JP6821368B2 - 検出センサおよび検査装置 - Google Patents
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Landscapes
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Description
2 磁気検出センサ
7 表示部
8 制御部
21 検出素子ユニット
22 信号処理部
23 フレキシブル基板
23a 動作確認用導体
24 撮像部
25 第1移動機構
26 第2移動機構
26a エアシリンダ
26b レギュレータ
27 演算部
30a,30b 検出素子対
31a〜31d 磁気検出素子
31f 検出面
31m 標識
33 弾性部材
70 基板
73 集積回路
73a,73b 素子
Im 電流値
Im1 第1成分
Im2 第2成分
ψ 角度
Fs 平面
Lma,Lmb 磁力線
Lp 垂線
Ma,Mb 磁界
Sd 検出信号
Ss センサ信号
St 電流
Claims (9)
- 検出対象を流れる電流によって生じる磁界の磁力線が検出面を通過する際の当該磁界を検出して検出信号を出力する検出素子と、当該検出素子から出力された前記検出信号に基づいて前記電流の電流値を算出するためのセンサ信号を出力する信号処理部とを備えた検出センサであって、
前記検出面同士が互いに平行に対向する2つの前記検出素子を1組とする検出素子対を2つ備え、
前記各検出素子対は、1つの当該検出素子対における前記検出面の垂線と他の当該検出素子対における前記検出面の垂線とが同一の平面内で互いに交差するように配置され、かつ当該各検出素子対の一方を構成する前記各検出素子の前記検出面が前記平面上に規定した直交座標の一方の座標軸に沿い、前記各検出素子対の他方を構成する前記各検出素子の前記検出面が前記直交座標の他方の座標軸に沿うように当該各検出素子対が配置され、
前記信号処理部は、前記検出素子対を構成する前記2つの検出素子からそれぞれ出力された前記検出信号の差動信号を前記センサ信号として出力し、
前記各検出素子対についての前記差動信号に基づいて前記電流の電流値および当該電流の方向を算出する第1演算部を備え、当該第1演算部は、前記電流の電流値における前記一方の座標軸の方向に沿った成分である第1成分を前記一方の検出素子対についての前記差動信号に基づいて特定し、前記電流の電流値における前記他方の座標軸の方向に沿った成分である第2成分を前記他方の検出素子対についての前記差動信号に基づいて特定し、前記第1成分と前記第2成分との2乗和平方根を前記電流の電流値として算出すると共に、前記第1成分と前記第2成分との逆正接によって特定される方向を前記電流の方向として算出する検出センサ。 - 検出対象を流れる電流によって生じる磁界の磁力線が検出面を通過する際の当該磁界を検出して検出信号を出力する検出素子と、当該検出素子から出力された前記検出信号に基づいて前記電流の電流値を算出するためのセンサ信号を出力する信号処理部とを備えた検出センサであって、
前記検出面同士が互いに平行に対向する2つの前記検出素子を1組とする検出素子対を複数組備え、
前記各検出素子対は、1つの当該検出素子対における前記検出面の垂線と他の当該検出素子対における前記検出面の垂線とが同一の平面内で互いに交差するように配置されると共に、当該検出素子対をユニット化した検出素子ユニットとして構成され、
前記検出素子ユニットには、前記検出対象に対して当該検出素子ユニットを位置合わせするための複数の位置合わせ用の標識が設けられ、
前記信号処理部は、前記検出素子対を構成する前記2つの検出素子からそれぞれ出力された前記検出信号の差動信号を前記センサ信号として出力し、
前記標識を撮像する撮像部と、当該撮像部によって撮像された画像に基づいて前記検出素子ユニットを位置させる規定位置と当該検出素子ユニットの実際の位置との位置ずれ量を算出する演算部Aと、前記位置ずれ量が予め決められた基準値以上のときに報知処理を行う報知部とを備えている検出センサ。 - 前記平面に沿った平面方向に前記検出素子ユニットを移動させると共に前記平面の垂線を軸とする回動方向に当該検出素子ユニットを回動させる第1移動機構を備えている請求項2記載の検出センサ。
- 前記磁界を検出する際に前記検出対象に近接する前記検出素子ユニットの先端部に弾性部材が配設されている請求項2または3記載の検出センサ。
- 前記平面の垂線に沿った方向に前記検出素子ユニットを移動させる第2移動機構を備え、
前記第2移動機構は、エアシリンダを備えて構成されている請求項4記載の検出センサ。 - 前記各検出素子対についての前記差動信号に基づいて前記電流の電流値および当該電流の方向を算出する演算部Bを備え、
前記検出素子対を2つ備えると共に、当該各検出素子対の一方を構成する前記各検出素子の前記検出面が前記平面上に規定した直交座標の一方の座標軸に沿い、前記各検出素子対の他方を構成する前記各検出素子の前記検出面が前記直交座標の他方の座標軸に沿うように当該各検出素子対が配置され、
前記演算部Bは、前記電流の電流値における前記一方の座標軸の方向に沿った成分である第1成分を前記一方の検出素子対についての前記差動信号に基づいて特定し、前記電流の電流値における前記他方の座標軸の方向に沿った成分である第2成分を前記他方の検出素子対についての前記差動信号に基づいて特定し、前記第1成分と前記第2成分との2乗和平方根を前記電流の電流値として算出すると共に、前記第1成分と前記第2成分との逆正接によって特定される方向を前記電流の方向として算出し、かつ前記演算部Aによって算出された前記位置ずれ量に基づいて前記電流の電流値および前記電流の方向を補正する請求項2から5のいずれかに記載の検出センサ。 - 前記検出素子ユニットには、前記検出素子の動作確認を行う際に動作確認用電流を流す動作確認用導体が配設されている請求項2から6のいずれかに記載の検出センサ。
- 前記検出信号および前記センサ信号を導通させる導体パターンを有する回路基板を備え、
前記動作確認用導体は、前記回路基板に形成されている請求項7記載の検出センサ。 - 請求項1から8のいずれかに記載の検出センサと、当該検出センサから出力された前記センサ信号に基づいて前記検出対象を有する検査対象を検査する検査部とを備えている検査装置。
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