JP2007516438A - 流体プローブ - Google Patents
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Abstract
Description
2つ以上の材料、及び/或いは層から構成してもよく、例えば、ピエゾ抵抗材料、或いは、その他の所望材料からなる複数の層から構成することも出来る。言うまでもなく、可撓性要素は、加熱時に第1形状から第2形状へと動けばよいだけである。好ましくは、該動きは相対的に大きい。これは、小さな印加熱信号が、可撓性要素3の相対的に大きな動きを発生させる様に、適切な特性(例えば、特定のヤング率、及び熱膨張係数)の材料を選択することによって達成することが出来る。これは、好ましくは、2層、或いはそれ以上の層の積層体を用いることによって達成される。1つの層をポリマーから構成することが出来る。1つの層を金属から構成することが出来る。ポリマーは、ポリイミド、ポリアミドまたはアクリル・ポリマーとすることが出来る。金属は、アルミニウム、或いは金とすることが出来る。相対的に大きい運動は、光学的な方法及び/又は装置を組み込んだ動作検出器の使用を容易にすることとなる。
Claims (25)
- 1つの検出要素を使用して、1つの流体の特性を測定する方法であって、
1つの可撓性要素を具え、該可撓性要素は、該可撓性要素の撓みによって、第1形状から第2形状に可動であり、該可撓性要素は、該可撓性要素を前記第1形状と前記第2形状との間で動かすための1つの作動部分を具えており、
前記可撓性要素に熱信号を印加することによって、前記可撓性要素に、前記第1形状と前記第2形状との間での動きを誘発すること、
前記検出要素から、前記流体中の可撓性要素の誘発された動きを示す1つの信号を受信すること、そして、
前記流体の少なくとも1つの特性を示す値を測定するために、前記信号を処理すること
とを有している測定方法。 - 前記信号は、粘性、温度、流れ率、及び剪断率から構成される1つの群の少なくとも1つの特性を示す値を測定するために処理される請求項1に記載された測定方法。
- 更に、時間による受信信号の変化をモニタすることによって、前記可撓性要素の動きの変化率を測定すること、そして、
前記動きの変化率から、前記流体の粘性を示す値を測定すること
とを有している請求項2に記載された測定方法。 - 更に、所定の印加熱信号による前記受信信号から、前記可撓性要素の動きの大きさを測定すること、そして、
前記大きさから前記流体の粘性を示す値を測定すること
とを有している請求項2に記載された測定方法。 - 更に、前記可撓性要素の前記動きの変化を測定すること、そして、
前記可撓性要素に対する流体の流れに起因する前記動きの変化から、流体の流れ率を示す値を測定すること
とを有している請求項2に記載された測定方法。 - 更に、前記流体中の複数の位置での流れ率の測定によって、前記流体の剪断率を示す値を測定することを有している請求項5に記載された測定方法。
- 前記可撓性要素の前記作動部分は、各層が異なる熱膨張係数を有する少なくとも2層の積層体を具えており、そして、熱信号の印加による動きの誘発の前に、前記流体の温度を示す値が測定される上記請求項の何れかに記載された測定方法。
- 装置は複数の可撓性要素を具えており、前記複数の可撓性要素が、前記流体の少なくとも1つの特性を示す値を、複数位置で測定するために用いられる様になっている上記請求項の何れかに記載された測定方法。
- 装置は、複数の可撓性要素を具え、複数の内の少なくとも1つは、流体中に流れを引き起こすために用いられ、そして、複数の内の少なくとも1つは、前記流体の少なくとも1つの特性を示す値を測定するために用いられる請求項1乃至7の何れかに記載された測定方法。
- 更に、磁気的な力によって、可撓性要素を、前記2つの形状のうち少なくとも1つに保持することを有する上記請求項の何れかに記載された測定方法。
- 更に、静電気力によって、可撓性要素を、前記2つの形状のうち少なくとも1つに保持することを有する請求項1乃至9の何れかに記載された測定方法。
- 1つの流体の1つの特性を検出するための検出装置であって、
1つの本体部、
1つの第1端と1つの第2端を有する1つの可撓性要素を具え、前記第1端は、前記本体部上に固定的に設置され、前記可撓性要素は、前記可撓性要素の撓みによって、少なくとも、1つの第1形状から1つの第2形状へと動く様になっており、
前記可撓性要素は、少なくとも2層の積層体を含むと共に、前記可撓性要素を前記第1形状と前記第2形状との間で動かすための1つの作動部を含んでおり、作動部は、前記積層体の少なくとも1つの第1層によりもたらされ、該第1層は、前記積層体の1つの第2層とは異なる熱膨張係数を有し、前記可撓性要素の温度変化が、可撓性要素を前記第1形状から前記第2形状へと動かす様になっており、
前記可撓性要素は、更に、少なくとも前記可撓性要素を加熱し、それによって前記温度変化を与えるための1つの加熱要素を具えると共に、
前記可撓性要素の前記動きを検出し、且つ、可撓性要素が浸されている1つの流体の特性を示す1つの信号を供給するための動作検出器を具えている検出装置。 - 前記動作検出器は、前記可撓性要素上に設置された1つのピエゾ抵抗素子を具えており、前記可撓性要素の動きによって、ピエゾ抵抗素子の電気抵抗が変化する様になっている請求項12に記載された検出装置。
- 更に、可撓性要素を、前記2つの形状うち少なくとも1つに保持するための係合手段を具えている請求項12又は請求項13に記載された検出装置。
- 前記動作検出器は、前記要素に放射線を向ける様に配置された電磁放射線源と、1つの電磁放射検出器を具え、該電磁放射検出器は、前記可撓性要素から反射した電磁放射線、前記可撓性要素を貫いて伝送された電磁放射線、前記可撓性要素から屈折した電磁放射線、或いは前記可撓性要素によって回折した電磁放射線のうち、少なくとも1つを検出する様に配置されている請求項12乃至14の何れかに記載された検出装置。
- 前記積層体の第1層と前記第2層のうち、少なくとも1つは、ポリマーから構成されている請求項12乃至15の何れかに記載された検出装置。
- 前記積層体の第1層と第2層のうち、少なくとも1つは、ポリイミド、ポリアミド、及びアクリル系ポリマーから成る一群から選ばれた1つの材料により構成されている請求項16に記載された検出装置。
- 前記積層体の第2層は、1つの金属から構成されている請求項12乃至17の何れかに記載された検出装置。
