JP2013238435A - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板上の複数のプロービング対象にプローブユニットの各プローブを確実にプロービングさせる。
【解決手段】基板上の複数のプロービング対象(バンプ101a)にプローブユニットのプローブ(201a,201c)をプロービングさせる移動機構と、各プローブのプロービング位置とプロービング対象との位置ずれを補正するための補正値を特定して位置ずれを補正する処理部とを備えて、基板の検査を実行可能に構成され、処理部は、一対のプローブを1つのプロービング対象にプロービングさせて実行する検査において一対のプローブと1つのプロービング対象との組み合わせが複数存在するときに、1つの組み合わせにおける一対のプローブの各プロービング位置を結ぶ線分の中点(Pm1)とプロービング対象の中心部(Cs1)との離間距離(La1)を補正値として特定する特定処理を複数の組み合わせについて実行する。
【選択図】図7
【解決手段】基板上の複数のプロービング対象(バンプ101a)にプローブユニットのプローブ(201a,201c)をプロービングさせる移動機構と、各プローブのプロービング位置とプロービング対象との位置ずれを補正するための補正値を特定して位置ずれを補正する処理部とを備えて、基板の検査を実行可能に構成され、処理部は、一対のプローブを1つのプロービング対象にプロービングさせて実行する検査において一対のプローブと1つのプロービング対象との組み合わせが複数存在するときに、1つの組み合わせにおける一対のプローブの各プロービング位置を結ぶ線分の中点(Pm1)とプロービング対象の中心部(Cs1)との離間距離(La1)を補正値として特定する特定処理を複数の組み合わせについて実行する。
【選択図】図7
Description
本発明は、検査対象の基板に対してプローブをプロービングさせて、そのプローブを介して入出力する電気信号に基づいて基板の検査を実行する基板検査装置および基板検査方法に関するものである。
この種の基板検査装置として、特開2009−168601号公報において出願人が開示した回路基板検査装置(以下「基板検査装置」ともいう)が知られている。この基板検査装置は、撮像部、プローブ機構および制御部などを備えて基板(回路基板)を検査可能に構成されている。この基板検査装置では、複数のプローブを有するプロービング治具をプローブ機構が移動させて、各プローブを基板上のプロービング対象(導体パターン)に接触させ、その状態で検査が行われる。また、この基板検査装置では、基板保持部に基板を保持させたときの位置ずれ(基板保持部に対する基板の相対的な位置ずれ:以下、単に「基板の位置ずれ」ともいう)が生じているときには、検査に先立ってこの基板の位置ずれの補正が行われる。具体的には、制御部が、撮像部によって撮像された基板の画像(撮像部から出力される画像データ)に基づいて基板の位置ずれの量を特定し、プローブ機構にプロービングを実行させる際に、基板の表面に沿ってプロービング治具を移動(回動)させ、これによって基板の位置ずれの補正を行う。
一方、プローブ機構にプロービング治具を取り付ける際にも、プローブ機構に対するプロービング治具の相対的な位置ずれが生じ、これによって基板に対するプロービング治具の位置ずれ(以下、単に「プロービング治具の位置ずれ」ともいう)が生じることがある。このため、発明者は、このプロービング治具の位置ずれを補正する機能を備えた基板検査装置を既に開発している。この基板検査装置では、基板の上に打痕シート(圧力を受けた部分が発色するシート)を載置し、その打痕シートに対してプロービングを行う。次いで、撮像部が、プロービングによって打痕(発色した部分)を撮像し、制御部が、その画像に基づいて打痕の位置を特定する。続いて、制御部が、特定した打痕の位置からプロービング治具の位置ずれの量を特定する。具体的には、例えば、図11に示すように、基板100の中心部を挟んで対向する2つのプロービング対象(例えば、同図に示すバンプ101a,101b)と、バンプ101a,101bにそれぞれプロービングさせる各プローブとの位置ずれの量を特定し、各位置ずれの量から基板100の表面に沿った平行移動方向および回転方向におけるプロービング治具の位置ずれの量を特定している。
