JP2008000742A - ポリイミド膜塗布装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポリイミド膜塗布装置は印刷テーブル、インクジェットヘッド、ポリイミド液供給タンク、超音波信号を印加して振動発生で前記インクジェットヘッドを洗浄する超音波洗浄機、及びワイパーを含む。ポリイミド膜塗布方法は薄膜トランジスターアレイ基板またはカラーフィルター基板が置かれる段階、ポリイミド液供給タンクにローディングさせる段階、ポリイミド液を基板上に噴射する段階、インクジェットヘッドに残っている残留物を押し出す第1洗浄段階、超音波信号を印加して振動発生でインクジェットヘッドに残っている残留物をとり除く第2洗浄段階、及びインクジェットヘッドの噴射面にワイパーを接触させて移動しながらインクジェットヘッドのノズルを拭い取る第3洗浄段階を含む。
【選択図】図2
Description
101 圧力タンク
102 ポリイミド液供給タンク
110 インクジェットヘッド
111 ノズル(Nozzle)
120 基板
130 超音波洗浄機
131 貯蔵部
132 洗浄液
133 超音波発振部
134 制御部
140 ワイパー
Claims (18)
- 基板が置かれる印刷テーブルと、前記印刷テーブルの上部に位置されて、前記基板でポリイミド液を噴射するためのノズルを備えるインクジェットヘッドと、前記ポリイミド液が満たされた容器がローディングされたポリイミド液供給タンクと、前記インクジェットヘッドを収容する洗浄液が貯蔵され、前記洗浄液に超音波信号を印加して振動発生で前記インクジェットヘッドを洗浄する超音波洗浄機と、前記インクジェットヘッドの噴射面に接触して前記噴射面に残存する残留物を拭い取るように構成されたワイパーを含むことを特徴とするポリイミド膜塗布装置。
- 前記超音波洗浄機は、前記洗浄液貯蔵するための貯蔵部と、前記貯蔵部に装着されて前記洗浄液に超音波信号の振動を加える超音波発振部と、前記超音波発振部の動作を制御する制御部を含むことを特徴とする請求項2記載のポリイミド膜塗布装置。
- 前記貯蔵部は前記インクジェットヘッドの下側に配置され、前記インクジェットヘッドのローディング及びアンンローディングを邪魔しない構造で形成及び配置されることを特徴とする請求項2記載のポリイミド膜塗布装置。
- 前記超音波発振部は前記制御部から印加される電気的な超音波信号を機械的な信号で変換して変換された機械信号を前記洗浄液の媒質を通じて振動する振動子を含む請求項2記載のポリイミド膜塗布装置。
- 前記超音波発振部は前記インクジェットヘッドの噴射面及び内壁を洗浄することができるように前記インクジェットヘッドの噴射面と対向されるようにされることを特徴とする請求項2記載のポリイミド膜塗布装置。
- 前記洗浄液は、イソプロフィルアルコール(IPA)を含む請求項1記載のポリイミド膜塗布装置。
- 前記超音波信号は20kHz乃至400kHzなことを特徴とする請求項1記載のポリイミド膜塗布装置。
- 印刷テーブルに薄膜トランジスターアレイ基板またはカラーフィルター基板を配置する段階と、ポリイミド液が満たされた容器をポリイミド液供給タンクにローディングさせる段階と、前記ポリイミド液を前記印刷テーブル上部のインクジェットヘッドに供給して前記基板上に噴射する段階と、前記インクジェットヘッドに溶媒を加圧して前記インクジェットヘッドに残っている残留物を押し出す第1洗浄段階と、前記インクジェットヘッド内部で超音波信号を印加して振動を発生させることで前記インクジェットヘッドに残っている残留物をとり除く第2洗浄段階と、前記インクジェットヘッドの噴射面にワイパーを接触させて移動しながら前記インクジェットヘッドのノズルを拭い取る第3洗浄段階を含むポリイミド膜塗布方法。
- 前記第1洗浄段階の溶媒は高圧ガスを利用して加圧されることを特徴とする請求項8記載のポリイミド膜塗布方法。
- 前記高圧ガスは窒素ガスのことを特徴とする請求項9記載のポリイミド膜塗布方法。
- 前記第1洗浄段階の溶媒は前記ポリイミド液または水であることを特徴とする請求項8記載のポリイミド膜塗布方法。
- 前記第2洗浄段階の超音波信号は20kHz乃至400kHz範囲の波長であることを特徴とする請求項8記載のポリイミド膜塗布方法。
- 前記第2洗浄段階は、前記インクジェットヘッドを超音波洗浄機の洗浄液に浸して、前記超音波信号を印加することを特徴とする請求項8記載のポリイミド膜塗布方法。
- 前記超音波洗浄機は、前記洗浄液を貯蔵するための貯蔵部と、前記貯蔵部に装着されて前記洗浄液に超音波信号の振動を加える超音波発振部と、前記超音波発振部の動作を制御する制御部を含む請求項13記載のポリイミド膜塗布方法。
- 前記貯蔵部は前記インクジェットヘッドの下側に配置され、前記インクジェットヘッドのローディング及びアンンローディングを邪魔しない構造で形成及び配置されることを特徴とする請求項14記載のポリイミド膜塗布方法。
- 前記超音波発振部は前記制御部から印加される電気的な超音波信号を機械的な信号で変換して変換された機械信号を前記洗浄液の媒質を通じて振動する振動子を含む請求項14記載のポリイミド膜塗布方法。
- 前記超音波発振部は前記インクジェットヘッドの噴射面及び内壁を洗浄することができるようにインクジェットヘッドの噴射面と対向されるように配置されることを特徴とする請求項14記載のポリイミド膜塗布方法。
- 前記洗浄液は、イソプロフィルアルコール(IPA)を含む請求項13記載のポリイミド膜塗布方法。
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