JP2007325985A - インク塗布装置及びそれを用いたインクの塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】塗布対象物の温度を精度良く制御して塗布対象物上に均一な厚さの塗布膜を形成することができるインク塗布装置及びそれを用いたインクの塗布方法を提供する。
【解決手段】本発明は、気密的なフード6内において支持台3に支持される塗布対象物2に対してインク4を塗布するインク塗布装置であって、支持台3の表面に温度制御ガス12を流すための凹凸状のガス流路21が設けられている。インク4の塗布の際、所定の温度に制御された温度制御ガス12をガス流路21に導入することにより、塗布対象物2の温度を一定の温度に制御する。
【選択図】 図1
Description
従来、この種のインク塗布装置においては、インクジェットヘッドから吐出されるインクの溶媒のミストの漏洩を防止するため、インクを塗布する空間をフードで気密的に覆い、フード内の雰囲気を排気しながらインクを塗布することが行われている。
しかし、従来、この種のインク塗布装置を用いて塗布膜を形成する際に塗布対象物の温度を精度良く制御する技術は提案されていない。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記塗布対象物の表面温度を測定する温度計を有し、当該温度計によって測定された結果に基づいて前記温度制御ガスの温度を制御するように構成されているものである。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2のいずれか1項記載の発明において、前記フード内の当該塗布対象物近傍のインク溶媒の濃度を測定する濃度センサーと、当該フード内の圧力を測定する圧力計とを有し、当該濃度センサーと当該圧力計によって測定された結果に基づいて、当該フード内の雰囲気を排気するように構成されているものである。
請求項4記載の発明は、請求項1乃至3のいずれか1項記載の発明において、前記支持台のガス流路は、金属材料の表面を粗面化した粗面化被膜によって形成されているものである。
請求項5記載の発明は、請求項1乃至3のいずれか1項記載の発明において、前記粗面化被膜は、その厚さが50μm〜500μmであるものである。
請求項6記載の発明は、請求項1乃至5のいずれか1項記載の発明において、前記粗面化被膜は、その表面粗さが20nm〜300nmであるものである。
請求項7記載の発明は、請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載のインク塗布装置を用いてインクを塗布する方法であって、インクジェットヘッドからインクを吐出し、支持台に支持された塗布対象物の表面にインクを塗布する際に、前記支持台と前記塗布対象物との間の前記ガス流路に、所定の温度に制御した温度制御ガスを導入して流すことにより、塗布対象物の表面温度を制御するものである。
請求項8記載の発明は、請求項7記載の発明において、前記塗布対象物の表面温度を、20〜80℃に制御するものである。
請求項9記載の発明は、請求項7又は8のいずれか1項記載の発明において、前記塗布対象物の表面温度分布が±1℃となるように制御するものである。
図1は、本発明の実施の形態に係るインク塗布装置の概略構成である。
図1に示すように、本実施の形態のインク塗布装置1は、基板等の塗布対象物2を支持する支持台3と、塗布対象物2に対してインク4を塗布するインクジェットヘッド5とを有し、これら支持台3及びインクジェットヘッド5は、外気を導入するように構成されたフード6によって気密的に覆われている。
支持台3は、アルミやステンレス鋼材等の金属材料からなる基台8の表面に、後述する粗面化被膜9を設けて構成されている。
ここで、温度制御ガス12は、温度制御部13からの命令に基づきヒーター14によって加熱され所定の温度に制御されるようになっている。
さらに、支持台3と塗布対象物2との間に導入された温度制御ガス12は、支持台3の粗面化被膜9と基台8とを貫通するように設けられた導出孔15及び導出管16を介して装置外部に排出されるようになっている。
さらに、フード6内には、圧力計20が配置されている。この圧力計20は、フード6内の圧力を検出し、その結果を排気制御部18に出力するようになっている。