この場合、例えば、図11に示すように、基板100の左上に設けられているバンプ101aにプロービングさせるべきプローブの打痕Kaがバンプ101aにプロービング可能な位置に形成され、基板100の右下に設けられているバンプ101bにプロービングさせるべきプローブの打痕Kbがバンプ101bにプロービング可能な位置から外れて同図における左側に形成されているときには、バンプ101bの縁部と打痕Kbの縁部との離間距離をプロービング治具の位置ずれの量として特定する。この場合、プロービングを実行させる際に、上記した基板の位置ずれの量およびプロービング治具の位置ずれの量だけプロービング治具を移動(回動)させ、これによって基板の位置ずれおよびプロービング治具の位置ずれの補正を行う。この基板検査装置では、基板の位置ずれに加えて、プロービング治具の位置ずれを補正することができるため、各プローブを基板のプロービング対象に正確に接触させることが可能となっている。
ところが、プロービング治具の位置ずれを補正する機能を有する上記の基板検査装置にも、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この基板検査装置では、2つのプロービング対象の縁部と、各プロービング対象にそれぞれプロービングさせる各プローブとの位置ずれの量を特定し、各位置ずれの量から基板に対するプロービング治具の位置ずれの量を特定している。一方、4端子法で検査を行う際には、1つのプロービング対象に対して2つのプローブをプロービングさせる必要がある。ここで、図12に示すように、バンプ101aにプローブ201a,201cをプロービングさせ、バンプ101bにプローブ201b,201d(以下、プローブ201a〜201dを区別しないときには、「プローブ201」ともいう)をプロービングさせる場合を想定する。この場合において、プローブ201a,201cの一方(例えば、プローブ201a)の打痕Kaがバンプ101a上の領域内に形成され、プローブ201b,201dの一方(例えば、プローブ201b)の打痕Kbがバンプ101b上の領域から外れて同図における右側に位置しているときには、上記の基板検査装置では、バンプ101bの縁部とプローブ201bの打痕の縁部との離間距離をプロービング治具の位置ずれの量として特定することとなる。しかしながら、このようにして特定したプロービング治具の位置ずれの量だけプロービング治具を移動(回動)させたとしても、図13に示すように、各プローブ201a〜201dのうちの一部(この例では、プローブ201d)が、バンプ101bに対してプロービング可能な位置から外れることがある。このように、この基板検査装置では、上記のようにして特定したプロービング治具の位置ずれの量に基づいて補正を行ったとしても、プロービングさせるべきすべてのプローブ201の一部がプロービングされないおそれがあり、この点の改善が望まれている。
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、基板上の複数のプロービング対象にプローブユニットの各プローブを確実にプロービングさせ得る基板検査装置および基板検査方法を提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項1記載の基板検査装置は、複数のプローブを有するプローブユニットを基板に向けて移動させて当該基板上の複数のプロービング対象に当該各プローブをプロービングさせる移動機構と、前記各プローブのプロービング位置と前記プロービング対象との位置ずれを補正するための補正値を特定して当該補正値に基づいて当該位置ずれを補正する処理部とを備えて、前記各プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板の検査を実行する基板検査装置であって、前記処理部は、一対の前記プローブを1つの前記プロービング対象にプロービングさせて実行する前記検査において当該一対のプローブと当該1つのプロービング対象との組み合わせが複数存在するときに、1つの前記組み合わせにおける前記一対のプローブの各プロービング位置を結ぶ線分の中点と前記プロービング対象の中心部との離間距離を前記補正値として特定する特定処理を複数の前記組み合わせについて実行する。
また、請求項2記載の基板検査装置は、請求項1記載の基板検査装置において、前記処理部は、2つのみの前記組み合わせについて前記特定処理を実行する。
また、請求項3記載の基板検査装置は、請求項2記載の基板検査装置において、前記処理部は、前記基板の中心部を挟んで対向する2つの前記プロービング対象をそれぞれ含む前記2つのみの組み合わせについて前記特定処理を実行する。
また、請求項4記載の基板検査装置は、請求項3記載の基板検査装置において、前記処理部は、前記2つのプロービング対象の前記中心部同士の離間距離が最も長い当該2つのプロービング対象をそれぞれ含む前記2つのみの組み合わせについて前記特定処理を実行する。