- 前記金属は、金、或いはアルミニウムから成る一群から選ばれる請求項18に記載された検出装置。
- 可撓性要素の第1端から第2端までの長さは、100μmと1mmの間であり、前記第1形状での可撓性要素の第2端と、前記第2形状での可撓性要素の第2端との間の距離は、30μmと650μmとの間である請求項12乃至19の何れかに記載された検出装置。
- 複数の可撓性要素を具えている請求項12乃至20の何れかに記載された検出装置。
- 複数の可撓性要素が、1つの第1列と1つの第2列に配置され、各列は、少なくとも1つの可撓性要素を具えており、複数の可撓性要素は、第1列の少なくとも1つの可撓性要素が、第2列の少なくとも1つの可撓性要素と反対側に伸びる様に配置されている請求項21に記載された検出装置。
- 複数の可撓性要素が互いに係合されている請求項22に記載された検出装置。
- 添付図面を参照して実質的に以上に詳述した様な流体の特性測定方法。
- 添付図面を参照して実質的に以上に詳述した様な流体の特性検出装置。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009530597A (ja) * | 2006-03-16 | 2009-08-27 | ザ サイエンス アンド テクノロジー ファシリティーズ カウンシル | 流体プローブ |
JP2010536049A (ja) * | 2007-08-11 | 2010-11-25 | マイクロヴィスク リミテッド | 流体プローブ |
JP2014515483A (ja) * | 2011-05-25 | 2014-06-30 | マイクロヴィスク リミテッド | バイモルフにより作動されピエゾ抵抗により読出しを行うマイクロカンチレバーセンサ |
JP2016502089A (ja) * | 2012-11-28 | 2016-01-21 | マイクロヴィスク リミテッド | 流体媒質試料の沈降パラメータをモニタするための方法および装置 |
JP2019525201A (ja) * | 2016-07-13 | 2019-09-05 | コロフロ リミテッド | センサベースの授乳量測定装置 |
JP2021156738A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 住友金属鉱山株式会社 | 濃度分布測定方法 |
JP2021156737A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 住友金属鉱山株式会社 | 濃度測定方法および濃度測定装置 |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0328054D0 (en) | 2003-12-04 | 2004-01-07 | Council Cent Lab Res Councils | Fluid probe |
DE102007031128A1 (de) * | 2007-06-29 | 2009-01-02 | IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics/Institut für innovative Mikroelektronik | MEMS-Mikroviskosimeter und Verfahren zu seiner Herstellung |
US8751172B2 (en) * | 2009-06-29 | 2014-06-10 | Rochester Institute Of Technology | Microelectromechanical viscosity measurement devices and methods thereof |
US8762075B2 (en) * | 2009-09-29 | 2014-06-24 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Microcantilever-based gas sensor employing two simultaneous physical sensing modes |
US8371160B2 (en) * | 2009-12-16 | 2013-02-12 | Meggitt (San Juan Capistrano), Inc. | Weatherized direct-mount absolute pressure sensor |
US9970853B2 (en) | 2010-07-16 | 2018-05-15 | Cornell University | Ultrasonic horn actuated microprobes based self-calibrating viscosity sensor |
IT1402181B1 (it) * | 2010-09-13 | 2013-08-28 | Fond Istituto Italiano Di Tecnologia | Dispositivo microelettromeccanico elettro-attivo e relativo procedimento di rivelazione |
US20120304758A1 (en) * | 2011-05-31 | 2012-12-06 | Baker Hughes Incorporated | Low-frequency viscosity, density, and viscoelasticity sensor for downhole applications |
US9038443B1 (en) * | 2011-12-14 | 2015-05-26 | Maria Esther Pace | Microfabricated resonant fluid density and viscosity sensor |
CN104303052B (zh) | 2012-01-16 | 2018-11-16 | 仪宝科技公司 | 用于测量流体物理性能的方法、装置、和系统 |
GB2499428B (en) | 2012-02-16 | 2014-09-24 | Microvisk Ltd | Surface patterned micro-sensor based fluid test strip |
JP6240468B2 (ja) * | 2013-01-31 | 2017-11-29 | 株式会社フジクラ | 流量検出センサ |