図2(a)(b)に示すように、支持台3の基台8表面に設けられた粗面化被膜9は、その表面に多数の凹凸状のガス流路21を形成して構成されている。
また、粗面化被膜9を構成する材料は特に限定されることはないが、塗布対象物2との間の静電気を低減する観点からは、高純度のアルミナ又は導電性のフッ素樹脂を用いることが好ましい。
さらにまた、粗面化被膜9の形成方法は特に限定されることはないが、被膜形成の容易さの観点からは、プラズマ溶射法を用いて形成することが好ましい。
その際、支持台3と塗布対象物2の間のガス流路21に、所定の温度の温度制御ガス12を常時流すようにする。
具体的には、放射熱温度計17による検出結果に基づいてヒーター14を動作させ、ガス導入管11を流れる温度制御ガス12の加熱具合を調整する。そして、この検出・調整は、塗布対象物2の表面上にインク4を塗布し塗布膜が形成されるまで継続する。
また、塗布対象物2の表面の温度分布は、特に限定されることはないが、塗布対象物2の表面により均一な厚さの塗布膜を形成させる観点からは、±1℃とすることが好ましい。
ステンレス鋼材製の基台上に、高純度アルミナ材をプラズマ溶射法により溶射して、膜厚が200μmの粗面化被膜を形成した支持台を用いた。
図3から、粗面化被膜の表面粗さRaが、20〜300nmの場合に、ガラス基板表面の温度分布が、±1℃程度に維持できることがわかる。
(実施例)
ステンレス鋼材の基台上に表面粗さRaが50nmで膜厚が200μmの高純度アルミナ材からなる粗面化被膜を形成した支持台上に、塗布対象物として上記ガラス基板を配置した。
次いで、支持台とガラス基板との間にクリーンドライ窒素ガスを導入し、放射熱温度計によりガラス基板の表面温度を測定して、ガラス基板の表面温度が60℃となるように調整した。
このようにして形成した配線パターンの一部の電子顕微鏡写真を図4に示す。
ガラス基板の表面温度を90℃に設定した以外は、実施例と同様にしてガラス基板上に配線パターンを形成した。
このようにして形成した配線パターンの一部の電子顕微鏡写真を図5に示す。
Claims (9)
- 気密的なフード内において支持台に支持される塗布対象物に対してインクを塗布するインク塗布装置であって、
前記支持台の表面に温度制御ガスを流すための凹凸状のガス流路が設けられ、
所定の温度に制御された前記温度制御ガスを前記ガス流路に導入するように構成されているインク塗布装置。 - 前記塗布対象物の表面温度を測定する温度計を有し、当該温度計によって測定された結果に基づいて前記温度制御ガスの温度を制御するように構成されている請求項1記載のインク塗布装置。
- 前記フード内の当該塗布対象物近傍のインク溶媒の濃度を測定する濃度センサーと、当該フード内の圧力を測定する圧力計とを有し、当該濃度センサーと当該圧力計によって測定された結果に基づいて当該フード内の雰囲気を排気するように構成されている請求項1又は2のいずれか1項記載のインク塗布装置。
- 前記支持台のガス流路は、金属材料の表面を粗面化した粗面化被膜によって形成されている請求項1乃至3のいずれか1項記載のインク塗布装置。
- 前記粗面化被膜は、その厚さが50μm〜500μmである請求項1乃至4のいずれか1項記載のインク塗布装置。
- 前記粗面化被膜は、その表面粗さが20nm〜300nmである請求項1乃至5のいずれか1項記載のインク塗布装置。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載のインク塗布装置を用いてインクを塗布する方法であって、
インクジェットヘッドからインクを吐出し、支持台に支持された塗布対象物の表面にインクを塗布する際に、
前記支持台と前記塗布対象物との間の前記ガス流路に、所定の温度に制御した温度制御ガスを導入して流すことにより、塗布対象物の表面温度を制御するインクの塗布方法。 - 前記塗布対象物の表面温度を、20〜80℃に制御する請求項7記載のインクの塗布方法。
- 前記塗布対象物の表面温度分布が±1℃となるように制御する請求項7又は8のいずれか1項記載のインクの塗布方法。
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