また、請求項5記載の基板検査方法は、複数のプローブを有するプローブユニットを基板に向けて移動させて当該基板上の複数のプロービング対象に当該各プローブをプロービングさせ、前記各プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板の検査を実行すると共に、前記各プローブのプロービング位置と前記プロービング対象との位置ずれを補正するための補正値を特定して当該補正値に基づいて当該位置ずれを補正する基板検査方法であって、一対の前記プローブを1つの前記プロービング対象にプロービングさせて実行する前記検査において当該一対のプローブと当該1つのプロービング対象との組み合わせが複数存在するときに、1つの前記組み合わせにおける前記一対のプローブの各プロービング位置を結ぶ線分の中点と前記プロービング対象の中心部との離間距離を前記補正値として特定する特定処理を複数の前記組み合わせについて実行する。
請求項1記載の基板検査装置、および請求項5記載の基板検査方法では、1つのプロービング対象とそのプロービング対象にプロービングさせる一対のプローブとの組み合わせにおける各プローブのプロービング位置を結ぶ線分の中点とプロービング対象の中心部との離間距離を補正値として特定する特定処理を複数の組み合わせについて実行する。そして、この補正値が0となるように基板をプローブユニットに対して相対的に移動させて、位置ずれを補正することで、各組み合わせにおけるプロービング対象の中心部と一対のプローブの先端部を結ぶ線分の中点とが一致した状態とすることができる。このため、この基板検査装置および基板検査方法によれば、一対のプローブのいずれか一方のみがプロービング対象にプロービングされて他方が非接触の状態となる事態を確実に防止して、一対のプローブを各プロービング対象に確実にプロービングさせることができる。また、この基板検査装置および基板検査方法によれば、一対のプローブを各プロービング対象に確実にプロービングさせた状態で基板の検査を実行することができるため、検査精度を十分に向上させることができる。
また、請求項2記載の基板検査装置によれば、2つのみの組み合わせについて特定処理を実行することにより、最小の回数である2回のみの特定処理で特定した補正値に基づいて位置ずれを補正することができるため、補正の工程に要する時間を十分に短縮することができる。
また、請求項3記載の基板検査装置では、基板の中心部を挟んで対向する2つのみの組み合わせについて特定処理を実行してプロービング位置を結ぶ線分の中点とプロービング対象の中心部との離間距離を補正値として特定する。この場合、回転方向の位置ずれが生じているときには、一般的に、基板の中心部を挟まずに対向する2つの組み合わせよりも基板の中心部を挟んで対向する2つの組み合わせの方が、位置ずれを示す(補正値としての)離間距離が大きな値となって現れる。このため、この基板検査装置および基板検査方法によれば、プローブユニットを移動機構に取り付ける際に生じ易い回転方向の位置ずれを示す離間距離を確実に特定することができる結果、その位置ずれを確実に補正することができる。
また、請求項4記載の基板検査装置では、プロービング対象の中心部同士の離間距離が最も長い2つのみの組み合わせについて特定処理を実行してプロービング位置を結ぶ線分の中点とプロービング対象の中心部との離間距離を補正値として特定する。この場合、位置ずれが生じているときには、プロービング対象同士が離れているほど、位置ずれを示す(補正値としての)離間距離が大きな値となって現れる。このため、この基板検査装置および基板検査方法によれば、位置ずれが僅かであっても、その位置ずれを示す離間距離を確実に特定することができる結果、その位置ずれをより確実に補正することができる。
以下、基板検査装置および基板検査方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
最初に、基板検査装置の一例としての基板検査装置1の構成について説明する。図1に示す基板検査装置1は、移動機構11、検査部12、撮像部13、記憶部14、基板保持部15および制御部16を備え、基板100に対する電気的検査を実行可能に構成されている。
移動機構11は、図2,3に示すプローブユニット200を取り付け可能に構成されて、制御部16の制御に従ってプローブユニット200を基板100に向けて移動させる。ここで、プローブユニット200は、両図に示すように、複数のプローブ201を備えて構成されている。また、このプローブユニット200は、基板100に形成されている円形状または矩形状(本例では、小円形状)の複数のバンプ101(プロービング対象の一例:図5参照)の1つずつに対して一対のプローブ201をプロービングさせるように、各プローブ201の配列パターンが規定されて、4端子法での検査に対応可能に構成されている。