US20150122531A1 (en) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | Carestream Health, Inc. | Strain gauge |
US9702783B2 (en) * | 2014-08-01 | 2017-07-11 | Rosemount Aerospace Inc. | Air data probe with fluid intrusion sensor |
JP6524858B2 (ja) * | 2015-08-24 | 2019-06-05 | オムロンヘルスケア株式会社 | 脈波測定装置 |
US11815794B2 (en) | 2017-05-05 | 2023-11-14 | Hutchinson Technology Incorporated | Shape memory alloy actuators and methods thereof |
US11306706B2 (en) * | 2017-05-05 | 2022-04-19 | Hutchinson Technology Incorporated | Shape memory alloy actuators and methods thereof |
US10920755B2 (en) | 2017-05-05 | 2021-02-16 | Hutchinson Technology Incorporated | Shape memory alloy actuators and methods thereof |
US11333134B2 (en) | 2017-05-05 | 2022-05-17 | Hutchinson Technology Incorporated | Shape memory alloy actuators and methods thereof |
DE102017006935A1 (de) * | 2017-07-13 | 2019-01-17 | Technische Universität Ilmenau | Fluidstromsensor und Verfahren zur Bestimmung von stofflichen Parametern eines Fluids |
CN108918906B (zh) * | 2018-07-27 | 2020-08-14 | 北京航空航天大学 | 一种流速传感器的制备方法 |
CN110596418A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-12-20 | 中物合集团有限公司 | 一种流速测量系统 |
CN111208316B (zh) * | 2020-02-24 | 2021-04-20 | 吉林大学 | 一种仿生气流全向感知柔性传感器及其制备方法 |
CN111208315B (zh) * | 2020-02-24 | 2022-02-01 | 吉林大学 | 一种仿生毛状气流流速传感器及其制备方法 |
KR102277494B1 (ko) * | 2020-05-08 | 2021-07-14 | 연세대학교 산학협력단 | 풍향 및 풍속 감지 센서 및 그 제조 방법 |
US11859598B2 (en) | 2021-06-10 | 2024-01-02 | Hutchinson Technology Incorporated | Shape memory alloy actuators and methods thereof |
US11982263B1 (en) | 2023-05-02 | 2024-05-14 | Hutchinson Technology Incorporated | Shape metal alloy (SMA) bimorph actuators with reduced wire exit angle |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08508571A (ja) * | 1993-07-06 | 1996-09-10 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | 熱量センサ |
JPH1137861A (ja) * | 1997-07-18 | 1999-02-12 | Ngk Insulators Ltd | セラミック基体及びこれを用いたセンサ素子 |
JPH11271207A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-10-05 | Robert Bosch Gmbh | センサ、特に媒質の粘度と密度を測定するためのセンサ |
JP2002506993A (ja) * | 1998-03-16 | 2002-03-05 | ユーティ−バッテル エルエルシー | マイクロメカニカル熱量測定センサー |
JP2002543403A (ja) * | 1999-05-03 | 2002-12-17 | カンション アクティーゼルスカブ | 液体中において物質の存在を検出するための方法及びセンサ、並びにセンサの製造方法 |
US20030062193A1 (en) * | 2001-09-07 | 2003-04-03 | Jacob Thaysen | Flexible structure with integrated sensor/actuator |
Family Cites Families (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3282084A (en) * | 1963-03-05 | 1966-11-01 | Automation Prod | Apparatus for determining physical properties of materials |
US4695956A (en) * | 1984-11-01 | 1987-09-22 | Leveen Eric G | Apparatus and method of quantifying hemostasis using oscillations from a transducer immersed in the blood sample |
US5269686A (en) * | 1993-05-10 | 1993-12-14 | James Robert A | Threaded drivable dental implant |
