JP2007329372A - 半導体パッケージ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る半導体パッケージ1の製造方法は、第1のリードフレーム12LAに第1の半導体チップ11Aをボンディングワイヤ13Aを介して接続する工程と、第1のリードフレーム12LAの上に、第2のリードフレーム12LBをボンディングワイヤ13Aを介した金属接合により一体化する工程と、第2のリードフレーム12LBに第2の半導体チップ11Bをボンディングワイヤ13Bを介して接続する工程と、半導体チップ11A,11Bを封止樹脂15で封止する工程と、第1,第2のリードフレーム12LA,12LBを個片化する工程とを有する。これにより、パッケージの小型化と、リード部12A,12B間の接合作業性及び接合信頼性を高めることができる。
【選択図】図4
Description
図1〜図3は本発明の第1の実施形態による半導体パッケージ1の概略構成を示している。ここで、図1は半導体パッケージ1の平面図、図2は図1における[2]−[2]線方向断面図、図3は図1における[3]−[3]線方向断面図である。なお、図示による説明を容易にするため、図1においては封止樹脂層15の内部を実線で示している。
第2のボンディングワイヤ13Bは、一端が第2の半導体チップ11Bの電極パッド上に接合され、他端が第2のリード部12Bの上面に接合されている。
図6及び図7は本発明の第2の実施形態による半導体パッケージ2の概略構成を示す平面図及び側断面図である。なお、図6の平面図については、図1と同様に封止樹脂層25の内部を実線で示している。
図9〜図11は、本発明の第3の実施形態による半導体パッケージ3の概略構成を示している。ここで、図9は半導体パッケージ3の平面図、図10は図9における[10]−[10]線方向断面図、図11は図9における[11]−[11]線方向断面図である。なお、図9の平面図については、図1と同様に、封止樹脂層35の内部を実線で示している。
図14及び図15は、本発明の第4の実施形態による半導体パッケージ4の概略構成を示している。ここで、図14は半導体パッケージ4の平面図、図15は図14における[15]−[15]線方向断面図である。なお、図14の平面図については、図1と同様に封止樹脂層45の内部を実線で示している。
Claims (12)
- 半導体チップと、
この半導体チップの周囲に配列された複数の第1のリード部と、
前記半導体チップと前記第1のリード部との間を電気的に接続するボンディングワイヤと、
前記第1のリード部の上に接合された複数の第2のリード部と、
前記半導体チップを封止する封止樹脂層とを備え、
前記第2のリード部は、前記第1のリード部に対して、前記ボンディングワイヤを介した金属接合により一体化されている
ことを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記第2のリード部には、前記半導体チップの上部に積層される回路素子が電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。 - 前記回路素子は、半導体チップである
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体パッケージ。 - 前記回路素子は、受動部品である
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体パッケージ。 - 第1の半導体チップと、
前記第1の半導体チップの周囲に配列された複数の第1のリード部と、
前記第1の半導体チップと前記第1のリード部との間を電気的に接続する第1のボンディングワイヤと、
第2の半導体チップと、
前記第1のリード部の上に接合され、前記第2の半導体チップの周囲に配列された複数の第2のリード部と、
前記第2の半導体チップと前記第2のリード部との間を電気的に接続する第2のボンディングワイヤと、
前記第1,第2の半導体チップを封止する封止樹脂層とを備え、
前記第2のリード部は、前記第1のリード部に対して、前記第1のボンディングワイヤを介した金属接合により一体化されている
ことを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記第2のリード部は、前記第2のボンディングワイヤの非接続面が前記第1のリード部に接合されている
ことを特徴とする請求項5に記載の半導体パッケージ。 - 前記第2のリード部は、前記第2のボンディングワイヤの接続面が前記第1のリード部に接合されている
ことを特徴とする請求項5に記載の半導体パッケージ。 - 第1のリードフレームに半導体チップをボンディングワイヤを介して接続する工程と、
前記第1のリードフレームの上に、第2のリードフレームを前記ボンディングワイヤを介した金属接合により一体化する工程と、
前記半導体チップを封止樹脂で封止する工程と、
前記第1,第2のリードフレームを個片化する工程とを有する
ことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。 - 前記半導体チップを封止する工程の前に、前記第2のリードフレームに回路素子を電気的に接続する工程を有し、
前記半導体チップを封止する工程では、前記半導体チップとともに前記回路素子をも封止する
ことを特徴とする請求項8に記載の半導体パッケージの製造方法。 - 前記半導体チップを封止する工程の後、前記第2のリードフレームに回路素子を電気的に接続する工程を有する
ことを特徴とする請求項8に記載の半導体パッケージの製造方法。 - 第1のリードフレームに第1の半導体チップを第1のボンディングワイヤを介して接続する工程と、
第2のリードフレームに第2の半導体チップを第2のボンディングワイヤを介して接続する工程と、
前記第1のリードフレームの上に前記第2のリードフレームを前記第1のボンディングワイヤを介した金属接合により一体化する工程と、
前記第1,第2の半導体チップを封止樹脂で封止する工程と、
前記第1,第2のリードフレームを個片化する工程とを有する
ことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。 - 第1のリードフレームに第1の半導体チップを第1のボンディングワイヤを介して接続する工程と、
第2のリードフレームに第2の半導体チップを第2のボンディングワイヤを介して接続する工程と、
前記第1のリードフレームの上に前記第2のリードフレームを前記第1,第2のボンディングワイヤを介した金属接合により一体化する工程と、
前記第1,第2の半導体チップを封止樹脂で封止する工程と、
前記第1,第2のリードフレームを個片化する工程とを有する
ことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
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