JP5185836B2 - 流体プローブ - Google Patents
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Description
前記第1フレキシブル・エレメントは、前記本体部から離れた位置で第2フレキシブル・エレメントに結合されており、前記第1フレキシブル・エレメントの前記駆動部のみが、前記第1および第2フレキシブル・エレメントを動かすように機能する。
**このパラメータは、主に沈澱のタイプとプロセスパラメータ(例えば温度、圧力、その他)に依存する。
***ポリイミドのファミリーが異なればいろいろな値を取る。
****このパラメータは、主に、ポリイミド化学だけでなく硬化温度と時間に依存する。
Claims (25)
- 流体の特性を検出するためのデバイスであって、
本体部と、
第1フレキシブル・エレメントと第2フレキシブル・エレメントとを含み、
各フレキシブル・エレメントは、第1端部と第2端部をもち、前記第1端部は前記本体部に固定されており、各フレキシブル・エレメントは、そのエレメントが曲がることによって、少なくとも第1配置から第2配置に移動可能であり、
前記第1フレキシブル・エレメントは、前記第1配置と前記第2配置の間で当該フレキシブル・エレメントを動かすために設けられた駆動部を含み、
前記第2フレキシブル・エレメントは、当該フレキシブル・エレメントの動きを検知するための一体化された動きセンサを含み、
前記第1フレキシブル・エレメントは、前記本体部から離れた位置で第2フレキシブル・エレメントに結合されており、前記第1フレキシブル・エレメントの前記駆動部のみが、前記第1および第2フレキシブル・エレメントを動かすように機能し、
前記第1フレキシブル・エレメントおよび前記第2フレキシブル・エレメントは、前記第1および第2エレメント間で前記曲がり平面とは実質的に垂直な方向に広がる結合部によって結合されており、前記第1フレキシブル・エレメントおよび前記第2フレキシブル・エレメントのそれぞれは、前記第1フレキシブル・エレメントが曲がることによって、それぞれの曲がり平面内で前記第1配置から前記第2配置へ動くことを特徴とするデバイス。 - 各フレキシブル・エレメントは長さ方向に伸びており、実質的に互いに平行であることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記結合部は、実質的に剛性のある材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記結合部は、前記第1および第2フレキシブル・エレメントの前記第2端部に結合されていることを特徴とする請求項1または3に記載のデバイス。
- 前記結合部は、前記第1および第2フレキシブル・エレメントから離れた平面内に広がることを特徴とする請求項4に記載のデバイス。
- 前記フレキシブル・エレメントが前記第1および第2配置の間を移動するとき、前記結合部がパドルの働きをするように形作られていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のデバイス。
- 少なくとも二つの前記第1フレキシブル・エレメントを含み、前記第2フレキシブル・エレメントは、前記二つの第1フレキシブル・エレメントの間に位置することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第1フレキシブル・エレメントは、熱的に絶縁の物質を介して前記第2フレキシブル・エレメントに結合していることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第1フレキシブル・エレメントは、複数の位置で前記第2フレキシブル・エレメントに結合していることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第1および第2フレキシブル・エレメントは長さ方向に延びており、前記第1フレキシブル・エレメントは当該エレメントの長さ方向に完全に沿って前記第2フレキシブル・エレメントに結合されていることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第1フレキシブル・エレメントの前記駆動部は、
異なる熱膨張係数をもつ少なくとも二つのラミネート層と、
当該エレメントの曲がりを引き起こすために当該フレキシブル・エレメントを熱するためのヒーター・エレメントとを含むことを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載のデバイス。 - 第1ラミネート層はポリマーを含み、第2ラミネート層は金属を含むことを特徴とする請求項11に記載のデバイス。
- 第1ラミネート層はポリマーを含み、第2ラミネート層はポリマーを含むことを特徴とする請求項11に記載のデバイス。
- 前記層は、100GPaより小さいヤング係数と室温において10−6/Kより大きい熱膨張係数をもつことを特徴とする請求項11、12、13のいずれかに記載のデバイス。
- 前記動きセンサは、当該動きセンサの電気的特性が前記第2フレキシブル・エレメントの動きの起因して変化するように配置されたことを特徴とする請求項1から14のいずれかに記載のデバイス。
- 前記動きセンサは、ピエゾ抵抗素子を含み、当該ピエゾ抵抗素子の電気的抵抗が第2フレキシブル・エレメントが曲がるにつれて変化するように配置されたことを特徴とする請求項15に記載のデバイス。
- 前記ピエゾ抵抗素子は、ニクロム、クロミウム、銅、およびクロム銅合金のうち、少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項16に記載のデバイス。
- 前記ピエゾ抵抗素子は、窒化アルミニウム、ジルコン酸チタン酸鉛、多結晶シリコン、電気伝導ポリマーうち、少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項16に記載のデバイス。
- 前記フレキシブル・エレメントの前記第1端部から前記第2端部までの長さは、100〜1000μmの範囲であることを特徴とする請求項1から18のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第1配置における前記第2フレキシブル・エレメントの前記第2端部と、前記第2配置における前記第2フレキシブル・エレメントの前記第2端部の間の距離は、20〜650μmの範囲であることを特徴とする請求項1から19のいずれかに記載のデバイス。
- 電気回路をさらに含み、当該電気回路は、前記第1フレキシブル・エレメントに接続され、前記第1フレキシブル・エレメントを前記第1配置から前記第2配置に動かすために前記駆動部に信号を与えるように配置され、前記第2フレキシブル・エレメントの動きに連動し、前記動きセンサによって検知された動きを示す出力信号を与えるように配置されたことを特徴とする請求項1から20のいずれかに記載のデバイス。
- 流体の特性を検出するためのデバイスを製造する方法であって、
本体部を提供し、
第1フレキシブル・エレメントと第2フレキシブル・エレメントを提供し、各フレキシブル・エレメントは、第1端部と第2端部をもち、前記第1端部は前記本体部に固定されており、各フレキシブル・エレメントは、そのエレメントが曲がることによって、少なくとも第1配置から第2配置に移動可能であり、前記第1フレキシブル・エレメントは、前記第1配置と前記第2配置の間で当該フレキシブル・エレメントを動かすために設けられた駆動部を含み、前記第2フレキシブル・エレメントは、当該フレキシブル・エレメントの動きを検知するための一体化された動きセンサを含み、
前記第1フレキシブル・エレメントと第2フレキシブル・エレメントを前記本体部から離れた位置で両フレキシブル・エレメントの間で延びる結合部をもたせて形成し、
前記第1フレキシブル・エレメントの前記駆動部だけが、前記第1および第2フレキシブル・エレメントを動かすように機能するように構成し、
前記第1フレキシブル・エレメントおよび前記第2フレキシブル・エレメントは、前記第1および第2エレメント間で前記曲がり平面とは実質的に垂直な方向に広がる結合部によって結合されており、前記第1フレキシブル・エレメントおよび前記第2フレキシブル・エレメントのそれぞれは、前記第1フレキシブル・エレメントが曲がることによって、それぞれの曲がり平面内で前記第1配置から前記第2配置へ動くように構成することを特徴とする方法。 - フレキシブル・エレメントのパターニングの過程ではエッチストップ層の働きをし、それ以降は周囲の構造からフレキシブル・エレメントを解放することができるように配置された金属の層を提供するステップをさらに含む請求項22に記載の方法。
- 金属はクロミウムまたはチタニウムであることを特徴とする請求項22に記載の方法。
- 少なくとも1つの導電材料を含む各フレキシブル・エレメントを形成し、非導電性材料から前記結合部を形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項22または23に記載の方法。
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