WO1996008701A1 (en) | 1994-09-12 | 1996-03-21 | International Business Machines Corporation | Electromechanical transducer |
US5771902A (en) * | 1995-09-25 | 1998-06-30 | Regents Of The University Of California | Micromachined actuators/sensors for intratubular positioning/steering |
US5844238A (en) | 1996-03-27 | 1998-12-01 | David Sarnoff Research Center, Inc. | Infrared imager using room temperature capacitance sensor |
US6044694A (en) | 1996-08-28 | 2000-04-04 | Videojet Systems International, Inc. | Resonator sensors employing piezoelectric benders for fluid property sensing |
WO1998015813A1 (en) * | 1996-10-09 | 1998-04-16 | Symyx Technologies | Infrared spectroscopy and imaging of libraries |
US6203983B1 (en) | 1997-06-16 | 2001-03-20 | Affymetrix, Inc. | Method for detecting chemical interactions between naturally occurring bio-polymers which are non-identical binding partners |
US6016686A (en) | 1998-03-16 | 2000-01-25 | Lockheed Martin Energy Research Corporation | Micromechanical potentiometric sensors |
US6260408B1 (en) * | 1998-05-13 | 2001-07-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Techniques for sensing the properties of fluids with a resonator assembly |
AU3963199A (en) * | 1998-05-13 | 1999-11-29 | Evgeny Invievich Givargizov | Cantilever with whisker-grown probe and method for producing thereof |
AU2209100A (en) | 1998-12-28 | 2000-07-31 | Raytheon Company | Fluid flow sensor |
US6575020B1 (en) * | 1999-05-03 | 2003-06-10 | Cantion A/S | Transducer for microfluid handling system |
US6269685B1 (en) * | 1999-09-23 | 2001-08-07 | Ut Battelle, Llc | Viscosity measuring using microcantilevers |
US6311549B1 (en) * | 1999-09-23 | 2001-11-06 | U T Battelle Llc | Micromechanical transient sensor for measuring viscosity and density of a fluid |
CN1425133A (zh) * | 1999-10-13 | 2003-06-18 | 西格雷特生物科学有限公司 | 检测和识别试样中分子事件的系统和方法 |
JP2001150393A (ja) | 1999-11-25 | 2001-06-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体マイクロアクチュエータ |
GB2359368A (en) | 2000-02-19 | 2001-08-22 | Secr Defence | Determining the viscosity of a fluid from the exponential decay of an excited piezo-electric element |
DE10029091C2 (de) | 2000-06-13 | 2003-06-12 | Wolfgang Pechhold | Aktives Drehschwingungssystem als Viskoelastizitätssonde |
US6484567B1 (en) * | 2000-08-03 | 2002-11-26 | Symyx Technologies, Inc. | Rheometer for rapidly measuring small quantity samples |
AU2001285425A1 (en) | 2000-08-09 | 2002-02-18 | California Institute Of Technology | Active nems arrays for biochemical analyses |
GB2369887B (en) | 2000-12-08 | 2005-03-09 | Sondex Ltd | Densitometer |
US6457360B1 (en) * | 2001-02-21 | 2002-10-01 | Conel Ltd. | High-precision integrated semiconductor peizoresistive detector devices and methods using the same |