検査部12は、信号出力回路および検査回路(いずれも図示せず)を備えて構成されている。信号出力回路は、プローブユニット200のプローブ201を介してプロービング対象としてのバンプ101に検査用信号を供給(出力)する。検査回路は、検査用信号の供給によって生じている電気信号をプローブ201を介して入力して物理量を測定し、その物理量に基づいて基板100の検査を実行する。
撮像部13は、カメラおよび移動部(いずれも図示せず)を備えて構成されている。カメラは、制御部16の制御に従って基板保持部15に載置されている基板100および後述する打痕シート300を撮像する撮像処理を実行する。移動部は、基板保持部15の上方においてカメラを移動させる。
記憶部14は、制御部16によって実行される後述する特定処理60(図4参照)において用いられる基板データDaおよび配列データDbを記憶する。また、記憶部14は、制御部16によって生成される補正値データDcを記憶する。
基板保持部15は、基板100を載置可能に構成されると共に、基板100を例えば吸着によって保持(固定)することが可能に構成されている。また、基板保持部15は、保持している基板100をその表面(基板保持部15の載置面)に沿った平行移動方向(以下、「XY方向」ともいう)および回転方向(以下、「θ方向」ともいう)に移動可能に構成されて、制御部16の制御に従って基板100移動させることで、基板100の各バンプ101とプローブユニット200の各プローブ201(各プローブ201のプロービング位置)との位置合わせ(位置ずれの補正)を行うことが可能となっている。
制御部16は、基板検査装置1を構成する各構成要素を制御する。具体的には、制御部16は、移動機構11を制御して、基板100の各バンプ101にプローブユニット200の各プローブ201をプロービングさせる。また、制御部16は、検査部12を制御して、基板100の検査を実行させる。また、制御部16は、撮像部13による撮像を制御する。
さらに、制御部16は、処理部として機能し、図4に示す特定処理60を実行する。制御部16は、この特定処理60において、基板保持部15に記憶されている基板データDaおよび配列データDbに基づき、プローブユニット200の各プローブ201をプロービングさせたときのプロービング位置と、バンプ101との位置ずれを補正するための補正値を特定する。また、制御部16は、特定処理60において特定した補正値に基づいて基板保持部15による基板100の移動を制御して位置ずれを補正する補正処理を実行する。
次に、基板検査装置1を用いて基板(例えば、図5に示す基板100)を検査する基板検査方法について、図面を参照して説明する。
まず、検査対象の基板100におけるバンプ101の配列パターンと同じパターンでプローブ201が配列されたプローブユニット200(図2,3参照)を移動機構11に取り付ける。ここで、プローブユニット200を移動機構11に取り付けるときには、一般的に、多少の位置ずれが生じる。この状態で検査を実行したときには、各プローブ201のプロービング位置とバンプ101との間に位置ずれが生じてプロービングが確実に行われないおそれがある。このため、検査に先立つ検査前工程として、この位置ずれを補正するための補正値を特定する。
この検査前工程では、まず、打痕シート300(圧力を受けた部分が発色するシート)を表面に貼付した基板100(図6参照)を基板保持部15の載置面に載置して、基板保持部15によって基板100を保持させる。次いで、図外の操作部を操作して補正値を特定する処理の開始を指示する。これに応じて、制御部16が、図4に示す特定処理60を実行する。
この特定処理60では、制御部16は、基板100に設けられている各バンプ101のうちの1つのバンプ101と、そのバンプ101にプロービングさせる一対のプローブ201とを1つの組み合わせ(以下、「組み合わせA」ともいう)として、その組み合わせAにおけるバンプ101と一対のプローブ201との位置ずれの量を測定する処理を2つのみの組み合わせAについて実行する。具体的には、制御部16は、まず、移動機構11を制御して、プローブユニット200を基板100に向けて移動(下降)させる(ステップ61)。
この際に、プローブユニット200に配設されている各プローブ201の先端部が基板100の上に貼付されている打痕シート300を押圧する。また、打痕シート300における各プローブ201による押圧箇所が発色して打痕K(図6参照)が形成される。続いて、制御部16は、移動機構11を制御して、プローブユニット200を初期位置に移動(上昇)させる。
次いで、制御部16は、記憶部14から基板データDaおよび配列データDbを読み出す(ステップ62)。続いて、制御部16は、基板データDaに基づき、各基板100に設けられている各バンプ101の中から、基板100の中心部Cb(図5,6参照)を挟んで互いに対向し、かつ各々の中心部Cs同士の離間距離が最も長い2つのバンプ101(例えば、図6に示すバンプ101a,101b)を特定する(ステップ63)。
