JP6962706B2 - 帯電粒子検出装置 - Google Patents
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Description
帯電粒子を吸引するためのグリッド電極と、
粒子入口の面積が粒子出口の面積よりも小さい転換電極であって、帯電粒子を収集すると共に、前記帯電粒子が二次イオンである場合に前記二次イオンを二次電子に転換するための転換電極と、
二次電子を吸収すると共に検出信号を増幅して出力するための電子検出ユニットと、
シールド筐体と、を含む帯電粒子検出装置を提供する。
帯電粒子を吸引するためのグリッド電極と、
粒子入口の面積が粒子出口の面積よりも小さい転換電極であって、帯電粒子を収集すると共に、前記帯電粒子が二次イオンである場合に前記二次イオンを二次電子に転換するための転換電極と、
二次電子を吸収すると共に検出信号を増幅して出力するための電子検出ユニットと、
シールド筐体と、を含む帯電粒子検出装置を備えた帯電粒子機器を提供する。
帯電粒子を吸引するためのグリッド電極と、
粒子入口(即ち、グリッド電極に近い側の開口)の面積が粒子出口(即ち、電子検出電源に近い側の開口)の面積よりも小さい転換電極であって、帯電粒子を収集すると共に、前記帯電粒子が二次イオンである場合に前記二次イオンを二次電子に転換するための転換電極と、
二次電子を吸収すると共に検出信号を増幅して出力するための電子検出ユニットと、
シールド筐体と、を含む。
二次電子を吸収すると共に二次電子を光子に転換するためのシンチレータと、
前記シンチレータ内で生じた光子を光電子増倍管に誘導するための光導波管と、
光電変換を行うと共に検出信号を増幅して出力するための光電子増倍管とを含む。
Claims (14)
- 帯電粒子を吸引するためのグリッド電極と、
前記グリッド電極に近い転換電極の粒子入口の面積が、電子検出ユニットに近い粒子出口の面積よりも小さい転換電極であって、帯電粒子を収集すると共に、前記帯電粒子が二次イオンである場合に前記二次イオンを二次電子に転換するための転換電極と、
二次電子を吸収すると共に検出信号を増幅して出力するための電子検出ユニットと、
シールド筐体と、を含む帯電粒子検出装置。 - 転換電極の形状が錐台である、請求項1に記載の帯電粒子検出装置。
- 錐台における側辺と軸線との成す角度が20°以上であり、且つ90°よりも小さい、請求項2に記載の帯電粒子検出装置。
- 転換電極の材料に酸化アルミニウム、アルミニウム又はベリリウム銅が含まれる、請求項1〜3のいずれかに記載の帯電粒子検出装置。
- グリッド電極、転換電極、電子検出ユニットが同軸設置されている、請求項1に記載の帯電粒子検出装置。
- グリッド電極及び転換電極における電位の極性を切り替えることにより、異なるタイプの帯電粒子を検出するように構成されている、請求項1に記載の帯電粒子検出装置。
- 帯電粒子が二次イオンであり、
前記二次イオンが、グリッド電極を通過した後に転換電極の粒子入口から進入すると共に、前記転換電極の内表面に衝突して二次電子へ転換され、
転換された二次電子が、前記転換電極の粒子出口から出射して電子検出ユニットに吸収される、請求項1に記載の帯電粒子検出装置。 - 帯電粒子が二次電子であり、
前記二次電子が、グリッド電極を通過した後に転換電極の粒子入口から進入すると共に、転換電極の粒子出口から出射して電子検出ユニットに吸収される、請求項1に記載の帯電粒子検出装置。 - 電子検出ユニットが、
二次電子を吸収すると共に二次電子を光子に転換するためのシンチレータと、
前記シンチレータ内で生じた光子を光電子増倍管に誘導するための光導波管と、
光電変換を行うと共に検出信号を増幅して出力するための光電子増倍管と、を含む、請求項1に記載の帯電粒子検出装置。 - 電子検出ユニットが半導体ベースの検出器又はMCP検出器である、請求項1に記載の帯電粒子検出装置。
- 帯電粒子に対する検出効率が90%以上である、請求項1〜10のいずれかに記載の帯電粒子検出装置。
- 帯電粒子が二次電子であり、二次電子に対する検出効率が99%以上である、請求項1〜6及び8〜10のいずれかに記載の帯電粒子検出装置。
- 帯電粒子ビームを生成するための帯電粒子源と、
帯電粒子ビームを収束、偏向させるための電子光学系と、
真空環境を提供するための真空キャビティと、
二次粒子を検出するための請求項1に記載の帯電粒子検出装置と、を備えた帯電粒子機器。 - 走査電子顕微鏡、集束イオンビーム機器、及び、走査電子顕微鏡と集束イオンビーム機器とを含んだダブルビーム機器である、請求項13に記載の帯電粒子機器。
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