JP2007523257A - 回転スパッタリングマグネトロン - Google Patents
回転スパッタリングマグネトロン Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007523257A JP2007523257A JP2006539966A JP2006539966A JP2007523257A JP 2007523257 A JP2007523257 A JP 2007523257A JP 2006539966 A JP2006539966 A JP 2006539966A JP 2006539966 A JP2006539966 A JP 2006539966A JP 2007523257 A JP2007523257 A JP 2007523257A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- base plate
- circular base
- magnetic field
- magnets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 57
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 143
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 60
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 8
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 39
- 239000013077 target material Substances 0.000 abstract description 25
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 10
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 10
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000938 samarium–cobalt magnet Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920004943 Delrin® Polymers 0.000 description 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010627 Phaseolus vulgaris Nutrition 0.000 description 1
- 244000046052 Phaseolus vulgaris Species 0.000 description 1
- QJVKUMXDEUEQLH-UHFFFAOYSA-N [B].[Fe].[Nd] Chemical compound [B].[Fe].[Nd] QJVKUMXDEUEQLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVYYOKWPCQYKEY-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Co] Chemical compound [Fe].[Co] QVYYOKWPCQYKEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N cobalt samarium Chemical compound [Co].[Sm] KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N iron nickel Chemical compound [Fe].[Ni] UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000007655 standard test method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
- H01J37/3405—Magnetron sputtering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Claims (24)
- 磁石装置であって、
円形のベースプレートと、
前記円形ベースプレートにほぼ垂直な磁場軸に平行である磁場配向を有する前記円形ベースプレートに結合された中心磁石であって、前記磁場軸が、前記円形ベースプレートにほぼ垂直であり且つ前記円形ベースプレートのほぼ中心にある回転軸からオフセットしている、前記中心磁石と、
前記中心磁石を囲んで前記円形ベースプレートに結合され、前記磁場軸に対してほぼ半径方向にある磁場配向を各々が有する複数の磁石と、
を備えることを特徴とする磁石装置。 - 前記磁石の各々が1つ又はそれ以上の磁石を備え、各磁石が実質的に同じ磁場配向を有することを特徴とする請求項1に記載の永久磁石構造体。
- 前記磁石のうちの1つが、前記磁石のうちの別のものと異なる厚みを有することを特徴とする請求項1に記載の磁石装置。
- 前記円形ベースプレートに結合され、前記磁石装置を前記回転軸の周りで回転的に平衡させる非磁性カウンタバランス・プレートを更に備えることを特徴とする請求項1に記載の磁石装置。
- 円形ベースプレートと、
キャビティを囲んで前記円形ベースプレートに結合された複数の磁石と、
を備えた磁石装置であって、前記磁石の各々が、前記円形ベースプレートにほぼ垂直な磁場軸に対して半径方向にあり、前記円形ベースプレートにほぼ垂直であり且つ前記円形ベースプレート上のほぼ中心にある回転軸からオフセットしている磁極配向を有することを特徴とする磁石装置。 - 前記キャビティ内に金属製切片を更に備えることを特徴とする請求項6に記載の永久磁石構造体。
- 前記金属製切片がスチールを含むことを特徴とする請求項7に記載の永久磁石構造体。
- 前記磁石の各々が、1つより多い磁石を含み、各磁石がほぼ同じ磁場配向を有することを特徴とする請求項6に記載の永久磁石構造体。
- 前記磁石のうちの1つが、前記磁石のうちの別のものと異なる厚みを有することを特徴とする請求項6に記載の磁石装置。
- 前記円形ベースプレートに結合され、前記永久磁石構造体を前記回転軸の周りで回転的に平衡させる非磁性カウンタバランス・プレートを更に備えることを特徴とする請求項6に記載の永久磁石構造体。
- マグネトロンを用いて基板上に鉄材料をスパッタリングすることを含む方法であって、
