JP2007521486A - イオンおよび電子を検出するために適した粒子検出器 - Google Patents
イオンおよび電子を検出するために適した粒子検出器 Download PDFInfo
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Abstract
【選択図】図1
Description
Claims (21)
- ターゲットへと向けられることが可能であり、前記ターゲットとイオンビームの衝突で二次粒子を作り出す集束イオンビームを含めた集束イオンビーム・システムでの使用に適した荷電粒子検出器であって、
前記ターゲットから発射される正または負の二次荷電粒子を引き付けるように前記ターゲットに相対して電圧を選択的に印加することが可能な入り口スクリーンと、
前記ターゲットからの荷電粒子によって衝撃を加えられると電子を放出する材料を有するイオン−電子変換器と、
前記ターゲットで発生する電子または前記イオン−電子変換器で発生する電子を検出するためのシンチレータ検出器とを有する荷電粒子検出器。 - 前記イオン−電子変換器が、ターゲットから発射されるイオンを前記シンチレータ検出器による検出のために電子へと変換するための第1の構成に構成可能であり、シンチレータ検出器による検出のために前記ターゲットから前記イオン−電子変換器を通して電子を送るための第2の構成に構成可能である、請求項1に記載の装置。
- 前記イオン−電子変換器が、前記イオン−電子変換器の部品上の1つまたは複数の電圧を変えることによって前記第1の構成または前記第2の構成で単独に構成可能である、請求項2に記載の装置。
- 前記ターゲットからの正に荷電したイオンを引き付けるため、および前記シンチレータ検出器による検出のために前記正に荷電したイオンを前記イオン−電子変換器に衝突させて電子を発生させるために前記イオン−電子変換器に第1の電圧を印加し、前記ターゲットから前記イオン−電子変換器を通して電子を前記シンチレータ検出器へ送るために前記イオン−電子変換器に第2の電圧を印加するための電圧供給源をさらに有する、請求項1に記載の装置。
- 前記ターゲットからの正に荷電したイオンを引き付けるために前記入り口スクリーンに第1の電圧を印加し、前記ターゲットからの正に荷電したイオンを引き付けるために前記入り口スクリーンに第2の電圧を印加するための電圧供給源をさらに有する、請求項1に記載の装置。
- 前記イオン−電子変換器が概して平行の複数のプレートを有し、入来する荷電粒子の移動の方向に前記複数のプレートの主平面がほぼ平行である、請求項1に記載の装置。
- 前記イオン−電子変換器が中空で概して円筒の構造を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記イオン−電子変換器がアルミニウムまたはステンレス鋼を含む、請求項1に記載の装置。
- 集束イオンビーム・システムであって、
イオン供給源と、
前記イオン供給源からイオンビームへとイオンを集束させるため、およびそれをターゲットに向けて方向付けるためのイオン光学系と、
前記イオンビームの衝突の結果として前記ターゲットから発射される二次陽イオンまたは二次電子を検出するための請求項1に記載の荷電粒子検出器とを有するシステム。 - 前記イオン−電子変換器が、ターゲットから発射されるイオンを前記電子検出器による検出のために電子へと変換するための第1の構成に構成可能であり、電子検出器による検出のために前記ターゲットから前記イオン−電子変換器を通して電子を送るための第2の構成に構成可能である、請求項9に記載の装置。
- 前記イオン−電子変換器が中空で概して円筒の構造を含む、請求項9に記載の装置。
- 前記イオン−電子変換器がアルミニウムまたはステンレス鋼を含む、請求項9に記載の装置。
- イオンに電子検出器で検出されるべき電子を発生させることによってターゲットで発生するイオンを検出するために前記電子検出器と共に使用するイオン−電子変換器であって、イオンで叩かれると検出のための電子を発生させる材料を含み、前記イオン−電子変換器に第1の電圧が印加されるとイオンが前記イオン−電子変換器へと引き付けられ、前記イオン−電子変換器の表面と衝突し、かつ前記電子検出器で検出される電子を発生させ、第2の電圧が印加されると電子が前記イオン−電子変換器を通り抜けて前記電子検出器によって検出されるような構造を有するイオン−電子変換器。
- 前記電子検出器がシンチレータ検出器を含む、請求項13に記載のイオン−電子変換器。
- 中空の円筒に近似する形状を有する、請求項13に記載のイオン−電子変換器。
- 複数の平行のプレートを有する、請求項13に記載のイオン−電子変換器。
- アルミニウムまたはステンレス鋼を含む、請求項13に記載のイオン−電子変換器。
- 正または負に荷電した粒子を検出する方法であって、
ターゲットから陽イオンまたは電子を選択的に引き付ける工程と、
陽イオンが選択的に引き付けられれば、前記陽イオンを表面に衝突させ、前記衝突が電子の放出を生じさせることによって前記陽イオンを電子へと変換する工程と、
前記陽イオンの前記衝突によって前記表面から放出される電子、または前記ターゲットから選択的に引き付けられ、かつ前記表面に衝突しない電子のどちらかを電子検出器を使用して検出する工程とを含む方法。 - 前記陽イオンを表面に衝突させることによって前記陽イオンを電子へと変換する工程が概して円筒の表面に前記陽イオンを衝突させる工程を含む、請求項18に記載の方法。
- 前記陽イオンを表面に衝突させることによって前記陽イオンを電子へと変換する工程が複数の概して平行のプレートの表面に前記陽イオンを衝突させる工程を含む、請求項18に記載の方法。
- 前記陽イオンを表面に衝突させることによって前記陽イオンを電子へと変換する工程が、酸化アルミニウムまたはステンレス鋼を含む表面に前記陽イオンを衝突させる工程を含む、請求項18に記載の方法。
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