RU2249633C1 - Способ получения хромокарбидных покрытий - Google Patents
Способ получения хромокарбидных покрытий Download PDFInfo
- Publication number
- RU2249633C1 RU2249633C1 RU2003124447/02A RU2003124447A RU2249633C1 RU 2249633 C1 RU2249633 C1 RU 2249633C1 RU 2003124447/02 A RU2003124447/02 A RU 2003124447/02A RU 2003124447 A RU2003124447 A RU 2003124447A RU 2249633 C1 RU2249633 C1 RU 2249633C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrate
- coatings
- reactor
- coating
- inert gas
- Prior art date
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
Изобретение относится к нанесению покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений. Может быть использовано для получения защитных покрытий на основе хрома на деталях из конструкционных и низколегированных сталей. Предложен способ получения хромокарбидных покрытий. Подложку размещают в реакторе и нагревают до 430-450°С. Испаритель нагревают до 320-340°С. Проводят осаждение покрытия разложением металлоорганического соединения “Бархос” в потоке инертного газа при скорости потока 0,010-0,013 л/мин. Давление в реакторе составляет 1,33×102 Па. Техническим результатом является повышение адгезии. 1 табл.
Description
Изобретение относится к способам нанесения покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений (МОС) на нагретых поверхностях и может быть использовано для получения защитных покрытий на основе хрома на деталях из конструкционных, низколегированных сталей, что делает возможным их работу в агрессивных средах.
Наиболее близким решением является способ нанесения покрытий на основе хрома, включающий размещения подложки в реакторе, нагрев подложки и осаждение покрытия путем разложения металлоорганического соединения "Бархос" в потоке инертного газа (а. с. СССР SU 1453950 А1, опубликованное 30.06.1994)
Недостатком способа является невозможность получения покрытий с высокой адгезией на различных материалах с толщиной покрытия от 0,15 до 7 мкм без добавления в исходное МОС других химических соединений.
Техническим результатом является получение покрытий с требуемыми свойствами в потоке инертного газа без добавления химических соединений.
Поставленная задача достигается тем, что в способе получения хромокарбидных покрытий, включающем размещение подложки в реакторе, ее нагрев и осаждение покрытия путем разложения металлоорганического соединения "Бархос" в потоке инертного газа, осуществляют нагрев подложки до температуры 430-450°С и испарителя до температуры 320-340°С, устанавливают скорость потока инертного газа 0,010-0,013 л/мин, а процесс проводят при давлении в реакторе 1,33×102 Па.
Способ осуществляется следующим образом.
Подготовленную подложку помещают в реактор и герметично закрывают. Реактор продувают аргоном для исключения кислорода воздуха из объема реактора, присутствие которого окисляет подложку. При достижении температуры нагрева подложки 430-450°С и испарителя 320-340°С устанавливают скорость подачи газа от 0,010 до 0,013 л/мин и подают определенное количество МОС “Бархос” в испаритель, при этом давление в реакторе составляет 1,33×102 Па.
Покрытие, полученное предлагаемым способом, характеризуется горизонтально-слоистой структурой, высокой адгезии и требует меньших затрат на проведение процесса осаждения.
Повышение температуры нагрева подложки выше 450°С приводит к тому, что в структуре покрытия возрастают внутренние напряжения, приводящие к возможности отслаивания покрытия.
Уменьшение температуры нагрева подложки ниже 430°С приводит к образованию однородных осадков с большей шероховатостью, снижающих износостойкость покрытия.
Увеличение скорости подачи инертного газа приводит к образованию на поверхности подложки пироуглерода, ухудшающего полученное покрытие. Объясняется это тем, что пары МОС “Бархос” не успевают прореагировать в области температурного поля подложки и поступают дальше в объем реактора, где и происходит их разложение.
Уменьшение скорости подачи газа менее 0,010 л/мин с образованием пироуглерода на поверхности подложки объясняется тем, что прореагировавшие продукты реакции не успевают удаляться из температурного поля подложки и оседают на поверхности.
Повышение температуры испарителя выше 340°С приводит к начальному разложению МОС “Бархос” в зоне испарителя с образованием твердой фазы.
Уменьшение температуры испарителя ниже 320°С приводит к увеличению времени процесса осаждения.
Результаты реализации предложенного способа получения хромокарбидных покрытий приведены в таблице 1.
