JP2011145171A5 - 形状算出装置 - Google Patents

Description

このような目的達成のため、本発明に係る形状算出装置は、支持部に支持された円盤状の被検物の外周端部形状を算出する形状算出装置であって、前記外周端部に対して径方向外側の所定位置に配置されて前記外周端部を照明する照明部と、前記被検物に対して前記被検物の表面から離れた位置に前記外周端部に対向して配置され、前記照明部により照射され前記外周端部において反射した反射光の前記径方向に沿った光量情報を検出する検出部と、前記検出部において検出された前記光量情報を基にして前記外周端部形状を算出する演算部とを備えて構成される。

なお、上述の形状算出装置において、前記検出部は、前記径方向に沿って並んだ複数の撮像素子を備えて構成され、前記撮像素子の各々は、前記撮像素子に対応する対応外周端部において反射した反射光の前記光量情報を検出するように構成されており、前記演算部は、前記撮像素子の各々において検出された前記光量情報を基にして、前記被検物の表面に対する前記対応外周端部の傾きを算出して前記外周端部形状を算出することが好ましい。
また、前記検出部は、前記被検物の表面に直交する方向と平行な光軸を有する撮像光学系を備えていることが好ましい。

また、上述の形状算出装置において、前記支持部が、前記被検物の表面に直交する方向に延びた回転軸を中心に前記被検物を回転可能に構成されており、前記支持部により前記被検物を回転させながら、前記検出部において前記外周端部全周分の前記光量情報を検出することにより、前記演算部において前記外周端部全周の形状を算出することが好ましい。
また、前記照明部は、前記被検物の表面に直交する方向と平行な拡散面を備えていることが好ましい。

さらに、上述の形状算出装置において、前記検出部が、前記被検物に対して一方側に配置されて、前記外周端部のうちの前記一方側の前記光量情報を検出するように構成され、前記被検物に対して他方側に、前記検出部とは別に前記外周端部のうちの前記他方側の前記光量情報を検出する他方側検出部を備えたことが好ましい。

Claims (7)

1. 支持部に支持された円盤状の被検物の外周端部形状を算出する形状算出装置であって、
   前記外周端部に対して径方向外側の所定位置に配置されて前記外周端部を照明する照明部と、
   前記被検物に対して前記被検物の表面から離れた位置に前記外周端部に対向して配置され、前記照明部により照射され前記外周端部において反射した反射光の前記径方向に沿った光量情報を検出する検出部と、
   前記検出部において検出された前記光量情報を基にして前記外周端部形状を算出する演算部とを備えて構成されることを特徴とする形状算出装置。
2. 前記検出部は、前記径方向に沿って並んだ複数の撮像素子を備えて構成され、
   前記撮像素子の各々は、前記撮像素子に対応する対応外周端部において反射した反射光の前記光量情報を検出するように構成されており、
   前記演算部は、前記撮像素子の各々において検出された前記光量情報を基にして、前記被検物の表面に対する前記対応外周端部の傾きを算出して前記外周端部形状を算出することを特徴とする請求項１に記載の形状算出装置。
3. 前記検出部は、前記被検物の表面に直交する方向と平行な光軸を有する撮像光学系を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の形状算出装置。
4. 前記支持部が、前記被検物の表面に直交する方向に延びた回転軸を中心に前記被検物を回転可能に構成されており、
   前記支持部により前記被検物を回転させながら、前記検出部において前記外周端部全周分の前記光量情報を検出することにより、前記演算部において前記外周端部全周の形状を算出することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の形状算出装置。
5. 前記照明部は、前記被検物の表面に直交する方向と平行な拡散面を備えていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の形状算出装置。
6. 前記検出部が、前記被検物に対して一方側に配置されて、前記外周端部のうちの前記一方側の前記光量情報を検出するように構成され、
   前記被検物に対して他方側に、前記検出部とは別に前記外周端部のうちの前記他方側の前記光量情報を検出する他方側検出部を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の形状算出装置。
7. 前記被検物が、半導体ウェハであることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の形状算出装置。