次いで、制御部16は、配列データDbに基づき、上記のステップ63で特定した2つのバンプ101a,101bにそれぞれ2つずつプロービングさせるべき合計で4つのプローブ201(図3に示すプローブ201a〜201d)を特定する。また、制御部16は、配列データDbに基づき、プローブユニット200が移動機構11に正しく取り付けられているときにこれらの各プローブ201がプロービングされる位置(以下「正規のプロービング位置」ともいう)を特定する(ステップ64)。
続いて、制御部16は、撮像部13を制御して、上記のステップ64で特定した正規のプロービング位置の上方にカメラを順次移動させて、撮像処理を実行させる。この撮像処理では、撮像部13は、正規のプロービング位置の上方から打痕シート300に形成された打痕Kを撮像する。この際に、制御部16は、カメラの中心部(撮像画面の中心部)と打痕Kの中心部とが一致したときのカメラの移動距離に基づき、上記の各プローブ201a〜201dに対応する各打痕Ka〜Kd(図6参照)の位置を特定する(ステップ65)。
次いで、制御部16は、図7に示すように、バンプ101aおよびプローブ201a,201cで構成される組み合わせA(以下、「組み合わせA1」ともいう)におけるプローブ201a,201cに対応する2つの打痕Ka,Kcにおける各々の中心部(プローブ201a,201cのプロービング位置に相当する)を結ぶ線分の中点Pm1の位置を、上記のステップ65で特定した各打痕Ka,Kcの位置に基づいて特定する。続いて、図8に示すように、制御部16は、バンプ101bおよびプローブ201b,201dで構成される組み合わせA(以下、「組み合わせA2」ともいう)におけるプローブ201b,201dに対応する2つの打痕Kb,Kdにおける各々の中心部(201b,201dのプロービング位置に相当する)を結ぶ線分の中点Pm2の位置を、上記のステップ65で特定した各打痕Kb,Kdの位置に基づいて特定する(ステップ66)。
次いで、制御部16は、上記のステップ63で特定した2つのバンプ101a,101bにおける各々の中心部Cs1,Cs2(図7,8参照)の位置を基板データDaに基づいて特定する(ステップ67)。続いて、制御部16は、中点Pm1と中心部Cs1との離間距離La1(図7参照)、および中点Pm2と中心部Cs2との離間距離La2(図8参照)を補正値として特定する。なお、以下の説明において、中点Pm1,Pm2を区別しないときには「中点Pm」ともいい、中心部Cs1,Cs2を区別しないときには「中心部Cs」ともいい、離間距離La1,La2を区別しないときには「離間距離La」ともいう。次いで、制御部16は、特定した補正値としての離間距離Laを示す補正値データDcを記憶部14に記憶させて(ステップ68)、特定処理60を終了する。以上により、検査前工程が終了する。
次に、基板100の検査を実行する。まず、基板保持部15に基板100を載置して保持させる。続いて、操作部を操作して検査の開始を指示する。これに応じて、制御部16が検査処理を実行する。この検査処理では、制御部16は、撮像部13を制御して撮像処理を実行させて、基板100に設けられている位置合わせ用の2つのマークM1,M2(図5,9参照)を撮像させる。また、制御部16は、カメラの中心部と各マークM1,M2の中心部とが一致したときのカメラの移動距離に基づき、各マークM1,M2の位置(以下、「測定位置」ともいう)を特定する。次いで、制御部16は、基板保持部15が規定位置に正しく位置合わせされたときのマークM1,M2の位置(図9に波線で示す位置:以下、「規定位置」ともいう)を基板データDaに基づいて特定する。続いて、マークM1の中心部についての測定位置と規定位置との離間距離Lb1(同図参照)を特定すると共に、マークM2の中心部についての測定位置と規定位置との離間距離Lb2(同図参照:以下、離間距離Lb1,Lb2を区別しないときには「離間距離Lb」ともいう)を特定する。
次いで、制御部16は、補正値データDcを記憶部14から読み出す。続いて、制御部16は、補正値データDcに示される離間距離Laと、上記のように特定した離間距離Lbとに基づいて補正処理を実行する。この補正処理では、制御部16は、基板保持部15を制御して、離間距離La,Lbが共に0となるように、XY方向およびθ方向(または、XY方向およびθ方向のいずれか一方)に基板100をプローブユニット200に対して相対的に移動させる。
