JP2007517409A - 複数の半導体ウエハのサポートシステムおよびその方法 - Google Patents
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- 半導体ウエハの露出した表面よりも前記半導体ウエハの支持表面を、より低いガス圧にすることによってウエハサポートシステムに前記半導体ウエハを固定する段階
を備える方法。 - 前記支持表面を、前記より低いガス圧にすることをもたらす段階が、
前記半導体ウエハの前記支持表面を、真空チャンバ内で前記ウエハサポートシステムの穴の開いた表面と接触させて設置する段階と、
前記真空チャンバ内のガス圧を、実質的に前記より低いガス圧に減少させる段階と、
前記ウエハサポートシステムの反対側の表面を密閉する段階と、
前記ウエハサポートシステムおよび前記固定された半導体ウエハを、前記真空チャンバから移動する段階と
を少なくとも有する請求項1に記載の方法。 - 前記支持表面を、前記より低いガス圧とすることをもたらす段階が、
前記半導体ウエハの前記支持表面を、第1の温度の第1の環境中で前記ウエハサポートシステムの穴の開いた表面と接触させて設置する段階と、
前記ウエハサポートシステムの反対側の表面を密閉する段階と、
前記ウエハサポートシステムおよび前記固定された半導体ウエハを、前記第1の環境から前記第1の温度よりも低い第2の温度の第2の環境に移動する段階と
を少なくとも有する請求項1に記載の方法。 - 前記支持表面を、前記より低いガス圧にすることをもたらす段階が、
前記ウエハサポートシステムの柔軟性のある表面を、前記ウエハサポートシステムの穴の開いた表面の方向に向かって内側に押す段階と、
前記半導体ウエハの前記支持表面を、前記ウエハサポートシステムの前記穴の開いた表面に接触させて設置する段階と、
前記柔軟性のある表面を外す段階と
を少なくとも有する請求項1に記載の方法。 - 前記支持表面を、前記より低いガス圧にすることをもたらす段階が、
前記半導体ウエハの前記支持表面を、前記ウエハサポートシステムの穴の開いた表面と接触させて設置する段階と、
前記穴の開いた表面から離れる外側の方向に前記サポートシステムの反対側の表面を引っ張る段階と
を少なくとも有する請求項1に記載の方法。 - 前記より低いガス圧を増加させることによって前記ウエハサポートシステムから前記半導体ウエハを外す段階
を更に備える請求項1に記載の方法。 - 前記支持表面が前記ウエハサポートシステムの穴の開いた表面によって支持され、前記より低いガス圧を増加させる段階が、
前記ウエハサポートシステムの反対側の表面を外す段階
を少なくとも有する請求項6に記載の方法。 - 前記より低いガス圧を増加させる段階が、
前記ウエハサポートシステムの柔軟性のある表面を、前記半導体ウエハの方向に向かって内側に押す段階
を少なくとも有する請求項6に記載の方法。 - 前記露出した表面を前記より低いガス圧よりも低い圧力であるか、または実質的に等しい圧力にすることによって前記ウエハサポートシステムから前記半導体ウエハを外す段階
を更に備える請求項1に記載の方法。 - 前記半導体ウエハの他の複数の部分の支持表面上の前記より低いガス圧を維持する間、1つ以上のダイの支持表面上の、前記より低いガス圧を増加させることによって、前記ウエハサポートシステムから前記半導体ウエハの前記1つ以上のダイを外す段階
を更に備える請求項1に記載の方法。 - 前記1つ以上のダイの支持表面上の前記より低いガス圧を増加させる段階が、
前記半導体ウエハの前記1つ以上のダイに向かって内側に、前記ウエハサポートシステムの柔軟性のある表面の1つ以上の部分を押す段階
を少なくとも有する請求項10に記載の方法。 - 前記1つ以上のダイの支持表面上の前記より低いガス圧を増加させる段階が、
前記半導体ウエハの前記1つ以上のダイに対応する前記ウエハサポートシステムの柔軟性のある表面の1つ以上の部分に穴を開ける段階
を少なくとも有する請求項10に記載の方法。 - 前記1つ以上のダイの露出した表面にダイピッカーをつなぐことにより前記半導体ウエハから前記1つ以上のダイの内の1つを分離する段階
を更に備える請求項10に記載の方法。 - 半導体ウエハを支持する穴の開いた表面を有するボディであって、前記穴の開いた表面と前記ボディの反対側の表面との間に複数の空洞を有し、前記複数の空洞は、前記反対側の表面に複数のオリフィスを有するボディと、
前記複数のオリフィスを密閉する前記ボディに取り付けられた膜
を備えるウエハサポートシステム。 - 前記複数の空洞の最も小さい空洞が、前記半導体ウエハの上の複数のダイの最も小さい領域に対して領域において、実質的に等しい
請求項14に記載のウエハサポートシステム。 - 前記複数の空洞が前記穴の開いた表面に複数の開口部を有し、前記複数の空洞の数が、実質的に前記複数の開口部の数と等しい
請求項14に記載のウエハサポートシステム。 - 前記ボディが、前記穴の開いた表面を有する第1の部分と、前記反対側の表面を有する第2の部分とを少なくとも有する請求項14に記載のウエハサポートシステム。
- 前記膜が取り外し可能である
請求項14に記載のウエハサポートシステム。 - 前記膜が柔軟性を有する
請求項14に記載のウエハサポートシステム。 - 前記膜が剛性である
請求項14に記載のウエハサポートシステム。 - 前記穴の開いた表面が剛性である
請求項14に記載のウエハサポートシステム。
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