりも前記受信側配線部分間のピッチが狭くなるように設けられ、
前記段差は、中央に配置される前記直線の位置校正用配線から両外側に広がるように形成されることを特徴とする請求項1に記載の回路パターン検査装置のセンサ部位置校正用治具。 - 前記基準ラインは、異なる2つの線幅が接続された配線からなり、
前記位置校正のための信号を印加する側のセンサに対向する線幅が、前記受信する側のセンサに対向する線幅よりも広く形成されることを特徴とする請求項1に記載の回路パターン検査装置のセンサ部位置校正用治具。 - 前記センサ部位置校正用治具は、前記回路パターン検査装置の前記検査基板を装着するステージ上に固定されることを特徴とする請求項1に記載の回路パターン検査装置のセンサ部位置校正用治具。
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