これにより、位置ずれが補正されて、バンプ101aの中心部Cs1とプローブ201a,201cの先端部を結ぶ線分の中点Pm1とが一致し、バンプ101bの中心部Cs2とプローブ201b,201dの先端部を結ぶ線分の中点Pm2とが一致した状態となる。このため、プローブ201a,201cのいずれか一方のみがバンプ101aにプロービングされて他方が非接触の状態となったり、プローブ201b,201dのいずれか一方のみがバンプ101bにプロービングされて他方が非接触の状態となったりする事態が確実に防止される。
次いで、制御部16は、移動機構11を制御して、プローブユニット200を基板100に向けて移動させる。この場合、上記した補正処理によって位置ずれが補正されているため、図10に示すように、各バンプ101に一対のプローブ201がそれぞれ確実にプロービングされる。
続いて、制御部16は、検査部12を制御して基板100の検査を実行させる。この場合、検査部12では、信号出力回路が、プローブユニット200のプローブ201を介して検査用信号を出力する。また、検査回路が、検査用信号の出力によって生じる電気信号をプローブ201を介して入力して物理量を測定し、その物理量に基づいて基板100の検査を実行する。この場合、上記したように、各バンプ101に一対のプローブ201がそれぞれ確実にプロービングされているため、検査の精度が十分に向上される。次いで、制御部16は、検査部12による検査の結果を図外の表示部に表示させる。
このように、この基板検査装置1および基板検査方法では、1つのバンプ101とそのバンプ101にプロービングさせる一対のプローブ201との組み合わせAにおける各プローブ201のプロービング位置を結ぶ線分の中点Pmとバンプ101の中心部Csとの離間距離Laを補正値として特定する特定処理を複数の組み合わせAについて実行する。そして、この補正値が0となるように基板100をプローブユニット200に対して相対的に移動させて、位置ずれを補正することで、各組み合わせAにおけるバンプ101の中心部Csと一対のプローブ201の先端部を結ぶ線分の中点Pmとが一致した状態とすることができる。このため、この基板検査装置1および基板検査方法によれば、一対のプローブ201のいずれか一方のみがバンプ101にプロービングされて他方が非接触の状態となる事態を確実に防止して、一対のプローブ201を各バンプ101に確実にプロービングさせることができる。また、この基板検査装置1および基板検査方法によれば、一対のプローブ201を各バンプ101に確実にプロービングさせた状態で基板100の検査を実行することができるため、検査精度を十分に向上させることができる。
また、この基板検査装置1および基板検査方法によれば、2つのみの組み合わせAについて特定処理を実行することにより、最小の回数である2回のみの特定処理で特定した補正値に基づいて位置ずれを補正することができるため、補正の工程に要する時間を十分に短縮することができる。
また、この基板検査装置1および基板検査方法では、基板100の中心部Cbを挟んで対向する2つのみの組み合わせAについて特定処理を実行して離間距離Laを補正値として特定する。この場合、回転方向(θ方向)の位置ずれが生じているときには、一般的に、基板100の中心部Cbを挟まずに対向する2つの組み合わせAよりも基板100の中心部Cbを挟んで対向する2つの組み合わせAの方が、位置ずれを示す(補正値としての)離間距離Laが大きな値となって現れる。このため、この基板検査装置1および基板検査方法によれば、プローブユニット200を移動機構11に取り付ける際に生じ易い回転方向(θ方向)の位置ずれを示す離間距離Laを確実に特定することができる結果、その位置ずれを確実に補正することができる。
また、この基板検査装置1および基板検査方法では、バンプ101の中心部Cs同士の離間距離が最も長い2つのみの組み合わせAについて特定処理を実行して離間距離Laを補正値として特定する。この場合、位置ずれが生じているときには、バンプ101同士が離れているほど、位置ずれを示す(補正値としての)離間距離Laが大きな値となって現れる。このため、この基板検査装置1および基板検査方法によれば、位置ずれが僅かであっても、その位置ずれを示す離間距離Laを確実に特定することができる結果、その位置ずれを確実に補正することができる。
なお、基板検査装置および基板検査方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、2つのみの組み合わせAについて特定処理を実行する構成および方法について上記したが、3つ以上の組み合わせAについて特定処理を実行する構成および方法を採用することもできる。
また、基板100の中心部Cbを挟んで対向する2つのバンプ101をそれぞれ含む2つのみの組み合わせAについて特定処理を実行する構成および方法について上記したが、中心部Cbを挟んで対向するとの条件を満たさない2つまたは3つ以上のバンプ101をそれぞれ含む2つまたは3つ以上の組み合わせAについて特定処理を実行する構成および方法を採用することもできる。
