JP2007505994A5 - - Google Patents
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Claims (44)
- 輸送媒体中の金属含有前駆体を室を通して基体まで輸送し、ここで輸送空間内の温度が、金属含有前駆体の分解温度よりも低いこと、および
基体における金属含有前駆体の分解によって、基体上に金属層を堆積し、ここで基体における温度が、金属含有前駆体の分解温度よりも高いこと
ここで、基体の温度および輸送空間における金属含有前駆体の温度は直接に測定される、および
該基体上の該金属層の堆積の速度および質が、基体の温度および輸送空間における金属含有前駆体の温度の制御、および該輸送空間における該前駆体の飽和条件の維持によって制御される
を含む、堆積プロセスによって基体表面上での金属化を制御する方法。 - 輸送媒体が蒸気である、請求項１に従う方法。
- 輸送媒体が噴霧化スプレーである、請求項１に従う方法。
- 噴霧化スプレー蒸気が、金属含有前駆体で実質的に飽和している、請求項３に従う方法。
- 蒸気が、金属含有前駆体で実質的に飽和している、請求項２に従う方法。
- 基体の温度が、誘導加熱源によって調節される、請求項２に従う方法。
- 金属含有前駆体の温度が、誘導加熱源の電力を脈動させることによって調節される、請求項２に従う方法。
- 輸送媒体が不活性ガスを含有し、かつ金属含有前駆体の温度が輸送媒体中の不活性ガスの流量を変更することによって調節される、請求項２に従う方法。
- 金属含有前駆体の温度が、輸送媒体中の金属含有前駆体の濃度を変化させることによって調節される、請求項２に従う方法。
- 輸送空間が不活性ガスを含有し、かつ金属含有前駆体の温度が輸送空間内の不活性ガスの流量を変更することによって調節される、請求項２に従う方法。
- 金属含有前駆体の温度が、誘導加熱源の電力を脈動させること、輸送媒体中の不活性ガスの流量を変化させること、輸送空間内の不活性ガスの流量を変化させること、および輸送媒体中の前駆体の濃度を変化させることからなる変数の組み合わせによって調節される、請求項２に従う方法。
- 輸送空間内の金属含有前駆体の温度が±１０℃の精度で調節される、請求項１に従う方法。
- 金属含有前駆体が有機アルミニウム化合物を含む、請求項１に従う方法。
- 基体が金属基体を含み、ここで該基体が誘導によって加熱され、かつ金属含有前駆体が有機アルミニウム化合物を含む、請求項１に従う方法。
- 基体が金属を含有する、請求項１に従う方法。
- 反応ガスの量を測定すること、および
所定量の反応ガスが測定された後、金属含有前駆体が輸送空間に入るのを止めること
をさらに含む、請求項１に従う方法。 - 金属層が金属層上に堆積される時間量を測定し、ここで金属層が少なくとも１分間堆積されること、
所定量の時間後、金属含有前駆体が輸送空間に入るのを止めること、および
金属含有前駆体を止めた後、基体を冷却すること
をさらに含む、請求項１に従う方法。 - 活性な堆積の期間を決定すること、
基体と輸送空間内の輸送媒体との温度差を測定すること、および
活性な堆積の該期間、温度差を維持すること
をさらに含む、請求項１に従う方法。 - 温度差が少なくとも１℃である、請求項１６に従う方法。
- 輸送媒体が、金属含有前駆体で実質的に飽和している、請求項１に従う方法。
- 該前駆体の分解から生成された副生ガスの速度を動的に測定することによって、所望量の金属が該基体上に堆積したことを検知したときに該堆積プロセスを停止する、請求項１に従う方法。
- 該室が該金属層の堆積の間中に回転される、請求項１に従う方法。
- アルミニウム層を基体上に堆積する方法において、
基体を誘導エネルギー源で加熱すること、
液体含有蒸気中のアルミニウム含有前駆体を輸送空間へ輸送すること、
アルミニウムを基体上に堆積して、基体の表面上にアルミニウム層を形成すること、
輸送空間内の蒸気の温度を測定すること、
基体の温度がアルミニウム含有前駆体の分解温度より上であるように、基体の温度を調節すること、
蒸気の温度が輸送空間内における上記分解温度より下に維持されるように、蒸気の温度を調節すること、ここで、基体の温度および輸送空間における金属含有前駆体の温度は直接に測定される、および
該基体上の該金属層の堆積の速度および質が、基体の温度および輸送空間における金属含有前駆体の温度の制御、および該輸送空間における該前駆体の飽和条件の維持によって制御される
を含む、上記方法。 - 基体が金属を含む、請求項２３に従う方法。
- 基体の温度を調節することが、誘導エネルギー源の電力を脈動させることによって達成される、請求項２３に従う方法。