US6910366B2 (en) * | 2001-08-24 | 2005-06-28 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Viscometer |
US20050103097A1 (en) | 2002-01-24 | 2005-05-19 | Carsten Faltum | Sensor |
US6679055B1 (en) * | 2002-01-31 | 2004-01-20 | Zyvex Corporation | Electrothermal quadmorph microactuator |
AU2003206679A1 (en) | 2002-02-08 | 2003-09-02 | Cantion A/S Scion.Dtu | A sensor comprising mechanical amplification of surface stress sensitive cantilever |
AU2003206688A1 (en) | 2002-02-22 | 2003-09-09 | Cantion A/S | Sensor comprising an array of piezoresistors |
EP1511996A1 (en) | 2002-06-07 | 2005-03-09 | Cantion A/S | A cantilever sensor with a current shield and a method for its production |
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AT414045B (de) * | 2003-11-26 | 2006-08-15 | Univ Wien Tech | Sensor |
GB0328054D0 (en) * | 2003-12-04 | 2004-01-07 | Council Cent Lab Res Councils | Fluid probe |
EP1674865B1 (en) | 2004-12-22 | 2008-01-23 | C.R.F. Società Consortile per Azioni | Miniaturized sensor for detecting characteristics of a fluid, in particular a lubricating oil |
GB0605273D0 (en) | 2006-03-16 | 2006-04-26 | Council Cent Lab Res Councils | Fluid robe |
US20080011058A1 (en) * | 2006-03-20 | 2008-01-17 | The Regents Of The University Of California | Piezoresistive cantilever based nanoflow and viscosity sensor for microchannels |
GB0716202D0 (en) | 2007-08-11 | 2007-09-26 | Microvisk Ltd | Improved fluid probe |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08508571A (ja) * | 1993-07-06 | 1996-09-10 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | 熱量センサ |
JPH1137861A (ja) * | 1997-07-18 | 1999-02-12 | Ngk Insulators Ltd | セラミック基体及びこれを用いたセンサ素子 |
JPH11271207A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-10-05 | Robert Bosch Gmbh | センサ、特に媒質の粘度と密度を測定するためのセンサ |
JP2002506993A (ja) * | 1998-03-16 | 2002-03-05 | ユーティ−バッテル エルエルシー | マイクロメカニカル熱量測定センサー |
JP2002543403A (ja) * | 1999-05-03 | 2002-12-17 | カンション アクティーゼルスカブ | 液体中において物質の存在を検出するための方法及びセンサ、並びにセンサの製造方法 |
US20030062193A1 (en) * | 2001-09-07 | 2003-04-03 | Jacob Thaysen | Flexible structure with integrated sensor/actuator |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009530597A (ja) * | 2006-03-16 | 2009-08-27 | ザ サイエンス アンド テクノロジー ファシリティーズ カウンシル | 流体プローブ |
JP2010536049A (ja) * | 2007-08-11 | 2010-11-25 | マイクロヴィスク リミテッド | 流体プローブ |
JP2014515483A (ja) * | 2011-05-25 | 2014-06-30 | マイクロヴィスク リミテッド | バイモルフにより作動されピエゾ抵抗により読出しを行うマイクロカンチレバーセンサ |
JP2016502089A (ja) * | 2012-11-28 | 2016-01-21 | マイクロヴィスク リミテッド | 流体媒質試料の沈降パラメータをモニタするための方法および装置 |
JP2019525201A (ja) * | 2016-07-13 | 2019-09-05 | コロフロ リミテッド | センサベースの授乳量測定装置 |
JP2021156738A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 住友金属鉱山株式会社 | 濃度分布測定方法 |
JP2021156737A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 住友金属鉱山株式会社 | 濃度測定方法および濃度測定装置 |
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