前記マグネトロンが磁石装置を含み、前記磁石装置が、円形ベースプレートと、前記円形ベースプレートに結合されてキャビティを囲んでいる複数の磁石とを含み、前記磁石の各々が、前記円形ベースプレートにほぼ垂直な磁場軸に対して半径方向にあり、前記円形ベースプレートにほぼ垂直で且つ前記円形ベース上のほぼ中心にある回転軸からオフセットされた磁場配向を有することを特徴とする方法。 - 前記マグネトロンによって発生した磁場をシャントディスクを用いてシャントすることを更に含む請求項11に記載の方法。
- 前記スパッタリングしている間に、前記磁石装置と前記シャントディスクとの間の距離を調整することを更に含む請求項12に記載の方法。
- 前記スパッタリングしている間に、前記磁石装置と前記鉄ターゲットとの間の距離を調整することを更に含む請求項11に記載の方法。
- 前記スパッタリングしている間に、前記磁石装置と前記鉄ターゲットとの間の距離を調整することと、
前記スパッタリングしている間に、前記磁石装置と前記シャントディスクとの間の距離を調整することと、
を更に含む請求項11に記載の方法。 - マグネトロンを用いて基板上に鉄材料をスパッタリングすることを含む方法であって、
前記マグネトロンが磁石装置を含み、前記磁石装置が、
円形のベースプレートと、前記円形ベースプレートにほぼ垂直な磁場軸に平行である磁場配向を有する前記円形ベースプレートに結合された中心磁石であって、前記磁場軸が、前記円形ベースプレートにほぼ垂直であり且つ前記円形ベースプレートのほぼ中心にある回転軸からオフセットしている、前記中心磁石と、前記中心磁石を囲み、前記磁場軸に対してほぼ半径方向にある磁場配向を各々が有する、前記円形ベースプレートに結合された複数の磁石と、
を備えることを特徴とする方法。 - 前記マグネトロンによって発生した磁場を、シャントディスクを用いてシャントすることを更に含む請求項16に記載の方法。
- 前記スパッタリングしている間に、前記磁石装置と前記シャントディスクとの間の距離を調整することを更に含む請求項17に記載の方法。
- 前記スパッタリングしている間に、前記磁石装置と前記鉄ターゲットとの間の距離を調整することを更に含む特徴とする請求項17に記載の方法
- 前記スパッタリングしている間に、前記磁石装置と前記鉄ターゲットとの間の距離を調整することと、
前記スパッタリングしている間に、前記磁石装置と前記シャントディスクとの間の距離を調整することと、
を更に含む請求項17に記載の方法。 - 第1の回転マグネトロンを用いて基板の第1の側の上に鉄材料をスパッタリングすることと、
第2の回転マグネトロンを用いて前記基板の第2の側の上に鉄材料をスパッタリングすることと、
前記第1の回転マグネトロンと前記第2の回転マグネトロンとの相対回転を変更して前記スパッタされた鉄材料の磁性配向を変更することと、
を含む方法。 - 前記第1の回転マグネトロンと前記第2の回転マグネトロンとをほぼ同期させ且つほぼ180度位相をずらして回転させて、前記スパッタされた鉄材料内にほぼ半径方向の磁性配向を生じさせる段階を更に含む請求項21に記載の方法。
- 前記第1の回転マグネトロンと前記第2の回転マグネトロンが、各々磁石装置を更に備え、前記磁石装置が、
円形ベースプレートと、キャビティを囲む、前記円形ベースプレートに結合された複数の磁石とを含み、前記磁石の各々が、前記円形ベースプレートにほぼ垂直な磁場軸に対して半径方向にあり、前記円形ベースプレートにほぼ垂直であり且つ前記円形ベースプレート上のほぼ中心にある回転軸からオフセットしている磁極配向を有することを特徴とする請求項22に記載の方法。 - 前記第1の回転マグネトロンと前記第2の回転マグネトロンが、更に、それぞれ磁石装置を備え、前記磁石装置が、
円形のベースプレートと、前記円形ベースプレートにほぼ垂直な磁場軸に平行である磁場配向を有する中心磁石であって、前記磁場軸が前記円形ベースプレートにほぼ垂直であり且つ前記円形ベースプレート上のほぼ中心にある回転軸からオフセットしている前記円形ベースプレートに結合された中心磁石と、前記中心磁石を囲み、前記磁場軸に対してほぼ半径方向にある磁場配向を各々が有する、前記円形ベースプレートに結合された複数の磁石とを含むことを特徴とする請求項22に記載の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US51775303P | 2003-11-05 | 2003-11-05 | |
US60/517,753 | 2003-11-05 | ||
US10/982,616 | 2004-11-03 | ||
US10/982,616 US7182843B2 (en) | 2003-11-05 | 2004-11-03 | Rotating sputtering magnetron |
PCT/US2004/038084 WO2005048284A2 (en) | 2003-11-05 | 2004-11-05 | Rotating sputtering magnetron |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007523257A true JP2007523257A (ja) | 2007-08-16 |
JP2007523257A5 JP2007523257A5 (ja) | 2007-12-20 |
JP4991305B2 JP4991305B2 (ja) | 2012-08-01 |
Family
ID=34576812
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006539966A Active JP4991305B2 (ja) | 2003-11-05 | 2004-11-05 | 回転スパッタリングマグネトロン |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7182843B2 (ja) |
EP (1) | EP1697556B1 (ja) |
JP (1) | JP4991305B2 (ja) |
WO (1) | WO2005048284A2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8137517B1 (en) | 2009-02-10 | 2012-03-20 | Wd Media, Inc. | Dual position DC magnetron assembly |
US8674327B1 (en) | 2012-05-10 | 2014-03-18 | WD Media, LLC | Systems and methods for uniformly implanting materials on substrates using directed magnetic fields |
US11488814B2 (en) * | 2018-10-29 | 2022-11-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Permeance magnetic assembly |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6247476A (ja) * | 1985-08-23 | 1987-03-02 | Fujitsu Ltd | マグネトロンスパツタ装置 |