- 液体含有蒸気が、アルミニウム含有前駆体で実質的に飽和している、請求項２３に従う方法。
- アルミニウム含有前駆体が噴霧化スプレーの形をしている、請求項２３に従う方法。
- 基体の温度を調節することが、誘導加熱源によって実施される、請求項２３に従う方法。
- 蒸気の温度を調節することが、誘導加熱源の電力を脈動させることによって達成される、請求項２３に従う方法。
- 蒸気相が不活性ガスを含有し、かつ蒸気の温度を調節することが、蒸気中の不活性ガスの流量を変更することによって達成される、請求項２３に従う方法。
- 輸送空間が不活性ガスを含有し、かつ輸送媒体の温度を調節することが、輸送空間内の不活性ガスの流量を変更することによって達成される、請求項２３に従う方法。
- 蒸気相の温度を調節することが、蒸気中のアルミニウム含有前駆体の濃度を変化させることを包含する、請求項２３に従う方法。
- 蒸気相の温度を調節することが、誘導加熱源の電力を脈動させること、輸送媒体中の不活性ガスの流量を変化させること、輸送空間内の不活性ガスの流量を変化させること、および輸送媒体中の前駆体の濃度を変化させることからなる変数の組み合わせによって達成される、請求項２３に従う方法。
- 輸送空間内の金属含有前駆体の温度が±１０℃以内に調節される、請求項２３に従う方法。
- 反応ガスの量を測定すること、および
所定量の反応ガスが蓄積された後、アルミニウム含有前駆体が輸送空間に入るのを止めること
をさらに含む、請求項２３に従う方法。 - アルミニウム層が金属層上に堆積される時間量を測定し、ここで金属層が少なくとも１分間堆積されること、
所定量の時間後、アルミニウム含有前駆体が輸送空間に入るのを止めること、および
アルミニウム含有前駆体を止めた後、基体を冷却すること
をさらに含む、請求項２３に従う方法。 - 活性な堆積の期間を決定すること、
基体と輸送空間内の輸送媒体との温度差を測定すること、および
活性な堆積の該期間、温度差を維持すること
をさらに含む、請求項２３に従う方法。 - 温度差が少なくとも１℃である、請求項３６に従う方法。
- 均一に被覆されている基体であって、
基体、
該基体上に配置された金属コーティングであって、該金属コーティングが金属粉塵粒子を実質的に有さず、かつ該金属コーティングが、ＡＳＴＭ Ｂ−１１７基準によって測定される赤錆腐食に少なくとも２４時間耐えることができるような耐食性であるもの、
分解温度より下に保たれた前駆体化合物と該分解温度より上に保たれた基体との間の化学反応の結果として、該基体に結合された該金属コーティングであって、該金属コーティングが実質的に純粋であるもの
を含んでいる、上記基体。 - 基体が金属を含んでいる、請求項３９に従う基体。
- 金属コーティングがアルミニウムを含んでいる、請求項３９に従う基体。
- 前駆体が輸送媒体中に含有され、かつ該輸送媒体が液体を含有している、請求項３９に従う基体。
- 液体含有輸送媒体を用意し、ここで該輸送媒体が金属含有前駆体を含有すること、
該金属含有前駆体の分解温度より下の温度まで、輸送媒体を加熱すること、
輸送媒体を輸送空間へ輸送すること、
前駆体を基体上に堆積して、金属層を形成すること、
輸送空間内の輸送媒体の温度を測定すること
基体の温度が金属含有前駆体の分解温度より上であるように、基体の温度を調節すること、および
輸送媒体の温度が金属含有前駆体の分解温度より下に維持されるように、輸送空間内の輸送媒体の温度を調節すること
ここで、基体の温度および輸送空間における金属含有前駆体の温度は直接に測定される、および
該基体上の該金属層の堆積の速度および質が、基体の温度および輸送空間における金属含有前駆体の温度の制御、および該輸送空間における該前駆体の飽和条件の維持によって制御される
ことを含むプロセスによって製造された製品。 - 基体を誘導エネルギー源を用いて加熱すること
液体含有蒸気中のアルミニウム含有前駆体を輸送空間に輸送すること
アルミニウムを基体上に堆積して、基体の表面上にアルミニウム層を形成すること
輸送空間内の蒸気の温度を測定すること
基体の温度がアルミニウム含有前駆体の分解温度より上であるように、基体の温度を調節すること、および
蒸気相の温度が輸送空間における上記分解温度より下に維持されるように、蒸気相の温度を調節すること
ここで、基体の温度および輸送空間における金属含有前駆体の温度は直接に測定される、および
該基体上の該金属層の堆積の速度および質が、基体の温度および輸送空間における金属含有前駆体の温度の制御、および該輸送空間における該前駆体の飽和条件の維持によって制御される
ことを含むプロセスによって製造された製品。
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