Таблица 1 Свойства полученных покрытий |
||||||||
Способ | Температура испарителя, °С | Скорость подачи газа, л/мин |
Давление в системе при осаждении, Па |
Толщина покрытия, мкм | Микротвердость покрытия, МПа | Адгезионная прочность покрытия, МПа | Микроструктура покрытия | Примечание |
Предлагаемый | 220-240 | 0,010 | 1,33*102 | 15 | 15000 | 60 | Однородная | На поверхности налет пироуглерода |
320-340 | 0,013 | 1,33*102 | 10 | 9800 | 50 | Слоистая | ||
|
320-340 | 0,015 | 1,33*102 | 2-3 | 9000 | 45 | Слоистая | На поверхности слой пироуглерода |
Прототип | 200 | 1,33*10-2 | 30 | 16000 | 75 | Слоистая |
Claims (1)
- Способ получения хромокарбидных покрытий, включающий размещение подложки в реакторе, ее нагрев и осаждение покрытия путем разложения металлоорганического соединения “Бархос” в потоке инертного газа, отличающийся тем, что осуществляют нагрев подложки до температуры 430-450°С и испарителя до температуры 320-340°С, устанавливают скорость потока инертного газа 0,010-0,013 л/мин, а процесс проводят при давлении в реакторе 1,33·10 Па.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2003124447/02A RU2249633C1 (ru) | 2003-08-05 | 2003-08-05 | Способ получения хромокарбидных покрытий |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2003124447/02A RU2249633C1 (ru) | 2003-08-05 | 2003-08-05 | Способ получения хромокарбидных покрытий |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2003124447A RU2003124447A (ru) | 2005-02-27 |
RU2249633C1 true RU2249633C1 (ru) | 2005-04-10 |
Family
ID=35285929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2003124447/02A RU2249633C1 (ru) | 2003-08-05 | 2003-08-05 | Способ получения хромокарбидных покрытий |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2249633C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011020740A2 (de) | 2009-08-17 | 2011-02-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtete körper aus metall, hartmetall, cermet oder keramik sowie verfahren zur beschichtung derartiger körper |
-
2003
- 2003-08-05 RU RU2003124447/02A patent/RU2249633C1/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011020740A2 (de) | 2009-08-17 | 2011-02-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtete körper aus metall, hartmetall, cermet oder keramik sowie verfahren zur beschichtung derartiger körper |
DE102009028579A1 (de) | 2009-08-17 | 2011-03-03 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetall, Cermet oder Keramik sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2003124447A (ru) | 2005-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5139824A (en) | Method of coating complex substrates | |
US8431190B2 (en) | Method for depositing hard metallic coatings | |
US6528171B1 (en) | Tool with a molybdenum sulfide containing coating and method for its production | |
DE19526387C2 (de) | Doppelt beschichteter Stahlverbundgegenstand und Verfahren zu dessen Herstellung | |
TWI224585B (en) | Process for simultaneously aluminizing nickel-base and cobalt-base superalloys | |
US3368914A (en) | Process for adherently depositing a metal carbide on a metal substrate | |
US8343582B2 (en) | Process for deposition of non-oxide ceramic coatings | |
RU2006113115A (ru) | Металлизация основы (основ) способом осаждения из парожидкостной фазы | |
CA2205052A1 (en) | Method of producing reactive element modified-aluminide diffusion coatings | |
CN109182996B (zh) | 钨合金涂层制备设备及方法 | |
JPH02298271A (ja) | セラミックコーティングの一工程析出方法 | |
US8906457B2 (en) | Method of atomic layer deposition using metal precursors | |
RU2249633C1 (ru) | Способ получения хромокарбидных покрытий | |
CN104060239B (zh) | 一种金属物品表面保护方法 | |
US20090324825A1 (en) | Method for Depositing an Aluminum Nitride Coating onto Solid Substrates | |
JP2001505956A (ja) | 低摩擦コーティング | |
US10316408B2 (en) | Delivery device, manufacturing system and process of manufacturing | |
US3784403A (en) | Process for cladding steel | |
SU1759958A1 (ru) | Способ нанесени пиролитического карбидохромового покрыти на металлические поверхности | |
JPS61288060A (ja) | 減圧プラズマア−ク溶射方法 | |
KR0136185B1 (ko) | 스텔라이트재에의 플라즈마 표면개질 복합코팅층의 형성방법 | |
KR0154293B1 (ko) | 저온화학증착법에 의한 TiN막의 형성방법 | |
RU2109844C1 (ru) | Способ нанесения хромового покрытия | |
RU2169793C1 (ru) | Способ нанесения защитного покрытия на внешнюю поверхность длинномерных металлических изделий | |
Allenbach | MOCVD and tribological properties of thin zirconium carbonitride films |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20050806 |