JP2007327756A5 - - Google Patents
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- Ｘ線を発生するＸ線管球と、
前記Ｘ線を受ける試料を支持するための試料支持部と、
前記Ｘ線を受けて試料から発生するＸ線を受ける偏光フィルタと、
前記偏光フィルタからのＸ線を検出する検出器とからなり、
前記Ｘ線管球から試料に向かうＸ線光路と試料から偏光フィルタに向かうＸ線光路のなす角度、試料から偏光フィルタに向かうＸ線光路と偏光フィルタから検出器に向かうＸ線光路のなす角度、及び偏光フィルタから検出器に向かうＸ線光路と前記Ｘ線管球から試料に向かうＸ線光路のなす角度が、全て９０度となるように配置されている蛍光Ｘ線分析装置。 - 前記偏光フィルタは、湾曲形状を有する請求項１記載の蛍光Ｘ線分析装置。
- 前記偏光フィルタは、湾曲形状の偏光フィルタの受光面、または複数の平面状偏光フィルタの受光面を円の円周上に沿うように配置したものであって、
さらに、試料と検出器または検出器コリメータは、前記円周上の対向した位置に配置されている、請求項１記載の蛍光Ｘ線分析装置。 - 前記試料内で発生した蛍光Ｘ線が、前記偏光フィルタでコンプトン散乱された後の成分を測定する測定手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の蛍光X線分析装置。
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