さらに、各々の中心部Cs同士の離間距離が最も長い2つのバンプ101をそれぞれ含む2つのみの組み合わせAについて特定処理を実行する例について上記したが、離間距離が最も長いとの条件を満たさない2つまたは3つ以上のバンプ101をそれぞれ含む2つまたは3つ以上の組み合わせAについて特定処理を実行する構成および方法を採用することもできる。
また、基板100を移動させて位置ずれを補正する(補正処理を実行する)構成および方法について上記したが、プローブユニット200を移動させて位置ずれを補正する構成および方法や、基板100およびプローブユニット200の双方を移動させて位置ずれを補正する構成および方法を採用することもできる
また、プロービング対象としてのバンプ101にプローブ201をプロービングさせる例について上記したが、導体パターンにプローブ201をプロービングさせる場合にも適用することができるのは勿論である。この場合、導体パターンに一対のプローブ201をプロービングさせるときには、各プローブ201をプロービングさせるべき導体パターン上の領域をプロービング対象として、その領域の中心部と一対のプローブ201の各プロービング位置を結ぶ線分の中点Pmとの離間距離Laを補正値として特定する。また、すべてのプロービング対象に一対のプローブ201をプロービングさせる場合に限定されず、一部のプロービング対象には1つのプローブ201だけをプロービングさせる場合に適用することもできる。
1 基板検査装置
11 移動機構
12 検査部
16 制御部
100 基板
101 バンプ
200 プローブユニット
201 プローブ
A 組み合わせ
Cb,Cs1,Cs2 中心部
Lb1,Lb2 離間距離
Pm1,Pm2 中点
11 移動機構
12 検査部
16 制御部
100 基板
101 バンプ
200 プローブユニット
201 プローブ
A 組み合わせ
Cb,Cs1,Cs2 中心部
Lb1,Lb2 離間距離
Pm1,Pm2 中点
Claims (5)
- 複数のプローブを有するプローブユニットを基板に向けて移動させて当該基板上の複数のプロービング対象に当該各プローブをプロービングさせる移動機構と、前記各プローブのプロービング位置と前記プロービング対象との位置ずれを補正するための補正値を特定して当該補正値に基づいて当該位置ずれを補正する処理部とを備えて、前記各プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板の検査を実行する基板検査装置であって、
前記処理部は、一対の前記プローブを1つの前記プロービング対象にプロービングさせて実行する前記検査において当該一対のプローブと当該1つのプロービング対象との組み合わせが複数存在するときに、1つの前記組み合わせにおける前記一対のプローブの各プロービング位置を結ぶ線分の中点と前記プロービング対象の中心部との離間距離を前記補正値として特定する特定処理を複数の前記組み合わせについて実行する基板検査装置。 - 前記処理部は、2つのみの前記組み合わせについて前記特定処理を実行する請求項1記載の基板検査装置。
- 前記処理部は、前記基板の中心部を挟んで対向する2つの前記プロービング対象をそれぞれ含む前記2つのみの組み合わせについて前記特定処理を実行する請求項2記載の基板検査装置。
- 前記処理部は、前記2つのプロービング対象の前記中心部同士の離間距離が最も長い当該2つのプロービング対象をそれぞれ含む前記2つのみの組み合わせについて前記特定処理を実行する請求項3記載の基板検査装置。
- 複数のプローブを有するプローブユニットを基板に向けて移動させて当該基板上の複数のプロービング対象に当該各プローブをプロービングさせ、前記各プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板の検査を実行すると共に、前記各プローブのプロービング位置と前記プロービング対象との位置ずれを補正するための補正値を特定して当該補正値に基づいて当該位置ずれを補正する基板検査方法であって、
一対の前記プローブを1つの前記プロービング対象にプロービングさせて実行する前記検査において当該一対のプローブと当該1つのプロービング対象との組み合わせが複数存在するときに、1つの前記組み合わせにおける前記一対のプローブの各プロービング位置を結ぶ線分の中点と前記プロービング対象の中心部との離間距離を前記補正値として特定する特定処理を複数の前記組み合わせについて実行する基板検査方法。
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