JPS63195263A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-12 | Shimadzu Corp | スパツタリング装置 |
JPH02277772A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-11-14 | Mitsubishi Kasei Corp | マグネトロンスパッタ装置 |
JPH03170668A (ja) * | 1989-11-28 | 1991-07-24 | Anelva Corp | 平板マグネトロンスパッタリング装置 |
JPH0874051A (ja) * | 1994-09-01 | 1996-03-19 | Fujitsu Ltd | マグネトロンスパッタ装置 |
JPH09195043A (ja) * | 1996-01-22 | 1997-07-29 | Shin Etsu Chem Co Ltd | マグネトロン型スパッター電極磁界配位及びその磁気回路 |
JPH09202970A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-08-05 | Anelva Corp | 磁性薄膜の両面同時成膜装置及び両面同時成膜方法 |
JPH1064723A (ja) * | 1996-08-22 | 1998-03-06 | Shin Etsu Chem Co Ltd | マグネトロンスパッタ用磁石 |
JP2003089872A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-28 | Applied Materials Inc | スパッタリング装置のマグネトロンユニット及びスパッタリング装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0718006B2 (ja) * | 1983-11-30 | 1995-03-01 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | スパッタ装置 |
JPS6289864A (ja) * | 1985-06-27 | 1987-04-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マグネトロンスパツタ装置 |
JPH0826454B2 (ja) * | 1987-10-21 | 1996-03-13 | 三菱製鋼株式会社 | マグネトロンスパッタ装置 |
DE3800449A1 (de) * | 1988-01-09 | 1989-07-20 | Leybold Ag | Verfahren und einrichtung zur herstellung magnetooptischer, speicher- und loeschfaehiger datentraeger |
JPH03183123A (ja) * | 1989-12-12 | 1991-08-09 | Fuji Electric Co Ltd | スパッタリング装置 |
DE4237517A1 (de) * | 1992-11-06 | 1994-05-11 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats, insbesondere mit elektrisch nichtleitenden Schichten |
WO1997003220A1 (en) * | 1995-07-10 | 1997-01-30 | Cvc Products, Inc. | Permanent magnet array apparatus and method |
TW399102B (en) * | 1995-11-20 | 2000-07-21 | Anelva Co Ltd | Method for depositing magnetic film on both substrate surfaces and mechanism for performing same |
US5865970A (en) * | 1996-02-23 | 1999-02-02 | Permag Corporation | Permanent magnet strucure for use in a sputtering magnetron |
US5907220A (en) * | 1996-03-13 | 1999-05-25 | Applied Materials, Inc. | Magnetron for low pressure full face erosion |
US5876576A (en) * | 1997-10-27 | 1999-03-02 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for sputtering magnetic target materials |
US6258217B1 (en) * | 1999-09-29 | 2001-07-10 | Plasma-Therm, Inc. | Rotating magnet array and sputter source |
US6495009B1 (en) * | 2001-08-07 | 2002-12-17 | Applied Materials, Inc. | Auxiliary in-plane magnet inside a nested unbalanced magnetron |
US6491801B1 (en) * | 2001-08-07 | 2002-12-10 | Applied Materials, Inc. | Auxiliary vertical magnet outside a nested unbalanced magnetron |
-
2004
- 2004-11-03 US US10/982,616 patent/US7182843B2/en active Active
- 2004-11-05 EP EP04801059.9A patent/EP1697556B1/en not_active Ceased
- 2004-11-05 WO PCT/US2004/038084 patent/WO2005048284A2/en active Application Filing
- 2004-11-05 JP JP2006539966A patent/JP4991305B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6247476A (ja) * | 1985-08-23 | 1987-03-02 | Fujitsu Ltd | マグネトロンスパツタ装置 |
