JP2007531060A5 - - Google Patents

Claims (38)

1. 標本の検査に用いられる対物系であって、
   光エネルギを受け取って合焦光エネルギを生成するよう構成された少なくとも１個の合焦レンズを含む合焦レンズ群と、
   上記合焦レンズ群から合焦光エネルギを受け取って中間光エネルギを供給するよう方向設定された複数の視野レンズと、
   上記複数の視野レンズから上記中間光エネルギをその背面側から受け取って正面側から制御光エネルギを生成するよう位置設定されたマンジャンミラー配列であって、少なくとも３つの素子を含み、２つの素子は反射面を有するマンジャンミラー配列と、
   上記マンジャンミラー配列と上記標本の間にある浸漬液であって、前記マンジャンミラー配列の３つ目の素子が接する浸漬液と、
   を備える対物系。
2. 請求項１記載の対物系であって、上記波長域に対する比帯域幅が０．５超である対物系。
3. 請求項１記載の対物系であって、上記マンジャンミラー配列が、
   大きく湾曲した複数個の凹面を有し第２面反射を呈する第１レンズ／ミラー素子と、
   僅かに湾曲した複数個の面を有し第２面反射を呈する第２レンズ／ミラー素子と、
   を含む対物系。
4. 請求項３記載の対物系であって、前記対物系は、１９０から１０００ｎｍの範囲の波長の光エネルギに適用される対物系。
5. 請求項１記載の対物系であって、約０．９超の開口率を呈するよう構成された対物系。
6. 請求項１記載の対物系であって、合焦レンズ群に属する個々のレンズの直径及び複数の視野レンズの直径が、何れも約２５ｍｍ未満である対物系。
7. 請求項１記載の対物系であって、全レンズが一種類のガラス素材から形成された対物系。
8. 請求項１記載の対物系であって、上記視野レンズ、上記合焦レンズ群及び上記マンジャンミラー配列を含め、全構成素子数が９個未満である対物系。
9. 請求項１記載の対物系であって、上記ガラス素材が熔融シリカである対物系。
10. 請求項２記載の対物系であって、中心波長が６３３ｎｍで帯域幅が約０．９未満である対物系。
11. 請求項２記載の対物系であって、中心波長が１９６ｎｍで帯域幅が約０．０７未満である対物系。
12. 請求項１記載の対物系であって、上記標本から約４５ｍｍの場所に配置できるフランジを有する顕微鏡にて使用される対物系。
13. 請求項１記載の対物系であって、上記合焦レンズ及び上記視野レンズが当該視野レンズと上記マンジャンミラー配列の間に中間像を形成する対物系。
14. 標本の検査に用いられる対物系であって、
    少なくとも１個の合焦レンズを含み光エネルギを受け取れるよう構成された合焦レンズ群と、
    上記合焦レンズ群から合焦光エネルギを受け取り中間光エネルギを供給するよう方向設定された少なくとも１個の視野レンズと、
    上記視野レンズから上記中間光エネルギをその背面側から受け取り正面側から制御光エネルギを生成するよう位置設定されたマンジャンミラー配列であって、少なくとも３つの素子を含み、２つの素子は反射面を有するマンジャンミラー配列と、
    上記マンジャンミラー配列と上記標本の間に位置する浸漬媒であって、前記マンジャンミラー配列の３つ目の素子が接する浸漬液と、
    を備え、上記マンジャンミラー配列が、０．９超の開口率で上記制御光エネルギを上記標本に与える対物系。
15. 請求項１４記載の対物系であって、上記光エネルギの波長が約１５７ｎｍから赤外域に及ぶ波長域に属し、この光エネルギに対する本対物系の比帯域幅が０．５超である対物系。
16. 請求項１４記載の対物系であって、上記マンジャンミラー配列が、
    大きく湾曲した複数個の凹面を有し第２面反射を呈する第１レンズ／ミラー素子と、
    僅かに湾曲した複数個の面を有し第２面反射を呈する第２レンズ／ミラー素子と、
    を含む対物系。
17. 請求項１４記載の対物系であって、上記マンジャンミラー配列が、
    大きく湾曲した複数個の凹面を有し第２面反射を呈する第１レンズ／ミラー素子と、
    僅かに湾曲した複数個の面を有し第２面反射を呈する第２レンズ／ミラー素子と、
    上記浸漬媒に接する面を有する第３レンズ素子と、
    を含む対物系。
18. 請求項１４記載の対物系であって、各レンズの直径が約２５ｍｍ未満である対物系。
19. 請求項１４記載の対物系であって、全レンズが一種類のガラス素材から形成された対物系。
20. 請求項１４記載の対物系であって、その開口率が約０．９超である対物系。
21. 請求項１４記載の対物系であって、構成素子数が９個未満である対物系。
22. 請求項１４記載の対物系であって、構成素子数が１１個未満である対物系。
23. 請求項１４記載の対物系であって、全レンズが一種類のガラス素材から形成された対物系。
24. 請求項２３記載の対物系であって、上記ガラス素材が熔融シリカである対物系。
25. 請求項１４記載の対物系であって、中心波長が約６３３ｎｍで収差補正帯域幅が約０．９未満である対物系。
26. 請求項１４記載の対物系であって、中心波長が１９６ｎｍで収差補正帯域幅が約０．０７未満である対物系。
27. 請求項１４記載の対物系であって、通常動作中に上記標本から約４５ｍｍ以内に配置されるフランジを備えた顕微鏡にてそのフランジ内に配置できる対物系。
28. 請求項１４記載の対物系であって、上記浸漬媒の主成分が水である対物系。
29. 請求項１４記載の対物系であって、上記浸漬媒の主成分が油である対物系。
30. 請求項１４記載の対物系であって、上記浸漬媒の主成分がシリコーンゲルである対物系。
31. 請求項１４記載の対物系であって、球面収差、軸方向色収差及び収差色変化が比較的小さくなるよう最適化された対物系。
32. 請求項１４記載の対物系であって、各レンズの直径が約３５ｍｍ未満である対物系。
33. 請求項１４記載の対物系であって、通常動作中に上記標本から約４５ｍｍ以内に配置できるフランジを有する顕微鏡と併用できる対物系。
34. 請求項１４記載の対物系であって、二種類以下のガラス素材を用いる対物系。
35. 請求項１４記載の対物系であって、上記浸漬媒が、水、油及びシリコーンゲルのうち一種類を含む対物系。
36. 標本を検査する方法であって、
    光エネルギを供給するステップと、
    それぞれ約１００ｍｍ未満の直径を有する少なくとも１個のレンズを用い上記光エネルギを合焦させ合焦光エネルギとするステップと、
    上記合焦光エネルギを受け取り中間光エネルギに変換するステップと、
    上記中間光エネルギを背面側から受け取るように配置されたマンジャンミラー配列で受け取り正面側から制御光エネルギを生成し、前記マンジャンミラー配列は少なくとも３つの素子を有するとともに２つの素子は反射面を有し、前記マンジャンミラー配列の３つ目の素子は浸漬媒に接し、上記浸漬媒を介して上記標本に制御光エネルギを供給するステップと、
    を有する方法。
37. 請求項１記載の対物系であって、上記浸漬液の屈折率が純水の屈折率より高い対物系。
38. 請求項１４記載の対物系であって、上記浸漬媒の屈折率が純水の屈折率より高い対物系。