JPS63195263A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-12 | Shimadzu Corp | スパツタリング装置 |
JPH02277772A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-11-14 | Mitsubishi Kasei Corp | マグネトロンスパッタ装置 |
JPH03170668A (ja) * | 1989-11-28 | 1991-07-24 | Anelva Corp | 平板マグネトロンスパッタリング装置 |
JPH0874051A (ja) * | 1994-09-01 | 1996-03-19 | Fujitsu Ltd | マグネトロンスパッタ装置 |
JPH09202970A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-08-05 | Anelva Corp | 磁性薄膜の両面同時成膜装置及び両面同時成膜方法 |
JPH09195043A (ja) * | 1996-01-22 | 1997-07-29 | Shin Etsu Chem Co Ltd | マグネトロン型スパッター電極磁界配位及びその磁気回路 |
JPH1064723A (ja) * | 1996-08-22 | 1998-03-06 | Shin Etsu Chem Co Ltd | マグネトロンスパッタ用磁石 |
JP2003089872A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-28 | Applied Materials Inc | スパッタリング装置のマグネトロンユニット及びスパッタリング装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1697556A2 (en) | 2006-09-06 |
EP1697556B1 (en) | 2013-05-22 |
JP4991305B2 (ja) | 2012-08-01 |
EP1697556A4 (en) | 2008-09-17 |
WO2005048284A2 (en) | 2005-05-26 |
US20050103619A1 (en) | 2005-05-19 |
US7182843B2 (en) | 2007-02-27 |
WO2005048284A3 (en) | 2006-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5685959A (en) | Cathode assembly having rotating magnetic-field shunt and method of making magnetic recording media | |
US4865708A (en) | Magnetron sputtering cathode | |
JPH02107766A (ja) | マグネトロンスパッタリング装置 | |
US4892633A (en) | Magnetron sputtering cathode | |
JP2001501257A (ja) | 回転磁石スパッタソースを有するスパッタ方法及び装置 | |
JP2011149104A (ja) | スパッタリング装置、スパッタリング方法及び電子デバイスの製造方法 | |
JPH07173625A (ja) | プラズマ形成マグネットリングを用いたスパッタリング | |
KR101471269B1 (ko) | 성막 속도가 빠른 아크식 증발원, 이 아크식 증발원을 사용한 피막의 제조 방법 및 성막 장치 | |
CN112011771B (zh) | 偏置磁场控制方法、磁性薄膜沉积方法、腔室及设备 | |
TWI607106B (zh) | 磁控濺鍍用磁場產生裝置 | |
JP4991305B2 (ja) | 回転スパッタリングマグネトロン | |
US8673124B2 (en) | Magnet unit and magnetron sputtering apparatus | |
JP2010001526A (ja) | マグネトロンスパッタ方法及びマグネトロンスパッタ装置 | |
JP3749178B2 (ja) | 切頭円錐形スパッタリングターゲットのためのターゲット利用率の高い磁気構成 | |
US7294242B1 (en) | Collimated and long throw magnetron sputtering of nickel/iron films for magnetic recording head applications | |
US8852412B2 (en) | Magnetron source and method of manufacturing | |
US9761441B2 (en) | Physical vapor deposition methods and systems to form semiconductor films using counterbalance magnetic field generators | |
JPH01279752A (ja) | スパッタリング方法及びその装置 | |
JPH04371575A (ja) | スパッタ装置 | |
JPS63100180A (ja) | マグネトロンスパツタリング装置 | |
JPS63277758A (ja) | マグネトロンスパッタリング装置 | |
US9380692B2 (en) | Apparatus and arrangements of magnetic field generators to facilitate physical vapor deposition to form semiconductor films | |
JP3023270B2 (ja) | マグネトロンスパッタ用磁気回路 | |
JP2002069637A (ja) | マグネトロンスパッタリング装置 | |
JPH05179440A (ja) | マグネトロン型スパッタカソード |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071102 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071102 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120403 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4991305 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |